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HINTERGRUND
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Erfindungsgebiet
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Detektionssystem und ein Verfahren zur Steuerung des Detektionssystems. Genauer gesagt bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Inspektionssystem und ein Verfahren zur Steuerung des Inspektionssystems.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Die zerstörungsfreie Inspektion (Nondestructive inspection (NDI)) von Strukturen beinhaltet die gründliche Untersuchung eine Struktur, ohne dass die Struktur dabei beschädigt wird oder dass es notwendig wird, sie in erheblichem Maße zu demontieren. Zerstörungsfreie Inspektion wird typischerweise bevorzugt, um Zeit, Arbeitskraft und Kosten zu vermeiden, die mit der Entfernung eines Bauteils zum Zwecke von dessen Inspektion verbunden sind, sowie um die Gefahr zur Beschädigung der Struktur zu umgehen.
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Unter den NDI-Technologien stellt die Röntgenlaminographie eine Bildgebungstechnik dar, bei welcher Querschnittsbilder von ausgewählten Ebenen innerhalb eines Testobjekts zum Zwecke der Inspektion generiert werden. Konventionellerweise umfasst ein Röntgenlaminographie-System eine Röntgenquelle, Röntgen-Detektoren, die eine Bildebene definieren, sowie eine Halterungsgrundplatte zur Platzierung des zu durchleuchtenden Testobjekts zwischen der Röntgenquelle und den Detektoren.
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Allerdings ist ein Bild, welches von dem Röntgenlaminographie-System gewonnen wird, durch den Mechanismus des Röntgenlaminographie-Systems selbst eingeschränkt. So wird beispielsweise das Testobjekt auf der Halterungsgrundplatte platziert, und die Röntgenquelle wird über dem Testobjekt angeordnet, um den Röntgenstrahl durch das Testobjekt zu senden. Wenn ein anderes Objekt unter dem Testobjekt platziert wird, wird das andere Objekt durch das Testobjekt blockiert. Wenn außerdem ein anderes Objekt die Erkennung eines Defekts des Testobjekts hervorruft, wird der Defekt des Testobjekts von dem Röntgenlaminographie-System nicht erkannt, da der Defekt von dem Testobjekt blockiert wird.
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In Anbetracht des zuvor Gesagten weisen existierende Produkte Probleme und Nachteile auf, die auf weitere Verbesserungen warten.
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Die
DE 10 2010 010 723 A1 offenbart eine Laminographieanlage, in der sowohl die Strahlenquelle verschiebar und rotierbar, als auch der Detektor, sowie der Objektschlitten unabhängig davon verschiebbar und rotierbar ist.
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Die
US 2005/0074088 A1 offenbart eine Anordnung und ein Verfahren zur Röntgenuntersuchung, bei der sowohl ein Objektträger, als auch ein Detektor unabhängig voneinander, mittels einer Schwingvorrichtung, frei rotierbar ist.
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Levakhina, Y.M. [et al.]: A dual-axis tilt acquisition geometry for digital musculoskeletal tomosynthesis, In: Physics in Medicine and Biology 58 (2013), 4827-4248 beschreibt eine „Digitale Tomosynthese“ Methode, bei der ein Objektträger um zwei senkrecht aufeinander stehenden Achsen gedreht werden kann.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Die folgende Zusammenfassung stellt eine vereinfachte Zusammenfassung der Offenbarung dar, welche dazu gedacht ist, dem Leser ein grundlegendes Verständnis zu vermitteln. Bei dieser Zusammenfassung handelt es sich weder um eine umfassende Übersicht der Offenbarung noch werden darin alle Schlüsselelemente bzw. kritischen Elemente der vorliegenden Erfindung identifiziert oder der Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung begrenzt.
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Ein Aspekt der vorliegenden Offenbarung betrifft ein Inspektionssystem. Das Inspektionssystem umfasst eine Strahlungsquelle, einen Bilddetektor und eine Platzierungsvorrichtung. Die Platzierungsvorrichtung umfasst einen Träger und einen Rotationsmechanismus. Was die Anordnung anbelangt, so ist die Platzierungsvorrichtung eingerichtet, um zwischen der Strahlungsquelle und dem Bilddetektor angeordnet zu werden, und der Rotationsmechanismus ist eingerichtet, um mit dem Träger verbunden zu werden . Was die Betriebsweise anbelangt, werden die Strahlungsquelle und der Bilddetektor so angetrieben, dass sie entlang eines zuvor bestimmten Pfades in der x-y-Richtung eines kartesischen Koordinatensystems bewegt werden, der Träger ist eingerichtet, um mindestens ein Objekt zu tragen, und der Rotationsmechanismus ist eingerichtet, um den Träger um eine Rotationsachse zu drehen, wobei die Rotationsachse entlang der x-Achse und entlang der Oberfläche des Trägers verläuft. Wenn die Strahlungsquelle eingerichtet ist, um Röntgenstrahlung in einer ersten Richtung auszusenden, ist der Rotationsmechanismus eingerichtet, um den Träger so zu drehen, so dass die erste Richtung parallel zur Ausrichtung des Trägers verläuft.
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Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Offenbarung bezieht sich auf ein Verfahren zur Steuerung des Inspektionssystems. Das Verfahren umfasst:
- Antrieb der Strahlungsquelle und des Bilddetektors, so dass sie sich entlang eines zuvor bestimmten Pfades in der x-y-Richtung bewegen;
- Tragen eines Objekts durch den Träger; und
- Drehung des Trägers durch den Rotationsmechanismus.
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In Anbetracht des zuvor Gesagten liefern Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung ein Inspektionssystem und ein Verfahren zur Steuerung desselben, um das Problem zu lösen, dass wenn ein Objekt von einem anderen Objekt vom Röntgenstrahl abgeschirmt wird, dieses Objekt von dem Röntgenlaminographie-System nicht erkannt werden kann.
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Diese und andere Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung sowie die technischen Mittel und Ausführungsformen, welche in der vorliegende Erfindung zum Einsatz kommen, werden unter Bezugnahme auf die folgende Beschreibung im Zusammenhang mit den dazugehörigen Zeichnungen und den angehängten Patentansprüchen besser verständlich gemacht.
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Figurenliste
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Die Erfindung kann durch das Lesen der folgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsform umfassender nachvollzogen werden, wobei wie folgt auf die dazugehörigen Zeichnungen Bezug genommen wird:
- 1 ist ein schematisches Diagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 2 ist ein Betriebsdiagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 3 ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 4 ist ein schematisches Diagramm eines Abschnitts eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 5 ist ein Betriebsdiagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 6 ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 7A ist ein schematisches Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegende Erfindung getragen wird;
- 7B ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem getragen wird;
- 7C ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung getragen wird;
- 8A ist ein schematisches Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung getragen wird;
- 8B ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem getragen wird;
- 8C ist ein Inspektionsergebnis-Diagramm einer Struktur, die von einem Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung getragen wird;
- 9 ist ein Flußdiagramm, welches die Verfahrensschritte eines Verfahrens zur Steuerung eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung illustriert.
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In Übereinstimmung mit der gängigen Praxis werden die verschiedenen beschriebenen Merkmale/Elemente nicht maßstabsgerecht dargestellt, sondern sind so gezeichnet, dass sie spezifische Merkmale/Elemente, welche für die vorliegende Erfindung relevant sind, auf bestmögliche Weise illustrieren. Außerdem werden in den Zeichnungen und der Beschreibung, wann immer dies möglich ist, ähnliche oder identische Referenzzahlen verwendet, um dieselben oder ähnliche Teile zu bezeichnen.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
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Die detaillierte Beschreibung, welche im Folgenden im Zusammenhang mit den angehängten Zeichnungen gegeben wird, ist als eine Beschreibung der vorliegenden Beispiele gedacht, wobei sie keineswegs dahingehend aufzufassen ist, dass sie die einzigen Formen darstellt, in denen das vorliegenden Beispiel konstruiert oder verwendet werden kann. Die Beschreibung legt die Funktionen des Beispiels sowie die Abfolge von Schritten zur Konstruktion und Bedienung des Beispiels dar. Allerdings können dieselben oder äquivalente Funktionen und Sequenzen mittels anderer Beispiele umgesetzt werden.
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Sofern dies hier nicht anderweitig definiert wird, sollen die wissenschaftlichen und technischen Fachbegriffe, die in der vorliegenden Offenbarung verwendet werden, jeweils die Bedeutung haben, in der sie üblicherweise verstanden und von einer auf diesem Gebiet fachkundigen Person verwendet werden.
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1 ist ein schematisches Diagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Wie in 1 gezeigt wird, umfasst das Inspektionssystem eine Strahlungsquelle 110, einen Bilddetektor 120, der aus einer Vielzahl von linearen Detektoren oder einem Flächendetektor bestehen kann aber nicht hierauf begrenzt ist, und eine Platzierungsvorrichtung 130. Was die Anordnung anbelangt, so ist die Platzierungsvorrichtung 130 eingerichtet, um zwischen der Strahlungsquelle 110 und dem Bilddetektor 120 angeordnet zu werden.
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Was die Betriebsweise anbelangt, so ist die Platzierungsvorrichtung 130 eingerichtet, um ein zur Untersuchung bestimmtes Objekt 600 zu tragen. Die Strahlungsquelle 110 ist eingerichtet, um Strahlung, beispielsweise Röntgenstrahlung, aussenden zu können, so dass diese das Objekt 600 durchdringt. Der Bilddetektor 120 ist eingerichtet, um den Röntgenstrahl einzufangen, welcher das Objekt 600 durchdringt, um Bilder vom Objekt 600 zu generieren.
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Um die zuvor erwähnten Bilder vom Objekt 600 zu gewinnen, werden die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 so angetrieben, dass sie entlang eines zuvor bestimmten Pfades 500 bewegt werden. Da die Strahlungsquelle 110 so angetrieben wird, dass sie entlang des zuvor bestimmten Pfades 500 bewegt wird, kann der Bilddetektor 120 den Röntgenstrahl, welcher das Objekt 600 durchdringt, aus verschiedenen Winkeln einfangen, so dass Bilder vom Objekt 600 generiert werden können. Durch eine Analyse der Bilder vom Objekt 600 können Defekte des Objekts 600 ermittelt werden.
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Nun wird auf 2 Bezug genommen, bei der es sich um ein Betriebsdiagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung handelt. Wie in 2 ersichtlich ist, werden die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 so angetrieben, dass sie in unterschiedliche Richtungen bewegt werden. Beispielsweise wird die Strahlungsquelle 110 so angetrieben, dass sie entlang eines Pfades 510 bewegt wird, der Bilddetektor 120 wird so angetrieben, dass er in einem Pfad 520 bewegt wird, und die Bewegungsrichtungen des Pfades 510 und des Pfades 520 sind einander entgegengesetzt. Im Vergleich zu dem Fall, dass die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 so angetrieben werden, dass sie sich in dieselbe Richtung bewegen, ist der Winkel θ zwischen der Y-Richtung und der Richtung 800 der Strahlung von der Strahlungsquelle 110 in 2 größer, und der Bilddetektor 120 kann mehr Strahlung aus verschiedenen Winkeln einfangen, um mehr Bilder zu generieren. Somit fällt das analytische Ergebnis des Objekts 600 genauer aus.
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Was 2 anbelangt, so umfasst das Objekt 600 zwei Abschnitte, beispielsweise einen ersten Abschnitt 610 und einen zweiten Abschnitt 630. Wie allerdings aus 3, bei der es sich um ein vom Inspektionssystem generiertes Inspektionsergebnis für das Objekt 600 handelt, ersichtlich ist, überlagern sich die Bilder des ersten Abschnitts 610 und des zweiten Abschnitts 630. Gemäß dem analytischen Ergebnis der Bilder vom Objekt 600 in 3 wird davon ausgegangen, dass das Objekt 600 nur einen Abschnitt hat.
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Bei dem Objekt 600 kann es sich beispielsweise um eine gedruckte Leiterplatte (PCB) handeln; wenn das Objekt 600 zwei Abschnitte hat, kann ein Defekt zwischen den zuvor genannten zwei Abschnitten vorliegen. Wenn basierend auf dem analytischen Ergebnis der Bilder aus 3 davon ausgegangen wird, dass das Objekt 600 nur einen Abschnitt aufweist, könnte der Defekt zwischen dem ersten Abschnitt 610 und dem zweiten Abschnitt 630 des Objekts 600 somit unerkannt bleiben. Dies heißt, dass der Defekt, welcher in der PCB vorliegt, unerkannt bleiben könnte.
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Um zu vermeiden, dass der oben genannte Defekt unerkannt bleibt, umfasst die Platzierungsvorrichtung 130 des Inspektionssystems ferner einen Träger 131 und einen Rotationsmechanismus 132, wie dies in 4, bei der es sich um ein schematisches Diagramm eines Abschnitts des Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung handelt, gezeigt wird. Wie aus 4 zu erkennen ist, ist der Rotationsmechanismus 132 eingerichtet, um mit dem Träger 131 verbunden zu werden. Im Betriebszustand ist der Träger 131 eingerichtet, um mindestens ein Objekt zu tragen, und der Rotationsmechanismus 132 ist eingerichtet, um den Träger 131 zu drehen. Da das Objekt, das von dem Träger 131 getragen wird, vom Rotationsmechanismus 132 gedreht werden kann, kann der Bilddetektor 120 sogar noch mehr Strahlung aus verschiedenen Winkeln einfangen, um eine noch größere Anzahl von Bildern zu generieren. Somit fällt das analytische Ergebnis zu dem Objekt sehr viel genauer aus, und jeder Defekt, der in dem Objekt vorliegt, kann ermittelt werden.
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5 ist ein Betriebsdiagramm eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Verglichen mit dem Inspektionssystem in 2 umfasst das Inspektionssystem in 5 außerdem noch den Rotationsmechanismus 132, wie dies in 4 gezeigt wird, um den Träger 131 zu drehen. Wenn die Strahlungsquelle 110 also eingerichtet, um den Röntgenstrahl 112 in einer ersten Richtung 800 auszusenden, ist der Rotationsmechanismus 132 eingerichtet, um den Träger 131 in eine zweite Richtung 700 zu drehen, so dass die erste Richtung 800 parallel zu der zweiten Richtung 700 liegt. Als solches bewegt sich der Röntgenstrahl 112 durch eine laterale Seite des Objekts 600, und der Bilddetektor 120 ist eingerichtet, um den Röntgenstrahl 112 zu detektieren, welcher die laterale Seite des Objekts 600 durchdringt, um eine laterale bzw. seitliche Ansicht vom Objekt 600 zu gewinnen.
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Das im Zuge der Inspektionsoperation in 5 gewonnene Inspektionsergebnis wird in 6 gezeigt. Da die seitliche Ansicht von dem Objekt 600 gewonnen werden kann, überlagern sich die Bilder des ersten Abschnitts 610 und des zweiten Abschnitts 630 des Objekts 600 nicht. Somit kann jeder Abschnitt des Objekts 600 durch das Inspektionssystem klar erkannt werden, und der Defekt, der zwischen den Abschnitten des Objekts 600 vorlag, wird somit erkannt.
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Im Folgenden wird auf 4 Bezug genommen. In einer Ausführungsform ist der Rotationsmechanismus 132 eingerichtet, um den Träger 131 so zu steuern, dass dieser sich unter einem zuvor festgelegten Winkel θ um eine Achse 133 dreht. Wenn es sich bei der Achse 133 beispielsweise um eine X-Achse handelt und der Träger 131 sich an einer Ebene 137 befindet, welche aus der X-Achse und der Y-Achse zusammengesetzt ist, kann der Rotationsmechanismus 132 den Träger 131 so steuern, dass dieser sich von der Ebene 137 aus unter dem zuvor festgelegten Winkel θ entlang der X-Achse dreht. In einigen Ausführungsformen kann der zuvor festgelegte Winkel θ innerhalb des Bereiches bis dreißig Grad liegen. In einer weiteren Ausführungsform kann der zuvor festgelegte Winkel θ innerhalb des Bereiches bis zwanzig Grad liegen. In einer weiteren Ausführungsform kann der zuvor festgelegte Winkel θ innerhalb des Bereiches bis zehn Grad liegen.
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Es wird nun sowohl auf 4 als auch auf 5 Bezug genommen. In einigen Ausführungsformen ist die Achse 133 in X-Richtung angeordnet, wie dies in 4 gezeigt wird. Außerdem ist die Strahlungsquelle 110 eingerichtet, um Röntgenstrahlen 112 in eine Richtung 800 entlang der YZ-Ebene auszusenden, wie in 5 gezeigt. Somit liegt die Richtung 800 des Röntgenstrahls 112 senkrecht zu der Achse 133. Deshalb kann, wie in 4 gezeigt, das Objekt vom Rotationsmechanismus 132 entlang der X-Achse gedreht werden, wodurch bewirkt wird, dass die laterale Seite des Objekts 600 der Strahlungsquelle 110 gegenüber liegt, wie in 5 gezeigt. Der Röntgenstrahl 112 durchdringt somit die laterale Seite des Objekts 600. Nachfolgend wird der Röntgenstrahl 112, welcher das Objekt 600 durchdringt, vom Bilddetektor 120 eingefangen, um die seitliche Ansicht des Objekts 600 zu erhalten. Durch Analyse der seitlichen Ansicht des Objekts 600 kann jeder Abschnitt des Objekts 600 vom Inspektionssystem klar erkennt werden und der Defekt, der zwischen den Abschnitten des Objekts 600 vorlag, kann somit ermittelt werden.
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Was 4 anbelangt, so umfasst die Platzierungsvorrichtung 130 in einigen Ausführungsformen ferner einen Verschiebungsmechanismus 136, und der Verschiebungsmechanismus 136 ist eingerichtet, um mit dem Rotationsmechanismus 132 verbunden zu werden und den Rotationsmechanismus 132 zu verschieben. In einer Ausführungsform umfasst der Verschiebungsmechanismus 136 eine Spur 134 und eine Traverse 135. Die Traverse 135 kann mit dem Rotationsmechanismus 132 verbunden werden, und die Traverse 135 kann über die Spur 134 die X-Achse entlang geschoben werden. Da die Traverse 135 über die Spur 134 entlang der X-Achse geschoben werden kann, kann der Rotationsmechanismus 132, der mit der Traverse 135 verbunden ist, ebenfalls entlang der X-Achse verschoben werden.
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Wie unter Bezugnahme auf 1 deutlich wird, werden in einer Ausführungsform die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 in Abhängigkeit voneinander angetrieben, um Bilder vom Objekt 600 zu erhalten. Es wird nun Bezug genommen sowohl auf 4 als auch auf 5. In einer Ausführungsform werden die Strahlungsquelle 110, der Bilddetektor 120, der Träger 131 und der Rotationsmechanismus 132 unabhängig voneinander angetrieben. Auf diese Weise kann der Bilddetektor 120 sogar noch mehr Strahlung aus verschiedenen Winkeln einfangen, um viel mehr Bilder zu generieren, so dass die Genauigkeit des analytischen Ergebnisses zum Objekt 600 verbessert wird.
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In einigen Ausführungsformen kann der Rotationsmechanismus 110 aus mindestens einem Schrittmotor und/oder einem Servomotor bestehen. In einer anderen Ausführungsform kann es sich bei dem Bilddetektor 120 um ein ladungsgekoppeltes Bauteil (Charged Coupled Device (CCD)) handeln.
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7A ist ein schematisches Diagramm einer Struktur 700, welche von einem Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung getragen wird. Die Struktur 700 ist, wie in 7A gezeigt, eine Package-on-Package(POP)-Struktur, und die Struktur 700 umfasst zwei Kugeln 710, 720 sowie zwei Schichten 740, 750. Die Inspektionsergebnis-Diagramme zu der Struktur 700, welche aus der Inspektion durch das Inspektionssystem stammen, werden in 7B und 7C gezeigt. Zuerst wird das Inspektionsergebnis-Diagramm in 7B vom Inspektionssystem ohne den Träger 131 und den Rotationsmechanismus 132 der Platzierungsvorrichtung 130 aus 4 gewonnen. Wie aus 7B ersichtlich ist, überlagern sich die Bilder der Kugeln 710, 720, und ein verfälschtes Bild 730 entsteht. Gemäß dem analytischen Ergebnis der Bilder in 7B wird davon ausgegangen, dass die Struktur 700 nur einen Abschnitt hat.
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Im Gegensatz zu 7B wird das Inspektionsergebnis-Diagramm in 7C mittels des Inspektionssystems mit dem Träger 131 und dem Rotationsmechanismus 132 der Platzierungsvorrichtung 130 aus 4 gewonnen. Wie aus 7C ersichtlich ist, überlagern sich die Bilder von den Kugeln 710, 720 der Struktur 700 nicht, und es entsteht kein verfälschtes Bild 730. Somit kann jede Kugel der Struktur 700 vom Inspektionssystem klar erkannt werden.
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8A ist ein schematisches Diagramm einer Struktur 800, die vom Inspektionssystem gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung getragen wird. Bei der Struktur 800, wie sie in 8A gezeigt wird, handelt es sich um ein Head-in-Pillow (HIP), welches in einem Ball Grid Array (BGA) gebildet wird, und die Struktur 800 umfasst eine Zinnkugel 810 und eine Zinnpaste 830. Die Inspektionsergebnis-Diagramme zu der Struktur 800, wie sie im Zuge der Inspektion durch das Inspektionssystems gewonnen wurden, werden in 8B und 8C gezeigt. Zuerst wird das Inspektionsergebnis-Diagramm aus 8B durch das Inspektionssystem ohne den Träger 131 und den Rotationsmechanismus 132 der Platzierungsvorrichtung 130 in 4 gewonnen. Wie aus 8B ersichtlich ist, überlagern sich die Bilder der Zinnkugel 810 und der Zinnpaste 830. Gemäß des analytischen Ergebnisses der Bilder in 8B wird die Struktur 800 so aufgefasst, dass sie nur einen Abschnitt hat. Daher könnte das HIP in der Struktur 800 übersehen werden.
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Im Gegensatz zu 8B wird das Inspektionsergebnis-Diagramm in 8C durch das Inspektionssystem mit dem Träger 131 und dem Rotationsmechanismus 132 der Platzierungsvorrichtung 130 aus 4 gewonnen. Wie aus 8C ersichtlich ist, überlagern sich die Bilder der Zinnkugel 810 und der Zinnpaste 830 nicht. Daher können die Zinnkugel 810 und die Zinnpaste 830 der Struktur 800 von dem Inspektionssystem klar erkannt werden, und das HIP, welches in der Struktur 800 vorliegt, kann entdeckt werden.
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9 ist ein Flußdiagramm, das Verfahrensschritte eines Verfahrens 900 zur Steuerung eines Inspektionssystems gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung veranschaulicht. Das Inspektionssystem umfasst eine Strahlungsquelle, einen Bilddetektor und eine Platzierungsvorrichtung. Außerdem umfasst die Platzierungsvorrichtung einen Träger und einen Rotationsmechanismus. Was die Anordnung anbelangt, so ist die Platzierungsvorrichtung eingerichtet, um zwischen der Strahlungsquelle und dem Bilddetektor angeordnet zu werden. Das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems umfasst die folgenden Schritte:
- Schritt 910: Antrieb der Strahlungsquelle und des Bilddetektors, so dass sie sich entlang eines zuvor bestimmten Pfades bewegen;
- Schritt 920: Tragen eines Objekts durch den Träger; und Schritt 930: Drehung des Trägers durch den Rotationsmechanismus.
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Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun Bezug genommen auf 1, 4, und 9. Das Inspektionssystem umfasst die Strahlungsquelle 110, den Bilddetektor 120 und die Platzierungsvorrichtung 130. Außerdem umfasst die Platzierungsvorrichtung 130 den Träger 131 und den Rotationsmechanismus 132. Was die Anordnung anbelangt, ist die Platzierungsvorrichtung 130 eingerichtet, um zwischen der Strahlungsquelle 110 und dem Bilddetektor 120 angeordnet zu werden. In Schritt 910 werden die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 so angetrieben, dass sie entlang eines zuvor bestimmten Pfades 500 bewegt werden. Was Schritt 920 anbelangt, ist der Träger 131 eingerichtet, um das Objekt 600 zu tragen. In Schritt 930 ist der Rotationsmechanismus 132 eingerichtet, um den Träger 131 zu drehen.
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In einer Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner die folgenden Schritte: Aussenden von Röntgenstrahlung in einer ersten Richtung durch die Strahlungsquelle; und Drehung des Trägers in eine zweite Richtung durch den Rotationsmechanismus, so dass die erste Richtung parallel zu der zweiten Richtung verläuft. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun auf 5 Bezug genommen. Wenn die Strahlungsquelle 110 eingerichtet ist, um den Röntgenstrahl 112 in einer ersten Richtung 800 auszusenden, ist der Rotationsmechanismus 132 eingerichtet, um den Träger 131 so zu drehen, so dass die erste Richtung 800 parallel zur Ausrichtung 700 des Trägers 131 verläuft.
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In einer anderen Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner den folgenden Schritt: Detektion des Röntgenstrahls, welcher das Objekt durchdringt, um eine seitliche Ansicht des Objekts durch den Bilddetektor zu erhalten. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun auf 5 Bezug genommen. Der Bilddetektor 120 ist eingerichtet, um den Röntgenstrahl 112 zu detektieren, welcher eine laterale Seite des Objekts 600 durchdringt, um eine seitliche Ansicht des Objekts 600 zu gewinnen.
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In einer weiteren Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner den folgenden Schritt: Steuerung des Trägers 131, so dass sich dieser unter einem zuvor festgelegten Winkel um eine Achse dreht, durch den Rotationsmechanismus. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun Bezug genommen auf 4. Der Rotationsmechanismus 132 ist eingerichtet, um den Träger 131 so zu steuern, dass dieser sich unter einem zuvor festgelegten Winkel θ um eine Achse 133 dreht.
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In einer weiteren Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner den folgenden Schritt: Aussendung eines Röntgenstrahls in einer Richtung durch die Strahlungsquelle, wobei die Richtung des Röntgenstrahls senkrecht zur Achse verläuft. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun sowohl auf 4 als auch auf 5 Bezug genommen. Die Strahlungsquelle 110 ist eingerichtet, um einen Röntgenstrahl 112 in einer Richtung 800 auszusendet, und die Richtung 800 des Röntgenstrahls 112 liegt senkrecht zu der Achse 133.
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In einer weiteren Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner die folgenden Schritte: Verschiebung des Rotationsmechanismus entlang eines Verschiebungsmechanismus. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun Bezug genommen auf 4. Der Rotationsmechanismus 132 wird entlang des Verschiebungsmechanismus 136 verschoben.
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In einer weiteren Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner den folgenden Schritt: Antrieb der Strahlungsquelle und des Bilddetektors in Abhängigkeit voneinander. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun Bezug genommen auf 1. Die Strahlungsquelle 110 und der Bilddetektor 120 werden in Abhängigkeit voneinander angetrieben, um Bilder vom Objekt 600 zu gewinnen.
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In einer weiteren Ausführungsform umfasst das Verfahren 900 zur Steuerung des Inspektionssystems ferner die folgenden Schritte: Antrieb der Strahlungsquelle, des Bilddetektors, des Trägers und des Rotationsmechanismus unabhängig voneinander. Zur Erleichterung des Verständnisses des Verfahrens 900 zur Steuerung des Inspektionssystems wird nun sowohl auf 4 als auch auf 5 Bezug genommen. Die Strahlungsquelle 110, der Bilddetektor 120, der Träger 131 und der Rotationsmechanismus 132 werden unabhängig voneinander angetrieben. Auf diese Weise kann der Bilddetektor 120 sogar noch mehr Strahlung aus verschiedenen Winkeln einfangen, um eine weitaus größere Anzahl von Bildern zu gewinnen, so dass die Genauigkeit des analytischen Ergebnisses des Objekts 600 erhöht wird.
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Angesichts der oben genannten Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung ist offenkundig, dass die Anwendung der vorliegenden Erfindung folgende Vorteile aufweist: Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung liefern ein Inspektionssystem und Verfahren 900 zur Steuerung desselben, um das Problem zu lösen, dass wenn ein Objekt durch ein anderes von dem Röntgenstrahl abgeschirmt wird, das Objekt vom Röntgenlaminographie-System nicht erkannt werden kann.
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Obwohl die vorliegende Erfindung stark detailliert unter Bezugnahme auf bestimmte Ausführungsformen der Erfindung beschreiben wurde, sind andere Ausführungsformen möglich. Somit soll der Geist und Geltungsbereich der angehängten Ansprüche nicht dahingehend ausgelegt werden, dass diese auf die Beschreibung der hier enthaltenen Ausführungsformen beschränk sind.
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Auf diesem Gebiet fachkundige Personen werden sich darüber im Klaren sein, dass verschiedene Modifikationen und Variationen an der Struktur der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden können, ohne dass es dabei zu einer Abweichung von dem Geltungsbereich oder Geist der Erfindung kommt. In Anbetracht des zuvor Gesagten ist vorgesehen, dass die vorliegende Erfindung Modifikationen und Variationen dieser Erfindung umfasst, vorausgesetzt, dass sie unter den Schutzumfang der folgenden Patentansprüche fallen.
