JP2019060808A - 検査位置の特定方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
検査位置の特定方法の第1の実施形態は、上述した再構成画像の生成(ステップS10)において、基板の表面と裏面を含む大きな範囲(上述した基板の反り等の誤差を考慮した範囲)でプラナーCT演算を行うことで、基板の反り等の誤差を含む三次元画像(再構成画像)を取得し、基板の設計情報を用いて、この三次元画像(再構成画像)から複数の断面画像に跨がってXYZ方向に、検査位置を特定するための特定のパターンやマークの形状(特定のパターンやマークの像)を検出して、基板検査面(検査面画像)の決定を行う。
図5(a)に示すように、第1の実施形態に係る検査位置(基板検査面)の特定方法は、透過画像から、基板の反り等の誤差を考慮した範囲の3次元画像(再構成画像)を再構成し、この3次元画像を用いて特定していたが、この第2の実施形態に係る検査位置(基板検査面)の特定方法は、図5(b)に示すように、2以上の透過画像において特定のパターンやマークの像の形状(透過像)IA1,IA2を検出し、これらの透過画像の各々における透過像のXYZの位置に基づいて、3次元画像(再構成画像)における特定のパターンやマークの形状(3次元画像における特定のパターンやマークの像)Aの位置を特定して検査面画像を決定する方法である。
+ (SX1・DY1−SY1・DX1)/(SX1−DX1) (1)
OY = (SY2−DY2)/(SX2−DX2)・OX
+ (SX2・DY2−SY2・DX2)/(SX2−DX2) (2)
第1及び第2の実施形態では、図3に示すように、ステップS10で透過画像を撮影したのち、再構成画像を生成し、ステップS12で、透過画像若しくは再構成画像を用いて基板検査面を特定していたが、第3の実施形態では、図7に示すように、透過画像から再構成空間内における検査位置(基板検査面)を特定し、特定された位置を含む再構成画像(特定のパターンやマークを含む再構成画像)を再構成する構成である。
34 記憶部
100 検査装置
Claims (3)
- 被検査体の放射線透過画像から生成された3次元画像における検査位置を特定する特定方法であって、
前記放射線透過画像において、前記検査位置の透過像の位置を特定するステップと、
前記透過像の位置から、前記3次元画像における前記検査位置を特定するステップと、を有することを特徴とする検査位置の特定方法。 - 前記透過像の位置を特定するステップは、前記検査位置または前記検査位置の近傍の特定のパターンやマークの透過像の形状を用いて特定することを特徴とする請求項1に記載の検査位置の特定方法。
- 前記放射線透過画像及び前記3次元画像を記憶する記憶部と、
前記記憶部から前記放射線透過画像を取り出して、請求項1または2に記載の検査位置の特定方法により、前記3次元画像における前記検査位置を特定する制御部と、を有することを特徴とする検査装置。
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