JP5202401B2 - 試験装置およびキャリブレーション方法 - Google Patents
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- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
入出力端に接続された入出力線路に所定の電圧を出力するドライバ、および、前記入出力線路の電圧を測定するコンパレータをそれぞれ有する3以上の入出力回路と、
対応する前記入出力回路および前記被試験デバイスのピンを電気的に接続する伝送路が設けられたマザーボードと、
前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション部と、
前記伝送路の抵抗を測定する場合に、前記被試験デバイスに代えて前記マザーボードに接続され、3以上の前記入出力回路の前記入出力端を前記マザーボードを介して互いに電気的に接続する接続配線が設けられた測定用ボードと
を備え、
前記キャリブレーション部は、第1の前記入出力回路に対応する前記伝送路の抵抗を測定する場合に、
第2の前記入出力回路の前記入出力端を介して前記接続配線に所定値の測定用電圧を出力し、
第3の前記入出力回路の前記入出力端を介して前記接続配線の電圧を検出し、検出した電圧に基づいて、前記第2の入出力回路から出力される電圧を調整し、
前記第1の入出力回路の前記ドライバの出力を所定の終端電圧で終端し、前記第1の入出力回路の前記コンパレータを用いて、前記接続配線の電圧を測定し、
前記第1の入出力回路の前記ドライバの内部抵抗、前記第1の入出力回路の前記コンパレータで測定した電圧、前記終端電圧、および、前記測定用電圧に基づいて、前記伝送路の抵抗を測定する試験装置。 - 前記キャリブレーション部は、前記第3の入出力回路の前記入出力端に接続され、前記コンパレータより入力インピーダンスの高い測定回路を用いて、前記接続配線の電圧を検出する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記マザーボードのそれぞれの前記伝送路には、対応する前記入出力回路および前記被試験デバイスの前記ピンを電気的に接続するか否かを切り替える接続リレーが設けられ、
前記キャリブレーション部は、前記接続リレーのオン抵抗を測定する
請求項2に記載の試験装置。 - それぞれの前記入出力回路の前記入出力線路には、前記ドライバおよび前記コンパレータと、前記入出力端とを電気的に接続するか否かを切り替えるピン出力リレーが設けられ、
前記キャリブレーション部は、前記接続リレーのオン抵抗および前記ピン出力リレーのオン抵抗の合成抵抗を測定する
請求項3に記載の試験装置。 - 前記測定回路の電圧出力端は、それぞれの前記入出力回路の前記ピン出力リレーおよび前記入出力端の間に、電圧印加リレーを介して接続され、
前記測定回路の電圧検出端は、それぞれの前記入出力回路の前記ピン出力リレーおよび前記入出力端の間に、電圧検出リレーを介して接続される
請求項4に記載の試験装置。 - 前記キャリブレーション部は、前記第1の入出力回路に対応する前記接続リレーおよび前記ピン出力リレーの合成抵抗を測定する場合に、
前記第1の入出力回路における前記電圧印加リレーおよび前記電圧検出リレーをオフ状態にし、前記ピン出力リレーをオン状態にし、
前記第2の入出力回路における前記電圧検出リレーおよび前記ピン出力リレーをオフ状態にし、前記電圧印加リレーをオン状態にし、
前記第3の入出力回路における前記電圧印加リレーおよび前記ピン出力リレーをオフ状態にし、前記電圧検出リレーをオン状態にし、
前記マザーボードにおけるそれぞれの前記接続リレーをオン状態にする
請求項5に記載の試験装置。 - 前記キャリブレーション部は、前記第1の入出力回路における前記電圧印加リレー、前記電圧検出リレー、および、前記ピン出力リレーをオン状態にして、前記測定回路から所定の測定用電圧を印加し、前記第1の入出力回路における前記コンパレータに与えられる電圧を測定することで、前記第1の入出力回路における前記ピン出力リレーのオン抵抗を更に測定する
請求項6に記載の試験装置。 - 前記キャリブレーション部は、測定した前記合成抵抗と、前記ピン出力リレーのオン抵抗とに基づいて、前記接続リレーのオン抵抗を算出する
請求項7に記載の試験装置。 - 前記キャリブレーション部は、前記測定回路に複数種類の電圧値の前記測定用電圧を出力させ、それぞれの前記測定用電圧に対して、前記伝送路の抵抗を測定する
請求項2から8のいずれかに記載の試験装置。 - 前記測定回路を用いて、所定の前記入出力回路の前記入出力端から前記被試験デバイスに所定の試験電圧を印加し、当該入出力回路の前記入出力端の電圧に応じて前記測定回路の出力電圧を調整することで、前記被試験デバイスに一定電圧を印加して試験を行う試験制御部を更に備える
請求項2から9のいずれかに記載の試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置をキャリブレーションするキャリブレーション方法であって、
前記試験装置は、
入出力端に接続された入出力線路に所定の電圧を出力するドライバ、および、前記入出力線路の電圧を測定するコンパレータをそれぞれ有する3以上の入出力回路と、
対応する前記入出力回路および前記被試験デバイスのピンを電気的に接続する伝送路が設けられたマザーボードと、
前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション部と、
前記伝送路の抵抗を測定する場合に、前記被試験デバイスに代えて前記マザーボードに接続され、3以上の前記入出力回路の前記入出力端を前記マザーボードを介して互いに電気的に接続する接続配線が設けられた測定用ボードと
を備え、
第1の前記入出力回路に対応する前記伝送路の抵抗を測定する場合に、
第2の前記入出力回路の前記入出力端を介して前記接続配線に所定値の測定用電圧を出力させ、
第3の前記入出力回路の前記入出力端を介して前記接続配線の電圧を検出し、検出した電圧に基づいて、前記第2の入出力回路から出力される電圧を調整し、
前記第1の入出力回路の前記ドライバの出力を所定の終端電圧で終端し、前記第1の入出力回路の前記コンパレータを用いて、前記接続配線の電圧を測定し、
前記第1の入出力回路の前記ドライバの内部抵抗、前記第1の入出力回路の前記コンパレータで測定した電圧、前記終端電圧、および、前記測定用電圧に基づいて、前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション方法。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
入出力端に接続された入出力線路に所定の電圧を出力するドライバ、および、前記入出力線路の電圧を測定するコンパレータを有する入出力回路と、
前記入出力回路および前記被試験デバイスのピンを電気的に接続する伝送路が設けられたマザーボードと、
前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション部と、
前記伝送路の抵抗を測定する場合に、前記被試験デバイスに代えて前記マザーボードに接続され、前記入出力回路の前記入出力端を前記マザーボードを介して接地する接地配線が設けられた測定用ボードと
を備え、
前記キャリブレーション部は、前記ドライバの出力を所定の終端電圧で終端し、前記コンパレータを用いて、前記入出力線路の電圧を測定し、
前記ドライバの内部抵抗、前記コンパレータで測定した電圧、および、前記終端電圧に基づいて前記伝送路の抵抗を測定する試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置をキャリブレーションするキャリブレーション方法であって、
前記試験装置は、
入出力端に接続された入出力線路に所定の電圧を出力するドライバ、および、前記入出力線路の電圧を測定するコンパレータを有する入出力回路と、
前記入出力回路および前記被試験デバイスのピンを電気的に接続する伝送路が設けられたマザーボードと、
前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション部と、
前記伝送路の抵抗を測定する場合に、前記被試験デバイスに代えて前記マザーボードに接続され、前記入出力回路の前記入出力端を前記マザーボードを介して接地する接地配線が設けられた測定用ボードと
を備え、
前記ドライバの出力を所定の終端電圧で終端し、前記コンパレータを用いて、前記入出力線路の電圧を測定し、
前記ドライバの内部抵抗、前記コンパレータで測定した電圧、および、前記終端電圧に基づいて、前記伝送路の抵抗を測定するキャリブレーション方法。
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