JP2016057142A - 温度検出装置 - Google Patents
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- 温度を検出すべき雰囲気の中で直立した保護管と、
一対の熱電対素線と、当該熱電対素線の先端部を互いに接合することで構成された球形の測温部と、を有し、前記保護管内に収容されるとともに、前記保護管の下端から引き出された前記熱電対素線が前記保護管と交差する横方向に導かれた熱電対と、
前記熱電対の前記熱電対素線を個々に被覆した柔軟な絶縁スリーブと、
前記保護管内に挿入され、前記保護管の長手方向に延びた支持体と、
前記熱電対の前記熱電対素線が挿通される一対の挿通孔と、前記熱電対の前記測温部が入り込むスリットと、当該スリットにより隔てられて前記測温部を前記保護管の長手方向に移動可能に挟んだ一対の壁部と、を含み、前記支持体に固定された熱電対ホルダと、を具備し、
前記絶縁スリーブで被覆された前記熱電対素線は、前記熱電対ホルダから前記支持体に沿って前記保護管の下方に導かれるとともに、前記保護管の内面に向けて膨らむように撓んだ少なくとも一つの遊び部を有する温度検出装置。 - 前記絶縁スリーブで被覆された前記熱電対素線は、前記支持体の長手方向に互いに離間した複数個所に前記支持体に拘束された複数の拘束部を有し、前記支持体の長手方向に隣り合う前記拘束部の間に前記遊び部が形成された請求項1に記載の温度検出装置。
- 前記遊び部は、前記支持体を前記保護管の径方向から挟み込むように前記支持体と前記保護管との間に介在された請求項1又は請求項2に記載の温度検出装置。
- 前記保護管の下端部が固定された筒状の保持部と、当該保持部の下端から横方向に延びたガイド部と、を有する保護管ホルダをさらに備え、前記絶縁スリーブで覆われた前記熱電対素線が前記ガイド部から前記保護管ホルダの外に引き出された請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の温度検出装置。
- 前記保護管ホルダの外に引き出された前記絶縁スリーブを被覆した複数の外皮チューブと、当該外皮チューブを前記保護管ホルダに固定する固定金具と、をさらに備え、
前記固定金具は、前記保護管ホルダに固定された第1の固定板と、当該第1の固定板に取り外し可能に連結され、前記第1の固定板との間で前記外皮チューブを挟み込んで保持する第2の固定板と、を有する請求項4に記載の温度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014183016A JP6194298B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 温度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014183016A JP6194298B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 温度検出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016057142A true JP2016057142A (ja) | 2016-04-21 |
JP2016057142A5 JP2016057142A5 (ja) | 2017-06-15 |
JP6194298B2 JP6194298B2 (ja) | 2017-09-06 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014183016A Active JP6194298B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 温度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6194298B2 (ja) |
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2014
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JP7117398B2 (ja) | 2019-01-07 | 2022-08-12 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびヒータユニット |
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JP6194298B2 (ja) | 2017-09-06 |
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