JP2016046508A - ダミーパターンを有する撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
100〜基板
102〜光電変換素子
104〜仕切り壁材料層
104P〜仕切り壁
104E〜仕切り壁材料層の一部分
106〜平坦化層
108〜カラーフィルター層
108R、108G、108B〜カラーフィルター部分
108E〜延長部分
110〜マイクロレンズ材料層
110M〜マイクロレンズ素子
112〜パッシベーション膜
112P〜パッシベーション膜の一部分
114〜突起素子
120〜テープ
ML〜マイクロレンズ構造
DP〜ダミーパターン
A〜アクティブ領域
B〜周辺領域
Claims (10)
- 撮像装置であって、
前記撮像装置のアクティブ領域内の基板上に形成される複数の光電変換素子と、
前記光電変換素子上に設置されるマイクロレンズ構造と、
前記アクティブ領域を囲む前記撮像装置の周辺領域内の前記基板上に設置されるダミーパターンと、
前記マイクロレンズ構造と前記ダミーパターン上に形成されるパッシベーション膜と、を有し、前記ダミーパターンの上部の前記パッシベーション膜の表面積は、前記マイクロレンズ構造の外側の前記周辺領域の表面積より小さいことを特徴とする撮像装置。 - 前記ダミーパターンは複数の突起素子を有し、且つ、前記突起素子の形状は、凸状、円柱状、角柱状、円錐または角錐状を含むことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記ダミーパターンは複数の凸状の突起素子を有し、且つ、前記凸状の突起素子の各々は、前記マイクロレンズ構造の各マイクロレンズの形状と同じ形状を有し、前記凸状の突起素子の上部は、前記マイクロレンズ構造の上部と同じ高さであることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記ダミーパターンの前記上部の前記パッシベーション膜は、前記マイクロレンズ構造と前記ダミーパターンを被覆するテープと接触することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記ダミーパターンの前記上部の前記パッシベーション膜の前記表面積は、前記マイクロレンズ構造の外側の前記周辺領域の前記表面積の50-80%であることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記マイクロレンズ構造と前記光電変換素子間に設置され、前記周辺領域内に設置される延長部分を有し、前記ダミーパターンが、前記延長部分に設置されるカラーフィルター層と、
前記カラーフィルター層と前記光電変換素子間に設置される平坦化層と、
を更に有することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記パッシベーション膜の前記材料は、化学気相堆積酸化ケイ素を含み、前記パッシベーション膜は、前記マイクロレンズ構造と前記ダミーパターンの表面全体を被覆することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記マイクロレンズ構造は、前記アクティブ領域から前記周辺領域に延伸し、前記ダミーパターンに接続される部分を有し、前記マイクロレンズ構造は、前記ダミーパターンにより囲まれることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記ダミーパターンは、前記周辺領域で、規則的に設置され、前記周辺領域は、前記ダミーパターンにより完全に占有されることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記ダミーパターンは前記周辺領域内にランダムに設置され、前記周辺領域の一部は前記ダミーパターンにより占有されないことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
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