JP2016025086A - 静電気保護用ペースト及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、静電気保護用ペースト及びその製造方法に関する。【解決手段】静電気保護用ペーストに導電性粒子とともに圧電性粒子を添加することにより、静電気保護部品がより低い電圧で導電性を有するようになり、これにより、静電気放電の効果が向上する静電気保護用ペースト及びその製造方法に関する。【選択図】図3

Description

本発明は、静電気保護用ペースト及びその製造方法に関する。
近年、携帯電話をはじめ、携帯電子機器の小型化、高集積化及び高速化が進むにつれて、電子機器に内蔵される電子部品の高い耐電圧性が求められている。耐電圧性とは、部品の絶縁部分が破壊されずに耐えられる印加電圧の限度であり、電子機器が小型化、高性能化するほど部品自体の耐電圧性は低下しつつある。
一例として、帯電している人体に電子機器の端子が接触したときに発生する静電気パルス(pulse)や携帯電子機器のアンテナから流入する外来ノイズによって過電圧が発生し、このような過電圧は、1ナノ秒以下の時間の間に発生する数百〜数キロボルトの電圧であり、電子機器内部の電子回路(電子部品)を破壊する主な原因となる。
かかる過電圧から電子部品を保護するためにTVS(Transient voltage suppressor)ダイオード又はMLV(Multi‐Layer Varistor)などが使用されており、これらは、外部の電圧印加の状況に応じて抵抗性能が変化する特徴を有している。すなわち、正常電圧では絶縁性を示し、過電圧下では抵抗が小さくなって導電性を示すことにより、過電圧が電子部品の方に流れないようにする役割を果たす。
韓国公開特許第2014‐0009253号公報
本発明は、静電気保護用ペーストに導電性粒子とともに圧電性粒子を添加することにより、静電気保護部品がより低い電圧で導電性を有するようにし、これにより、静電気放電の効果を向上させることを発明の目的とする。
本発明による静電気保護用ペーストの前記目的は、静電気保護用ペーストに導電性粒子とともに圧電性粒子を添加することにより達成することができる。
前記静電気保護用ペーストは、樹脂マトリックスと、前記樹脂マトリックス内に分散された導電性粒子及び圧電性粒子と、を含み、この際、樹脂マトリックスは、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂のいずれか1種又は2種以上を併用して形成されることができる。
また、前記導電性粒子は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなり、球状、板状、スパイク状のいずれか一つ以上の形状を有することができる。
一方、前記圧電性粒子は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)のいずれか一つ以上であり、前記樹脂100重量部に対して30〜33重量部添加されて、静電気放電の効果を発揮することができる。この際、前記圧電性粒子が、電圧印加によって形状が可変となり、前記導電性粒子を電気的に連結する接点を形成するようにする役割を果たすことができる。
本発明の他の目的は、導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備し、前記準備した材料を1次攪拌して混合し、前記混合した材料に対してロールミル(roll mill)を行い、前記ロールミルを行った材料を2次攪拌する静電気保護用ペーストの製造方法により達成することができる。
この際、前記導電性粉末は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなり、球状、板状、スパイク状のいずれか一つ以上の形状を有することができる。
また、前記圧電性粉末は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)のいずれか一つ以上であり、前記樹脂100重量部に対して30〜33重量部添加されて、静電気放電の効果を発揮することができる。この際、前記圧電性粉末が、電圧印加によって形状が可変となり、前記導電性粉末を電気的に連結する接点を形成するようにする役割を果たすことができる。
また、前記ロールミルを行った材料を2次攪拌する段階は、公自転ミキサーにより行われることができる。
本発明の静電気保護用ペーストは、樹脂内に導電性粒子とともに圧電性粒子が添加されることにより、静電気保護部品がより低い電圧で導電性を有し、これにより静電気放電の効果を向上させることができる。
本発明による静電気保護用ペーストが適用された保護部品の断面図である。 本発明による静電気保護用ペーストの正常電圧時の断面図である。 本発明による静電気保護用ペーストの過電圧時の断面図である。 本発明による静電気保護用ペーストに印加される電圧と圧電性粒子の添加量との関係を示すグラフである。 本発明の実施例による静電気保護用ペーストの製造方法の工程順序図である。 本発明の実施例による過電圧テストの結果を示すグラフである。
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを果たす方法は、添付の図面とともに詳細に後述する実施例を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は以下に開示される実施例に限定されず、互いに異なる様々な形態に具現することができる。本実施例は、本発明の開示を完全にするとともに、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に伝達するために提供されることができる。
本明細書で用いられる用語は、実施例を説明するためのものであって、本発明を限定するためのものではない。本明細書において、単数型は文章で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で用いられる「含む(comprise)」及び/又は「含んでいる(comprising)」は言及された構成要素、段階、動作及び/又は素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び/又は素子の存在又は追加を排除しない。
<静電気保護用ペーストの組成>
本発明の実施例による静電気保護用ペーストは、樹脂マトリックスと、前記樹脂マトリックス内に分散されて混合された導電性粒子及び圧電性粒子と、を含む。
以下、添付の図面を参照して、本発明の構成及び作用効果について詳細に説明する。
図1は本発明の実施例による静電気保護部品の断面図であり、図2は正常電圧で導電性粒子と圧電性粒子が樹脂内に分散されている様子を示す断面図である。さらに、図面における構成要素は、必ずしも縮尺によって図示されておらず、例えば、本発明を容易に理解するために、図面の一部の構成要素の大きさは、他の構成要素に比べて誇張されることがある。
図1及び図2を参照すると、本発明の実施例による静電気保護部品100は、一対の電極110と、一対の電極110の間を覆うように形成された静電気保護用ペースト層120と、を含むことができる。
一対の電極110は、炭素(C)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、銅(Cu)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、金(Au)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなり、導電性を有する材質で形成されれば、特にこれに限定されるものではない。
また、一対の電極110は、互いに離間してギャップ距離ΔGをおいて対向配置されることができる。この際、ギャップ距離ΔGは、所望の放電特性を考慮して適宜設定されることができる。
一対の電極110の間には、静電気保護用ペーストからなる静電気保護用ペースト層120が形成されることができる。静電気保護用ペースト層120は、絶縁性の樹脂マトリックス121と、樹脂マトリックス121内に分散された導電性粒子122及び圧電性粒子123と、を含むことができる。
樹脂マトリックス121は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂などの高分子材料を単独で又は2種以上併用して形成されることができる。
この際、シリコーン樹脂のような弾性のある樹脂の場合、過電圧時に形状が変形した圧電性粒子123がまた既存の形状に戻る際に復元力を発揮することから、エポキシ樹脂のような非弾性材質の樹脂に比べて好ましい。過電圧時に形状が変形する圧電性粒子123に関する内容は、以下で詳細に記述する。
一方、樹脂マトリックス121内に分散される導電性粒子122は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなることができ、導電性を有する材質で形成されれば、特にこれに限定されるものではない。
また、導電性粒子122の形状は、板状、球状、スパイク(spike)状に製造されることができ、スパイク状の導電性粒子122の場合、球状の導電性粒子122の場合に比べて粒子間の接点が容易に形成されることから、過電圧時に樹脂内に分散されていた粒子間のネットワークの形成に有利である。
樹脂マトリックス121内に導電性粒子122とともに圧電性粒子123がさらに添加されることができる。圧電性粒子123は、電圧が印加されると、その形状が変化する物質であり、圧電性粒子123の種類は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)などであってもよく、圧電性を有すれば、特にこれに限定されるものではない。
圧電性粒子123は、電圧が印加されると、自分の形状を変化させるとともに、導電性粒子122が互いに接点を形成するようにサポートする役割を果たし、圧電性粒子123により導電性粒子122間の間隔が調節され、接点がより容易に形成されることができる。
したがって、樹脂マトリックス121内に導電性粒子122のみが存在するときより圧電性粒子123が添加されたときの方が、静電気保護部品100がより低い電圧で導電性を有することができる。
図3は過電圧時に導電性粒子と圧電性粒子の変形及び動きを示す断面図である。
図2及び図3を参照すると、正常電圧と過電圧下で導電性粒子122及び圧電性粒子123がどのように変形して動くかを確認することができる。
図2に示すように、正常電圧では、導電性粒子122と圧電性粒子123が所定の距離を維持した状態で分散されており、高い抵抗で絶縁性が維持される状態である。
しかし、静電気のような高い電圧が印加されると、図3に示すように、離れていた導電性粒子122が互いに接点を形成して電流を通すことになり、この際、圧電性粒子123は、自分の形状を変化させるとともに、導電性粒子122間の接点の形成をサポートして、静電気保護部品100がより低い電圧で導電性を有するようにすることができる。
つまり、樹脂マトリックス121内に導電性粒子122のみが存在するときより圧電性粒子123が添加されたときの方が、より低い電圧で電流を通すことになり、過電圧時に静電気保護部品100の導電性が増加して静電気放電の効果を向上させることができる。
しかし、圧電性粒子123が適正量以上添加されると、圧電性能よりも絶縁性能を発揮することになり、静電気放電に対する保護の役割を果たすことができなくなる。これに関する具体的な内容は、以下で図4を参照して説明する。
図4は圧電性粒子の添加量に応じて静電気保護部品が導電性を有し始める電圧を示すグラフである。
図4を参照すると、圧電性粒子123の添加量が多くなるにつれて静電気保護部品100が導電性を有し始める電圧が徐々に減少し、圧電性粒子123の添加量が樹脂121の100重量部に対して30〜33重量部であるときに500Vと最小値を示すことを確認することができる。
すなわち、樹脂121の100重量部に対して圧電性粒子123が30〜33重量部添加される場合、略500Vで静電気保護部品100が導電性を有し始め、圧電性粒子123が30重量部未満に添加される場合と、33重量部を超えて添加される場合に比べて、低い電圧で電流を通すことが分かる。
つまり、圧電性粒子123は、その添加量が樹脂121の100重量部に対して30〜33重量部であるときに圧電性能を発揮することができる。
しかし、圧電性粒子123が樹脂121の100重量部に対して60重量部以上に添加される場合、静電気保護部品100が800V以下では導電性を有することができず、このときには、圧電性粒子123が圧電性能よりも絶縁性能をより多く発揮することが分かる。
したがって、樹脂121内に圧電性粒子123が30〜33重量部添加されたときに、静電気保護部品100が最も低い電圧で導電性を有し始め、これにより、圧電性粒子123を添加する目的に応じて静電気放電に対する保護性能を発揮することができる。
<静電気保護用ペーストの製造方法>
図5は本発明の実施例による静電気保護用ペーストの製造方法を示す工程図である。
本発明の実施例による静電気保護用ペーストの製造方法は、次のように構成されることができる。導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階(S510)と、前記準備した材料を1次攪拌して混合する段階(S520)と、前記混合した材料に対してロールミルを行う段階(S530)と、前記ロールミルを行った材料を2次攪拌する段階(S540)と、で構成されることができる。
前記導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階(S510)では、導電性粉末122として、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金が使用されることができ、導電性を有する材質で形成されれば、特にこれに限定されるものではない。
また、導電性粉末122の形状は、球状、板状、スパイク(spike)状に製造されることができ、球状の場合、金属塊を溶融させてノズルを介して噴霧すると、その液滴の温度が下がるにつれて球状の粒子を形成することができる。また、板状の場合、球状の粒子をロールミル(roll mill)のような圧延装備に入れて処理すると、球状の粒子が押圧されて板状の粒子を形成することができる。
スパイク状の導電性粉末122は、金属酸化物を一酸化炭素(CO)ガスと反応させてカルボニル金属状に作り、このカルボニル金属物質を熱分解させると、CO基が分解されて、スパイク状の金属粒子を形成することができる。
この際、スパイク状の導電性粉末122は、球状の導電性粉末122に比べて粒子間の接点が容易に形成されることから、過電圧時に樹脂121内に分散されていた粒子間のネットワークの形成が、他の形状の粉末に比べて有利になる。
導電性粉末122とともに圧電性粉末123を準備するが、圧電性粉末123は、電圧が印加されるとその形状が変化する物質であり、圧電性粉末123の種類は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)などであってもよく、圧電性を有すれば、特にこれに限定されるものではない。
圧電性粉末123は、電圧が印加されると自分の形状を変化させるとともに、導電性粉末122が互いに接点を形成するようにサポートする役割を果たし、圧電性粉末123により導電性粉末122間の間隔が調節され、接点がより容易に形成されることができる。
したがって、樹脂121内に導電性粉末122のみが存在するときより圧電性粉末123が添加されたときの方が、静電気保護部品がより低い電圧で導電性を有することができる。
しかし、圧電性粉末123が適正量以上添加されると、圧電性能よりも絶縁性能が発揮されて、静電気保護部品100に電流が通らなくなる。すなわち、圧電性粉末123が、樹脂121の100重量部に対して30〜33重量部に添加されるときには、圧電性能が発揮されて静電気放電に対する保護の役割を果たすことができるが、33重量部を超える場合には、圧電性能よりも絶縁性能が発揮されて電流が通らないため、静電気放電に対する保護の役割を果たすことができなくなる。
導電性粉末122と圧電性粉末123が準備されると、これらを分散させる樹脂121を準備する。樹脂121としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂などの高分子材料を単独で又は2種以上併用して使用することができる。
この際、シリコーン樹脂のような弾性のある樹脂の場合、過電圧時に形状が変形した圧電性粉末123がまた既存の形状に戻る際に復元力を発揮することから、エポキシ樹脂のような非弾性材質の樹脂に比べて好ましい。
前記材料が準備されると、これらが均一に混合するように1次攪拌して混合(S520)した後、前記混合した材料に対してロールミル(S530)を行う。ロールミル工程は、前記粉末の大きさを考慮してロール間の距離を設定し、複数回行うことができる。
ロールミル工程後、前記ロールミルを行った材料を公自転ミキサーにより2次攪拌(S540)して分散を終了することで、ペーストを製造する。
上記のように静電気保護用ペーストが製造されると、スクリーンプリンターを用いて静電気保護部品100内の電極にパターンを印刷し、乾燥させた後、熱硬化する。その後、静電気保護部品100に過電圧テストを実施する。
<比較例1:圧電性粒子が添加されていないエポキシ樹脂を使用した静電気保護用ペーストの製造>
1)球状のアルミニウム(Al)粉末19g、スパイク(spike)状のニッケル(Ni)粉末26g、エポキシ樹脂15g、シリコーンオイル4.5gを秤量して準備した後、攪拌する。
2)ロール間の距離10μmで4回通過(pass)した後、また、ロール間の距離5μmで2回通過(pass)させて、ロールミル(EXAKT、80E)工程を行う。
3)ロールミル工程後、1分間、公自転(Revolution 900rpm、Rotation 700rpm)ミキサーにより分散して、ペーストを製造する。
4)前記ペーストをスクリーンプリンターを用いて静電気保護部品内の電極にパターン印刷した後、オーブンに入れて10分間乾燥(100℃)する。
5)乾燥後、90分間、熱硬化(170℃)を実施する。
6)静電気保護部品内の電極パッドにTLP(Transmission Line Pulse)装備を用いて端子を連結し、過電圧テストを実施する。
<比較例2:圧電性粒子が添加されていないシリコーン樹脂を使用した静電気保護用ペーストの製造>
1)球状のアルミニウム(Al)粉末19g、スパイク(spike)状のニッケル(Ni)粉末26g、シリコーン樹脂15g、シリコーンオイル4.5gを秤量して準備した後、攪拌する。
2)ロール間の距離10μmで4回通過(pass)した後、また、ロール間の距離5μmで2回通過(pass)させて、ロールミル(EXAKT、80E)工程を行う。
3)ロールミル工程後、1分間、公自転(Revolution 900rpm、Rotation 700rpm)ミキサーにより分散して、ペーストを製造する。
4)前記ペーストをスクリーンプリンターを用いて静電気保護部品内の電極にパターン印刷した後、オーブンに入れて10分間乾燥(100℃)する。
5)乾燥後、90分間、熱硬化(170℃)を実施する。
6)静電気保護部品内の電極パッドにTLP(Transmission Line Pulse)装備を用いて端子を連結し、過電圧テストを実施する。
<実施例:圧電性粒子が添加されたシリコーン樹脂を使用した静電気保護用ペーストの製造>
1)球状のアルミニウム(Al)粉末19g、スパイク(spike)状のニッケル(Ni)粉末21g、酸化亜鉛(ZnO)粉末5g、シリコーン樹脂15g、シリコーンオイル4.5gを秤量して準備した後、攪拌する。
2)ロール間の距離10μmで4回通過(pass)した後、またロール間の距離5μmで2回通過(pass)させて、ロールミル(EXAKT、80E)工程を行う。
3)ロールミル工程後、1分間、公自転(Revolution 900rpm、Rotation 700rpm)ミキサーにより分散して、ペーストを製造する。
4)前記ペーストをスクリーンプリンターを用いて静電気保護部品内の電極にパターン印刷した後、オーブンに入れて10分間乾燥(100℃)する。
5)乾燥後、90分間、熱硬化(170℃)を実施する。
6)TLP(Transmission Line Pulse)装備を用いて静電気保護部品内の電極パッドに端子を連結し、過電圧テストを実施する。
上記のような過程により、樹脂121の種類及び圧電性粒子123の添加有無に応じて実施した過電圧テストの結果は、次の図6のとおりである。
図6は比較例1,2及び実施例より製造された試料をそれぞれ5個ずつ準備して過電圧テストを実施した結果を示すグラフである。
この際、過電圧テストとは、静電気保護部品100に過電圧を印加し、次いで、正常電圧を印加して、静電気保護部品100が絶縁性を維持するか否かを測定することを1サイクルとし、静電気保護部品100の絶縁性が破壊されるまで繰り返したテストの回数を記録するものである。
図6を参照すると、静電気保護用ペーストのバインダー(binder)としてエポキシ樹脂を使用し、圧電性粉末123を添加しない場合(比較例1)は、静電気保護部品100に過電圧を1〜3回印加すると、静電気保護部品100の絶縁性が破壊されることを確認することができる。
しかし、同じ条件下でバインダーをシリコーン樹脂に変えた場合(比較例2)には、過電圧テストを3〜5回程度行ったときに、静電気保護部品100の絶縁性が破壊された。
比較例2が比較例1に比べて過電圧テストを行った回数がより多いことは、弾性のあるシリコーン樹脂の特性上、エポキシ樹脂を使用するときより復元力がより良好であるためである。
一方、バインダーとしてシリコーン樹脂を使用し、圧電性粉末123を添加した場合(実施例)には、前記二つの場合に比べてテストを行う回数が急激に増加して、9〜10回程度テストを行った後、静電気保護部品100の絶縁性が破壊された。
かかる結果は、シリコーン樹脂のような弾性のある樹脂を使用したことと、圧電性能のある圧電性粉末123を適正量添加して電流が通ることができる導電性粒子122間の接点を形成したためである。
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、上述の内容は本発明の好ましい実施例を示して説明するものに過ぎず、本発明は多様な他の組合、変更及び環境で用いることができる。即ち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、述べた開示内容と均等な範囲及び/又は当業界の技術又は知識の範囲内で変更又は修正が可能である。上述の実施例は本発明を実施するにおいて最善の状態を説明するためのものであり、本発明のような他の発明を用いるにおいて当業界に公知された他の状態での実施、そして発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。従って、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むと解釈されるべきであろう。
100 静電気保護部品
110 電極
120 静電気保護用ペースト層
121 樹脂マトリックス
122 導電性粒子
123 圧電性粒子

Claims (14)

  1. 樹脂マトリックスと、
    前記樹脂マトリックス内に分散された導電性粒子及び圧電性粒子と
    を含む、静電気保護用ペースト。
  2. 前記樹脂マトリックスは、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂のいずれか1種又は2種以上を併用して形成される、請求項1に記載の静電気保護用ペースト。
  3. 前記導電性粒子は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなる、請求項1または2に記載の静電気保護用ペースト。
  4. 前記導電性粒子は、球状、板状、スパイク状のいずれか一つ以上の形状を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の静電気保護用ペースト。
  5. 前記圧電性粒子は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)のいずれか一つ以上である、請求項1から4のいずれか1項に記載の静電気保護用ペースト。
  6. 前記圧電性粒子は、前記樹脂マトリックス100重量部に対して30〜33重量部添加される、請求項1から5のいずれか1項に記載の静電気保護用ペースト。
  7. 前記静電気保護用ペーストは、前記圧電性粒子が、電圧印加によって形状が可変となるとともに、前記導電性粒子を電気的に連結する接点を形成するようにする、請求項1から6のいずれか1項に記載の静電気保護用ペースト。
  8. 導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階と、
    前記準備した材料を1次攪拌して混合する段階と、
    前記混合した材料に対してロールミル(roll mill)を行う段階と、
    前記ロールミルを行った材料を2次攪拌する段階と
    を含む、静電気保護用ペーストの製造方法。
  9. 前記導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階において、
    前記導電性粉末は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、銀(Ag)のいずれか一つ以上又はこれらの合金からなる、請求項8に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
  10. 前記導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階において、
    前記導電性粉末は、球状、板状、スパイク状のいずれか一つ以上の形状を有する、請求項8または9に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
  11. 前記導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階において、
    前記圧電性粉末は、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化鉛(PbO)のいずれか一つ以上である、請求項8から10のいずれか1項に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
  12. 前記導電性粉末、圧電性粉末及び樹脂それぞれの材料を準備する段階において、
    前記圧電性粉末は、前記樹脂100重量部に対して30〜33重量部添加される、請求項8から11のいずれか1項に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
  13. 前記ロールミルを行った材料を2次攪拌する段階において、
    前記2次攪拌は、公自転ミキサーにより行われる、請求項8から12のいずれか1項に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
  14. 前記静電気保護用ペーストは、前記圧電性粉末が、電圧印加によって形状が可変となるとともに、前記導電性粉末を電気的に連結する接点を形成するようにする、請求項8から13のいずれか1項に記載の静電気保護用ペーストの製造方法。
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