JP3824508B2

JP3824508B2 - ドライフィルムレジスト及びその製造方法

Info

Publication number: JP3824508B2
Application number: JP2001244217A
Authority: JP
Inventors: 勉五十嵐; 淳一高橋; 英司本多
Original assignee: Asahi Kasei EMD Corp
Current assignee: Asahi Kasei EMD Corp
Priority date: 2001-08-10
Filing date: 2001-08-10
Publication date: 2006-09-20
Anticipated expiration: 2021-08-10
Also published as: JP2003057812A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント回路板作製に用いるアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント回路作製用の光重合性樹脂組成物は、バインダー用樹脂、光重合可能な不飽和化合物、光重合開始剤、染料等を含む成分を、メチルエチルケトンに代表されるケトン類、酢酸エチルに代表されるエステル類、テトラヒドロフランに代表されるエーテル類等を主成分とする溶媒で均一に攪拌溶解することが一般的である。また、得られた調合液を、支持層であるポリエステルフィルム等上にダイコーター等を用いて均一に塗布し、乾燥工程で溶媒を乾燥させて光重合性樹脂組成物積層体を得ることもある。さらに保護層としてポリエチレンフィルム等でラミネートして３層構造の光重合性樹脂組成物積層体を得ることもある。これらの積層体を、一般にはドライフィルムフォトレジスト（以下ＤＦＲと略す）と呼ぶ。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
乾燥後、光重合性樹脂組成物に残存している溶媒量が多いと光重合性樹脂組成物をＤＦＲとした場合、充分な感度が得られないと言う問題があった。また、残存溶媒量が低すぎると、光重合性樹脂組成物即ち感光層が変色したり感度が安定しないと言う問題があった。
そこで、本発明は、特に光重合性樹脂組成物の色相や感度が安定しており、アルカリ現像型プリント回路作製用ＤＦＲとして有用な光重合性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、光重合性樹脂組成物の残存する溶媒量を適当量とすることにより光重合性樹脂組成物をＤＦＲとした場合、感度が安定し、感光層の変色もない良好なＤＦＲが得られ、さらに、上記のアルコール以外の溶媒とエタノールの混合溶媒で光重合性樹脂組成物を調合すると染料等の添加剤成分の溶解性が向上し、光重合性樹脂組成物をＤＦＲにした場合、染料の溶解性が向上したことによる染料の色ムラが低減する即ち、色相が安定する等の特性が得られることを見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の光重合性樹脂組成物を提供する。
【０００５】
（１）（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が２万〜５０万であるバインダー用樹脂、（ｂ）光重合可能な不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）塩基性染料、を含む光重合性樹脂組成物であり、これらの成分を混合溶媒で均一に溶解した調合液から製造され、前記混合溶媒はエタノール成分とメチルエチルケトン成分との混合物であり、前記調合液中の光重合性樹脂組成物の濃度が３０〜８０ｗｔ％である調合液を用いて、支持層上に成膜し、溶媒を乾燥してから得られ、かつ乾燥後残存している全ての溶媒の和が光重合性樹脂組成物に対して０．０１〜１ｗｔ％であることを特徴とするドライフィルムレジスト、
（２）前記混合溶媒中のエタノール成分の比率が、２〜５０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト、
【化３】

（式中Ｒ_１は同一でも異なっていてもよく、ＣＨ_３またはＣ_２Ｈ_５を表す）
（３）前記（ｄ）塩基性染料として、下記一般式（Ｉ）及び／または（ＩＩ）で表される化合物を含むことを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト、
【化４】

（式中Ｒ_２は同一でも異なっていてもよく、ＣＨ_３またはＣ_２Ｈ_５を表す）
（４）（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が２万〜５０万であるバインダー用樹脂、（ｂ）光重合可能な不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）塩基性染料、を含む光重合性樹脂組成物を混合溶媒で均一に溶解して調合液を製造し、ただし、前記混合溶媒はエタノール成分とメチルエチルケトン成分との混合物であり、次いで、前記調合液中の光重合性樹脂組成物の濃度が３０〜８０ｗｔ％である調合液を用いて、支持層上に成膜し、溶媒を乾燥して、乾燥後残存している全ての溶媒の和が光重合性樹脂組成物に対して０．０１〜１ｗｔ％とすることを特徴とするドライフィルムレジストの製造方法、を提供する。
【００１１】
また、（５）上記調合液を、支持層上に塗工し、乾燥することで製造されるＤＦＲも提供する。
【００１２】
さらに、支持層に積層した光重合性樹脂組成物層の表面に保護層を積層して製造されたＤＦＲも提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明について、以下具体的に説明する。
本発明のドライフィルムレジストは、乾燥、成膜後に、残存する全ての溶媒の和が光重合性樹脂組成物に対して０．０１ｗｔ％以上１ｗｔ％以下であることが必要である。感度が不安定になることや、感光層が変色することを防止するという観点から、０．０１ｗｔ％以上であることが必要であり、また、感度や支持層または保護層との剥離性の観点から１ｗｔ％以下であることが必要である。
【００１４】
本発明に用いられるエタノールはメタノール等で変性してあるものでも良い。極性溶媒であるエタノールと、メチルエチルケトンとの混合溶媒を用いた調合液は、メチルエチルケトンに代表されるケトン類等のみを用いた調合液と比較すると、染料等の溶解性が向上し、染料例えば、ダイヤモンドグリーン、マラカイトグローン等塩基性染料の溶解性が向上し、得られた光重合性樹脂組成物をＤＦＲとした場合、色相が安定する。エタノールとの混合溶媒とすることにより染料等の溶解性が向上し、可視光例えば６３０ｎｍの透過率が安定することが可能となった。
【００１５】
バインダー用樹脂（ａ）は、溶液重合または懸濁重合によって得られるが、溶液重合によって得られるバインダー用樹脂は溶媒としてエタノールを含んでいても良い。その場合の溶媒は、調合液の溶媒としても作用するので、調合液の固形分濃度や粘度を求めるときには、溶媒として計算に加えるものとする。
【００１６】
光重合性樹脂組成物の成分を含む調合液の混合溶媒中のエタノール比率は、溶解性の観点から２ｗｔ％以上であることが好ましく、レジストとしての感度の観点から５０ｗｔ％以下であることが好ましい。より好ましいエタノール比率は２〜２５ｗｔ％であり、さらに好ましくは２〜１０ｗｔ％である。
【００１７】
また、光重合性樹脂組成物の成分を混合溶媒に溶解した調合液中の組成物の濃度は、３０〜８０ｗｔ％である必要がある。塗工速度向上の効果を得るためには、乾燥・蒸発させる溶媒の量をコントロールする必要があり、その観点から調合液中の組成物の濃度は３０ｗｔ％以上であることが必要である。また、調合液の均一性の観点から、調合液中の組成物の濃度は８０ｗｔ％以下であることが必要である。より好ましくは、４０〜６０ｗｔ％である。
【００１８】
本発明に用いられるバインダー用樹脂（ａ）は下記の二種類の単量体の中より各々一種またはそれ以上の単量体を共重合させることにより得られる。第一の単量体は分子中に重合性不飽和基を一個有するカルボン酸または酸無水物である。例えば（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等である。第二の単量体は非酸性で、分子中に重合性不飽和基を一個有し、光重合性樹脂組成物層の現像性、エッチング及びめっき工程での耐性、硬化膜の可とう性等の種々の特性を保持するように選ばれる。例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート類がある。また、フェニル基を有するビニル化合物（例えばスチレン）も用いることができる。
【００１９】
バインダー用樹脂（ａ）に含まれるカルボキシル基は、ＤＦＲにアルカリ水溶液に対する現像性や剥離性を与えるために必要である。カルボキシル基の酸当量は現像耐性、解像性、密着性の観点から１００以上であることが必要であり、現像性や剥離性の観点から６００以下であることが必要である。また、好ましい酸当量の範囲は３００〜４００である。ここで酸当量とはその中に１当量のカルボキシル基を有するポリマーの重量をいう。なお、酸当量の測定は電位差滴定法により行われる。
【００２０】
本発明の光重合性樹脂組成物に含有されるバインダー用樹脂（ａ）の量は２０〜９０ｗｔ％の範囲であり、好ましくは３０〜７０ｗｔ％である。バインダー用樹脂（ａ）の量が２０ｗｔ％未満または９０ｗｔ％を超えると、露光によって形成される硬化画像が充分にレジストとしての特性、例えばテンティング、エッチング、各種めっき工程において充分な耐性を有しない。
また、重量平均分子量は、２万〜５０万であることが必要である。５０万を超えると現像性が低下し、２万未満ではテンティング膜強度、エッジフューズ性が悪化する。より好ましくは３万〜３０万である。分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により重量平均分子量（ポリスチレン換算）として求められる。
【００２１】
本発明で用いられる不飽和化合物（ｂ）としては、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレ−ト、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、またテトラプロピレングリコールジアクリレート等のポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコールジアクリレート等のポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等のポリオキシアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ジ（p−ヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート及びウレタン基を含有する多官能（メタ）アクリレート等がある。
【００２２】
ポリオキシアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートには例えば平均８モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに両末端にそれぞれ平均３モル付加したグリコールのジメタクリレート等がある。
【００２３】
ウレタン基を含有する多官能（メタ）アクリレートには例えばヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレート（日本油脂（株）製ブレンマーＰＰ−１０００）とのウレタン化物等がある。
【００２４】
また、β−ヒドロキシプロピル−β’−（アクリロイルキシ）プロピルフタレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート等の単官能モノマーがあげられる。
【００２５】
本発明の光重合性樹脂組成物に含有される光重合可能な不飽和化合物（ｂ）の量は３〜７０ｗｔ％の範囲であり、好ましくは５〜６０ｗｔ％である。３ｗｔ％未満では感度の点で充分ではなく、７０ｗｔ％を越えると保存時の光重合性樹脂組成物層のはみ出しが著しくなるため好ましくない。
本発明に用いられる光重合開始剤（Ｃ）としては、各種の活性光線、例えば紫外線などにより活性化された重合を開始する公知の化合物である。例えば２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾフェノンなどの芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテルなどのベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタールなどがある。また例えばチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン等のチオキサントン類と、ジメチルアミノ安息香酸アルキルエステル化合物等の三級アミン化合物との組み合わせもある。また例えば９−フェニルアクリジン等のアクリジン類、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−ｏ−ベンゾイルオキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム等のオキシムエステル類、２，４，５−トリアリ−ルイミダゾール二量体には例えば２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ビス−（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｐ−メトシキフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等がある。２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノフェニルケトンを併用する系は好ましく、ｐ−アミノフェニルケトンとしては例えば、ｐ−アミノベンゾフェノン、ｐ−ブチルアミノフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノベンゾフェノン、ｐ−ｐ’−ビス（エチルアミノ）ベンゾフェノン、ｐ−ｐ’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン［ミヒラーズケトン］、ｐ−ｐ’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ｐ−ｐ’−ビス（ジブチルアミノ）ベンゾフェノンなどがあげられる。
【００２６】
本発明の光重合性樹脂組成物に含有される光重合開始剤（ｃ）の量は、０．０１〜３０ｗｔ％であり、好ましくは、０．０５〜１０ｗｔ％である。光重合開始剤が３０ｗｔ％を超えると光重合性組成物の活性吸収率が高くなり、光重合性樹脂積層体として用いた場合、光重合層の底の部分の重合による硬化が不充分になる。また、光重合開始剤の量が０．０１ｗｔ％未満では充分な感度がでなくなる。
また、本発明の光重合性樹脂組成物の熱安定性、保存安定性を向上させるために、光重合性組成物にラジカル重合禁止剤を含有させることは好ましいことである。このようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、塩化第一銅、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、２，２’−メチレンビス（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニトロソアミン等が挙げられる。
【００２７】
本発明に用いられる塩基性染料（ｄ）としては、例えば、、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンＳ，パラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルバイオレット、メチルオレンジ、マリーンブルー、ナイルブルー２Ｂ、ベイシックブルー２０、ビクトリアブルー（保土ヶ谷化学）、マラカイトグリーン（保土ヶ谷化学）、ダイヤモンドグリーン（保土ヶ谷化学）等が挙げられる。
【００２８】
一般式（Ｉ）においてはＲ₁がすべてＣ₂Ｈ₅であるダイヤモンドグリーンが好ましい。また、一般式（ＩＩ）においてはＲ₂がすべてＣＨ₃であるマラカイトグリーンが好ましい。
【００２９】
本発明の光重合性樹脂組成物に含有される塩基性染料（ｄ）の量は０．００５〜１０ｗｔ％であり、好ましくは０．０１〜５ｗｔ％である。塩基性染料が０．００５ｗｔ％未満では色相が安定せず、１０ｗｔ％を超えると充分な感度が出なくなる。
また光照射により発色する発色系染料を本発明の光重合性組成物に含有させることもできる。発色系染料としては、ロイコ染料またはフルオラン染料と、ハロゲン化合物の組み合わせがある。ロイコ染料としては、例えば、トリス（４−ジメチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン［ロイコクリスタルバイオレット］、トリス（４−ジメチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン［ロイコマラカイトグリーン］等が挙げられる。一方ハロゲン化合物としては臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、４臭化炭素、トリス（２、３−ジブロモプロピル）ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、１，１，１−トリクロロ−２、２−ビス（ｐ−クロロフェニル）エタン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物、等が挙げられる。
【００３０】
トリアジン化合物としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンが挙げられる。
【００３１】
また、このような発色系染料の中でもトリブロモメチルフェニルスルフォンとロイコ染料との組み合わせや、トリアジン化合物とロイコ染料との組み合わせが有用である。また本発明の光重合性組成物に必要に応じて可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。そのような添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類が挙げられる。
【００３２】
光重合性樹脂組成物をＤＦＲとする場合は上記光重合性樹脂組成物の成分を含む調合液を支持層上に塗工する。支持層としては、活性光を透過する透明なものが望ましい。活性光を透過する支持層としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム、等が挙げられる。これらのフィルムは必要に応じ延伸されたものも使用可能である。厚みは薄い方が画像形成性、経済性の面で有利であるが、強度を維持する必要から１０〜３０μｍのものが一般的である。
【００３３】
支持層に積層した光重合性樹脂組成物層の表面に、必要に応じて保護層を積層してもよい。支持層よりも保護層の方が光重合性樹脂組成物層との密着力が充分小さく容易に剥離できることがこの保護層としての重要な特性である。このような保護層としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げられる。
【００３４】
光重合性樹脂組成物層の厚みは用途において異なるが、プリント回路板作製用には５〜１００μｍ、好ましくは、５〜５０μｍであり、光重合性樹脂組成物層が薄いほど解像力は向上する。また、光重合性樹脂組成物層が厚いほど膜強度が向上する。ＤＦＲを用いたプリント回路板の作製工程はエッチング法、めっき法等公知の技術により行われる。
【００３５】
【実施例】
［実施例１］
表１に記載の光重合性樹脂組成物を調合し、溶解槽において攪拌溶解し、フィルターを通して調合液を濾過した。次いで調合液をポンプでダイコーターに送液し支持層であるポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、乾燥ゾーンに送り溶媒を乾燥させた。その後、保護層であるポリエチレンフィルムでラミネートし、感光層が４０μｍのＤＦＲを得た。上記過程において下記に示す方法で可視光の透過率測定、感度試験を行った。結果を表１に示す。
【００３６】
（１）透過率測定
上記工程で得られたＤＦＲの保護層であるポリエチレンフィルムを剥がしてＵＶスペクトルにより６３０ｎｍの透過率をｎ＝３で測定した。
透過率が安定していることは外観上色相が良好であることを示す。
【００３７】
（２）感度試験
３５μｍ圧延銅箔を積層した銅張り積層板を湿式バフロール（スリーエム社製、商品名スコッチブライト＃６００２連）研磨した表面に上記工程で得られたＤＦＲの保護層であるポリエチレンフィルムを剥がしながら光重合性樹脂組成物層をホットロールラミネーターにより１０５℃でラミネートして積層体を得た。次いでこの積層体にステップタブレット（ストーファー社製２１段ステップタブレット）を通して超高圧水銀ランプ（オーク製作所、ＨＭＷ−２０１ＫＢ）により８０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、支持層であるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、積層体に３０℃、１ｗｔ％炭酸ナトリウム水溶液を５０秒間スプレーした。
この時のステップタブレットの完全に膜が残っている最大段数を読む。
【００３８】
［実施例２〜７、比較例１〜６］
実施例１と同様の方法により、表１記載の組成の光重合性樹脂組成物を調合し、ＤＦＲを得、可視光の透過率測定、感度試験を行った。結果を表１に示す。
【００３９】
表１中、記号は以下のことを示す。
＜記号説明＞
Ｐ−１：溶液重合で得られるメタクリル酸メチル７０ｗｔ％、メタクリル酸２３ｗｔ％、アクリル酸ブチル７ｗｔ％の三元共重合体のメチルエチルケトン溶液（固形分重量比率３０％、重量平均分子量１０万、酸当量３７４）
Ｐ−２：溶液重合で得られるメタクリル酸メチル７０ｗｔ％、メタクリル酸２３ｗｔ％、アクリル酸ブチル７ｗｔ％の三元共重合体のメチルエチルケトンとエタノール混合溶液（溶媒重量比率：メチルエチルケトン／エタノール＝９０／１０、固形分重量比率４０％、重量平均分子量１０万、酸当量３７４）
Ｐ−３：懸濁重合で得られるメタクリル酸メチル７０ｗｔ％、メタクリル酸２３ｗｔ％、アクリル酸ブチル７ｗｔ％の三元共重合（固形分重量比率１００％、重量平均分子量１０万、酸当量３７４）
Ｍ−１：トリメチロールプロパントリアクリレート
Ｍ−２：ノナエチレングリコールジアクリレート
Ｍ−３：β−ヒドロキシプロピル−β’−（アクリロイルキシ）プロピルフタレート
Ｍ−４：平均８モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均３モル付加したグリコールのジメタクリレート
Ｍ−５：ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレート（日本油脂（株）製ブレンマーＰＰ１０００）との反応物
Ａ−１：ベンゾフェノン
Ａ−２：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
Ａ−３：２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
Ｂ−１：マラカイトグリーン
Ｂ−２：ダイヤモンドグリーン
Ｂ−３：ロイコクリスタルバイオレット
Ｂ−４：トリブロモメチルフェニルスルフォン
Ｓ−１：メチルエチルケトン
Ｓ−２：エタノール
【００４０】
【表１】

【００４１】
【表２】

【００４２】
【発明の効果】
本発明の光重合性樹脂組成物は色相安定性が良好で、かつ感度が安定しておりアルカリ現像型プリント回路板作製用ＤＦＲとして有用である。

Claims

（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が２万〜５０万であるバインダー用樹脂、（ｂ）光重合可能な不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）塩基性染料、を含む光重合性樹脂組成物であり、これらの成分を混合溶媒で均一に溶解した調合液から製造され、前記混合溶媒はエタノール成分とメチルエチルケトン成分との混合物であり、前記調合液中の光重合性樹脂組成物の濃度が３０〜８０ｗｔ％である調合液を用いて、支持層上に成膜し、溶媒を乾燥してから得られ、かつ乾燥後残存している全ての溶媒の和が光重合性樹脂組成物に対して０．０１〜１ｗｔ％であることを特徴とするドライフィルムレジスト。
前記混合溶媒中のエタノール成分の比率が、２〜５０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト。
前記（ｄ）塩基性染料として、下記一般式（Ｉ）及び／または（ＩＩ）で表される化合物を含むことを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト。

（式中Ｒ_１は同一でも異なっていてもよく、ＣＨ_３またはＣ_２Ｈ_５を表す）

（式中Ｒ_２は同一でも異なっていてもよく、ＣＨ_３またはＣ_２Ｈ_５を表す）
（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が２万〜５０万であるバインダー用樹脂、（ｂ）光重合可能な不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）塩基性染料、を含む光重合性樹脂組成物を混合溶媒で均一に溶解して調合液を製造し、ただし、前記混合溶媒はエタノール成分とメチルエチルケトン成分との混合物であり、次いで、前記調合液中の光重合性樹脂組成物の濃度が３０〜８０ｗｔ％である調合液を用いて、支持層上に成膜し、溶媒を乾燥して、乾燥後残存している全ての溶媒の和が光重合性樹脂組成物に対して０．０１〜１ｗｔ％とすることを特徴とするドライフィルムレジストの製造方法。