JP2009198547A - 固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法及び固体撮像素子用マイクロレンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】受光素子が形成された半導体基板上に、少なくとも、カラーフィルタ層を形成する工程、透明樹脂層を形成する工程、前記透明樹脂層上に、感光性樹脂を用いて2回に分けて熱リフロー法によりマイクロレンズ様凸パターンを形成する工程、及び前記マイクロレンズ様凸パターンをエッチングマスクとして、ドライエッチング法により前記マイクロレンズ様凸パターンの形状を、透明樹脂層に転写し、前記透明樹脂層をマイクロレンズとする工程、を含むことを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法。
【選択図】図1
Description
くものであって、マスク部分が除去される分、下部の透明樹脂のエッチングが遅れる結果、レンズ様凸パターンの形状が下部透明樹脂に転写される技術である。この方法によれば、ドライエッチング条件を最適化することでレンズ境界の崩れの少ないマイクロレンズの製造が可能で、隣接レンズ間のスキ間(ギャップ)は、概ね0.04μmと熱リフロー法に比較すると1/5程度以下に狭くできる。但し、集光性に関しては、レンズの形状が熱リフローで形成した母型の影響を引き継ぐため問題がないとは言えない。
(比較例)
実施例1において、レンズ様凸部を全画素上に一度に同時にアクリル樹脂層上に形成した。そのレンズ様凸部の高さは0.4μm、隣接レンズ間のギャップは0.3μmであった。次に、上記実施例と同じドライエッチング法により、上記レンズ様凸部パターンを下地のアクリル樹脂に転写した。得られたマイクロレンズの高さは0.5μm、隣接するレンズの辺同志のギャップは0.035μm(側長SEMの測定限界)であった。この場合、通常の熱リフローレンズよりも感度は4%向上した。しかし、レンズの対角方向で収差が生じており、その分集光率が低下するため、実施例1の2リフローレンズを転写して形成したレンズより5%感度が低かった。
2、電荷発生領域
3、電荷輸送領域
4、平坦化層
5、カラーフィルタ層
6、単位の受光素子
7、透明樹脂
11、第1のレンズ様凸部
12、第2のレンズ様凸部
13、マイクロレンズ
14、対角線方向
15、画素の辺に平行な方向
Claims (2)
- 複数の受光素子が形成された半導体基板上に、少なくとも、カラーフィルタ層を形成する工程、透明樹脂層を形成する工程、前記透明樹脂層上に、感光性樹脂を用いて2回に分けて熱リフロー法によりマイクロレンズ様凸パターンを形成する工程、及び前記マイクロレンズ様凸パターンをエッチングマスクとして、ドライエッチング法により前記マイクロレンズ様凸パターンの形状を、透明樹脂層に転写し、前記透明樹脂層をマイクロレンズとする工程、を含むことを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法。
- 請求項1記載の方法で製造したことを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズ。
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