JP2016043405A - ファイバコアを切り替え可能なレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工ヘッドに接続された光ファイバを交換せずにレーザ光の集光径又は集光角等を調整でき、かつ加工ヘッド内の光学部品が汚染されるのを確実に防止できるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】本発明のレーザ加工装置1は、レーザ光を生成するレーザ光源2と、レーザ光源2が生成したレーザ光を伝送する第1伝送部31及び第2伝送部32と、第2伝送部32が伝送したレーザ光を集光して被加工物Wに照射する加工ヘッド4と、を備える。第2光伝送部32は、複数のファイバコアFCを有し、それらファイバコアFCのいずれか1つによってレーザ光を加工ヘッド4に伝送し、それらファイバコアFCの各々の加工ヘッド4に臨む出射端EEは、加工ヘッド4に対して固定的に配置される。レーザ加工装置1は、複数のファイバコアFCのうちのレーザ光を加工ヘッド4に実際に伝送するファイバコアFCを切り替える切替部5をさらに備える。【選択図】図1
Description
本発明は、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替え可能なレーザ加工装置に関する。
レーザ光源により生成されたレーザ光を伝送する光ファイバと、光ファイバから出射したレーザ光を集光して被加工物に照射する加工ヘッドと、を備えるレーザ加工装置が従来から公知である。このようなレーザ加工装置が特許文献1〜3等に例示されている。一般的なレーザ加工装置においては、光ファイバのコア径及び集光光学系の結像倍率によって被加工物上の集光径及び集光角が決定され、それに応じて加工性能が変化させられる。被加工物上の最適な集光径は、レーザ加工の種類(例えば、溶接、切断、マーキング等)、並びに被加工物の材質及び厚さ等に応じて決定される。
図12は、ファイバコアFCのコア径D0及び出射端における拡散角Afと、集光点における集光径DC及び集光角ACと、の間の関係について説明するための概略図である。一般に、ファイバコアFCの出射端と集光レンズLとの間の距離d1、集光レンズLと集光点との間の距離d2、及び集光レンズLの焦点距離d3に応じて、集光光学系Sの結像倍率が決定され、それにより集光光学系Sの集光角ACも決定される。ここで、集光径DCを変化させるためには結像倍率を変化させればよいが、それと同時に集光角ACも変化してしまう。何故なら、ファイバコアFCのコア径D0と出射端における拡がり角Afの積は、集光点における集光径DCと集光角ACの積に等しいという関係があるからである。他方、拡散角Afが同じである場合、コア径D0を適切に変更すれば、集光角ACを変化させることなく集光径DCを変化させることが可能になる。或いは、集光径DCを変化させることなく集光角ACを変化させることも可能になる。このように、集光光学系Sにレーザ光を伝送するファイバコアFCのコア径D0を適切に変更することで、最適な集光径DC及び集光角ACを得ることができる。ところが、ファイバコアFCのコア径D0を変更するためには、加工ヘッドに接続された光ファイバ自体を交換する必要があるので、それに際して加工ヘッド内の光学部品が汚染されて加工精度が低下する虞がある。その理由は、多くのレーザ加工装置がレーザ光の漏出から使用者を保護するハウジングに収納されるので、レーザ加工により発生した塵埃がハウジング内に充満するからである。
これに関連して、特許文献4には、コア径の異なる複数のプロセスファイバのいずれか1つを選択的に用いてレーザ光を加工ヘッドに伝送するレーザ加工装置が提案されている。より具体的に、特許文献4のレーザ加工装置では、複数のプロセスファイバが取り付けられた板部材をモータで回転させることによって、いずれか1つのプロセスファイバをフィーディングファイバからの出射光の光路上に位置決めしている。特許文献4のレーザ加工装置によれば、集光径又集光角を変更する都度、プロセスファイバを交換する必要が無くなる。ところが、特許文献4のレーザ加工装置は、モータによって回転される回転部材を、加工ヘッドにおけるレーザ光の入射部分の近傍に有するので、やはり加工ヘッドの周囲の塵埃が上記の入射部分から加工ヘッド内に侵入して光学部品を汚染する虞がある。また、光ファイバの出射端は多少なりとも発熱するので、その周囲に種々の冷却構造を設けるのが好ましいが、特許文献4の複数のプロセスファイバはモータによって駆動されるので、これらに適切な冷却構造を設けるのは困難である。
加工ヘッドに接続された光ファイバを交換せずにレーザ光の集光径及び集光角等を調整でき、かつ加工ヘッド内の光学部品が汚染されるのを確実に防止できるレーザ加工装置が求められている。
本発明の第1の態様によれば、レーザ光を生成するレーザ光源と、レーザ光源が生成したレーザ光を伝送する光伝送部と、光伝送部が伝送したレーザ光を集光して被加工物に照射する加工ヘッドと、を備え、光伝送部が、複数のファイバコアを有し、複数のファイバコアのいずれか1つによってレーザ光を加工ヘッドに伝送し、複数のファイバコアの各々の加工ヘッドに臨む出射端が、加工ヘッドに対して固定的に配置され、複数のファイバコアのうちのレーザ光を加工ヘッドに伝送するファイバコアを切り替える切替部をさらに備える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、複数のファイバコアの各々の出射端が、複数のファイバコアの各々と同じ屈折率を有する単一の光学部材に融着され、光学部材を透過したレーザ光が出射する光学部材の出射面に無反射コーティングが施される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第3の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアが複数の光ファイバのそれぞれに収納され、複数の光ファイバの出射端が互いに接合される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第4の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアの各々が1つの光ファイバに収納される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第5の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に、光路に垂直な平面に対して傾けて配置された光学基板を有し、光学基板を光路に沿った軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第6の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に配置された光学基板を有し、光学基板を光路に垂直な軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第1〜第6の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアには、直径、断面形状、及び屈折率の少なくともいずれか1つが異なる2つ以上のファイバコアが含まれる、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、複数のファイバコアの各々の出射端が、複数のファイバコアの各々と同じ屈折率を有する単一の光学部材に融着され、光学部材を透過したレーザ光が出射する光学部材の出射面に無反射コーティングが施される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第3の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアが複数の光ファイバのそれぞれに収納され、複数の光ファイバの出射端が互いに接合される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第4の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアの各々が1つの光ファイバに収納される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第5の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に、光路に垂直な平面に対して傾けて配置された光学基板を有し、光学基板を光路に沿った軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第6の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に配置された光学基板を有し、光学基板を光路に垂直な軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第1〜第6の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアには、直径、断面形状、及び屈折率の少なくともいずれか1つが異なる2つ以上のファイバコアが含まれる、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第1の態様によれば、レーザ光を加工ヘッドに伝送する1つのファイバコアが切替部によって切り替えられるので、加工ヘッドに接続された光ファイバを交換せずに出力レーザ光の集光径及び集光角等を調整することができる。また、第1の態様によれば、複数のファイバコアの出射端が1つの加工ヘッドに対して固定的に配置されるので、加工ヘッドにおけるレーザ光の入射部分の近傍に回転部材等の可動部材を設ける必要が無くなる。よって、第1の態様によれば、加工ヘッドの周囲の集塵が上記の入射部分から加工ヘッド内に侵入して光学部品を汚染するのを確実に防止することができ、結果的に、加工ヘッドの防塵性を向上させることができる。
本発明の第2の態様によれば、複数のファイバコアの出射端が単一の光学部材に融着されるので、各ファイバコアを通過したレーザ光の屈折による発熱部分を冷却するのが容易になるとともに、各ファイバコアを通過したレーザ光の出射面に無反射コーティングを施すのが容易になる。
本発明の第3の態様によれば、隣接するファイバコアの出射端どうしを例えば1mm程度の距離に近接して配置することができるので、ファイバコアの切り替えに伴う加工ヘッドの集光点の移動量を縮小することができる。
本発明の第4の態様によれば、隣接するファイバコアの出射端どうしを例えば500μm程度の距離に近接して配置することが可能になるので、ファイバコアの切り替えに伴う加工ヘッドの集光点の移動量を縮小することができる。
本発明の第5の態様によれば、光学基板をレーザ光の光路に沿った回転軸線の周りで回転させるという簡便な方法を用いてファイバコアの切り替えを実現できるようになる。
本発明の第6の態様によれば、光学基板をレーザ光の光路に垂直な回転軸線の周りで回転させるという簡便な方法を用いてファイバコアの切り替えを実現できるようになる。特に、複数のファイバコアコアの出射端が二次元的に配列される場合には、ファイバコアの切り替えに2つの回転軸線が必要となるものの、複数のファイバコアの出射端が一次元的に配列される場合には、ファイバコアの切り替えに1つの回転軸線が必要となるにすぎない。
本発明の第7の態様によれば、加工ヘッドから出射するレーザ光の性質をファイバコアの直径、断面形状、及び屈折率等に応じて調整できるので、レーザ加工の種類、並びに被加工物の材質及び板厚等に応じた最適なレーザ光を得ることができる。特に、ファイバコアの直径を変更することでレーザ光の集光径及び集光角等を調整できるとともに、ファイバコアの屈折率を変更することでレーザ光の光強度を調整できる。
本発明の第2の態様によれば、複数のファイバコアの出射端が単一の光学部材に融着されるので、各ファイバコアを通過したレーザ光の屈折による発熱部分を冷却するのが容易になるとともに、各ファイバコアを通過したレーザ光の出射面に無反射コーティングを施すのが容易になる。
本発明の第3の態様によれば、隣接するファイバコアの出射端どうしを例えば1mm程度の距離に近接して配置することができるので、ファイバコアの切り替えに伴う加工ヘッドの集光点の移動量を縮小することができる。
本発明の第4の態様によれば、隣接するファイバコアの出射端どうしを例えば500μm程度の距離に近接して配置することが可能になるので、ファイバコアの切り替えに伴う加工ヘッドの集光点の移動量を縮小することができる。
本発明の第5の態様によれば、光学基板をレーザ光の光路に沿った回転軸線の周りで回転させるという簡便な方法を用いてファイバコアの切り替えを実現できるようになる。
本発明の第6の態様によれば、光学基板をレーザ光の光路に垂直な回転軸線の周りで回転させるという簡便な方法を用いてファイバコアの切り替えを実現できるようになる。特に、複数のファイバコアコアの出射端が二次元的に配列される場合には、ファイバコアの切り替えに2つの回転軸線が必要となるものの、複数のファイバコアの出射端が一次元的に配列される場合には、ファイバコアの切り替えに1つの回転軸線が必要となるにすぎない。
本発明の第7の態様によれば、加工ヘッドから出射するレーザ光の性質をファイバコアの直径、断面形状、及び屈折率等に応じて調整できるので、レーザ加工の種類、並びに被加工物の材質及び板厚等に応じた最適なレーザ光を得ることができる。特に、ファイバコアの直径を変更することでレーザ光の集光径及び集光角等を調整できるとともに、ファイバコアの屈折率を変更することでレーザ光の光強度を調整できる。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同様の構成要素には同様の符号が付与されている。なお、以下の記載は、特許請求の範囲に記載される発明の技術的範囲や用語の意義等を限定するものではない。
図1〜図7を参照して、本発明の第1の実施形態のレーザ加工装置について説明する。本実施形態のレーザ加工装置は、被加工物に種々のレーザ加工(切断、溶接、又はマーキング等)を施すために、光ファイバによって伝送された光ビームを加工ヘッドの集光光学系で集光して被加工物に照射するように構成されている。図1は、本実施形態の例示的なレーザ加工装置1の全体構造を示す斜視図である。図1のように、レーザ加工装置1は、レーザ光を発生させるレーザ光源2と、レーザ光源が発生させたレーザ光を伝送するケーブル状の光伝送部3と、光伝送部3が伝送したレーザ光を集光して被加工物Wに照射する加工ヘッド4と、光伝送部が形成するレーザ光の伝送路の途中に配置された切替部5と、から構成されている。これら構成要素について以下に順に説明する。
先ず、本例のレーザ光源2は、レーザ媒質、光共振器、及び励起源等から構成された種々のレーザ発振器である。続いて、本例の光伝送部3は、レーザ光源2から切替部5まで延びる第1伝送部31と、切替部5から加工ヘッド4まで延びる第2伝送部32と、から構成されている。そして、本例の第1伝送部31は、1本のシングルコア光ファイバから構成されており、本例の第2伝送部32は、複数のシングルコア光ファイバの束から構成されている。特に、第2伝送部32は、ファイバコアの直径、断面形状、及び屈折率のいずれかが異なる複数のシングルコア光ファイバの束から構成されている。これら光ファイバの各々は、第2伝送部32の延在方向の概ね全長にわたって延在しており、切替部5に臨む基端部に入射したレーザ光を、加工ヘッド4に臨む先端部まで独立して伝送可能である。以下では、第2伝送部32並びに光ファイバ及びファイバコアの切替部5に臨む端面を入射端と称し、それらの加工ヘッド4に臨む端面を出射端と称することがある。
続いて、本例の加工ヘッド4は、筒状の本体部40と、本体部40の内側に配置された集光光学系41と、を有している。図1のように、加工ヘッド4の本体部40は、第2伝送部32の光ファイバの先端部が接続される基端部と、銅等の種々の材料から形成された加工ノズル42が装着される先端部と、を有している。また、加工ヘッド4の集光光学系41は、球面収差が小さくなるように、2枚の非球面レンズから構成された組レンズ、又は4枚程度の球面レンズから構成された組レンズを有している(図2〜図4等を参照)。加工ノズル42は集光光学系41による集光点の近傍に配置される。加工ノズル42と、集光光学系41の最終段の光学部品と、の間に位置する本体部40の内部空間は気密空間とされ、その内部空間には所定の圧力のアシストガスが導入される。その内部空間に導入されたアシストガスは加工ノズル42の先端から噴出させられる。加工ノズル42の穴径は通常0.8mm〜6.0mm程度である。噴出するアシストガスのガス流は、出射するレーザ光の光路と互いに同軸にされるのが好ましいので、加工ノズル42は2mm〜5mm程度の範囲で作動する軸心調整機構(図示しない)を備えている。或いは、出射するレーザ光の光路を加工ノズル42の中心に対してアライメントするように構成されたアライメント機構部が採用されうる。
図1のように、本例の加工ヘッド4は、被加工物Wが載置されるテーブルTの上方で加工ヘッド4を平面的に移動させる移動機構部6に取り付けられている。より具体的に、本例の移動機構部6は、テーブルTを挟んで互いに平行に延在する一対のレール60と、一対のレール60上にそれらに対して垂直に配置された棒状の第1キャリッジ61と、第1キャリッジ61に移動可能に取り付けられた所定の形状の第2キャリッジ62と、を有している。そして、本例の加工ヘッド4は、加工ノズル42の先端がテーブルTの上面と対向するように第2キャリッジ62に取り付けられている。第1キャリッジ61及び第2キャリッジ62は、それぞれ図中の矢印A11及び矢印A12の方向に沿って滑動するように構成されている。これにより加工ヘッド4はテーブルTの上方で矢印A11及び矢印A12の方向に沿って移動しながらレーザ光を被加工物Wに照射することができる。第1キャリッジ61及び第2キャリッジ62の各々は、図示しないサーボモータ等の駆動装置によって駆動される。
図1のように、テーブルT、加工ヘッド4、及び移動機構部6は、箱状のハウジングHの内側に収容されている。このような構造のために、ハウジングHの内部空間には、レーザ加工中に発生する塵埃が充満することがある。なお、ハウジングHの任意の箇所には、第2伝送部32を引き込むための貫通孔が形成されており、第2伝送部32の出射端を含む所定の部分は、加工ヘッド4と一緒にハウジングHの内側に収容されている。このようなハウジングHは、加工ヘッド4から照射されたレーザ光が装置の外部に漏出して使用者に危害を加えるのを防止するとともに、レーザ加工中に発生する塵埃が装置の外部に放出されるのを防止する役割を果たしている。図1では、ハウジングHの内部構造がよく分かるように、ハウジングHの輪郭を破線で示すとともに、ハウジングHの内部構造を実線で示している。
続いて、本例の切替部5は、第2伝送部32の複数のファイバコアのうちのレーザ光を実際に伝送するファイバコアを使用者の選択に応じて切り替える機能を有している。つまり、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射したレーザ光を第2伝送部32の複数のファイバコアのいずれか1つに選択的に入射させる機能を有している。これにより加工ヘッド4にレーザ光を伝送するファイバコアの直径が変更されるので、加工ヘッド4に接続された光ファイバ自体を交換しなくても加工ヘッド4の集光径又は集光角を変更することができる。切替部5の詳細な動作については図2を参照して後述する。
引き続き図1を参照すると、本例のレーザ加工装置1は、ともにハウジングHの外側に配置された制御装置7及び集塵機8を備えている。本例の制御装置7は、第1キャリッジ61及び第2キャリッジ62等の可動部分の動作を制御する機能を有している。また、本例の集塵機8は、レーザ加工中にハウジングHの内側で発生する塵埃を捕捉してハウジングHの外側に排出する機能を有している。
図2は、本例の切替部5の動作について説明するための概略図である。本例の切替部5は、第1伝送部31の光ファイバから出射したレーザ光を、第2伝送部32の複数のファイバコアFCのいずれか1つに選択的に入射させるビームスイッチである。図2のように、本例の第2伝送部32は7本のファイバコアFCを有している。図2のように、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射したレーザ光を複数のファイバコアFCのそれぞれの入射端IEに集光する複数の集光光学系51と、それら集光光学系51のそれぞれに対応するシャッタミラー52と、を含んでいる。なお、図2には、2対の集光光学系51及びシャッタミラー52のみが示されており、残り5対の集光光学系51及びシャッタミラー52は省略されている。また、図2では、2本のファイバコアFCについては、それらの入射端IEから出射端EEまでの全長が示されているものの、残りの5本のファイバコアFCについては、それらの入射端IEの近傍のみが示されており、他の部分が省略されている。また、図2では、第1伝送部31の光ファイバから出射したレーザ光の光路が矢印A21で表されている。
図2のように、それぞれのシャッタミラー52は、第1伝送部31から出射したレーザ光の光路に垂直な方向に沿って、レーザ光を反射させる反射位置と、レーザ光を反射させない退避位置と、の間で往復移動するように構成されている。それぞれのシャッタミラー52の移動方向が図中の矢印A22で表されている。それぞれのシャッタミラー52はモータ等の図示しない駆動装置によって駆動される。図2では、反射位置に在るシャッタミラー52が実線で示されており、退避位置に在るシャッタミラー52が破線で示されている。図2のように、反射位置に在るシャッタミラー52は、第1伝送部31から出射したレーザ光を、対応する集光光学系51に向かって反射するように方向付けられている。そして、本例の切替部5は、使用者が選択した1つのファイバコアFCに対応する1つのシャッタミラー52のみを反射位置に配置し、残りのシャッタミラー52を退避位置に配置するように構成されている。これにより、第1伝送部31から出射したレーザ光が、使用者によって選択された1つのファイバコアFCのみに入射させられる。ただし、本実施形態のレーザ加工装置1の切替部5は、複数の集光光学系51及び複数のシャッタミラー52を用いる代わりに、単一の集光光学系及びそれと協働する機構部を用いて、レーザ光を伝送するファイバコアFCを切り替えるように構成されてもよい。このように構成された切替部5の第1及び第2の変形例が、図3及び図4にそれぞれ示されている。
図3は、本実施形態のレーザ加工装置1における切替部5の第1の変形例を示す、図2と同様の概略図である。図3のように、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射したレーザ光を集光する単一の集光光学系53を備えている。そして、本例の集光光学系53は、第1伝送部31から出射したレーザ光の光路に垂直な軸線R3を支点として揺動するように構成されている。第1伝送部31から出射したレーザ光の光路が図中の矢印A31で表されている。つまり、本例の切替部5は、図示しないモータ又は圧電素子等を動力源として集光光学系53を揺動させることによって、集光光学系53の集光点の位置を図中の上下方向に沿って移動させている。これによりレーザ光を伝送する第2伝送部32のファイバコアFCが切り替えられる。本例の集光光学系53の揺動運動の方向が図中の矢印A32で表されている。本例の切替部5によれば、複数のファイバコアFCの入射端IEに対応する複数の集光光学系及び複数のシャッタミラーを設ける必要が無くなるので、複数のファイバコアFCの入射端IEを互いに近接して配置することが可能になるとともに、切替部5全体の寸法を縮小することが可能になる。
図4は、本実施形態のレーザ加工装置1における切替部5の第2の変形例を示す、図2と同様の概略図である。図3の例と同様に、本例の切替部5は単一の集光光学系54を備えており、本例の集光光学系54は、そこに入射したレーザ光を集光して第2伝送部32の入射端に入射させるように構成されている。そして、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射して集光光学系54に入射するレーザ光の、集光光学系54の光軸に対する傾斜角度を変更する図示しない角度変更部をさらに備えている。より具体的に、本例の切替部5の角度変更部は、集光光学系54に臨む第1伝送部31の先端部をモータ又は圧電素子等の動力源を用いて僅かに曲げることで、集光光学系54に入射するレーザ光の傾斜角度を変更している。これにより集光光学系54の集光点が図中の上下方向に沿って移動するので、レーザ光を伝送する第2伝送部32のファイバコアFCが切り替えられる。第1伝送部31から出射して集光光学系54に入射するレーザ光の光路が図中の矢印A41で表されている。また、第1伝送部31の先端部が曲げられる方向が図中の矢印A42で表されている。上述した第1の変形例と同様に、本例の切替部5によれば、図3の例と同様に、複数のファイバコアFCの入射端IEを互いに近接して配置することが可能になるとともに、切替部5全体の寸法を縮小することが可能になる。
再び図2を参照すると、本例の第2伝送部32において、複数のファイバコアFCの入射端IEは一列に並べられているのに対して、それらファイバコアFCの出射端EEは互いに近接するように集束されている。図5は、図2中の第2伝送部32の出射端の近傍の横断面図である。より具体的に、図5は、図2中のV−V線に沿った第2伝送部32の断面を示している。図5のように、第2伝送部32を構成する複数のシングルコア光ファイバSCはそれらの出射端の近傍で互いに接合されており、その結果、それらのファイバコアFCが互いに近接して配置されている。複数のシングルコア光ファイバSCは公知の手法によって接合されうる。例えば、シングルコア光ファイバSCの樹脂製の保護被膜が熱融着によって互いに接合されてもよいし、それらの保護被膜の外周面が種々の接着剤によって互いに接合されてもよい。
図5の例では、ファイバコア直径が50μmである1本の光ファイバSC50の外周面を取り囲むように、ファイバコア直径が50μmである1本の光ファイバSC50と、ファイバコア直径が70μmである1本の光ファイバSC70と、ファイバコア直径が100μmである1本の光ファイバSC100と、ファイバコア直径が200μmである1本の光ファイバSC200と、ファイバコア直径が70μmである1本の光ファイバSC70と、ファイバコア直径が140μmである1本の光ファイバSC140と、が周方向に沿って順番に配列されている。図5のように、中央に配置された光ファイバSC50は、周方向に配列された6本の光ファイバSCの各々に接合されている。また、周方向に配列された6本の光ファイバSCの各々は、周方向の両側に隣接する2本の光ファイバSCの各々にも接合されている。ここで、ファイバコア直径が50μmの光ファイバSC50とファイバコア直径が70μmの光ファイバSC70が2本ずつ採用される理由は、ファイバコア直径が小さい光ファイバほど損傷しやすいので、これら光ファイバSC50,SC70の予備が必要とされる場合が多いからである。或いは、ファイバコア直径が50μmの2本の光ファイバSC50については、それらの入射端での集光角を変えてもよい。光ファイバは、入射端での集光角が、或る程度までは出射端の拡がり角に反映されるので、この2本を選択することで、被加工物Wの表面上の集光径は同じでも、集光角を変えることが可能となる。各々の光ファイバSCの外径は約1mmであるので、第2伝送部32の出射端の近傍における7本の光ファイバSCの束の外径は約3mmである。ただし、周方向に配列された6本の光ファイバSCの各々のファイバコアFCから加工ヘッド4の中心線CAまでの距離は概ね1mm未満である(図6を参照)。
図5のように、本例の第2伝送部32は、直径が異なる複数のファイバコアFCを有している。そのため、本例のレーザ加工装置1は、使用者が選択したファイバコアFCの直径に応じて加工ヘッド4による集光径及び集光角等を調整することができる。
なお、本実施形態のレーザ加工装置1の第2伝送部32は、断面形状が異なる複数のファイバコアFCを有していてもよいし、屈折率が異なる複数のファイバコアFCを有していてもよい。一般に、光ファイバから出射するレーザ光の光強度はファイバコアの屈折率に応じて変化するので、屈折率が異なる複数のファイバコアFCを採用することによって、加工ヘッド4から出射するレーザ光の光強度を調整することができる。その結果、レーザ加工装置1の加工性能を調整することができる。
なお、本実施形態のレーザ加工装置1の第2伝送部32は、断面形状が異なる複数のファイバコアFCを有していてもよいし、屈折率が異なる複数のファイバコアFCを有していてもよい。一般に、光ファイバから出射するレーザ光の光強度はファイバコアの屈折率に応じて変化するので、屈折率が異なる複数のファイバコアFCを採用することによって、加工ヘッド4から出射するレーザ光の光強度を調整することができる。その結果、レーザ加工装置1の加工性能を調整することができる。
再び図2を参照すると、各ファイバコアFCの出射端EEから加工ヘッド4の集光光学系41までの距離は100mm程度にされ、加工ヘッド4の集光光学系41から加工ヘッド4の集光点までの距離は120mm程度にされる。この場合の結像倍率は1.2(120/100)であるので、加工ヘッド4の集光径は、加工ヘッド4にレーザ光を伝送するファイバコアFCの直径の1.2倍の大きさになる(図12も参照)。なお、各ファイバコアFCから出射するレーザ光の拡がり角は、例えば、半角で80mradであり、焦点における集光角は、例えば、96mradである。異なるファイバコア径を選択すると、拡がり角が同じであれば、ファイバコア径によって集光径が変わる。このとき、集光光学系41の被加工物側W側のレンズを交換すると、結像倍率を変えることができる。結像倍率を適宜選択すれば、集光径は同じでも集光角を変えたレーザ加工が実現できる。上述の例では、結像倍率を1.0とし、ファイバコア径を1.2倍とすれば、集光径を変えずに、集光角80mradを得ることができる。
続いて、図6は、図2中の第2伝送部32の出射端の近傍の縦断面図である。より具体的に、図6は、図5中のVI−VI線に沿った第2伝送部32の断面を示している。図6のように、第2伝送部32の各ファイバコアFCの出射端EEは、加工ノズル42の穴の中心を通る加工ヘッド4の中心線CAに近接して配置されている。ここで、各ファイバコアFCの出射端EEにおけるレーザ光の光路は、加工ヘッド4の集光光学系41の光軸と平行にされる場合が多い。このため、ファイバコアFCが切り替えられると集光光学系41の集光点が径方向に沿って僅かに移動するものの、本例の加工ヘッド4は上記の軸心調整機構を用いて加工ノズル42の軸心と出力レーザ光の光路とを一致させることができる。結像倍率が固定される場合には、幾つかのファイバコアFCの出射端EEにおけるレーザ光の光路を傾けることによって、加工ヘッド4の集光光学系41の光軸と出力レーザ光の光路とを集光点で交差させることができる。その結果、ファイバコアFCが切り替えられても集光点が径方向に沿って移動することはなくなる。
図6のように、第2伝送部32のそれぞれのファイバコアFCの出射端EEは、柱形状を呈する単一の光学部材9の一方の端面91に接合されている。本例の光学部材9は、複数のファイバコアFCと同じ屈折率を有するガラス質の物質から形成されている。複数のファイバコアFCの出射端EEは、公知の手法によって光学部材9の端面91に接合されうる。例えば、複数のファイバコアFCはガラス質の物質から形成されているので、それらの出射端EEを一旦高温にして軟化させることによって、それらの出射端EEを光学部材9の端面91に接合することができる。一般にファイバコアFCは極めて低い減衰率を有するものの、ファイバコアFCの出射端EEではレーザ光の屈折に伴う多少の熱が発生する。ところが、本例のファイバコアFCの出射端EEはファイバコアFCと同じ屈折率を有する光学部材9に接合されているので、レーザ光の屈折に伴う上記の発熱はファイバコアFCの出射端EEではなく光学部材9の他方の端面92で生じる。図6のように、光学部材9の端面92はファイバコアFCの出射端EEよりも遥かに大きい表面積を有するので、上記の発熱による温度上昇が抑制されうる。また、表面積が大きい光学部材9の端面92は冷却するのも容易である。さらに、表面積が大きい光学部材9の端面92は、無反射コーティングを施すのが容易であるという利点を有する。このような無反射コーティングによってレーザ光の減衰が軽減されうる。
引き続き図6を参照すると、加工ヘッド4の本体部40の基端部には、上記の光学部材9を挿入可能な筒状の嵌合部401が設けられている。図6のように、光学部材9が嵌合部401に挿入されることによって、第2伝送部32が加工ヘッド4に取り付けられる。そして、第2伝送部32が加工ヘッド4に取り付けられた状態において、複数のファイバコアFCの出射端EEは加工ヘッド4に対して固定的に配置されている。なお、図7は、第2伝送部32が加工ヘッド4から取り外された状態を示す、図6と同様の縦断面図である。図7のように、光学部材9が嵌合部401から引き抜かれることによって、第2伝送部32が加工ヘッド4から取り外される。ただし、本例の第2伝送部32はファイバコアの直径が異なる複数の光ファイバSCを有するので、加工ヘッド4の集光角及び集光径等を変更する目的のために第2伝送部32を加工ヘッド4から取り外す必要は無い。光学部材9が加工ヘッド4の嵌合部401に挿入されると、光学部材9の外周面が嵌合部401の内周面に隙間無く密着するので、レーザ加工中に発生する塵埃が加工ヘッド4内に侵入するのを防止できる。
図6のように、本例の第2伝送部32は、その出射端の近傍の外周面に取り付けられた筒状の冷却部33を有している。本例の冷却部33は、複数のファイバコアFCの出射端EEの近傍を冷却するように構成されている。より具体的に、本例の冷却部33は、その周方向に沿って延在する環状の空洞を有しており、その空洞の内側で冷却剤CMを循環させることによって、複数のファイバコアFCの出射端EEの近傍を冷却している。一般にファイバコアFCは極めて低い減衰率を有するものの、レーザ光がファイバコアFCの出射端EEを通過し、異なる屈折率の境界面を越えると、その境界面で多少なりとも熱が発生することになる。このような理由からファイバコアFCの出射端EEの近傍を冷却する冷却構造が求められる。本例のレーザ加工装置1では、複数のファイバコアFCの出射端EEが互いに近接して配置されているので、複数のファイバコアFCの出射端EEを一括して冷却する簡素な構造の冷却部33を採用することが可能になる。
また、加工ヘッド4の本体部40は、筒状の嵌合部401の外周面に取り付けられた環状の防塵シール402を備えている。本例の防塵シール402は、第2伝送部32に設けられた所定の環状面、例えば、筒状の冷却部33の底面に当接可能である。これにより加工ヘッド4の防塵性がさらに向上しうる。また、本例の防塵シール402は、第2伝送部32が加工ヘッド4に装着される際に、第2伝送部32の出射端を加工ヘッド4に対して正確に位置決めする機能を有している。これにより第2伝送部32の着脱に伴うレーザ光の光路のズレが最小限に抑えられる。このように、本例のレーザ加工装置1は、従来の装置と同等或いはそれ以上の防塵性及び冷却機能を有しうる。
以上のように、本実施形態のレーザ加工装置1は、加工ヘッド4にレーザ光を実際に伝送するファイバコアFCを任意に切り替え可能な切替部5を有するので、加工ヘッド4に接続された光ファイバを交換せずに出力レーザ光の集光径及び集光角等を調整することができる。また、本実施形態のレーザ加工装置1によれば、複数のファイバコアFCの出射端EEに融着された光学部材9が加工ヘッド4の嵌合部401に嵌入されることで、複数のファイバコアFCが加工ヘッド4に取り付けられる。このように、本実施形態のレーザ加工装置1によれば、複数のファイバコアFCの出射端EEが加工ヘッド4に対して固定的に配置されるので、加工ヘッド4におけるレーザ光の入射部分(すなわち、本体部40の嵌合部401)の近傍に可動部材を設ける必要が無くなる。よって、本実施形態のレーザ加工装置1によれば、加工ヘッド4の周囲の塵埃が上記の入射部分から加工ヘッド4内に侵入して光学部品を汚染するのを防止でき、結果的に加工ヘッド4の防塵性を向上させることができる。
また、本実施形態のレーザ加工装置1によれば、複数のシングルコア光ファイバSCの出射端の近傍が互いに接合されているので、隣接するファイバコアFCの出射端EEどうしが例えば1mm程度の距離に近接して配置されうる。これにより複数のファイバコアFCから出射するレーザ光の光路も互いに近接するので、ファイバコアFCの切り替えに伴う加工ヘッド4の集光点の移動量を縮小することができる。その結果、加工ヘッド4の軸心の調整が不要となるか、又は僅かな範囲の調整が必要となるにすぎない。さらに、それらファイバコアFCの出射端EEは加工ヘッド4の中心線CAにも近接しているので、どのファイバコアFCが選択されても幾何光学的な収差の影響は小さくなる。よって、本実施形態のレーザ加工装置1は、1本のシングルコア光ファイバのみが加工ヘッドに接続された構造を有するレーザ加工装置と比較しても遜色の無い加工性能を有しうる。
次に、図8〜図11を参照して、本発明の第2の実施形態のレーザ加工装置について説明する。本実施形態のレーザ加工装置は、上述した第1の実施形態のレーザ加工機と同様の全体構造を有する(図1を参照)。そのため、本実施形態のレーザ加工装置の各部を参照するのに、上述した第1の実施形態と同様の符号を使用する。また、本実施形態のレーザ加工装置は、以下に具体的に説明される部分を除いて、第1の実施形態のレーザ加工装置と同様の機能及び構造を有する。第1の実施形態と同様の部分についての詳細な説明は省略する。
図8は、本実施形態のレーザ加工装置1における例示的な第2伝送部32の横断面図である。図8のように、本例の第2伝送部32は、複数のファイバコアFCを収納する1本のマルチコア光ファイバMCから構成されており、それらファイバコアFCの各々は、入射端IEに入射したレーザ光を出射端EEまで独立して伝送可能である(図10も参照)。
より具体的に、本例のマルチコア光ファイバMCは、その中心軸の周りの周方向に沿って間隔を空けて配列された6本のファイバコアFC、すなわち、直径50μmの2本のファイバコアFC50と、直径150μmの2本のファイバコアFC150と、直径100μmの2本のファイバコアFC100と、を収納している。マルチコア光ファイバMCに収納されるファイバコアFCの本数及び配列、並びに各ファイバコアFCの寸法及び形状等は、図中の例のみに限定されない。また、第2伝送部32のマルチコア光ファイバMCは、直径が異なる複数のファイバコアFCを収納する代わりに、屈折率等の性状が異なる複数のファイバコアFCを収納してもよい。
図8のように、本例の第2伝送部32によれば、隣接するファイバコアFCの出射端EE間の距離がより短縮されるので、それらファイバコアFCから出射するレーザ光の光路がより近接させられる。その結果、ファイバコアFCの切り替えに伴う集光点の移動量をより縮小することができる。複数のシングルコア光ファイバSCを束ねた場合の隣接する出射端EE間の距離が例えば1mmであるのに対して(図5を参照)、本例の第2伝送部32の隣接する出射端EE間の距離は例えば500μmである。また、本例の第2伝送部32によれば、隣接する出射端EE間の距離だけでなく、隣接する入射端IE間の距離も短縮されるので、切替部5によるファイバコアFCの切り替えがより短時間で実行されうる。
図9は、図8の第2伝送部32の出射端の近傍の縦断面図である。より具体的に、図9は、図8中のIX−IX線に沿った第2伝送部32の断面を示している。図9のように、本例の第2伝送部32によれば、複数の光ファイバの出射端の近傍を互いに接合する必要が無くなるので、第2伝送部32を組み立てる工程が簡素化されうる。また、本例の第2伝送部32によれば、複数のファイバコアFCの出射端EEを光学部材9に接合する際に、複数の光ファイバの出射端の位置を揃える必要が無くなるので、第2伝送部32を組み立てる工程が簡素化されうる。そして、本例の第2伝送部32によれば、各ファイバコアFCの出射端EEが加工ヘッド4の中心線CAにさらに近接して配置されるので、幾何学的な収差の影響がさらに小さくなる。
図10は、本実施形態のレーザ加工装置1における例示的な切替部5の動作について説明するための概略図である。図10のように、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射したレーザ光を集光する単一の集光光学系55、及び集光光学系55と第2伝送部32との間に配置された光透過性の光学基板56を備えている。第1伝送部31から出射して集光光学系55に入射するレーザ光の光路が図中の矢印A100で表されている。図10のように、集光光学系55に入射するレーザ光の光路は集光光学系55の光軸と一致している。集光光学系55を通過したレーザ光は、光学基板56の第1の主面561に入射し、次いで、光学基板56の第2の主面562から出射する。光学基板56の第1及び第2の主面561,562は互いに平行であることが好ましい。図10のように、本例の光学基板56は、集光光学系55の光軸に垂直な仮想平面に対して角度θだけ傾けて配置されている。これにより、集光光学系55を通過したレーザ光が光学基板56に斜めに入射して屈折するので、光学基板56から出射するレーザ光の光路は、光学基板56に入射したレーザ光の光路に対して所定の距離だけ平行移動させられる。このようにしてレーザ光が平行移動する距離dは以下の数式1によって算出される。数式1において、tは光学基板56の厚さであり、nは光学基板56の屈折率である。例えば、光学基板56の厚さtが5mmであり、光学基板56の屈折率nが1.5であり、光学基板56の傾斜角度θが7°である場合には、レーザ光の移動距離dが205μmになる。
また、本例の光学基板56は、集光光学系55の光軸に沿った回転軸線R10の周りで回転するように構成されている。そのため、光学基板56の回転運動に伴い、光学基板56から出射するレーザ光の集光点が、上記の移動距離dと等しい半径を有する円周軌道に沿って移動させられる。従って、第2伝送部32の複数のファイバコアFCが上記の移動距離dと等しい半径を有する円周上に配列されていれば、光学基板56を回転軸線R10の周りで回転させるだけでレーザ光が入射するファイバコアFCを切り替えることができる。また、複数のファイバコアFCは上記の円周上に等間隔で配置されることが好ましく、例えば、マルチコア光ファイバMCが6本のファイバコアFCを有する場合には(図8を参照)、それらファイバコアFCは、中心角が60°である扇型の円弧に等しい距離だけ周方向に離間して配置されるのが好ましい。これにより、それぞれのファイバコアFCの入射端IEに対して集光光学系55の集光点を位置決めするのが容易になる。なお、本例の光学基板56は使用者によって手動で回転されてもよいし、モータ等の駆動装置によって回転されてもよい。
図11は、本実施形態のレーザ加工装置における切替部5の変形例を示す、図10と同様の概略図である。図11のように、本例の切替部5は、第1伝送部31から出射したレーザ光を集光する単一の集光光学系57、及び集光光学系57と第2伝送部32との間に配置された光透過性の光学基板58を備えている。第1伝送部31から出射して集光光学系57に入射するレーザ光の光路が図中の矢印A110で表されている。図11のように、集光光学系57に入射するレーザ光の光路は集光光学系57の光軸と一致している。図10の例と同様に、集光光学系57を通過したレーザ光は、光学基板58の第1の主面581に入射し、次いで、光学基板58の第2の主面582から出射する。光学基板58の第1及び第2の主面581,582は互いに平行であることが好ましい。ここで、図10の光学基板56が集光光学系55の光軸に沿った回転軸線R10の周りで回転するのに対して、本例の光学基板58は、集光光学系57の光軸に垂直な2つの回転軸線R11,R12の周りでそれぞれ回転するように構成されている。そのため、光学基板58がそれぞれの回転軸線R11,R12の周りで回転するのに伴い、光学基板58の主面581が集光光学系57の光軸に垂直な仮想平面に対して傾斜させられる。その結果、図10の例と同様に、光学基板58から出射するレーザ光の光路は、光学基板58入射したレーザ光の光路に対して所定の距離だけ平行移動させられる(上記の数式1を参照)。
例えば、光学基板58の厚さが10mmであり、光学基板58の屈折率が1.5である場合には、光学基板58がいずれか一方の回転軸線R11,R12の周りで1°だけ回転すると、レーザ光の光路が58μmだけ平行移動する。一般的なファイバコアFCの直径は50μm〜400μm程度であるので、上記の厚さ及び屈折率を有する光学基板58によって良好な調整精度が提供されうる。なお、複数のファイバコアFCが第2伝送部32の入射端で二次元的に配列される場合には(図8を参照)、光学基板58が2つの回転軸線R11,R12を有する必要があるものの、複数のファイバコアFCが第2伝送部32の入射端で一次元的に配列される場合には(図2を参照)、光学基板58はいずれか一方の回転軸線のみを有していればよい。本例の光学基板58は使用者によって手動で回転されてもよいし、モータ等の駆動装置によって回転されてもよい。
以上のように、本実施形態のレーザ加工装置1は、上述した第1の実施形態のレーザ加工装置と同様に、加工ヘッド4に接続された光ファイバを交換せずに出力レーザ光の集光径及び集光角等を調整でき、かつ加工ヘッド4の周囲のレーザ光の入射部分(すなわち、本体部40の嵌合部401)から加工ヘッド4内に侵入して光学部品を汚染するのを防止できる。さらに、本実施形態のレーザ加工装置1によれば、第2伝送部32の複数のファイバコアFCの出射端EEどうしが例えば500μmの距離に近接して配置されるので、ファイバコアFCの切り替えに伴う加工ヘッド4の集光点の移動量を縮小することができる。さらに、それらファイバコアFCの出射端EEは加工ヘッド4の中心線CAにも近接しているので、どのファイバコアFCが選択されても幾何光学的な収差の影響は小さくなる。よって、本実施形態のレーザ加工装置1は、1本のシングルコア光ファイバのみが加工ヘッドに接続された構造を有するレーザ加工装置と比較しても遜色の無い加工性能を有しうる。
本発明は、上記の実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で種々改変されうる。例えば、上記の実施形態のレーザ加工装置1は単一のレーザ光源2を備えるものの、本発明のレーザ加工装置1は第2伝送部32に含まれる複数のファイバコアFCと同数のレーザ光源2を備えていてもよい。その場合は、例えば、レーザ加工装置1の切替部5が個々のレーザ光源2の電源のオンオフを切り替えるように動作する。また、上記の実施形態に記載されたレーザ加工装置1の各部の寸法、形状、及び材質等は一例にすぎず、本発明の効果を達成するために多様な寸法、形状、及び材質等が採用されうる。
1 レーザ加工装置
2 レーザ光源
3 光伝送部
31 第1伝送部(フィーディングファイバ)
32 第2伝送部(プロセスファイバ)
33 冷却部
4 加工ヘッド
40 本体部
401 嵌合部
402 防塵シール
41 集光光学系
42 加工ノズル
5 切替部
51 集光光学系
52 シャッタミラー
53 集光光学系
54 集光光学系
55 集光光学系
56 光学基板
561 主面
562 主面
57 集光光学系
58 光学基板
581 主面
582 主面
6 移動機構部
60 レール
61 第1キャリッジ
62 第2キャリッジ
7 制御装置
8 集塵機
9 光学部材
91 端面
92 端面
AC 集光角
Af 拡散角
CA 中心線
CM 冷却剤
D0 コア径
DC 集光径
EE 出射端
FC ファイバコア
H ハウジング
IE 入射端
L 集光レンズ
MC 光ファイバ
R3 軸線
R10 軸線
R11 軸線
R12 軸線
S 集光光学系
SC 光ファイバ
T テーブル
W 被加工物
2 レーザ光源
3 光伝送部
31 第1伝送部(フィーディングファイバ)
32 第2伝送部(プロセスファイバ)
33 冷却部
4 加工ヘッド
40 本体部
401 嵌合部
402 防塵シール
41 集光光学系
42 加工ノズル
5 切替部
51 集光光学系
52 シャッタミラー
53 集光光学系
54 集光光学系
55 集光光学系
56 光学基板
561 主面
562 主面
57 集光光学系
58 光学基板
581 主面
582 主面
6 移動機構部
60 レール
61 第1キャリッジ
62 第2キャリッジ
7 制御装置
8 集塵機
9 光学部材
91 端面
92 端面
AC 集光角
Af 拡散角
CA 中心線
CM 冷却剤
D0 コア径
DC 集光径
EE 出射端
FC ファイバコア
H ハウジング
IE 入射端
L 集光レンズ
MC 光ファイバ
R3 軸線
R10 軸線
R11 軸線
R12 軸線
S 集光光学系
SC 光ファイバ
T テーブル
W 被加工物
本発明の第1の態様によれば、レーザ光を生成するレーザ光源と、レーザ光源が生成したレーザ光を伝送する光伝送部と、光伝送部が伝送したレーザ光を集光して被加工物に照射する加工ヘッドと、を備え、光伝送部が、複数のファイバコアを有し、複数のファイバコアのいずれか1つによってレーザ光を加工ヘッドに伝送し、複数のファイバコアの各々の加工ヘッドに臨む出射端が、加工ヘッドの中心線に近接して位置するよう加工ヘッドに対して固定的に配置され、複数のファイバコアのうちのレーザ光を加工ヘッドに伝送するファイバコアを切り替える切替部をさらに備える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、複数のファイバコアの各々の出射端が、複数のファイバコアの各々と同じ屈折率を有する単一の光学部材に融着され、光学部材を透過したレーザ光が出射する光学部材の出射面に無反射コーティングが施される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第3の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアが複数の光ファイバのそれぞれに収納され、複数の光ファイバの出射端が互いに接合される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第4の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアの各々が1つの光ファイバに収納される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第5の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に、光路に垂直な平面に対して傾けて配置された光学基板を有し、光学基板を光路に沿った軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第6の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に配置された光学基板を有し、光学基板を光路に垂直な軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第7の態様によれば、本発明の第1〜第6の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアには、直径、断面形状、及び屈折率の少なくともいずれか1つが異なる2つ以上のファイバコアが含まれる、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第8の態様によれば、本発明の第1〜第7の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアの各々の加工ヘッドに臨む出射端が、加工ヘッドの中心線から1mm未満の距離に位置するよう加工ヘッドに対して固定的に配置される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、複数のファイバコアの各々の出射端が、複数のファイバコアの各々と同じ屈折率を有する単一の光学部材に融着され、光学部材を透過したレーザ光が出射する光学部材の出射面に無反射コーティングが施される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第3の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアが複数の光ファイバのそれぞれに収納され、複数の光ファイバの出射端が互いに接合される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第4の態様によれば、第1又は第2の態様において、複数のファイバコアの各々が1つの光ファイバに収納される、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第5の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に、光路に垂直な平面に対して傾けて配置された光学基板を有し、光学基板を光路に沿った軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第6の態様によれば、第1〜第4の態様のいずれか1つにおいて、切替部が、レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に配置された光学基板を有し、光学基板を光路に垂直な軸線の周りで回転させることによって、加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第7の態様によれば、本発明の第1〜第6の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアには、直径、断面形状、及び屈折率の少なくともいずれか1つが異なる2つ以上のファイバコアが含まれる、レーザ加工装置が提供される。
本発明の第8の態様によれば、本発明の第1〜第7の態様のいずれか1つにおいて、複数のファイバコアの各々の加工ヘッドに臨む出射端が、加工ヘッドの中心線から1mm未満の距離に位置するよう加工ヘッドに対して固定的に配置される、レーザ加工装置が提供される。
Claims (7)
- レーザ光を生成するレーザ光源と、
前記レーザ光源が生成したレーザ光を伝送する光伝送部と、
前記光伝送部が伝送したレーザ光を集光して被加工物に照射する加工ヘッドと、を備え、
前記光伝送部は、複数のファイバコアを有し、前記複数のファイバコアのいずれか1つによってレーザ光を前記加工ヘッドに伝送し、
前記複数のファイバコアの各々の前記加工ヘッドに臨む出射端が、前記加工ヘッドに対して固定的に配置され、
前記複数のファイバコアのうちのレーザ光を前記加工ヘッドに伝送するファイバコアを切り替える切替部をさらに備える、レーザ加工装置。 - 前記複数のファイバコアの各々の出射端が、前記複数のファイバコアの各々と同じ屈折率を有する単一の光学部材に融着され、
前記光学部材を透過したレーザ光が出射する前記光学部材の出射面に無反射コーティングが施される、請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記複数のファイバコアが複数の光ファイバのそれぞれに収納され、前記複数の光ファイバの出射端が互いに接合される、請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記複数のファイバコアの各々が1つの光ファイバに収納される、請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記切替部は、前記レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に、前記光路に垂直な平面に対して傾けて配置された光学基板を有し、前記光学基板を前記光路に沿った軸線の周りで回転させることによって、前記加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、請求項1〜4のいずれか1つに記載のレーザ加工装置。
- 前記切替部は、前記レーザ光源が生成したレーザ光の光路上に配置された光学基板を有し、前記光学基板を前記光路に垂直な軸線の周りで回転させることによって、前記加工ヘッドにレーザ光を伝送するファイバコアを切り替える、請求項1〜4のいずれか1つに記載のレーザ加工装置。
- 前記複数のファイバコアには、直径、断面形状、及び屈折率の少なくともいずれか1つが異なる2つ以上のファイバコアが含まれる、請求項1〜6のいずれか1つに記載のレーザ加工装置。
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