JP2016031254A - 検査装置および電気信号受け渡し方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ヘッド部
3 スキャナ部
5 検査部
11 プローブユニット
12 変換回路
21 プローブ
33 処理部
50 接続ケーブル
100 回路基板
Se 検査用信号
Si 入力信号
Claims (4)
- 検査対象の被接触部位に接触させられる複数の接触端子を有するヘッド部と、前記接触端子を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象を検査する検査部と、前記ヘッド部と前記検査部との間に配置されて前記各接触端子の中から指定された接触端子と当該検査部との接続および切断を行うスキャナ部とを備えた検査装置であって、
前記検査部および前記スキャナ部は別体にそれぞれ構成されると共に接続ケーブルを介して互いに前記電気信号の受け渡しが可能に構成され、
前記ヘッド部は、前記電気信号を前記接続ケーブルを介して前記検査部に引き渡す際に予め規定された条件を満たさないとされるときに、前記接触端子を介して入力する前記電気信号および当該接触端子を介して出力する前記電気信号の少なくとも一方を前記予め規定された条件を満たすように信号変換する変換回路を備えて構成されている検査装置。 - 前記ヘッド部は、前記接触端子から前記変換回路に入力する前記電気信号が前記予め規定された条件を満たさないとされるときには前記信号変換後の前記電気信号を前記スキャナ部に出力し、当該予め規定された条件を満たすとされるときには前記信号変換前の前記電気信号を前記スキャナ部に出力する請求項1記載の検査装置。
- 前記ヘッド部は、互いに異なる種類の前記信号変換をそれぞれ実行する複数種類の前記変換回路を入れ替えて搭載可能に構成されている請求項1または2記載の検査装置。
- 検査対象の被接触部位に接触させられる複数の接触端子を有するヘッド部と、前記接触端子を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象を検査する検査部と、前記ヘッド部と前記検査部との間に配置されて前記各接触端子の中から指定された接触端子と当該検査部との接続および切断を行うと共に当該検査部とは別体に構成されて当該検査部との間で接続ケーブルを介して互いに前記電気信号の受け渡しが可能なスキャナ部とを備えた検査装置において当該電気信号を受け渡す電気信号受け渡し方法であって、
前記接触端子を介して入力する前記電気信号および当該接触端子を介して出力する前記電気信号の少なくとも一方を信号変換する変換回路が設けられた前記ヘッド部における当該変換回路に対して、当該電気信号を前記接続ケーブルを介して前記検査部に引き渡す際に予め規定された条件を満たさないとされるときに、前記少なくとも一方の電気信号を前記予め規定された条件を満たすように信号変換させる電気信号受け渡し方法。
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