JP2012099639A - イメージセンサ及びイメージセンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウエハ5上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタ17と、マイクロレンズ7と、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサ6により透明基板4が支持されているイメージセンサの製造方法において、マイクロレンズ7とスペーサ6とを同一の感光性樹脂を用いて、ハーフトーンマスク(グレイトーンマスク)15を用いるフォトリソグラフィ法により、あるいはドライ転写法により同時に製造する。
【選択図】図1
Description
スペーサの製造法としては、薄いガラス基板を所定の形状にエッチング加工してからシリコンウェハに貼り付けるものがあるが、製造工程が長く複雑で、スペーサ自体も薄くハンドリングが難しいという問題がある。
転写レンズは、光電変換素子上のカラーフィルタや平坦化膜を含む層構造を薄くすることが出来るとともに、熱リフローレンズよりもマイクロレンズの開口率を上げることが出来る。ため、撮像素子特性を向上させることが出来るという特長を有している。
そこで本発明は、スペーサを製造するために特別な工程を必要とせずに、均一な高さのスペーサ(枠壁)を備えるイメージセンサの構成と製造方法を提供することを目的とした。
としたものである。
また、請求項4に記載の発明は、シリコンウエハ上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタと、マイクロレンズと、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサにより透明基板が支持されているイメージセンサの製造方法において、感光性樹脂からグレイトーンマスクを使用するフォトリゾグラフィ法によりマイクロレンズ前駆体とスペーサとを同時に形成し、さらに熱リフローによりマイクロレンズ前駆体をマイクロレンズ形状に整えることを特徴とするイメージセンサの製造方法としたものである。
スペーサ(枠壁)6も熱リフローされることで側面が極率を有するようになり、接着剤との密着面積が増大するという利点がある(図4(b))。
先ず、色分解フィルタ上に、ベンゼン環を樹脂骨格に導入したアクリル樹脂の塗布液を塗布して、1μmの膜厚の透明樹脂層を形成し、180℃で3分間加熱して、硬膜化処理を行った。転写レンズを構成する透明樹脂の硬膜後の屈折率は1.51であった。
2、レンズモジュール
3、カメラ枠体
4、透明基板
5、シリコンウェハ
6、スペーサ(枠壁)
7、マイクロレンズ
8、8’、スペーサ
9、レンズ基体
9a、9b、レンズ
11a、11b、レンズ
10、カメラモジュール
12、貫通孔(貫通電極)
13、接続バンプ
14、隙間(溝)
15、ハーフトーンマスク(グレイトーンマスク)
16,接着剤
17,色分解フィルタ
18,光電素子
Claims (6)
- シリコンウエハ上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタと、マイクロレンズと、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサにより透明基板が支持されているイメージセンサにおいて、マイクロレンズとスペーサとが同一の材料から組成されていることを特徴とするイメージセンサ。
- 前記スペーサの下部に色分解フィルタが敷設されていることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
- シリコンウエハ上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタと、マイクロレンズと、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサにより透明基板が支持されているイメージセンサの製造方法において、感光性樹脂からハーフトーンマスクを使用するフォトリゾグラフィ法によりマイクロレンズとスペーサとを同時に形成することを特徴とするイメージセンサの製造方法。
- シリコンウエハ上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタと、マイクロレンズと、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサにより透明基板が支持されているイメージセンサの製造方法において、感光性樹脂からグレイトーンマスクを使用するフォトリゾグラフィ法によりマイクロレンズ前駆体とスペーサとを同時に形成し、さらに熱リフローによりマイクロレンズ前駆体をマイクロレンズ形状に整えることを特徴とするイメージセンサの製造方法。
- シリコンウエハ上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタと、マイクロレンズと、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサにより透明基板が支持されているイメージセンサの製造方法において、マイクロレンズとスペーサとをドライ転写法を使用して同時に形成することを特徴とするイメージセンサの製造方法。
- 前記スペーサの外周部分に接着剤を敷設し、透明基板をシリコンウエハ側に固定することを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載のイメージセンサの製造方法。
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