JP2014103299A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトダイーオードを配列して配置し、マイクロレンズを持つアレイ部とアレイ外周部からなる固体撮像素子であって、
前記固体撮像素子のマイクロレンズ形成層のマイクロレンズを、フォトダイーオードの配列の外側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成すると共に、アレイ外周部の最外周であるスクライブラインの内側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成したことを特徴とする固体撮像素子。
【選択図】図1
Description
として、blackレジストを用い、その透過率を1%以下に制御してもblackレジストパターンの剥がれ問題の発生の無い、固体撮像素子を提供することにある。
前記固体撮像素子のマイクロレンズ形成層のマイクロレンズを、フォトダイーオードの配列の外側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成すると共に、アレイ外周部の最外周であるスクライブラインの内側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成したことを特徴とする固体撮像素子である。
チャンバー圧力8.0Paの条件でエッチングを行い、パターニング後、熱リフローにてマイクロレンズ5を形成した。この時マイクロレンズは、フォトダイーオードの配列の外側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成すると共に、アレイ外周部の最外周であるスクライブライン15の内側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズ5を形成した。
実施例においてアレイ外周部11に設けたダミーのマイクロレンズ5を設けず、他の工程は、実施例と同じにして、固体撮像素子のフォトダイーオード8の配列の無いアレイ外周部11に、0.95μmの厚みで、透過率が0.9%の遮光層6を設けた固体撮像素子を作製し比較例とした。
2・・・カラー画素
2R・・・R画素
2B・・・B画素
2G・・・G画素
3・・・レンズ形成層
4・・・レンズ層
5・・・マイクロレンズ
6・・・遮光層
7・・・ダミーマイクロレンズ
8・・・フォトダイーオード
9・・・平滑化層
10・・・アレイ部
11・・・アレイ外周部
12・・・C3F8ガス
13・・・ウエハ基板
14・・・スクライブライン
15・・・レンズ母型
16・・・配線層
Claims (3)
- フォトダイーオードを配列して配置し、マイクロレンズを持つアレイ部とアレイ外周部からなる固体撮像素子であって、
前記固体撮像素子のマイクロレンズ形成層のマイクロレンズを、フォトダイーオードの配列の外側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成すると共に、アレイ外周部の最外周であるスクライブラインの内側に1ピッチ以上、ダミーとしてマイクロレンズを形成したことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記マイクロレンズの成形を、C3F8ガスを用いてエッチングにより形成したことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記固体撮像素子のアレイ外周部のダミーマイクロレンズが形成されたマイクロレンズ形成層に、コートされたblackレジスト膜の、400〜1100nmにおける光の透過率が1%以下としたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子。
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JP2012255104A JP2014103299A (ja) | 2012-11-21 | 2012-11-21 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012255104A JP2014103299A (ja) | 2012-11-21 | 2012-11-21 | 固体撮像素子 |
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-
2012
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