JP2016029479A5

JP2016029479A5 -

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Publication number: JP2016029479A5
Application number: JP2015143939A
Authority: JP
Filing date: 2015-07-21
Publication date: 2016-07-28
Anticipated expiration: 2035-07-21

Claims

担体及び樹脂層を含む溶媒含有ドライフィルムであって、前記樹脂層が、
(a)ポリイミド前駆体又は可溶性ポリイミド、及び
(b)溶媒
を含むポリイミド層であり、前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、5質量%から50質量%の総量で存在する、溶媒含有ドライフィルム。
前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、15質量%から50質量%の総量で存在する、請求項1に記載のドライフィルム。
前記溶媒が、第一の溶媒、第二の溶媒及びこれらの組合せから選択される、請求項1に記載のドライフィルム。
前記第二の溶媒が、フッ素、アルキル基、又はエステル基を含有する溶媒である、請求項3に記載のドライフィルム。
前記第一の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、0.5質量%から50質量%の間の量で存在し、前記第二の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、3質量%から45質量%の間の量で存在する、請求項3に記載のドライフィルム。
前記溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、25質量%から45質量%の総量で存在する、請求項2に記載のドライフィルム。
前記第二の溶媒が、

パーフルオロ芳香族化合物、C₂〜C₂₀パーフルオロアルカン、トリ-(C₁〜C₆パーフルオロアルキル)アミン、パーフルオロエーテル、C₆〜C₁₆アルカン、及びこれらの組合せから選択され、
式中、
R₁"は、それぞれ独立にH、C₁〜C₂₀アルキル、C₂〜C₂₀アルケニル又はC₂〜C₂₀アルキニルであり、
R₇"は、H、又はC₁〜C₃アルキルであり、
R₂"は、C₁〜C₁₀アルキルであり、
R₃"は、C₂〜C₂₀アルキル又は-C₁〜C₁₀アルキル-O-C₁〜C₁₀アルキルであり、
R₄"及びR₅"は、それぞれ独立にC₁〜C₁₀アルキルであるか、又はR₄"及びR₅"は、それらが結合される酸素原子と一緒に5〜6員複素環を形成し、
R₆"は、C₁〜C₁₅アルキル又はC₄〜C₈シクロアルキルであり、
R₈"は、C₂〜C₂₀アルキルであり、
R₁₁"及びR₁₂"は、それぞれ独立にC₁〜C₁₀アルキルである、請求項3に記載のドライフィルム。
前記第二の溶媒が、

及びこれらの組合せから選択される、請求項7に記載のドライフィルム。
前記第一の溶媒が、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N-ジメチル-メタンアミド、N,N-ジエチル-メタンアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、N-エチル-2-ピロリドン、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、ピロカテコール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジオキソラン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、メタノール、エタノール、ブタノール、2-ブトキシエタノール、γ-ブチロラクトン、キシレン、トルエン、ヘキサメチルホスホルアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びこれらの混合物から選択される、請求項3に記載のドライフィルム。
前記第二の溶媒が、前記樹脂層の総質量に対して、5質量%から43質量%の間の量で存在する、請求項5に記載のドライフィルム。
基板上へのドライフィルムの適用方法であって、
(a)請求項1から10のいずれか一項に記載のドライフィルムを、前記ドライフィルムの樹脂層が前記基板に面する形で前記基板に積層する工程、及び
(b)場合によって、加圧下での気泡溶解操作を行う工程
を含む、適用方法。
前記積層する工程が、ローラー積層、ホットプレス、真空積層又は真空プレスを含む、請求項11に記載の方法。
連続方法によってポリイミド層を前記基板に積層する、請求項11に記載の方法。
前記基板が、プリント回路板、ウェーハ、ディスプレイ又はタッチパネルである、請求項11に記載の方法。