JP2016043616A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されて構成されており、前記圧電セラミック層側の第１主面と、前記セラミック振動板側の第２主面とを有する積層体と、
   前記第１主面に配置されている第１表面電極と、
   前記積層体の内部に配置されている内部電極と、
   前記圧電セラミック層に設けられた貫通孔の内部に配置されて、前記第１表面電極と前記内部電極とを接続する貫通導体と、
   を備えており、
   前記第１主面における前記貫通孔の縁部に、前記セラミック振動板と反対側に向かって突出している突部を有していることを特徴とする圧電アクチュエータ基板。
2. 前記突部は、前記貫通孔の縁部の１／３周〜２／３周に渡って存在することを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ基板。
3. 前記貫通孔を含むように前記圧電セラミック層を厚さ方向に切断した断面において、前記突部は、前記第１主面における前記貫通孔の一方の縁部に存在し、前記第１主面における前記貫通孔の他方の縁部に存在しないことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ基板。
4. 前記貫通孔の内壁と接する部位の前記内部電極の厚さが、当該部位の周囲の前記内部電極の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
5. 前記セラミック振動板の前記圧電セラミック層側の表面に、前記貫通孔の内部へ向かって突出する凸部を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
6. 前記第２主面の前記貫通孔と重なる領域に凹部を有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
7. 前記第１主面上にマトリクス状に配置された複数の第２表面電極を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
8. 前記圧電アクチュエータ基板と対向するように配置されたフレキシブル配線基板を有しており、前記圧電セラミック層は、前記フレキシブル配線基板側に露出しており、前記貫通孔は前記フレキシブル配線基板に向かって開口しており、前記突部は前記フレキシブル配線基板側へ突出していることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
9. 前記第１主面上にマトリクス状に配置された複数の第２表面電極を有しており、該第２表面電極と、前記フレキシブル配線基板に設けられた電極とが、導電性バンプを介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータ基板。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板に積層されており、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。