JP2016039314A - 化合物半導体基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】結晶性が良い化合物半導体層をSi基板上に容易に形成可能な化合物半導体基板を提供する。
【解決手段】Si基板1と、Si基板1上に形成された上部バッファ層3と、を備え、上部バッファ層3は、GaAs層31とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層32とが繰り返し積層された構造を有する。この繰り返し積層された構造は、1つのGaAs層31と1つの前記GaAs1−xSbx層32とを含む薄膜積層部30が、例えば10層積層された構造である。
【選択図】図1
【解決手段】Si基板1と、Si基板1上に形成された上部バッファ層3と、を備え、上部バッファ層3は、GaAs層31とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層32とが繰り返し積層された構造を有する。この繰り返し積層された構造は、1つのGaAs層31と1つの前記GaAs1−xSbx層32とを含む薄膜積層部30が、例えば10層積層された構造である。
【選択図】図1
Description
本発明は、化合物半導体基板に関する。
GaAsに代表される化合物半導体は、Siでは得ることのできない特性を発現することができるため、HEMT(High Electron Mobility Transistor)やHBT(Heterojunction Bipolar Transistor)などの高速電子デバイスや、LED(Light Emitted Diode)、LD(Laser Diode)などの光デバイス、高効率の太陽電池、磁気センサなど多岐に渡るデバイスへの応用が進められている。
これらのデバイスにおいて、良好な特性、信頼性を得るためには、その上にデバイス層を形成するための基板上に、表面が平坦であり、転位などの結晶欠陥が少ない化合物半導体層を形成する技術が重要である。基板材料としてGaAsやInPなどの単結晶からなる化合物半導体を用いると、Siを用いた場合よりも比較的容易に表面が平坦であり、結晶欠陥が少ない化合物半導体を形成することができる。このため、基板材料としては、化合物半導体がよく用いられている。
しかしながら、化合物半導体を用いた場合、一般的に大型の単結晶を得るのが難しく、基板の大口径化がSiよりも難しい。またGaAsやInPは、Siと比較すると、脆くて割れやすい上、価格の上でも高価である。
そこで、安価で割れにくく、大口径化が容易なSi基板の上に化合物半導体層を形成した化合物半導体基板が注目されている。高品質の化合物半導体層をSi基板上に形成することができれば、優れた特徴をもつ化合物半導体のデバイスと、Si上の大規模な信号処理回路とを融合させたOEIC(Opto−Electronic Integrated Circuit)などについても利用が可能となる。
そこで、安価で割れにくく、大口径化が容易なSi基板の上に化合物半導体層を形成した化合物半導体基板が注目されている。高品質の化合物半導体層をSi基板上に形成することができれば、優れた特徴をもつ化合物半導体のデバイスと、Si上の大規模な信号処理回路とを融合させたOEIC(Opto−Electronic Integrated Circuit)などについても利用が可能となる。
しかしながら、Si基板上に化合物半導体層を形成する場合、格子定数や熱膨張係数が大きく異なるため、これに起因したミスフイットが生じてしまい、結晶欠陥が多く発生してしまう。例えば、SiとGaAsとの間では、格子定数は約4%の差が存在し、線膨張係数は3倍もの差がある。したがって、Si基板上に、結晶欠陥が少ないGaAsを形成することは容易ではない。
Si基板上に、結晶欠陥が少ない化合物半導体薄膜を形成するためには、Si基板表面の自然酸化膜除去と、表面処理の工程とが重要となる。例えば、特許文献1によると、Si基板上にAsを含む化合物半導体を設けた化合物半導体基板において、Si基板と、化合物半導体層との界面に、化合物半導体層よりもAsの濃度が高い物質を島状に存在させる方法が提案されている。
特許文献1に開示された技術によれば、Si基板上に結晶性が良いGaAsを形成することができる。しかしながら、Si基板上に転位密度1×107cm−2以下の、GaAsを形成することは容易ではない。
Si基板上に、結晶欠陥が少ない化合物半導体薄膜を形成するために、化合物半導体薄膜の形成途中或いは形成後に繰り返し熱アニールする方法が知られている。しかしながら、一般にこの技術では、Si基板上に形成されるGaAsの転位密度は1×107cm−2より大きく、転位密度1×107cm−2以下のGaAsを形成することは極めて困難である。また、化合物半導体層の温度を、700℃以上のアニール温度と300℃以下の低温とに複数回にわたり変化させるため多大な時間を必要とする。
Si基板上に、結晶欠陥が少ない化合物半導体薄膜を形成するために、化合物半導体薄膜の形成途中或いは形成後に繰り返し熱アニールする方法が知られている。しかしながら、一般にこの技術では、Si基板上に形成されるGaAsの転位密度は1×107cm−2より大きく、転位密度1×107cm−2以下のGaAsを形成することは極めて困難である。また、化合物半導体層の温度を、700℃以上のアニール温度と300℃以下の低温とに複数回にわたり変化させるため多大な時間を必要とする。
また、超格子層を形成することで、転位を低減する方法が知られている。一般に、超格子の技術により転位の低減効果を発揮するためには、超格子層を形成する前の下層において転位密度を1×108cm−2以下に低減しておく必要がある。このため、熱アニールの繰り返しで転位密度を低減した後に、超格子を形成することが多い。
例えば、熱アニール法により転位密度を1×108cm−2以下に低減したのち、InGaAs層とGaAs層との超格子を形成することで、InGaAs層とGaAs層との界面で転位を曲折し、転位密度を低減する方法が知られている。この技術によれば、Si基板上に転位密度が1×107cm−2以下のGaAsを形成することができる。しかしながら、この技術は熱アニールが必要であり、時間がかかる。
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、結晶性が良い化合物半導体層をSi基板上に容易に形成可能な化合物半導体基板を提供することを目的とする。
例えば、熱アニール法により転位密度を1×108cm−2以下に低減したのち、InGaAs層とGaAs層との超格子を形成することで、InGaAs層とGaAs層との界面で転位を曲折し、転位密度を低減する方法が知られている。この技術によれば、Si基板上に転位密度が1×107cm−2以下のGaAsを形成することができる。しかしながら、この技術は熱アニールが必要であり、時間がかかる。
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、結晶性が良い化合物半導体層をSi基板上に容易に形成可能な化合物半導体基板を提供することを目的とする。
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、GaAs/Si界面近傍から発生した転位がGaAsSb層とGaAs層との界面において曲折することを見出した。そして、本発明者は、GaAsSb層とGaAs層との界面を積極的に活用して、結晶転位密度が1×107cm−2未満という、結晶欠陥が少ないGaAsを容易に形成可能な本発明をなすに至った。
すなわち、本発明の一態様に係る化合物半導体基板は、Si基板と、前記Si基板上に形成された第1のバッファ層と、を備え、前記第1のバッファ層は、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とが繰り返し積層された構造を有することを特徴とする。
すなわち、本発明の一態様に係る化合物半導体基板は、Si基板と、前記Si基板上に形成された第1のバッファ層と、を備え、前記第1のバッファ層は、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とが繰り返し積層された構造を有することを特徴とする。
また、上記の化合物半導体基板において、前記繰り返し積層された構造は、1つの前記GaAs層と1つの前記GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とを含む薄膜積層部が、5つ以上積層された構造であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、1つの前記GaAs層の厚みと、1つの前記GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層の厚みは、それぞれ50nm以下であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記Si基板と前記第1のバッファ層との間に配置された第2のバッファ層、をさらに備えることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、1つの前記GaAs層の厚みと、1つの前記GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層の厚みは、それぞれ50nm以下であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記Si基板と前記第1のバッファ層との間に配置された第2のバッファ層、をさらに備えることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記第2のバッファ層は、前記Si基板上に形成された第1の化合物半導体層と、前記第1の化合物半導体層上に形成された第2の化合物半導体層と、前記第2の化合物半導体層上に形成された第3の化合物半導体層と、を備え、前記第1の化合物半導体層はGaAs1−ySby(0≦y≦0.1)層であり、前記第2の化合物半導体層はGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層であり、前記第3の化合物半導体層はGaAs層であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記第3の化合物半導体層の、前記Si基板の面方位と同じ面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブの半値幅であるFWHM値は、200秒以下であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記第1の化合物半導体層は、GaAs層であることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体基板において、前記第1の化合物半導体層は、GaAs層であることを特徴としてもよい。
本発明の一態様によれば、結晶性が良い化合物半導体層をSi基板上に容易に形成可能な化合物半導体基板を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
<実施形態>
図1は、本発明の実施形態に係る化合物半導体基板100の構成例を示す断面図である。
この化合物半導体基板100は、Si基板1と、Si基板1上に形成された化合物半導体層5と、を備える。また、化合物半導体層5は、下部バッファ層2(第2のバッファ層とも称する)と、下部バッファ層2上に形成された上部バッファ層3(第1のバッファ層とも称する)と、上部バッファ層3上に形成された最上層4とを有する。
本発明の実施形態の化合物半導体基板は、Si基板上に上部バッファ層3を備えることにより、結晶性が良い化合物半導体層(特に結晶性の良い最上層4)を容易に形成が可能になる。より結晶性の良い化合物半導体層を得る観点から、下部バッファ層2を備えていることが好ましい。
<実施形態>
図1は、本発明の実施形態に係る化合物半導体基板100の構成例を示す断面図である。
この化合物半導体基板100は、Si基板1と、Si基板1上に形成された化合物半導体層5と、を備える。また、化合物半導体層5は、下部バッファ層2(第2のバッファ層とも称する)と、下部バッファ層2上に形成された上部バッファ層3(第1のバッファ層とも称する)と、上部バッファ層3上に形成された最上層4とを有する。
本発明の実施形態の化合物半導体基板は、Si基板上に上部バッファ層3を備えることにより、結晶性が良い化合物半導体層(特に結晶性の良い最上層4)を容易に形成が可能になる。より結晶性の良い化合物半導体層を得る観点から、下部バッファ層2を備えていることが好ましい。
本発明の実施形態において、化合物半導体層5は各種の成膜方法を用いて形成する。例えば、分子線エピタキシー(MBE)法や有機金属気相エピタキシー(MOVPE)法などは好ましい方法である。これらの方法を用いて、Si基板1上に化合物半導体層5を形成する。化合物半導体層5の形成工程では、化合物半導体層5を構成する各層の形成途中で基板を成膜装置から一旦、大気中に取り出してもよい。
また、形成後の化合物半導体基板100を成膜装置から大気中に取り出して、化合物半導体層5をエッチング、電極形成するなどして半導体デバイスを作製してもよいし、化合物半導体基板100を形成した成膜装置と同一の成膜装置(或いは、別の成膜装置)に再度導入し、化合物半導体基板100上に新たにデバイス層としての化合物半導体層を形成してもよい。
また、化合物半導体基板100を形成した後、この化合物半導体基板100を形成した成膜装置と同一の成膜装置において真空を保持したまま引き続き(或いは、真空を保持したまま別の成膜装置に導入し)、化合物半導体基板100上に新たに化合物半導体層を形成してもよい。この新たに形成する化合物半導体層の材料は特に制限されないが、例えば、GaAs、InAs、InSb、AlGaAs、InGaPなどが挙げられる。
図1に示す化合物半導体基板100の各層について、さらに詳しく説明をする。
(1)Si基板
本発明の実施形態において、Si基板1は、Siからなりその上に形成される化合物半導体層5を支持することが可能なものであれば特に制限されない。Si基板1は、一般に単結晶を成長できるものであれば特に制限されず、Siの単結晶基板が好ましく用いられる。Si基板1は、半絶縁性基板であってもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングされた導電性基板であってもよい。
(1)Si基板
本発明の実施形態において、Si基板1は、Siからなりその上に形成される化合物半導体層5を支持することが可能なものであれば特に制限されない。Si基板1は、一般に単結晶を成長できるものであれば特に制限されず、Siの単結晶基板が好ましく用いられる。Si基板1は、半絶縁性基板であってもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングされた導電性基板であってもよい。
Si基板1の面方位は特に制限はないが、(100)、(111)、(110)等が好ましい。優れた結晶性の観点からSi基板1の面方位は(111)であることが好ましい。また、これらの面方位に対して1°から5°傾けた面方位を用いることもある。Si基板1の表面は、真空中で加熱して酸化膜を除去してもよいし、有機物、金属等の汚染物質を除去した後、濃度1.0wt%のフッ化水素水溶液を用いて表面の酸化膜を除去して、水素終端処理を行ってもよい。
(2)化合物半導体層
化合物半導体層5は、Si基板1上に形成され、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とからなる積層体であれば特に制限されない。化合物半導体層5はノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。また、化合物半導体層5のうち、Si基板1に近接する化合物半導体層5は、上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。
化合物半導体層5は、Si基板1上に形成され、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とからなる積層体であれば特に制限されない。化合物半導体層5はノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。また、化合物半導体層5のうち、Si基板1に近接する化合物半導体層5は、上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。
(2.1)下部バッファ層
下部バッファ層2は、Si基板1上に形成された第1の化合物半導体層21と、第1の化合物半導体層21上に形成された第2の化合物半導体層22と、第2の化合物半導体層22上に形成された第3の化合物半導体層23とを備える。
第1の化合物半導体層21は、GaAs1−ySby(0≦y≦0.1)層であり、例えばGaAs層である。第2の化合物半導体層22は、GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層である。第3の化合物半導体層23は、GaAs層である。なお、後述の実施例で説明するように、第3の化合物半導体層23の、Si基板1の面方位と同じ面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブの半値幅であるFWHM値は、200秒以下である。
下部バッファ層2は、Si基板1上に形成された第1の化合物半導体層21と、第1の化合物半導体層21上に形成された第2の化合物半導体層22と、第2の化合物半導体層22上に形成された第3の化合物半導体層23とを備える。
第1の化合物半導体層21は、GaAs1−ySby(0≦y≦0.1)層であり、例えばGaAs層である。第2の化合物半導体層22は、GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層である。第3の化合物半導体層23は、GaAs層である。なお、後述の実施例で説明するように、第3の化合物半導体層23の、Si基板1の面方位と同じ面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブの半値幅であるFWHM値は、200秒以下である。
(2.1.1)第1の化合物半導体層
第1の化合物半導体層21は、化合物半導体層5のうちSi基板1に最近接する層である。第1の化合物半導体層21は、上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、第1の化合物半導体層21は、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。この第1の化合物半導体層21を高温で形成すると、表面の凹凸が激しくなり、十分な平坦性を確保することができなくなるため、比較的低温で形成することが多い。
第1の化合物半導体層21は、化合物半導体層5のうちSi基板1に最近接する層である。第1の化合物半導体層21は、上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、第1の化合物半導体層21は、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。この第1の化合物半導体層21を高温で形成すると、表面の凹凸が激しくなり、十分な平坦性を確保することができなくなるため、比較的低温で形成することが多い。
一方で、第1の化合物半導体層21を低温で形成した場合、表面の平坦性は十分であるが、結晶性は必ずしも良くなくなってしまう。但し、Si基板1最近接の化合物半導体層5を低温で形成後に、基板温度を上昇させ保持すると、アニール効果によって結晶性、表面の平坦性何れも改善することができる。
したがって、第1の化合物半導体層21の形成時の温度は、結晶性の観点から150℃以上であることが好ましく、平坦性確保の観点から350℃以下であることが好ましい。また温度をアニール効果が発現する程度に上昇させて保持した後または同時に、高温で第1の化合物半導体層21上に第2の化合物半導体層22を形成することが多い。
したがって、第1の化合物半導体層21の形成時の温度は、結晶性の観点から150℃以上であることが好ましく、平坦性確保の観点から350℃以下であることが好ましい。また温度をアニール効果が発現する程度に上昇させて保持した後または同時に、高温で第1の化合物半導体層21上に第2の化合物半導体層22を形成することが多い。
第1の化合物半導体層21がGaAs1−ySby(0≦y≦0.1)層である場合、第1の化合物半導体層21のSb組成yは、結晶性の観点から、0より大きく0.1以下(すなわち、0<y≦0.1)であることが好ましく、0.05以下(すなわち、0<y≦0.05)であることがさらに好ましい。また、y=0、すなわち第1の化合物半導体層21がGaAs層である場合、結晶性が非常に良く好ましい。
第1の化合物半導体層21を形成する際、Si基板1の有機物、金属等の汚染物質を除去した後、フッ化水素水溶液を用いて表面の酸化膜を除去して、水素終端処理を行う。そして、この水素処理を行ったSi基板1と化合物半導体層5の間に、Asを先行照射させる。これにより、Si基板1に接する化合物半導体層5よりもAs濃度の高い物質を島状に存在させると、結晶性が良く、優れた表面の平坦性が得られるので好ましい。
第1の化合物半導体層21は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
第1の化合物半導体層21は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
(2.1.2)第2の化合物半導体層
第2の化合物半導体層22は、化合物半導体層5が有するGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層のうち、Si基板1に最近接する層である。第2の化合物半導体層22は、第2の化合物半導体層22より上の上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、第2の化合物半導体層22も、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。第2の化合物半導体層22は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
第2の化合物半導体層22は、化合物半導体層5が有するGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層のうち、Si基板1に最近接する層である。第2の化合物半導体層22は、第2の化合物半導体層22より上の上層を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、第2の化合物半導体層22も、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。第2の化合物半導体層22は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
結晶性と表面平坦性に優れたGaAs1−xSbx層は、例えば成長温度を高くし、形成速度を小さくすることにより形成することができる。したがって、第2の化合物半導体層22の形成時の温度は、結晶性及び表面平坦性の観点から550℃以上であることが好ましく、V族元素であるAs,Sbの再蒸発を防止して、結晶性及び表面平坦性を確保する観点から700℃以下であることが好ましい。
第2の化合物半導体層22の形成速度は、結晶性確保の観点から0.2μm/h以下が好ましく、0.1μm/h以下がより好ましい。また、第2の化合物半導体層22の形成速度は、形成時間の観点から、0.01μm/h以上が好ましい。なお、形成速度は、所望の結晶性、形成時間に応じて、適宜決めることができる。ここでいう形成速度とは、形成した膜厚を形成に要した時間で割り算した値である。通常、Gaは付着係数が高いため、供給されたGa原料は全て膜中に取り込まれる。すなわち、形成速度はGaフラックスに比例する。しかしながら、基板温度が高い場合、供給されたGaの一部は、再蒸発してしまい、膜中に取り込まれない。すなわち、必ずしもGaフラックスと形成速度が比例しない。
第2の化合物半導体層22の膜厚は、十分な結晶性確保の観点から0.05μm以上が好ましく、また、形成時間の観点から0.3μm以下が好ましい。表面平坦性確保の観点から、第2の化合物半導体層22の形成工程では、GaAs1−xSbx層の形成速度が1時間当たり1μmとなるために必要なGa原料の分子線強度に対するSb原料の分子線強度の比(以下、換算Sb/Ga分子線強度比と称することがある)が、1以上であることが好ましい。
第2の化合物半導体層22のSb組成xは、結晶性確保の観点から0.1以下が好ましい。Sb組成xを0.1以下にするために、As原料は反応性や付着係数が高いAs2分子であることが好ましい。As2分子は反応性や付着係数が高いため、Sb組成xはそれほど大きくならず、Sb組成xが0.1以下である第2の化合物半導体層22を容易に形成することができる。反応性や付着係数の高いAs2分子は、例えばAs4分子を加熱等によりクラッキングすることにより生成することが可能である。
(2.1.3)第3の化合物半導体層
第3の化合物半導体層23は、GaAs層である。第3の化合物半導体層23の形成時の温度は、結晶性及び表面平坦性の観点から、550℃以上であることが好ましい。また、第3の化合物半導体層23の形成時の温度は、V族元素であるAsの再蒸発を防止して、結晶性及び表面平坦性を確保する観点から700℃以下であることが好ましい。第3の化合物半導体層23は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
第3の化合物半導体層23は、GaAs層である。第3の化合物半導体層23の形成時の温度は、結晶性及び表面平坦性の観点から、550℃以上であることが好ましい。また、第3の化合物半導体層23の形成時の温度は、V族元素であるAsの再蒸発を防止して、結晶性及び表面平坦性を確保する観点から700℃以下であることが好ましい。第3の化合物半導体層23は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
GaAs層とGaAs1−xSbx層との界面による転位曲折の効果を十分に発揮するためには、GaAs層とGaAs1−xSbx層との界面の転位密度が1×108cm−2以下であることが好ましい。そのため、なるべく下層にて転位密度が低く抑えられていることが好ましい。すなわち、第3の化合物半導体層のうち、上部バッファ層3との界面側(例えば該界面から約0.3μm)の転位密度は、1×108cm−2以下であることが好ましい。
また、一般に、格子定数が一定である層の膜厚が増加するにつれて転位密度が減少していくため、Si基板1に最近接となるGaAs1−xSbxの直上のGaAs層は、ある程度膜厚が厚いことが好ましい。したがって、第3の化合物半導体層23の膜厚は0.5μm以上であることが好ましく、形成時間の観点から10μm以下が好ましい。
また、一般に、格子定数が一定である層の膜厚が増加するにつれて転位密度が減少していくため、Si基板1に最近接となるGaAs1−xSbxの直上のGaAs層は、ある程度膜厚が厚いことが好ましい。したがって、第3の化合物半導体層23の膜厚は0.5μm以上であることが好ましく、形成時間の観点から10μm以下が好ましい。
第3の化合物半導体層23における、前記Si基板の面方位と同じ面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブの半値幅であるFWHM値は、200秒以下であることが好ましい。
第3の化合物半導体層23の形成速度は、結晶性確保の観点から5μm/h以下が好ましく、3μm/h以下がより好ましい。また、第3の化合物半導体層23の形成速度は、形成時間の観点から、0.1μm/h以上が好ましい。第3の化合物半導体層23の形成速度は、所望の結晶性、形成時間に応じて、適宜決めることができる。
第3の化合物半導体層23の形成速度は、結晶性確保の観点から5μm/h以下が好ましく、3μm/h以下がより好ましい。また、第3の化合物半導体層23の形成速度は、形成時間の観点から、0.1μm/h以上が好ましい。第3の化合物半導体層23の形成速度は、所望の結晶性、形成時間に応じて、適宜決めることができる。
(2.2)上部バッファ層
図2は、上部バッファ層3の構成例を示す断面図である。上部バッファ層3は、GaAs層31とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層32とが繰り返し積層された構造を有する。この繰り返し積層された構造は、1つのGaAs層31と1つのGaAs1−xSbx層32とを含む薄膜積層部30が、複数の層(例えば、30i〜30i+9の10層)積層された構造である。上部バッファ層3は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
図2は、上部バッファ層3の構成例を示す断面図である。上部バッファ層3は、GaAs層31とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層32とが繰り返し積層された構造を有する。この繰り返し積層された構造は、1つのGaAs層31と1つのGaAs1−xSbx層32とを含む薄膜積層部30が、複数の層(例えば、30i〜30i+9の10層)積層された構造である。上部バッファ層3は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
上部バッファ層3は、最上層4を形成するためのバッファ層としての役割を果たす。したがって、上部バッファ層3も、結晶性と表面平坦性に優れていることが好ましい。
ここで、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層との界面で転位が曲折することから、化合物半導体層5では、GaAs層31とGaAs1−xSbx層32との界面の数が多いことが好ましい。したがって、上部バッファ層3に含まれるGaAs1−xSbx層32の数は2つ以上であることが望ましく、より好ましくは5以上であることが好ましく、特に10以上であることがより好ましい。形成時間の観点から、GaAs1−xSbx層32の数は30以下であることが好ましい。
ここで、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層との界面で転位が曲折することから、化合物半導体層5では、GaAs層31とGaAs1−xSbx層32との界面の数が多いことが好ましい。したがって、上部バッファ層3に含まれるGaAs1−xSbx層32の数は2つ以上であることが望ましく、より好ましくは5以上であることが好ましく、特に10以上であることがより好ましい。形成時間の観点から、GaAs1−xSbx層32の数は30以下であることが好ましい。
特に、膜厚の比較的薄いGaAs層31とGaAs1−xSbx層32とを交互に積層した構造を、上部バッファ層3が持つことが好ましい。この構造の1周期の膜厚(すなわち、1つのGaAs層31と1つのGaAs1−xSbx層32とを含む1つの薄膜積層部30の膜厚)は、転位の曲折の効果を発揮する観点から5nm以上が好ましく、特に10nm以上であることがより好ましい。また格子不整合による新たな転位を発生させない観点から、この構造の1周期の膜厚は50nm以下であることが好ましく、特に30nm以下であることがより好ましい。同じ膜厚の構造を周期的に積層することが多いが、各構造の膜厚が異なっていても構わない。
表面平坦性確保の観点から、第2の化合物半導体層22の形成工程と同様、上部バッファ層3の形成工程においても、GaAs1−xSbx層32の形成速度が1時間当たり1μmとなるために必要なGa原料の分子線強度に対するSb原料の分子線強度の比(すなわち、換算Sb/Ga分子線強度比)が、1以上であることが好ましい。
また、第2の化合物半導体層22と同様、上部バッファ層3においても、GaAs1−xSbx層32のSb組成xは、結晶性確保の観点から0.1以下が好ましい。Sb組成xを0.1以下にするために、As原料は反応性や付着係数が高いAs2分子であることが好ましい。As2分子は反応性や付着係数が高いため、Sb組成xはそれほど大きくならず、Sb組成xが0.1以下のGaAs1−xSbx層を容易に形成することができる。反応性や付着係数の高いAs2分子は、例えばAs4分子を加熱等によりクラッキングすることにより生成することが可能である。
また、第2の化合物半導体層22と同様、上部バッファ層3においても、GaAs1−xSbx層32のSb組成xは、結晶性確保の観点から0.1以下が好ましい。Sb組成xを0.1以下にするために、As原料は反応性や付着係数が高いAs2分子であることが好ましい。As2分子は反応性や付着係数が高いため、Sb組成xはそれほど大きくならず、Sb組成xが0.1以下のGaAs1−xSbx層を容易に形成することができる。反応性や付着係数の高いAs2分子は、例えばAs4分子を加熱等によりクラッキングすることにより生成することが可能である。
(2.3)最上層
最上層4は、GaAs層である。最上層4の形成時の温度は、結晶性及び表面平坦性の観点から、550℃以上であることが好ましい。また、最上層4の形成時の温度は、V族元素であるAsの再蒸発を防止して、結晶性及び表面平坦性を確保する観点から700℃以下であることが好ましい。最上層4は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
最上層4は、GaAs層である。最上層4の形成時の温度は、結晶性及び表面平坦性の観点から、550℃以上であることが好ましい。また、最上層4の形成時の温度は、V族元素であるAsの再蒸発を防止して、結晶性及び表面平坦性を確保する観点から700℃以下であることが好ましい。最上層4は、ノンドープでもよいし、ドナー不純物やアクセプタ不純物によって、n型やp型にドーピングしてもよい。
転位密度を十分に低減させる観点から、化合物半導体層5の最上層である最上層4の膜厚は、0.5μm以上であることが好ましく、形成時間の観点から10μm以下であることが好ましい。
また、最上層4の形成速度は、第3の化合物半導体層23と同様、結晶性確保の観点から5μm/h以下が好ましく、3μm/h以下がより好ましい。また、最上層4の形成速度は、形成時間の観点から、0.1μm/h以上が好ましい。最上層4の形成速度は、所望の結晶性、形成時間に応じて、適宜決めることができる。
この実施形態では、下部バッファ層2が本発明の「第2のバッファ層」に対応し、上部バッファ層3が本発明の「第1のバッファ層」に対応している。
また、最上層4の形成速度は、第3の化合物半導体層23と同様、結晶性確保の観点から5μm/h以下が好ましく、3μm/h以下がより好ましい。また、最上層4の形成速度は、形成時間の観点から、0.1μm/h以上が好ましい。最上層4の形成速度は、所望の結晶性、形成時間に応じて、適宜決めることができる。
この実施形態では、下部バッファ層2が本発明の「第2のバッファ層」に対応し、上部バッファ層3が本発明の「第1のバッファ層」に対応している。
<実施形態の効果>
本発明の実施形態によれば、Si基板1上に形成される化合物半導体層5は、膜厚が比較的薄いGaAs層とGaAs1−xSbx層とを交互に積層した上部バッファ層3を有する。これにより、上部バッファ層3は転位曲折の効果を発揮することができ、上部バッファ層3の上に結晶性が良い(例えば、転位密度が1×107cm−2以下である)最上層4を、熱アニールを行うことなく容易に形成することができる。このように、本発明の実施形態によれば、結晶性が良い化合物半導体層5をSi基板1上に容易に形成可能な化合物半導体基板100を提供することができる。
本発明の実施形態によれば、Si基板1上に形成される化合物半導体層5は、膜厚が比較的薄いGaAs層とGaAs1−xSbx層とを交互に積層した上部バッファ層3を有する。これにより、上部バッファ層3は転位曲折の効果を発揮することができ、上部バッファ層3の上に結晶性が良い(例えば、転位密度が1×107cm−2以下である)最上層4を、熱アニールを行うことなく容易に形成することができる。このように、本発明の実施形態によれば、結晶性が良い化合物半導体層5をSi基板1上に容易に形成可能な化合物半導体基板100を提供することができる。
<変形例>
(1)上記の実施形態では、図2に示したように、上部バッファ層3を構成する複数の薄膜積層部30の各々において、GaAs層が下層でGaAsSbが上層である場合について説明した。しかしながら、本発明において、薄膜積層部30におけるGaAs層とGaAsSb層との位置関係はこれに限定されるものではない。すなわち、上部バッファ層3を構成する複数の薄膜積層部30i〜30i+9の各々において、GaAsSb層32が下層でGaAs層31が上層であってもよい。このような構成であっても、実施形態の効果を奏する。
(1)上記の実施形態では、図2に示したように、上部バッファ層3を構成する複数の薄膜積層部30の各々において、GaAs層が下層でGaAsSbが上層である場合について説明した。しかしながら、本発明において、薄膜積層部30におけるGaAs層とGaAsSb層との位置関係はこれに限定されるものではない。すなわち、上部バッファ層3を構成する複数の薄膜積層部30i〜30i+9の各々において、GaAsSb層32が下層でGaAs層31が上層であってもよい。このような構成であっても、実施形態の効果を奏する。
(2)また、上記の実施形態では、最上層4がGaAs層である場合について説明した。しかしながら、本発明において、最上層4はGaAs層に限定されない。最上層4は、GaAsSb層でもよい。このような構成であっても、実施形態の効果を奏する。
(3)また、上記の実施形態において、第2の化合物半導体層22であるGaAs1−xSbx層のSb組成xと、上部バッファ層3のGaAs1−xSbx層32のSb組成xは、0<X≦1の範囲内であれば、同じ値でもよいし異なる値でもよい。何れの場合も、実施形態の効果を奏する。
(3)また、上記の実施形態において、第2の化合物半導体層22であるGaAs1−xSbx層のSb組成xと、上部バッファ層3のGaAs1−xSbx層32のSb組成xは、0<X≦1の範囲内であれば、同じ値でもよいし異なる値でもよい。何れの場合も、実施形態の効果を奏する。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明は、下記実施例に限定されるものではなく、その発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変更可能であることは言うまでもない。
<実施例>
図3は実施例を説明するための図である。詳しくは、図3(a)は実施例で得られた化合物半導体基板の断面構造を示す図である。図3(b)は実施例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の断面TEM像を示す図である。図3(c)は実施例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の平面TEM像を示す図である。
<実施例>
図3は実施例を説明するための図である。詳しくは、図3(a)は実施例で得られた化合物半導体基板の断面構造を示す図である。図3(b)は実施例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の断面TEM像を示す図である。図3(c)は実施例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の平面TEM像を示す図である。
図3(a)に示すように、まずSi(111)基板を用意した。次に、Si(111)基板の表面の有機物、金属等の汚染物質を除去した後、濃度1.0wt%のフッ化水素水溶液を用いて表面の酸化膜を除去して、水素終端処理を行った。これを直ちにMBE装置内に導入し、1×10−8Torr(1.333×10−6Pa)以下の真空中で、基板温度が300℃になるまで加熱し、温度が一定になったところでSi基板にAsを照射した。
引き続き、分子線強度が6×10−8TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とをSi基板上に同時に照射した。これにより、Si基板上に、膜厚20nmのGaAs層(LT−GaAs)を1時間当たり0.1μmの形成速度で形成した。
引き続き、分子線強度が6×10−8TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とをSi基板上に同時に照射した。これにより、Si基板上に、膜厚20nmのGaAs層(LT−GaAs)を1時間当たり0.1μmの形成速度で形成した。
次に、基板温度が680℃になるまで基板を加熱し、温度が一定になったところで、分子線強度が1.2×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子と、分子線強度が1.61×10−6TorrのSbとを基板に照射した。これにより、GaAs層上に膜厚230nmのSi基板に最近接となるGaAs1−xSbx層を、1時間当たり0.09μmの形成速度で形成した。このとき、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層の形成速度が1時間当たり1μmとなるために必要なGa原料の分子線強度に対するSb原料の分子線強度の比(換算Sb/Ga分子線強度比)は2.68である。
ここでいう形成速度とは、形成した膜厚を形成に要した時間で割り算した値である。通常、Gaは付着係数が高いため、供給されたGa原料は全て膜中に取り込まれる。すなわち形成速度はGaフラックスに比例する。しかしながら、本実施例においては、優れた結晶性と平坦性を得るため、基板温度は680℃と非常に高くしている。その結果、供給されたGaの一部は、再蒸発してしまい、膜中に取り込まれない。すなわち、必ずしもGaフラックスと形成速度が比例していない。
Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層を形成した基板を、一旦、MBE装置から大気中に取り出し、第2の化合物半導体層の(111)面に対応するX線回折ピークを、X線回折装置(PHILIPS社製、PW1830)を用いて解析したところ、Sb組成xは0.007であった。また、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層の、(111)面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブのFWHM値は185秒であった。この数値は、膜厚が250nmと非常に薄いにもかかわらず小さい値であり、良好な結晶性を示している。
基板をMBE装置に再度導入し、MBE法を用いて、分子線強度を1.2×10−7Torrから6.1×10−7Torrまで漸次増加させたGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とを同時に照射することにより、膜厚1100nmのGaAs層を形成した。形成時の基板温度は680℃である。
続けて、GaAs層20nmとGaAs1−xSbx層20nmとをそれぞれ10回ずつ互いに繰り返し積層することで、GaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層構造を400nm形成した。この積層構造が、実施形態で説明した上部バッファ層に相当する。
繰り返し積層された構造のGaAs層は分子線強度が6.1×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とを基板に照射することで形成した。繰り返し積層された構造のGaAs1−xSbx層は分子線強度が6.1×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子と、分子線強度が1.61×10−6TorrのSbと、を基板に照射することで形成した。
繰り返し積層された構造のGaAs層は分子線強度が6.1×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とを基板に照射することで形成した。繰り返し積層された構造のGaAs1−xSbx層は分子線強度が6.1×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子と、分子線強度が1.61×10−6TorrのSbと、を基板に照射することで形成した。
このとき、換算Sb/Ga分子線強度比は3.87である。形成時の基板温度は680℃であり、形成速度は0.8μm/hである。GaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層構造を形成する際、GaAs層とGaAs1−xSbx層との作り分けはSbシャッターの開閉のみで制御することができる。したがって、GaAs層とGaAs1−xSbx層との間で基板温度を変化させるような成長中断の時間を挟むことなく、GaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層構造を形成した。
続けて、分子線強度を6.1×10−7TorrのGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とを同時に照射することにより、膜厚4100nmのGaAs層を形成した。形成時の基板温度は680℃であり、形成速度は0.8μm/hである。
実施例で作成した化合物半導体基板の転位密度を、断面TEM像観察により評価した。この手法を用いれば、基板から化合物半導体層の最表面に至るまでの積層構造において、転位密度の膜厚方向の分布を評価することができる。
実施例で作成した化合物半導体基板の転位密度を、断面TEM像観察により評価した。この手法を用いれば、基板から化合物半導体層の最表面に至るまでの積層構造において、転位密度の膜厚方向の分布を評価することができる。
図3(b)の断面TEM像は、横方向の長さ8μm、奥行き方向の厚み0.15μmの大きさの薄片サンプルを倍率25000倍で観察したものである。すなわち、ある膜厚領域において欠陥の数がゼロであれば、該領域を面で評価したときの転位密度(以下、単に転位密度という)は8.3×107cm−2未満、欠陥の数が1個以上であれば転位密度は8.3×107cm−2以上、欠陥の数が10個以上であれば転位密度は8.3×108cm−2以上、欠陥の数が100個以上であれば転位密度は8.3×109cm−2以上であることが分かる。
通常、転位密度は膜厚の増加につれて減少していく傾向を示す。一方、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層に含まれる転位は非常に多いにも関わらず、上層のGaAs層(1100nmの部分)層においては転位が急激に低減している様子が確認された。
通常、転位密度は膜厚の増加につれて減少していく傾向を示す。一方、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層に含まれる転位は非常に多いにも関わらず、上層のGaAs層(1100nmの部分)層においては転位が急激に低減している様子が確認された。
また、図3(b)に示されるように、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層と、その上層のGaAs層との界面において界面と並行方向に転位が曲折している様子が確認され、Si基板との界面で発生した転位の上層への伝播を防いでいる様子が確認された。すなわち、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層の上層のGaAs層)との界面で転位が界面と並行方向に曲折するため、上層のGaAsの転位密度が急激に減少することが分かった。
同様にGaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層された構造において、GaAs1−xSbx層とGaAs層との界面において界面と並行方向に転位が曲折している様子が確認された。化合物半導体層のうち、繰り返し積層された構造層の上層に相当する最表面から膜厚0.5μmの領域(すなわち、最表面から0.5μm離れた領域)では、断面TEM像観察の結果から欠陥は一つも確認されなかった。このことから、最表面から膜厚0.5μmの領域では、転位密度は8.3×107cm−2未満であることが分かった。すなわち、GaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層された構造において、GaAs1−xSbx層とGaAs層との界面で転位が界面と並行方向に曲折されるため、上層に転位密度が小さい結晶性に優れたGaAsを形成することができた。
また、実施例で作成した化合物半導体基板の転位密度を、平面TEM像観察により評価した。この手法を用いれば、サンプルの特定の深さ部分について、断面TEM像と比べて広い視野で転位密度の評価を行うことができるため、結晶転位密度が低いサンプルについて、断面TEMと比べて正確に結晶転位密度の評価を行うことができる。
実施例で作成した化合物半導体基板の最表面からの深さ0.15μmから0.45μmの領域を取り出し、最表面側からSi基板側に向かって、倍率50000倍、3.5μm角四方の視野で観察を行った結果を図3(c)に示す。欠陥の数がゼロであれば、該領域を面で評価したときの転位密度(以下、単に転位密度という)は8.2×106cm−2未満、欠陥の数が1個であれば転位密度は8.2×106cm−2、欠陥の数が2個以上であれば転位密度は1.6×107cm−2以上であることがわかる。図3(c)より、欠陥が1つのみ観察されたことから、実施例で作成した化合物半導体基板の最表面からの深さ0.15μmから0.45μmの領域の転位密度は8.2×106cm−2であることが分かった。また積層欠陥のような転位以外の欠陥は観察されなかった。すなわち、結晶転位密度1×107cm−2以下の、非常に良好な結晶性を示すことが分かった。
以上のように、GaAs層とGaAs1−xSbx層とを逐次積層することにより、GaAs層とGaAs1−xSbx層との界面において転位を曲折し、Si基板上に、転位密度1×107cm−2以下の結晶性の非常に良い化合物半導体層を備えた化合物半導体基板を容易に実現できることが分かった。
実施例で作成した化合物半導体基板の最表面からの深さ0.15μmから0.45μmの領域を取り出し、最表面側からSi基板側に向かって、倍率50000倍、3.5μm角四方の視野で観察を行った結果を図3(c)に示す。欠陥の数がゼロであれば、該領域を面で評価したときの転位密度(以下、単に転位密度という)は8.2×106cm−2未満、欠陥の数が1個であれば転位密度は8.2×106cm−2、欠陥の数が2個以上であれば転位密度は1.6×107cm−2以上であることがわかる。図3(c)より、欠陥が1つのみ観察されたことから、実施例で作成した化合物半導体基板の最表面からの深さ0.15μmから0.45μmの領域の転位密度は8.2×106cm−2であることが分かった。また積層欠陥のような転位以外の欠陥は観察されなかった。すなわち、結晶転位密度1×107cm−2以下の、非常に良好な結晶性を示すことが分かった。
以上のように、GaAs層とGaAs1−xSbx層とを逐次積層することにより、GaAs層とGaAs1−xSbx層との界面において転位を曲折し、Si基板上に、転位密度1×107cm−2以下の結晶性の非常に良い化合物半導体層を備えた化合物半導体基板を容易に実現できることが分かった。
<参考例>
図4は参考例を説明するための図である。詳しくは、図4(a)は参考例で得られた化合物半導体基板の断面構造を示す図である。図4(b)は参考例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の断面TEM像を示す図である。図4(c)は参考例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の平面TEM像を示す図である。
参考例では、実施例で形成したGaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層構造を形成することなく、同等の膜厚分のGaAsを形成した。したがって、図4(a)に示すように、化合物半導体層に含まれるGaAs1−xSbx層は一層のみである。詳細は、以下の通りである。なお、参考例において、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層を形成した基板を一旦、MBE装置から大気中に取り出す工程までは実施例と同じである。
図4は参考例を説明するための図である。詳しくは、図4(a)は参考例で得られた化合物半導体基板の断面構造を示す図である。図4(b)は参考例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の断面TEM像を示す図である。図4(c)は参考例で得られた化合物半導体基板の転位密度評価用の平面TEM像を示す図である。
参考例では、実施例で形成したGaAs層とGaAs1−xSbx層の繰り返し積層構造を形成することなく、同等の膜厚分のGaAsを形成した。したがって、図4(a)に示すように、化合物半導体層に含まれるGaAs1−xSbx層は一層のみである。詳細は、以下の通りである。なお、参考例において、Si基板に最近接となるGaAs1−xSbx層を形成した基板を一旦、MBE装置から大気中に取り出す工程までは実施例と同じである。
基板をMBE装置に再度導入し、MBE法を用いて、分子線強度を1.2×10−7Torr(数字要チェック)から6.1×10−7Torrまで漸次増加させたGaと、分子線強度が3×10−5TorrのAs4分子をクラッキング(すなわち、加熱)して生成したAs2分子とを同時に照射することにより、膜厚5600nmのGaAs層を形成した。形成時の基板温度は680℃である。
化合物半導体層のうち、最表面から膜厚0.5μmの領域(すなわち、最表面から0.5μm離れた領域)では、図4(b)の断面TEM像の観察結果から欠陥は一つも確認されなかったことから、転位密度は8.3×107cm−2未満であることが分かった。
化合物半導体層のうち、最表面から膜厚0.5μmの領域(すなわち、最表面から0.5μm離れた領域)では、図4(b)の断面TEM像の観察結果から欠陥は一つも確認されなかったことから、転位密度は8.3×107cm−2未満であることが分かった。
図4(c)は、参考例で作成した化合物半導体基板の最表面から0.15μmからの深さ0.45μmの領域を取り出し、最表面側からSi基板側に向かって、倍率50000倍、3.5μm角四方の視野で平面TEM観察を行った図である。図4(c)より、欠陥が4つ観察されたことから、参考例で作成した化合物半導体基板の最表面からの深さ0.15μmから0.45μmの領域の転位密度は3.3×107cm−2であることが分かった。
すなわち、参考例は、実施例と比較した場合、結晶性が劣り、転位密度1×107cm−2以下のGaAsを形成できないことが分かった。
すなわち、参考例は、実施例と比較した場合、結晶性が劣り、転位密度1×107cm−2以下のGaAsを形成できないことが分かった。
1 Si基板
2 下部バッファ層
3 上部バッファ層
4 最上層
5 化合物半導体層
21 第1の化合物半導体層
22 第2の化合物半導体層
23 第3の化合物半導体層
30 薄膜積層部
31 GaAs層
32 GaAsSb層
100 化合物半導体基板
2 下部バッファ層
3 上部バッファ層
4 最上層
5 化合物半導体層
21 第1の化合物半導体層
22 第2の化合物半導体層
23 第3の化合物半導体層
30 薄膜積層部
31 GaAs層
32 GaAsSb層
100 化合物半導体基板
Claims (7)
- Si基板と、
前記Si基板上に形成された第1のバッファ層と、を備え、
前記第1のバッファ層は、GaAs層とGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とが繰り返し積層された構造を有する化合物半導体基板。 - 前記繰り返し積層された構造は、
1つの前記GaAs層と1つの前記GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層とを含む薄膜積層部が、5つ以上積層された構造である請求項1に記載の化合物半導体基板。 - 1つの前記GaAs層の厚みと、1つの前記GaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層の厚みは、それぞれ50nm以下である請求項1又は請求項2に記載の化合物半導体基板。
- 前記Si基板と前記第1のバッファ層との間に配置された第2のバッファ層、をさらに備える請求項1から請求項3の何れか一項に記載の化合物半導体基板。
- 前記第2のバッファ層は、
前記Si基板上に形成された第1の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層上に形成された第2の化合物半導体層と、
前記第2の化合物半導体層上に形成された第3の化合物半導体層と、
を備え、
前記第1の化合物半導体層はGaAs1−ySby(0≦y≦0.1)層であり、
前記第2の化合物半導体層はGaAs1−xSbx(0<x≦0.1)層であり、
前記第3の化合物半導体層はGaAs層である請求項4に記載の化合物半導体基板。 - 前記第3の化合物半導体層の、前記Si基板の面方位と同じ面に対応するX線回折ピークのロッキングカーブの半値幅であるFWHM値は、200秒以下である請求項5に記載の化合物半導体基板。
- 前記第1の化合物半導体層は、GaAs層である請求項5又は請求項6に記載の化合物半導体基板。
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