JP5568934B2 - 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ - Google Patents
固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5568934B2 JP5568934B2 JP2009225159A JP2009225159A JP5568934B2 JP 5568934 B2 JP5568934 B2 JP 5568934B2 JP 2009225159 A JP2009225159 A JP 2009225159A JP 2009225159 A JP2009225159 A JP 2009225159A JP 5568934 B2 JP5568934 B2 JP 5568934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlenses
- lens
- photoelectric conversion
- curvature
- depth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 176
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 41
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 107
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 88
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 42
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 30
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 37
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 19
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 19
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 16
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 16
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 7
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000013041 optical simulation Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
- G02B3/0056—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along two different directions in a plane, e.g. honeycomb arrangement of lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1464—Back illuminated imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/19—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays
- H04N1/195—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays the array comprising a two-dimensional array or a combination of two-dimensional arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/19—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays
- H04N1/195—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays the array comprising a two-dimensional array or a combination of two-dimensional arrays
- H04N1/19505—Scanning picture elements spaced apart from one another in at least one direction
- H04N1/19521—Arrangements for moving the elements of the array relative to the scanned image or vice versa
- H04N1/19526—Optical means
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/7795—Circuitry for generating timing or clock signals
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/616—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise involving a correlated sampling function, e.g. correlated double sampling [CDS] or triple sampling
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/67—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/745—Circuitry for generating timing or clock signals
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
1.実施形態1(CCD型にてOCLの対角方向の曲率が、水平方向よりも高い場合)
2.実施形態2(CCD型にてOCLの対角方向・垂直方向の曲率が、水平方向よりも高い場合)
3.実施形態3(CCD型にてOCLの形状がカマボコ形状である場合)
4.実施形態4(CMOS型の場合)
5.その他
(A)装置構成
(A−1)カメラの要部構成
図1は、本発明にかかる実施形態1において、カメラ200の構成を示す構成図である。
(A−2)固体撮像装置の全体構成
図2は、本発明にかかる実施形態1において、固体撮像装置1の全体構成の概略を示す平面図である。
上記の固体撮像装置1の詳細な構成について説明する。
フォトダイオード21は、図3に示すように、画素Pに対応するように、基板101に設けられている。つまり、基板101の撮像面において水平方向xとその水平方向xに直交する垂直方向yとのそれぞれに、複数が並んで配置されている。そして、このフォトダイオード21は、受光面JSで光を受光し、光電変換することによって信号電荷を生成するように構成されている。
電荷読出しチャネル領域22Rは、図3に示すように、電荷読出し部ROに対応するように設けられており、フォトダイオード21にて生成された信号電荷を読み出すように構成されている。
電荷転送チャネル領域23Tは、図3に示すように、垂直転送レジスタ部VTに対応するように設けられており、電荷読出し部ROによってフォトダイオード21から読み出された信号電荷を、電荷転送チャネル領域23Tにて転送するように構成されている。
チャネルストッパー領域24Cは、図3に示すように、素子分離部SSに対応するように設けられている。
転送電極31は、図3に示すように、基板101の表面に、ゲート絶縁膜Gxを介して対面するように設けられている。転送電極31は、導電性材料によって形成されている。たとえば、転送電極31は、ポリシリコンなどの導電材料を用いて形成されており、たとえば、シリコン酸化膜によって形成されたゲート絶縁膜Gx上に設けられている。
金属遮光膜41は、図3に示すように、基板101の表面上において、電荷読出しチャネル領域22Rおよび電荷転送チャネル領域23Tの上方に形成されており、電荷読出しチャネル領域22Rおよび電荷転送チャネル領域23Tへ入射する光を遮光している。また、金属遮光膜41は、図3に示すように、絶縁膜Szを介して、転送電極31を被覆するように設けられている。
層内レンズ45は、図3に示すように、基板101の面の上方において、受光面JSに対応するように設けられている。層内レンズ45は、撮像領域PAに配列された複数の画素Pに対応するように、複数が、同一形状で、配列されている。
カラーフィルタ51は、図3に示すように、基板101の面の上方において、層内レンズ45を介して、受光面JSに対面するように設けられている。カラーフィルタ51は、層内レンズ45の表面を平坦化する平坦化膜HT1の上面に設けられている。ここでは、カラーフィルタ51は、入射光Hを着色して受光面JSへ透過するように構成されている。
マイクロレンズ61は、図3に示すように、複数のフォトダイオード21の各受光面JSの上方であって、カラーフィルタ51の上に設けられている。
この範囲外の場合には、フォトダイオード21へ高角度で集光されるため、スミアの悪化の不具合が生ずる場合がある。
DkがDxに対して、3倍以下の場合は、曲率不足で十分な感度が得られず、5倍以上の場合は、曲率が高すぎ、スミアが悪化する場合がある。
Dx:Dk=1:3〜5 ・・・(1)
上記の固体撮像装置1を製造する製造方法について説明する。
まず、図7(a)に示すように、カラーフィルタ51を形成する。
つぎに、図7(b)に示すように、レンズ母材膜111zの形成を行う。
つぎに、図8(c)に示すように、レジストパターンRPの形成を行う。
<レジストパターンRPの形成条件>
・フォトレジスト材料:i線ポジ型レジスト
・フォトレジスト膜厚:400nm
・プリベーク条件:80℃90秒(ホットプレート上)
・露光条件:1/4縮小露光装置(NA 0.5、σ 0.7)
・露光後ベーク条件:無し
・現像条件:現像液 TMAH2.38%、現像時間 60秒×2パドル現像
つぎに、図8(d)に示すように、レジストパターンRPをレンズ形状に加工する。
・第1ポストベーク処理条件:140〜150℃,120秒(ホットプレート上)
・第2ポストベーク処理条件:170〜180℃,120秒(ホットプレート上)
つぎに、図3,図5,図6に示したように、マイクロレンズ61の形成を行う。
<エッチング条件>
・エッチバック装置:マグネトロンRIE装置
・エッチングガス:CF4=155ccm
・高周波電力:1.8W/cm2
・エッチング室内圧力:6.65Pa
・下部電極温度(チラー温度):0℃
・エッチング量:2.4μm(スチレン系レジスト換算)
・平行平板型RIE装置
・高圧狭ギャップ型プラズマエッチング装置
・ECR型エッチング装置
・マイクロ波プラズマ型エッチング装置
・変成器結合プラズマ型エッチング装置
・誘導結合プラズマ型エッチング装置
・ヘリコン波プラズマ型エッチング装置
以上のように、本実施形態においては、マイクロレンズ61は、撮像面における平面形状が水平方向xに延在する辺と垂直方向yに延在する辺とによって区画された部分を含む形状である。そして、マイクロレンズ61は、複数が水平方向xと垂直方向yとのそれぞれにおいて互いに接して並んで配置されている。また、これらの複数のマイクロレンズ61は、撮像面において水平方向xおよび垂直方向yに対して傾斜した対角方向kに並ぶマイクロレンズ61の間の溝の深さが、水平方向xに並ぶマイクロレンズ61の間の溝の深さよりも深くなるように形成されている。さらに、これと共に、複数のマイクロレンズ61は、対角方向kにおけるレンズ面の曲率が、水平方向xにおけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている。
(A)装置構成など
図10は、本発明にかかる実施形態2において、固体撮像装置の要部を示す図である。
本実施形態の固体撮像装置を製造する製造方法について説明する。
まず、図11(a)に示すように、レジストパターンRPの形成を行う。
つぎに、図11(b)に示すように、レジストパターンRPをレンズ形状に加工する。
つぎに、図3,図5(B),図10に示したように、マイクロレンズ61の形成を行う。
以上のように、本実施形態においては、実施形態1と同様に、複数のマイクロレンズ61は、撮像面において対角方向kに並ぶマイクロレンズ61の間の溝の深さが、水平方向xに並ぶマイクロレンズ61の間の溝の深さよりも深くなるように形成されている。さらに、これと共に、複数のマイクロレンズ61は、対角方向kにおけるレンズ面の曲率が、水平方向xにおけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている。
(A)装置構成など
図13は、本発明にかかる実施形態3において、固体撮像装置の要部を示す図である。
本実施形態の固体撮像装置を製造する製造方法について説明する。
まず、図14(a)に示すように、レジストパターンRPの形成を行う。
つぎに、図14(b)に示すように、レジストパターンRPをレンズ形状に加工する。
つぎに、図13に示したように、マイクロレンズ61の形成を行う。
以上のように、本実施形態において、マイクロレンズ61は、入射光Hが入射するレンズ面が、垂直方向yにおいて曲面であって、水平方向xにおいて平坦になるように形成されている。つまり、上述したように、「かまぼこ状」に形成されている。
(A)装置構成など
(A−1)固体撮像装置の要部構成
図15は、本発明にかかる実施形態4において、固体撮像装置の要部を示す図である。
本実施形態にかかる固体撮像装置の詳細内容について説明する。
固体撮像装置1において、フォトダイオード21は、図16に示すように、複数の画素Pのそれぞれに対応するように、複数が配置されている。複数のフォトダイオード21は、撮像面(xy面)において、水平方向xと、この水平方向xに対して直交する垂直方向yとのそれぞれに並んで設けられている。
固体撮像装置1において、画素トランジスタPTrは、図16に示すように、撮像面(xy面)において、複数の画素Pの間に設けられている。画素トランジスタPTrのそれぞれは、基板101において画素Pの間を分離する領域に、活性化領域(図示なし)が形成されており、各ゲート電極が、たとえば、ポリシリコンを用いて形成されている。
なお、図16では、図示を省略しているが、基板101の表面には、配線層(図示なし)が設けられている。この配線層においては、各素子に電気的に接続された配線(図示なし)が絶縁層(図示なし)内に形成されている。各配線は、図17にて示した、転送線26,アドレス線28,垂直信号線27,リセット線29などの配線として機能するように積層して形成されている。
以上のように、複数のマイクロレンズ61は、撮像面(xy面)にて複数のフォトダイオード21が画素トランジスタPTrを介在せずに並ぶ部分に対応するマイクロレンズの間の溝の深さDbが、他の部分のマイクロレンズ61の間の溝の深さDaよりも深い。これと共に、複数のフォトダイオード21が画素トランジスタPTrを介在せずに並ぶ部分の側のレンズ面の曲率が、他の部分におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている(図18,図19参照)。
本発明の実施に際しては、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形例を採用することができる。
Claims (12)
- 基板の撮像面において第1方向と前記第1方向に直交する第2方向とのそれぞれに、複数が並んで配置されており、受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部と、
前記複数の光電変換部の各受光面の上方において複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに配置されており、前記入射光を前記受光面へ集光するマイクロレンズと、
前記複数の光電変換部のうち前記第2方向に並ぶ複数の光電変換部の列ごとに設けられており、当該光電変換部にて生成された信号電荷を、前記第2方向へ転送する転送チャネル領域が前記撮像面に形成されている転送部と
を具備し、
前記マイクロレンズは、前記撮像面における平面形状が前記第1方向に延在する辺と前記第2方向に延在する辺とによって区画された部分を含む形状であって、複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれにおいて互いに接して並んで配置されており、
当該複数のマイクロレンズは、前記撮像面において前記第1方向および前記第2方向に対して傾斜した第3方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第3方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている、
固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズは、さらに、前記第2方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第2方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている、
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズは、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さD1と、前記第3方向に隣接して並ぶマイクロレンズの間の溝の深さD3とが、D1:D3=1:3〜5の関係にある、
請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズは、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さD1が、D1≦150nmの関係にある、
請求項3に記載の固体撮像装置。 - 受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を、基板の撮像面において第1方向と前記第1方向に直交する第2方向とのそれぞれに複数が並ぶように形成する光電変換部形成工程と、
前記光電変換部にて生成される信号電荷を転送チャネル領域が前記第2方向へ転送する転送部を、前記複数の光電変換部のうち前記第2方向に並ぶ複数の光電変換部の列ごとに設ける転送部形成工程と、
前記入射光を前記受光面へ集光するマイクロレンズを、前記複数の光電変換部の各受光面の上方において複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに並ぶように形成するマイクロレンズ形成工程と
を具備し、
前記マイクロレンズ形成工程においては、前記撮像面における平面形状が前記第1方向に延在する辺と前記第2方向に延在する辺とによって区画された部分を含む形状であって、複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれにおいて互いに接して並ぶように前記複数のマイクロレンズを形成すると共に、
前記撮像面において前記第1方向および前記第2方向に対して傾斜した第3方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深く、かつ、前記第3方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように、前記複数のマイクロレンズを形成する、
固体撮像装置の製造方法。 - 前記マイクロレンズ形成工程は、
前記基板にレンズ母材膜を形成するレンズ母材膜形成ステップと、
前記レンズ母材膜上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成ステップと、
前記レジストパターンについて熱リフロー処理する熱リフロー処理ステップと、
前記リフロー処理されたレジストパターンおよび前記レンズ母材膜をエッチバックするエッチバック処理の実施によって、前記レンズ母材膜を前記マイクロレンズにパターン加工するレンズ母材膜加工ステップと
を含む、
請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記熱リフロー処理ステップにおいては、前記撮像面において前記第3方向に隣接して並ぶレジストパターンが間を隔てた状態を保持すると共に、前記第1方向に並ぶレジストパターンが互いに融着するように、前記レジストパターンについて熱リフロー処理を実施する、
請求項6に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記熱リフロー処理ステップにおいては、前記熱リフロー処理として、複数回、ポストベーク処理を実施し、当該複数回のポストベーク処理のうち、後に実施するポストベーク処理の方が、前に実施するポストベーク処理よりも、熱処理温度が高くなるように、各ポストベーク処理を実施する、
請求項7に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記マイクロレンズ形成工程においては、前記第2方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第2方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように、前記複数のマイクロレンズを形成する、
請求項8に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板の撮像面において第1方向と前記第1方向に直交する第2方向とのそれぞれに、複数が並んで配置されており、受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部と、
前記複数の光電変換部の各受光面の上方において複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに配置されており、前記入射光を前記受光面へ集光するマイクロレンズと、
前記複数の光電変換部のうち前記第2方向に並ぶ複数の光電変換部の列ごとに設けられており、当該光電変換部にて生成された信号電荷を、前記第2方向へ転送する転送チャネル領域が前記撮像面に形成されている転送部と
を具備し、
前記マイクロレンズは、前記撮像面における平面形状が前記第1方向に延在する辺と前記第2方向に延在する辺とによって区画された部分を含む形状であって、複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれにおいて互いに接して並んで配置されており、
当該複数のマイクロレンズは、前記撮像面において前記第1方向および前記第2方向に対して傾斜した第3方向に隣接して並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第3方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている、
電子機器。 - 第1方向と前記第1方向に直交する第2方向とのそれぞれに、複数が並んで配置されており、入射光を集光するマイクロレンズ
を具備し、
前記マイクロレンズは、平面形状が前記第1方向に延在する辺と前記第2方向に延在する辺とによって区画された部分を含む形状であって、複数が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれにおいて互いに接して並んで配置されており、
当該複数のマイクロレンズは、前記第1方向および前記第2方向に対して傾斜した第3方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第3方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている、
レンズアレイ。 - 前記複数のマイクロレンズは、さらに、前記第2方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さが、前記第1方向に並ぶマイクロレンズの間の溝の深さよりも深くなるように形成されていると共に、前記第2方向におけるレンズ面の曲率が、前記第1方向におけるレンズ面の曲率よりも高くなるように形成されている、
請求項11に記載のレンズアレイ。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009225159A JP5568934B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ |
TW99129129A TWI473258B (zh) | 2009-09-29 | 2010-08-30 | 固態成像裝置、固態成像裝置製造方法、電子裝置及透鏡陣列 |
KR1020100090351A KR101683297B1 (ko) | 2009-09-29 | 2010-09-15 | 고체 촬상 장치, 고체 촬상 장치의 제조 방법, 전자 기기, 렌즈 어레이 |
US12/886,952 US8686337B2 (en) | 2009-09-29 | 2010-09-21 | Solid-state imaging device, solid-state imaging device manufacturing method, electronic device, and lens array |
CN2010102977130A CN102034842B (zh) | 2009-09-29 | 2010-09-21 | 固态成像装置及其制造方法、电子装置和透镜阵列 |
US14/166,310 US9202836B2 (en) | 2009-09-29 | 2014-01-28 | Solid-state imaging device having microlenses formed with different depths and curvature and method of manufacturing thereof |
US14/926,923 US9525000B2 (en) | 2009-09-29 | 2015-10-29 | Solid-state imaging device, solid-state imaging device manufacturing method, electronic device, and lens array |
US15/352,075 US10204948B2 (en) | 2009-09-29 | 2016-11-15 | Solid-state imaging device, solid-state imaging device manufacturing method, electronic device, and lens array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009225159A JP5568934B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014130665A Division JP6028768B2 (ja) | 2014-06-25 | 2014-06-25 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011077175A JP2011077175A (ja) | 2011-04-14 |
JP5568934B2 true JP5568934B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=43779237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009225159A Active JP5568934B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US8686337B2 (ja) |
JP (1) | JP5568934B2 (ja) |
KR (1) | KR101683297B1 (ja) |
CN (1) | CN102034842B (ja) |
TW (1) | TWI473258B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5537172B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2014-07-02 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
FR2990299B1 (fr) * | 2012-05-03 | 2014-05-09 | E2V Semiconductors | Capteur d'image matriciel a transfert de charges bidirectionnel a grilles dissymetriques |
US20140125928A1 (en) * | 2012-11-06 | 2014-05-08 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Liquid Crystal Cell and Liquid Crystal Display |
US20140183334A1 (en) * | 2013-01-03 | 2014-07-03 | Visera Technologies Company Limited | Image sensor for light field device and manufacturing method thereof |
US9659992B2 (en) | 2013-03-21 | 2017-05-23 | Infineon Technologies Ag | Method of manufacturing an imager and imager device |
US20150064629A1 (en) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | Visera Technologies Company Limited | Manufacturing method for microlenses |
US9001250B2 (en) * | 2013-09-11 | 2015-04-07 | Omni Vision Technologies, Inc. | Method and apparatus for reading image data from an image sensor |
JP2015056530A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP6195369B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2017-09-13 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置、カメラ、および、固体撮像装置の製造方法 |
CN103970148B (zh) * | 2014-01-29 | 2018-01-26 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 对入射光角度敏感的太阳能采集系统和日光跟随器 |
JP6549366B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2019-07-24 | 株式会社リコー | 光電変換素子、画像読取装置及び画像形成装置 |
KR102466904B1 (ko) * | 2016-01-12 | 2022-11-15 | 삼성전자주식회사 | 씨모스 이미지 센서 |
CN110676271B (zh) * | 2016-01-21 | 2022-11-18 | 索尼公司 | 光探测器件 |
CN106210466A (zh) * | 2016-06-30 | 2016-12-07 | 联想(北京)有限公司 | 电子设备及其摄像头 |
CN110400816A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-01 | 德淮半导体有限公司 | 图像传感器及其形成方法 |
CN114287112B (zh) * | 2019-09-10 | 2024-03-01 | 华为技术有限公司 | 图像传感器像素电路及控制方法、图像传感器、终端设备 |
JP7149482B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2022-10-07 | 日亜化学工業株式会社 | ロッドレンズアレイ、それを用いた照明光学系および装置 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2993109B2 (ja) | 1990-11-20 | 1999-12-20 | ミノルタ株式会社 | 手巻きカメラ用巻戻し装置 |
US5514888A (en) * | 1992-05-22 | 1996-05-07 | Matsushita Electronics Corp. | On-chip screen type solid state image sensor and manufacturing method thereof |
JP2950714B2 (ja) * | 1993-09-28 | 1999-09-20 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US5536455A (en) * | 1994-01-03 | 1996-07-16 | Omron Corporation | Method of manufacturing lens array |
JP2000039503A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズアレイ |
JP2000206310A (ja) | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズアレイ |
US6518640B2 (en) * | 1999-12-02 | 2003-02-11 | Nikon Corporation | Solid-state image sensor, production method of the same, and digital camera |
TW575786B (en) * | 2000-03-14 | 2004-02-11 | Takashi Nishi | Exposure controlling photomask and production method thereof |
JP3759435B2 (ja) | 2001-07-11 | 2006-03-22 | ソニー株式会社 | X−yアドレス型固体撮像素子 |
JP2003222705A (ja) | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Toppan Printing Co Ltd | マイクロレンズの製造方法 |
JP2003332547A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2003338614A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Sony Corp | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
JP3988189B2 (ja) | 2002-11-20 | 2007-10-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
US7199931B2 (en) * | 2003-10-09 | 2007-04-03 | Micron Technology, Inc. | Gapless microlens array and method of fabrication |
US7375892B2 (en) * | 2003-10-09 | 2008-05-20 | Micron Technology, Inc. | Ellipsoidal gapless microlens array and method of fabrication |
US7227692B2 (en) * | 2003-10-09 | 2007-06-05 | Micron Technology, Inc | Method and apparatus for balancing color response of imagers |
JP2005268356A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP4230406B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2009-02-25 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
US7329856B2 (en) * | 2004-08-24 | 2008-02-12 | Micron Technology, Inc. | Image sensor having integrated infrared-filtering optical device and related method |
JP2007025383A (ja) | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Fujifilm Corp | マイクロレンズ、その製造方法、マイクロレンズを用いた固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2007053318A (ja) | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007067337A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法、及び固体撮像素子の製造方法 |
JP2007095751A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2007208817A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP4915135B2 (ja) | 2006-04-27 | 2012-04-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
JP4212605B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2009-01-21 | シャープ株式会社 | 撮像素子および撮像素子の製造方法 |
JP4212606B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2009-01-21 | シャープ株式会社 | 撮像素子の製造方法 |
JP2007316153A (ja) | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Toppan Printing Co Ltd | カラー撮像素子のマイクロレンズ製造方法及びカラー撮像素子のマイクロレンズアレイ |
JP5277565B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2013-08-28 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2009016574A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US7960768B2 (en) * | 2008-01-17 | 2011-06-14 | Aptina Imaging Corporation | 3D backside illuminated image sensor with multiplexed pixel structure |
US8097890B2 (en) * | 2008-02-11 | 2012-01-17 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor with micro-lenses of varying focal lengths |
-
2009
- 2009-09-29 JP JP2009225159A patent/JP5568934B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-30 TW TW99129129A patent/TWI473258B/zh active
- 2010-09-15 KR KR1020100090351A patent/KR101683297B1/ko active IP Right Grant
- 2010-09-21 CN CN2010102977130A patent/CN102034842B/zh active Active
- 2010-09-21 US US12/886,952 patent/US8686337B2/en active Active
-
2014
- 2014-01-28 US US14/166,310 patent/US9202836B2/en active Active
-
2015
- 2015-10-29 US US14/926,923 patent/US9525000B2/en active Active
-
2016
- 2016-11-15 US US15/352,075 patent/US10204948B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10204948B2 (en) | 2019-02-12 |
US9525000B2 (en) | 2016-12-20 |
US20170069676A1 (en) | 2017-03-09 |
US9202836B2 (en) | 2015-12-01 |
US20140138523A1 (en) | 2014-05-22 |
KR101683297B1 (ko) | 2016-12-06 |
CN102034842B (zh) | 2013-03-27 |
US8686337B2 (en) | 2014-04-01 |
US20110073751A1 (en) | 2011-03-31 |
TWI473258B (zh) | 2015-02-11 |
KR20110035894A (ko) | 2011-04-06 |
US20160049433A1 (en) | 2016-02-18 |
CN102034842A (zh) | 2011-04-27 |
JP2011077175A (ja) | 2011-04-14 |
TW201130122A (en) | 2011-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5568934B2 (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ | |
US9508767B2 (en) | Solid-state imaging device, method of manufacturing solid-state imaging device, and electronic apparatus | |
US9985066B2 (en) | Solid-state imaging device, method for manufacturing same, and electronic device | |
KR100672687B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
JP5938946B2 (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び電子機器 | |
JP2011096732A (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器 | |
JP2012175050A (ja) | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 | |
US10804306B2 (en) | Solid-state imaging devices having flat microlenses | |
KR20210130243A (ko) | 고체 촬상 소자 및 고체 촬상 소자의 제조 방법, 전자 기기 | |
JP2004134790A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
US20090160001A1 (en) | Image sensor and method for manufacturing the sensor | |
JP6028768B2 (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器 | |
KR100606902B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서의 제조 방법 | |
JP2009176857A (ja) | 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 | |
KR100780547B1 (ko) | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 | |
JP2009152414A (ja) | レジスト膜のパターニング方法および固体撮像装置の製造方法 | |
KR100752162B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서의 제조 방법 | |
JP2007199386A (ja) | カラーフィルタ、その製造方法、これを用いた固体撮像素子、およびその製造方法 | |
KR100720479B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140609 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5568934 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |