JP2016029479A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- 担体及び樹脂層を含む溶媒含有ドライフィルムであって、前記樹脂層が、
(a)ポリイミド前駆体又は可溶性ポリイミド、及び
(b)溶媒
を含むポリイミド層であり、前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、5質量%から50質量%の総量で存在する、溶媒含有ドライフィルム。 - 前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、15質量%から50質量%の総量で存在する、請求項1に記載のドライフィルム。
- 前記溶媒が、第一の溶媒、第二の溶媒及びこれらの組合せから選択される、請求項1に記載のドライフィルム。
- 前記第二の溶媒が、フッ素、アルキル基、又はエステル基を含有する溶媒である、請求項3に記載のドライフィルム。
- 前記第一の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、0.5質量%から50質量%の間の量で存在し、前記第二の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、3質量%から45質量%の間の量で存在する、請求項3に記載のドライフィルム。
- 前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、25質量%から45質量%の総量で存在する、請求項2に記載のドライフィルム。
- 前記第二の溶媒が、
式中、
R1"は、それぞれ独立にH、C1〜C20アルキル、C2〜C20アルケニル又はC2〜C20アルキニルであり、
R7"は、H、又はC1〜C3アルキルであり、
R2"は、C1〜C10アルキルであり、
R3"は、C2〜C20アルキル又は-C1〜C10アルキル-O-C1〜C10アルキルであり、
R4"及びR5"は、それぞれ独立にC1〜C10アルキルであるか、又はR4"及びR5"は、それらが結合される酸素原子と一緒に5〜6員複素環を形成し、
R6"は、C1〜C15アルキル又はC4〜C8シクロアルキルであり、
R8"は、C2〜C20アルキルであり、
R11"及びR12"は、それぞれ独立にC1〜C10アルキルである、請求項3に記載のドライフィルム。 - 前記第一の溶媒が、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N-ジメチル-メタンアミド、N,N-ジエチル-メタンアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、N-エチル-2-ピロリドン、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、ピロカテコール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジオキソラン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、メタノール、エタノール、ブタノール、2-ブトキシエタノール、γ-ブチロラクトン、キシレン、トルエン、ヘキサメチルホスホルアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びこれらの混合物から選択される、請求項3に記載のドライフィルム。
- 前記第二の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、5質量%から43質量%の間の量で存在する、請求項5に記載のドライフィルム。
- 基板上へのドライフィルムの適用方法であって、
(a)請求項1から10のいずれか一項に記載のドライフィルムを、前記ドライフィルムの樹脂層が前記基板に面する形で前記基板に積層する工程、及び
(b)場合によって、加圧下での気泡溶解操作を行う工程
を含む、適用方法。 - 前記積層する工程が、ローラー積層、ホットプレス、真空積層又は真空プレスを含む、請求項11に記載の方法。
- 連続方法によってポリイミド層を前記基板に積層する、請求項11に記載の方法。
- 前記基板が、プリント回路板、ウェーハ、ディスプレイ又はタッチパネルである、請求項11に記載の方法。
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