JP2016066740A - 基板液処理方法、基板液処理装置、及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを水平姿勢で鉛直軸線周りに回転させながら、第1ノズル400から、基板Wの表面の中央部に、第1処理液を第1流量にて供給し、第1処理液の液膜Lが少なくとも被処理領域に形成された状態で、第2ノズル600から、基板Wの中央部に、第2処理液を供給する。その後、基板W周縁部に、第2処理液の供給を行いながら、基板の中央部に、第1処理液を第1流量よりも少ない第2流量にて供給する。
【選択図】図4
Description
前記第1処理液の液膜が基板の少なくとも被処理領域に形成された状態で、前記第1処理液供給工程を行いながら、前記基板の周縁部に第2処理液を供給する第2処理液供給工程と、
その後、前記基板の周縁部に、第2処理液の供給を行いながら、基板の中央部に、第1処理液を第1流量よりも少ない第2流量にて供給する第3処理液供給工程と、を含むことを特徴とする。
(a)前記第2処理液供給工程では、前記第1処理液の液膜の周縁部に、第2処理液を供給すること。
(b)前記第2処理液は、前記第1処理液と混合可能であること。この場合、例えば、前記第1処理液及び第2処理液は、純水であること。または、前記第2処理液は、前記第1処理液よりも表面張力が低いこと。この場合、前記第1処理液は純水であり、前記第2処理液はイソプロピルアルコールであること。
(c)前記第2流量と、第2処理液の供給流量との合計の流量は、前記第1流量よりも少ないこと。
(d)前記第2処理液は、前記鉛直軸線周りに基板と同方向に回転する回転円の上流側から下流側へ向けて、前記回転円の接線方向に沿って、または前記回転円の径方向内側から外側へ向けて供給され、上面から見た前記第2処理液の供給方向と、前記接線方向との成す角度θ1が0°以上、45°以下の範囲内、側面側から見た前記供給方向と、基板の表面とが成す角度θ2が5°以上、15°以下の範囲内となるように、前記基板に供給されること。
以下、これら処理流体供給部40、第2処理液供給部60の詳細な構成について図3〜図7を参照しながら説明する。
図1を用いて説明したように、搬送部15の両側に並べて設けられた複数の処理ユニット16は、各々、搬入出口201を搬送部15側に向けて配置されている。図3〜図5には、新たにX’軸、Y’軸、Z’軸を用いて各処理ユニット16内の方向を示してある。これらの軸方向は、搬入出口201が設けられている方向をY’軸方向の前方側とし、このY’軸に直交するY’軸、Z’軸を規定した。またZ’軸正方向を鉛直上向き方向とした。
また回転駆動部43は、ノズルアーム42を回転させるときの高さ位置と、ウエハWに処理流体(DHFやリンス液)を供給するための下方側の高さ位置との間で、ノズルアーム42を昇降させる。
なお、図4には第1ノズル400を1つだけ示してあるが、ノズルヘッド41には、DHF、リンス液を別々に供給する2つの第1ノズル400を設けて各第1ノズル400とリンス液供給路711、DHF供給路713との間を先端側供給管401、基端側供給管403を介して接続してもよい。
第2処理液供給部60は、第2ノズル600を備えたノズルヘッド61と、このノズルヘッド61が先端部に取り付けられたノズルアーム62と、ノズルアーム62の基端部を支持し、当該基端部を回転軸としてノズルアーム62に水平方向の回転動作、及び上下方向の昇降動作を実行する回転駆動部63と、を備えている。
また図5に示すように、ウエハWを上面から見たときのアシスト液の吐出方向と、ウエハWの接線方向との成す角度θ1は、0°以上、45°以下の範囲内となるように設定される。
処理対象の例えば直径300mmのウエハWは、基板搬送装置17によって搬送部15内を搬送され、搬入出口201を介して当該ウエハWの処理を行う処理ユニット16内に搬入された後、保持部31上の保持ピン311に受け渡される。ウエハWを受け渡した基板搬送装置17が処理ユニット16から退避すると、シャッタ202によって搬入出口201が閉じられる。
なお、図8のステップS101、102、図9、図10では、第1ノズル400、第2ノズル600の作用を明確にするために、第1ノズル400からのリンス液の供給開始後、第2ノズル600からのアシスト液の供給を開始する例を示したが、これらのリンス液とアシスト液の供給動作は同時に行開始してもよい。また、アシスト液の供給を先に開始しておき、その後、リンス液の供給を行う順序で各液の供給を開始する場合も排除されない。
ウエハWの表面においては、これらの力のバランスにより、液膜Lの直径が決定される。また、余剰なリンス液は液膜Lから千切れて液滴となり、ウエハWの外周側へ流れた後、ウエハWから振り切られる。
ウエハWを乾燥させたら、ウエハWの回転を停止し、搬入出口201から基板搬送装置17を進入させて、基板保持機構30からウエハWを受け取り、処理を終えたウエハWを処理ユニット16から搬出する(エンド)。
第2流量にリンス液とアシスト液との合計の供給量は、第1流量よりも少ない供給量であるので、リンス液の飛散(例えばカップの外側への飛散)を抑制することもできる。
A.実験条件
(参考例1)直径300mmのウエハWを500〜1500rpmの範囲の回転速度N[rpm]で回転させ、第1ノズル400から1.0〜1.5L/分の範囲内の第2流量F2にて第1処理液であるDIWを供給した。しかる後、ウエハWの表面に形成された液膜Lの周縁部に、第2ノズル600から0.1〜0.5L/分の範囲内の流量FAにてアシスト液(第2処理液)であるDIWを供給した。そして、第1ノズル400、第2ノズル600からのDIWの供給を継続しながら、第2ノズル600からアシスト液が供給される位置を、ウエハWの周縁部まで径方向に移動させた。ウエハWとDIWとの接触角は90°である。
(比較例1)参考例1において、第2ノズル600からのアシスト液の供給を行わなかった。
(比較例2)回転速度及びDIWの接触角が参考例1と同様の条件のウエハWに対し、ウエハWの中央部、周縁部、及びこれら中央部と周縁部との間の位置の3箇所に向けて、3本の第1ノズル400から、流量F2/3ずつの(合計流量は第2流量F2に等しい)DIWを供給した。
参考例1の結果を図16、図17に示し、比較例1、2の結果を各々図18、図19に示す。これらの図は、ウエハWにDIWを供給したときに液膜Lが形成される領域を模式的に示している。
第1ノズル400から単独で第2流量F2のDIWを供給したとき、ウエハWには中央部側の領域にのみ液膜Lが形成された。この液膜Lの周縁部に第2ノズル600から流量FAのDIWをアシスト液として供給し(図16)、第2ノズル600をウエハWの径方向外側へ向けて移動させたところ、第1ノズル400からのDIWの供給量を増やさなくても、ウエハWの全面が液膜Lによって覆われた状態となった(図17)。
L、L’ 液膜
1 基板処理システム
16 処理ユニット
18 制御部
30 基板保持機構
31 保持部
40 処理流体供給部
400 第1ノズル
60 第2処理液供給部
600、600a
第2ノズル
Claims (17)
- 基板を水平姿勢で鉛直軸線周りに回転させながら、前記基板の中央部に、第1処理液を第1流量にて供給する第1処理液供給工程と、
前記第1処理液の液膜が基板の少なくとも被処理領域に形成された状態で、前記第1処理液供給工程を行いながら、前記基板の周縁部に第2処理液を供給する第2処理液供給工程と、
その後、前記基板の周縁部に、第2処理液の供給を行いながら、基板の中央部に、第1処理液を第1流量よりも少ない第2流量にて供給する第3処理液供給工程と、を含むことを特徴とする基板液処理方法。 - 前記第2処理液供給工程では、前記第1処理液の液膜の周縁部に、第2処理液を供給することを特徴とする請求項1に記載の基板液処理方法。
- 前記第2処理液は、前記第1処理液と混合可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板液処理方法。
- 前記第1処理液及び第2処理液は、純水であることを特徴とする請求項3に記載の基板液処理方法。
- 前記第2処理液は、前記第1処理液よりも表面張力が低いことを特徴とする請求項1ないし3記載の基板液処理方法。
- 前記第1処理液は純水であり、前記第2処理液はイソプロピルアルコールであることを特徴とする請求項5に記載の基板液処理方法。
- 前記第2流量と、第2処理液の供給流量との合計の流量は、前記第1流量よりも少ないことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板液処理方法。
- 前記第2処理液は、前記鉛直軸線周りに基板と同方向に回転する回転円の上流側から下流側へ向けて、前記回転円の接線方向に沿って、または前記回転円の径方向内側から外側へ向けて供給され、上面から見た前記第2処理液の供給方向と、前記接線方向との成す角度θ1が0°以上、45°以下の範囲内、側面側から見た前記供給方向と、基板の表面とが成す角度θ2が5°以上、15°以下の範囲内となるように、前記基板に供給されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の基板液処理方法。
- 基板を水平姿勢で保持し、鉛直軸線周りに回転させる基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板の中央部に第1処理液を供給する第1ノズルと、
前記基板の周縁部に、第2処理液を供給する第2ノズルと、
前記第1ノズルから、回転する基板の中央部に、前記第1処理液を第1流量にて供給することと、前記第1処理液の液膜が基板の少なくとも被処理領域に形成された状態で、前記第2ノズルから、前記第2処理液を供給することと、その後、前記第2処理液の供給を行いながら、前記第1ノズルから基板の中央部への第1処理液の供給流量を第1流量よりも少ない第2流量とすることと、を実行させる制御部と、を備えたことを特徴とする基板液処理装置。 - 前記第2ノズルは、前記第1処理液の液膜の周縁部に、第2処理液を供給することを特徴とする請求項9に記載の基板液処理方法。
- 前記第2処理液は、前記第1処理液と混合可能であることを特徴とする請求項9または10に記載の基板液処理装置。
- 前記第1処理液及び第2処理液は、純水であることを特徴とする請求項11に記載の基板液処理装置。
- 前記第2処理液は、前記第1処理液よりも表面張力が低いことを特徴とする請求項9ないし11記載の基板液処理装置。
- 前記第1処理液は純水であり、前記第2処理液はイソプロピルアルコールであることを特徴とする請求項13に記載の基板液処理装置。
- 前記第2流量と、第2ノズルからの第2処理液の供給流量との合計の流量は、前記第1流量よりも少ないことを特徴とする9ないし12のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
- 前記第2ノズルは、前記鉛直軸線周りに基板と同方向に回転する回転円の上流側から下流側へ向けて、前記回転円の接線方向に沿って、または前記回転円の径方向内側から外側へ第2処理液を吐出し、上面から見た前記第2処理液の吐出方向と、前記接線方向との成す角度θ1が0°以上、45°以下の範囲内、側面側から見た前記吐出方向と、基板の表面とが成す角度θ2が5°以上、15°以下の範囲内となるように配置されていることを特徴とする請求項8ないし13のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
- 水平姿勢で鉛直軸線周りに回転する基板に第1処理液を供給して基板の液処理を行う基板液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納したコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし8のいずれか一つに記載された基板液処理方法を実行させるようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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