JP2016070909A - 検査システム及び検査システムの制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査システム及び検査システムの制御方法を提供する。
【解決手段】放射線源１１０と、画像検出器１２０と、放射線源１１０と画像検出器１２０との間に配置される放置装置１３０と、を備え、放射線源１１０及び画像検出器１２０が共に駆動されて予定経路５００に沿って移動され、放置装置１３０が少なくとも１つの物体６００を載置するための載置器と、載置器に結合されており、載置器を回転させるための回転機構と、を含む検査システム。
【選択図】図１

Description

本発明は、検出システム及び検出システムの制御方法に関する。

非破壊検査（Ｎｏｎ−ｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ；ＮＤＩ）は、物体の構造を傷つけずに、又は上記物体を大幅に解体せずに、上記物体を徹底的に測定することができる。そのため、ＮＤＩは、物体を解体して測定することによる時間、労働力及びコストの損失を避けることに特に有利であり、更に測定プロセスにおける物体への損害を避けることができる。

ＮＤＩ技術において、Ｘ線断層撮影法は、被測定物体の特定の平面の内部断面画像を発生できる画像取得技術である。一般的には、Ｘ線断層撮影システムは、Ｘ線源と、画像平面を定めるためのＸ線検出器と、被測定物体をＸ線源とＸ線検出器との間に固定するための固定ベースと、を含む。

しかしながら、Ｘ線断層撮影システムにより取得された画像は、その自体の構造に制限される。例としては、被測定物体が固定ベースに放置されて、Ｘ線源が上記被測定物体の上方からＸ線を放射する場合、このＸ線は、被測定物体を透過する。この場合、別の物体が被測定物体の下方に放置されると、上記別の物体は、被測定物体に遮られる。更に、別の物体が実際に上記被測定物体の欠陥であり、例えば、別の物体は被測定物体と同一の素子であるが、この素子が破損して上記２つの部分（例えば：別の物体と被測定物体）に分けてしまう場合、被測定物体の欠陥が被測定物体に遮られるため、被測定物体の欠陥がＸ線断層撮影システムに無視されることになる。

これにより、上記従来の方法には、明らかに不便と欠陥があり、改善しなければならないことが判明される。上記問題を解決するために、関連分野では、みな工夫して解決策を図っているが、適当な解決方案が長い間も開発されていない。

発明の内容は、本開示内容の簡略化された要約を提供して、読者に本開示内容を基本的に理解させることを目的とする。この発明の内容は、本開示内容の完璧な概述ではなく、本発明の実施例の重要／大事な素子を指摘し又は本発明の範囲を定めることを意図するものでもない。

本発明の内容の目的は、検査システム及び検査システムの制御方法を提供して、先行技術の問題を改善することにある。

上記目的を達成するために、本発明の内容の一技術態様は、放射線源と、画像検出器と、前記放射線源と前記画像検出器との間に配置される放置装置と、を備え、前記放射線源及び画像検出器が共に駆動されて予定経路に沿って移動され、前記放置装置が少なくとも１つの物体を載置するための載置器と、載置器に結合されており、前記載置器を回転させるための回転機構と、を含む検査システムに関する。

上記目的を達成するために、本発明の内容の別の技術態様は、放射線源と、画像検出器と、放射線源と画像検出器との間に配置され、載置器及び回転機構を含む放置装置と、を含む検査システムの制御方法であって、 放射線源及び画像検出器を駆動して予定経路に沿って移動させる工程と、 載置器により物体を載置する工程と、 回転機構により載置器を回転させる工程と、 を備える検査システムの制御方法に関する。

そのため、本発明の技術内容によると、本発明の実施例は、検査システム及び検査システムの制御方法を提供することで、被測定物体が障害物に元々上記物体を測定するためのＸ線放射線を遮られて、上記物体がＸ線断層撮影法により測定されない問題を改善する。

以下の実施形態を参照すると、当業者であれば、本発明の基本的な精神、他の発明の目的、及び本発明の採用した技術手段と実施態様を容易に理解すべきである。

下記図面の説明は、本発明の前記又は他の目的、特徴、メリット、実施例をより分かりやすくするためのものである。
本発明の一実施例に係る検査システムを示す模式図である。 本発明の別の実施例に係る検査システムを示す操作模式図である。 本発明のまた別の実施例に係る検査システムを示す測定画像模式図である。 本発明のまた一つの実施例に係る検査システムを示す部分構造模式図である。 本発明の別の実施例に係る検査システムを示す操作模式図である。 本発明のまた別の実施例に係る検査システムを示す測定画像模式図である。 本発明の一実施例に係る検査システムを示す被測定物模式図である。 本発明の別の実施例に係る検査システムを示す被測定物測定画像模式図である。 本発明のまた別の実施例に係る検査システムを示す被測定物測定画像模式図である。 本発明の一実施例に係る検査システムを示す被測定物模式図である。 本発明の別の実施例に係る検査システムを示す被測定物測定画像模式図である。 本発明のまた別の実施例に係る検査システムを示す被測定物測定画像模式図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの制御方法を示すフロー図である。

慣用の作業方式によると、図における各種の特徴と素子は、比例に応じて描かれたものではないが、本発明に関連する具体的な特徴と素子を最適となるように呈するものである。また、異なった図には、同じ又は類似な素子符号で類似な素子／部品を指す。

本開示内容の記述をより詳細化して、充実させるためには、以下、本発明の実施態様と具体的な実施例について、説明的な描述を提出するが、これは本発明の具体的な実施例を実施又は運用する唯一の形式ではない。実施形態には、複数の具体的な実施例の特徴、及びこれらの具体的な実施例を構築し操作するための方法工程及びその順序が含まれる。しかしながら、他の具体的な実施例によって、同じ又は均等な機能と工程順序を達成してもよい。

本明細書では、特に定義されていない限り、ここに用いる科学技術用語の意味は、当業者に理解された慣用の意義と同じである。また、前後の内容と食い違わない限り、本明細書に用いた単数の名詞が当該名詞の複数形を含むが、複数の名詞を用いる場合も当該名詞の単数形を含む。

また、本文に用いた「結合」とは、２つ又は複数の素子が互いに直接実体的又は電気的に接触し、或いは、互いに間接実体的又は電気的に接触することを指し、２つ又は複数の素子が互いに操作又は動作することを指してもよい。

図１は、本発明の一実施例に係る検査システムを示す模式図である。図１に示すように、検査システムは、放射線源１１０と、画像検出器１２０と、放置装置１３０と、を備える。上記画像検出器１２０は、複数の線形検出器（ｌｉｎｅ ｄｅｔｅｃｔｏｒ）又は面積検出器（ａｒｅａ ｄｅｔｅｃｔｏｒ）であってもよいが、それに限定されない。接続関係から見れば、放置装置１３０が放射線源１１０と画像検出器１２０との間に配置される。

操作において、放置装置１３０は、測定するために物体６００を載置することに用いる。放射線源１１０は、Ｘ線放射線のような、物体６００を通過する放射線を提供する。画像検出器１２０は、物体６００を透過したＸ線放射線を取得して、物体６００の画像を発生させることに用いる。

上記物体６００の画像を更に取得するために、放射線源１１０及び画像検出器１２０は、駆動されて予定経路５００に沿って移動する。放射線源１１０が駆動されて予定経路５００に沿って移動し、画像検出器１２０が異なった角度から物体６００を透過したＸ線放射線を取得できるため、物体６００の完璧な画像を発生させることができる。そして、上記物体６００の画像を分析することで、物体６００の欠陥を測定することができる。

本発明の別の実施例に係る検査システムを示す操作模式図である図２を参照する。図２に示すように、放射線源１１０及び画像検出器１２０は、駆動されて異なった方向に沿って移動することができる。例としては、放射線源１１０が駆動されて経路５１０に沿って移動し、画像検出器１２０が駆動されて経路５２０に沿って移動し、図面によると、経路５１０及び経路５２０がそれぞれ異なった方向に向かう。放射線源１１０と画像検出器１２０が駆動されて共に同じ方向へ移動する場合に比べ、図２に示すように駆動されると、放射線源１１０及び画像検出器１２０が駆動されて異なった方向に沿って移動するため、Ｙ方向と放射線の方向８９０との間に大角度の夾角θが発生して、画像検出器１２０が異なった角度から物体６００を透過したより多くの放射線を取得して、より多くの画像を発生させることができる。これにより、上記のように得られた放射線を分析すると、物体６００のより正確な画像を取得することができる。

図２を参照されたい。物体６００は、例えば、第１の部分６１０及び第２の部分６３０の２つの部分を含む。しかしながら、図３を参照されたい。図３は、本発明のまた別の実施例に係る検査システムの物体６００を示す測定画像模式図である。図に示すように、第１の部分６１０及び第２の部分６３０の画像が重なり合わせる。図３に示す物体６００の画像を分析すると、物体６００は、単一の部分しか有しないと認められる。

上記物体６００は、回路基板（ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）であってもよい。物体６００が２つの部分を有するのは、上記２つの部分の間に欠陥又は欠点を有し、物体６００が２つの部分に分けられるからかもしれない。そのため、物体６００が図３に示す測定結果のように単一の部分しか含まないと認められれば、物体６００の第１の部分６１０と第２の部分６３０との間の欠陥又は欠点は無視されてしまう。つまり、物体６００内の欠陥又は欠点は測定されない。

上記欠陥又は欠点が無視されないようにするためには、検査システムの放置装置１３０は、載置器１３１と、回転機構１３２と、更に含む。これについては、図４を参照されたい。図４は、本発明のまた一つの実施例に係る検査システムを示す部分構造模式図である。図４に示すように、回転機構１３２は、載置器１３１に結合されることに用いる。操作において、載置器１３１は、少なくとも１つの物体を載置することに用いるが、回転機構１３２は、載置器１３１を回転させることに用いる。載置器１３１に載置された物体が回転機構１３２に連動されて回転するため、画像検出器１２０は、異なった角度の放射線を取得して、より多くの物体の画像を発生させることができる。これにより、物体の分析結果がより正確となって、物体内における各種の欠陥又は欠点が何れも測定される。

図５は、本発明の別の実施例に係る検査システムを示す操作模式図である。図２に示す検査システムと比べ、図５に示す検査システムは、図４に示した載置器１３１を回転させる回転機構１３２を更に備える。そのため、放射線源１１０が第１の方向８９０へＸ線放射線１１２を放射すると、載置器１３１は、第１の方向８９０が第２の方向７９０に平行にするように、回転機構１３２によって第２の方向７９０に回転させることができる。このように、Ｘ線放射線１１２が物体６００の側面を透過することができ、画像検出器１２０が物体６００の側面を透過したＸ線放射線１１２を検出し、物体６００の側面の画像を得ることができる。

図５に示す操作によって取得した画像については、図６を参照されたい。物体６００の側面の画像を取得するため、物体６００の第１の部分６１０及び第２の部分６３０の画像が検査システムにより識別され、互いに重なり合わせることはなく、物体６００内の欠陥又は欠点は測定される。

図４を参照されたい。別の実施例において、回転機構１３２は、載置器１３１を軸方向１３３に沿って予定角度θで回転させるように制御することに用いる。例としては、軸方向１３３がＸ軸で、且つ載置器１３１がＸ軸及びＹ軸からなる平面１３７に位置する場合、回転機構１３２は、載置器１３１を平面１３７からＸ軸に沿って上記予定角度θで回転させるように制御することができる。ある実施例において、上記予定角度θは、３０°以内である。その他の実施例において、上記予定角度θは、２０°以内である。また一つの実施例において、上記予定角度θは、１０°以内である。

図４及び図５を合わせて参照されたい。一実施例において、軸方向１３３は、図４に示すように、Ｘ方向に位置する。また、放射線源１１０は、図５に示すＹＺ平面に沿って方向８９０へＸ線放射線１１２を放射する。そのため、Ｘ線放射線１１２の方向８９０は、軸方向１３３に垂直である。これにより、物体は、図４に示す回転機構１３２によりＸ軸に沿って回転させられて、物体６００の側面を図５に示す放射線源１１０に向かせ、Ｘ線放射線１１２がこれにより物体６００の側面を透過する。なお、物体６００を透過したＸ線放射線１１２は、画像検出器１２０に取得されて、物体６００の側面の画像が得られる。物体６００の側面の画像を分析することで、物体６００の各部分が検査システムにより正確に識別され、物体６００内における欠陥又は欠点がそれにより測定される。

図４を参照されたい。一実施例において、放置装置１３０は、回転機構１３２を移動させることができるように回転機構１３２に結合される移動機構１３６を更に含む。別の実施例において、移動機構１３６は、レール１３４及びレバー１３５を含む。レバー１３５は、Ｘ軸に沿ってレール１３４において摺動できるように、回転機構１３２に結合される。レバー１３５がＸ軸に沿ってレール１３４において摺動でき、これに基づいて、レバー１３５に結合された回転機構１３２もＸ軸に沿って摺動することができる。

図１を参照されたい。一実施例において、放射線源１１０及び画像検出器１２０は、物体６００の画像を取得するために、相対的に駆動されてもよい。図４及び図５を合わせて参照されたい。別の実施例において、放射線源１１０、画像検出器１２０、載置器１３１、回転機構１３２は、独立に駆動されてもよい。これにより、画像検出器１２０は、より多くの異なった角度の放射線を取得して、より多くの画像を発生させて、物体６００の分析結果の精度を向上させることができる。

ある実施例において、回転機構１１０は、ステッピングモータ（ｓｔｅｐｐｉｎｇ ｍｏｔｏｒ）又はサーボモータ（ｓｅｒｖｏｍｏｔｏｒ）であってもよい。別の実施例において、画像検出器１２０は、電荷結合素子（ｃｈａｒｇｅ ｃｏｕｐｌｅ ｄｅｖｉｃｅ；ＣＣＤ）であってもよい。

図７Ａは、本発明の一実施例に係る検査システムの被測定物の構造７００を示す模式図である。図７Ａに示す構造７００は、２つの球体７１０、７２０及び２つの層状の構造７４０、７５０を含むパッケージオンパッケージ（ｐａｃｋａｇｅ ｏｎ ｐａｃｋａｇｅ；ＰＯＰ）構造である。検査システムの検査方法によって、図７Ｂ及び図７Ｃに示すような構造７００の検査結果が取得される。まず、図４に示す放置装置１３０の載置器１３１及び回転機構１３２を採用していない検査システムによる測定結果は、図７Ｂに示すようなものである。図７Ｂにおいて、球体７１０、７２０の画像が互いに重なり合わせて、間違った画像７３０が発生する。図７Ｂに示す分析結果によると、構造７００は、単一の部分しか含まないと考えられる。

図７Ｂに対して、図４に示す放置装置１３０の載置器１３１及び回転機構１３２を採用した検査システムによる測定結果は、図７Ｃに示すようなものである。図７Ｃにおいて、構造７００の球体７１０、７２０の画像が重なり合わせなく、間違った画像７３０が発生することはない。これにより、構造７００の各球体は、検査システムにより明確に識別される。

図８Ａは、本発明の一実施例に係る検査システムの構造８００を示す模式図である。図８Ａに示す構造８００は、半田ボール８１０及び半田ペースト８３０を含む、ボールグリッドアレー（ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ；ＢＧＡ）内に形成された枕不良（ｈｅａｄ ｉｎ ｐｉｌｌｏｗ；ＨＩＰ）である。検査システムの検査方法によって、図８Ｂ及び図８Ｃに示すような、構造８００の検査結果が取得される。まず、図４に示す放置装置１３０の載置器１３１及び回転機構１３２を採用していない検査システムによる測定結果は、図８Ｂに示すようなものである。図８Ｂにおいて、半田ボール８１０及び半田ペースト８３０の画像が互いに重なり合わせる。図８Ｂに示す分析結果によると、構造８００は、単一の部分しか含まないと考えられる。そのため、構造８００内のＨＩＰは、無視されてしまう。

図８Ｂに対して、図４に示す放置装置１３０の載置器１３１及び回転機構１３２を採用した検査システムによる測定結果は、図８Ｃに示すようなものである。図８Ｃにおいて、構造８００の半田ボール８１０及び半田ペースト８３０の画像は、重なり合わせていない。そのため、構造８００の半田ボール８１０及び半田ペースト８３０は、検査システムにより明確に識別される。これにより、構造８００内におけるＨＩＰは測定される。

図９は、本発明の一実施形態に係る検査システムの制御方法９００を示すフロー図である。検査システムは、放射線源と、画像検出器と、放置装置と、を備える。また、放置装置は、載置器と、回転機構と、を含む。構造上、放置装置が放射線源と画像検出器との間に配置される。検査システムの制御方法９００は、 放射線源及び画像検出器を駆動して予定経路に沿って移動させる工程９１０と、 載置器により物体を載置する工程９２０と、 回転機構により載置器を回転させる工程９３０と、を備える。

検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図１、図４及び図９を合わせて参照する。検査システムは、放射線源１１０と、画像検出器１２０と、放置装置１３０と、を含む。また、放置装置１３０は、載置器１３１及び回転機構１３２を含む。構造上、放置装置１３０が放射線源１１０と画像検出器１２０との間に配置される。工程９１０において、放射線源１１０及び画像検出器１２０が駆動されて予定経路５００に沿って移動する。工程９２０において、載置器１３１は、物体６００を載置することに用いる。工程９３０において、回転機構１３２は、載置器１３１を回転させることに用いる。

一実施例において、検査システムの制御方法９００は、放射線源により第１の方向へＸ線放射線を放射する工程と、回転機構により載置器を第２の方向まで回転させて、第１の方向が第２の方向に平行させる工程と、を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図５を参照する。放射線源１１０が第１の方向８９０へＸ線放射線１１２を放射すると、回転機構１３２は、載置器１３１を第２の方向７９０まで回転させて、第１の方向８９０を第２の方向７９０に平行させることに用いる。

別の実施例において、検査システムの制御方法９００は、画像検出器により物体を透過したＸ線放射線を検出して、物体の側面の画像を取得する工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図５を参照する。画像検出器１２０は、物体６００の側面を透過したＸ線放射線１１２を検出して、物体６００の側面の画像を取得することに用いる。

また一つの実施例において、検査システムの制御方法９００は、回転機構により載置器を軸方向に沿って予定角度で回転させるように制御する工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図４を参照する。回転機構１３２は、載置器１３１を軸方向１３３に沿って予定角度θで回転させるように制御することに用いる。

また別の実施例において、検査システムの制御方法９００は、放射線源により、方向が軸方向に垂直であるＸ線放射線を一方向へ放射する工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図４及び図５を合わせて参照されたい。放射線源１１０は、方向８９０へ、方向８９０が軸方向１３３に垂直であるＸ線放射線１１２を放射することに用いる。

別の実施例において、検査システムの制御方法９００は、移動機構に沿って回転機構を移動させる工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図４を参照する。回転機構１３２は、移動機構１３６に沿って移動されてよい。

また一つの実施例において、検査システムの制御方法９００は、放射線源及び画像検出器を相対的に駆動する工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図１を参照する。放射線源１１０及び画像検出器１２０は、物体６００の画像を取得するために、相対的に駆動される。

また別の実施例において、検査システムの制御方法９００は、放射線源、画像検出器、載置器及び回転機構を独立に駆動する工程を更に備える。検査システムの制御方法９００を分かりやすくするために、図４及び図５を合わせて参照されたい。放射線源１１０、画像検出器１２０、載置器１３１及び回転機構１３２は、独立に駆動されることができる。これにより、画像検出器１２０は、より多くの異なった角度の放射線を取得して、より多くの画像を発生させて、物体６００の分析結果の精度を向上させることができる。

上記本発明の実施形態により、本発明を適用すれば、下記のメリットを有することが判明される。本発明の実施例は、検査システム及び検査システムの制御方法９００を提供することによって、被測定物体が障害物に元々上記物体を測定するためのＸ線放射線を遮られて、上記物体がＸ線断層撮影法により測定されない問題を改善する。

本発明の具体的な実施例を実施形態で前述の通り開示したが、本発明を限定するためのものではなく、当業者であれば、本発明の原理と精神から逸脱しない限り、多様の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の保護範囲は、添付の特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。

１１０ 放射線源 １１２ Ｘ線放射線 １２０ 画像検出器 １３０ 放置装置 １３１ 載置器 １３２ 回転機構 １３３ 軸方向 １３４ レール １３５ レバー １３６ 移動機構 １３７ 平面 ５００ 予定経路 ５１０、５２０ 経路 ６００ 物体 ６１０ 第１の部分 ６３０ 第２の部分 ７００、８００ 構造 ７１０、７２０ 球体 ７３０ 間違った画像 ７４０、７５０ 層状構造 ７９０ 第２の方向 ８１０ 半田ボール ８３０ 半田ペースト ８９０ 第１の方向 ９００ 検査システムの制御方法 ９１０〜９３０ 工程

Claims (20)

1. 放射線源と、 画像検出器と、 前記放射線源と前記画像検出器との間に配置される放置装置と、 を備え、
   前記放射線源及び画像検出器が共に駆動されて予定経路に沿って移動され、前記放置装置が少なくとも１つの物体を載置するための載置器と、前記載置器に結合されており、前記載置器を回転させるための回転機構と、を含む検査システム。
2. 前記放射線源が第１の方向へＸ線放射線を放射すると、前記回転機構は、前記載置器を第２の方向まで回転させて、前記第１の方向を前記第２の方向に平行させることに用いる請求項１に記載の検査システム。
3. 前記画像検出器は、前記物体を透過した前記Ｘ線放射線を検出して、前記物体の側面の画像を取得することに用いる請求項２に記載の検査システム。
4. 前記回転機構は、前記載置器を軸方向に沿って予定角度で回転させるように制御することに用いる請求項１に記載の検査システム。
5. 前記放射線源は、方向が前記軸方向に垂直であるＸ線放射線を一方向へ放射する請求項４に記載の検査システム。
6. 前記予定角度は、３０°以内である請求項４又は請求項５に記載の検査システム。
7. 前記放置装置は、 前記回転機構に結合されており、前記回転機構を移動させる移動機構を更に含む請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査システム。
8. 前記放射線源、前記画像検出器、前記載置器及び前記回転機構は、それぞれ独立に駆動される請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査システム。
9. 前記放射線源及び前記画像検出器は、相対的に駆動される請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査システム。
10. 前記回転機構は、ステッピングモータ及びサーボモータの少なくとも１つを含む請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の検査システム。
11. 放射線源と、画像検出器と、前記放射線源と前記画像検出器との間に配置され、載置器及び回転機構を含む放置装置と、を含む検査システムの制御方法であって、 前記放射線源及び前記画像検出器を駆動して予定経路に沿って移動させる工程と、 前記載置器により物体を載置する工程と、 前記回転機構により前記載置器を回転させる工程と、 を備える検査システムの制御方法。
12. 前記放射線源により第１の方向へＸ線放射線を放射する工程と、 前記回転機構により前記載置器を第２の方向まで回転させて、前記第１の方向を前記第２の方向に平行させる工程と、 を更に備える請求項１１に記載の方法。
13. 前記画像検出器により前記物体を透過した前記Ｘ線放射線を検出して、前記物体の側面の画像を取得することを更に備える請求項１２に記載の方法。
14. 前記回転機構により前記載置器を軸方向に沿って予定角度で回転させるように制御することを更に備える請求項１１に記載の方法。
15. 前記放射線源により、方向が前記軸方向に垂直であるＸ線放射線を一方向へ放射する工程を更に備える請求項１４に記載の方法。
16. 前記予定角度は、３０°以内である請求項１４又は請求項１５に記載の方法。
17. 移動機構に沿って前記回転機構を移動させる工程を更に備える請求項１１から請求項１６のいずれか一項に記載の方法。
18. 前記放射線源、前記画像検出器、前記載置器及び前記回転機構を独立に駆動する工程を更に備える請求項１１から請求項１７のいずれか一項に記載の方法。
19. 前記放射線源及び前記画像検出器を相対的に駆動する工程を更に備える請求項１１から請求項１７のいずれか一項に記載の方法。
20. 前記回転機構は、ステッピングモータ及びサーボモータの少なくとも１つを含む請求項１１から請求項１９のいずれか一項に記載の方法。