JP2016020848A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
検査装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016020848A JP2016020848A JP2014144656A JP2014144656A JP2016020848A JP 2016020848 A JP2016020848 A JP 2016020848A JP 2014144656 A JP2014144656 A JP 2014144656A JP 2014144656 A JP2014144656 A JP 2014144656A JP 2016020848 A JP2016020848 A JP 2016020848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- measurement
- pass
- measured
- inspection target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】回路網50内における測定点間の被測定量を測定する測定処理を実行する測定部15と、被測定量と比較データとを比較して各測定点間の検査対象部品を検査する検査部16と、検査対象部品が良好との良否状態を示す第1良否状態、および不良の検査対象部品が1つ以上存在する場合のその検査対象部品の全組み合わせに対応して各検査対象部品の良否状態を示す第2良否状態と各良否状態において測定されるべき被測定量をシミュレーションしたシミュレーション値とを対応付けて作成したシミュレーションデータDsを比較データとして記憶する記憶部13とを備え、検査部16は、測定された被測定量とシミュレーションデータDsとを比較して、被測定量に合致するシミュレーション値に対応する良否状態を特定すると共に特定した良否状態に基づいて検査対象部品を検査する。
【選択図】図1
Description
13 記憶部
15 測定部
16 検査部
50,60 回路網
51 検査対象部品
P1,P2 測定点
A1〜A64 良否状態
Ds シミュレーションデータ
D1〜D4 分割回路網
Claims (5)
- 複数の検査対象部品を含んで構成される回路網における当該各検査対象部品を検査する検査装置であって、
前記回路網内に規定された一対の信号入力点に信号を入力したときの当該回路網内に規定された一対の測定点において検出される電気信号に基づいて当該各測定点間の被測定量を測定する測定処理を実行する測定部と、前記被測定量と予め決められた比較データとを比較して前記各測定点間における前記検査対象部品を検査する検査部と、前記比較データを記憶する記憶部とを備え、
前記記憶部は、前記検査対象部品のすべてが良好との良否状態を示す第1良否状態、および前記検査対象部品の中に不良の検査対象部品が1つ以上存在する場合における当該不良の検査対象部品のすべての組み合わせにそれぞれ対応して当該各検査対象部品の良否状態を示す第2良否状態と、前記各良否状態において測定されるべき前記被測定量をシミュレーションして求めたシミュレーション値とを対応付けて作成したシミュレーションデータを前記比較データとして記憶し、
前記検査部は、前記測定された被測定量と前記シミュレーションデータとを比較して、当該被測定量に合致する前記シミュレーション値に対応する前記良否状態を特定する特定処理を実行し、当該特定した良否状態に基づいて前記検査対象部品を検査する検査装置。 - 前記測定部は、測定条件を異ならせて前記測定処理を複数回実行し、
前記記憶部は、前記各測定処理における各々の測定条件と同じ測定条件でそれぞれシミュレーションして作成した複数の前記シミュレーションデータを記憶し、
前記検査部は、前記測定条件毎に前記特定処理を実行し、当該各特定処理によって特定した複数の良否状態に基づいて前記検査対象部品を検査する請求項1記載の検査装置。 - 前記検査部は、前記特定した複数の良否状態のすべてが一致するときには、当該良否状態を前記検査対象部品の検査結果とし、当該各良否状態が一致しないときには、前記検査対象部品の検査を保留する請求項2記載の検査装置。
- 前記測定部は、前記測定処理において、1つの前記回路網を分割した複数の分割回路網内の前記測定点間の被測定量を測定し、
前記記憶部は、前記各分割回路網毎に作成した複数の前記シミュレーションデータを記憶し、
前記検査部は、前記各分割回路網毎に前記特定処理を実行する請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。 - 複数の検査対象部品を含んで構成される回路網内に規定された一対の信号入力点に信号を入力したときの当該回路網内に規定された一対の測定点において検出される電気信号に基づいて当該各測定点間の被測定量を測定する測定処理を実行して、前記被測定量と予め決められた比較データとを比較して前記各測定点間における前記検査対象部品を検査する検査方法であって、
前記検査対象部品のすべてが良好との良否状態を示す第1良否状態および当該検査対象部品の中に不良の検査対象部品が1つ以上存在する場合における当該不良の検査対象部品のすべての組み合わせにそれぞれ対応して当該各検査対象部品の良否状態を示す第2良否状態と当該各良否状態において測定されるべき前記被測定量をシミュレーションして求めたシミュレーション値とを対応付けて作成した前記比較データとしてのシミュレーションデータと、前記測定した被測定量とを比較して、当該被測定量に合致する前記シミュレーション値に対応する前記良否状態を特定する特定処理を実行し、当該特定した良否状態に基づいて前記検査対象部品を検査する検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014144656A JP6320862B2 (ja) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | 検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014144656A JP6320862B2 (ja) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | 検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016020848A true JP2016020848A (ja) | 2016-02-04 |
JP6320862B2 JP6320862B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=55265763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014144656A Active JP6320862B2 (ja) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6320862B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06130125A (ja) * | 1992-02-19 | 1994-05-13 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置におけるショートグループ構成方法 |
JPH10239394A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Nec Corp | Lsiの故障箇所の特定化方法 |
JP2005043274A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 故障モード特定方法及び故障診断装置 |
US20110032829A1 (en) * | 2008-12-17 | 2011-02-10 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Method and apparatus for determining relevance values for a detection of a fault on a chip and for determining a fault probability of a location on a chip |
JP2011187917A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 受動素子が内蔵された印刷回路基板の検査方法 |
JP2013117482A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Hioki Ee Corp | 電子回路検査装置、電子回路検査方法、回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
-
2014
- 2014-07-15 JP JP2014144656A patent/JP6320862B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06130125A (ja) * | 1992-02-19 | 1994-05-13 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置におけるショートグループ構成方法 |
JPH10239394A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Nec Corp | Lsiの故障箇所の特定化方法 |
JP2005043274A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 故障モード特定方法及び故障診断装置 |
US20110032829A1 (en) * | 2008-12-17 | 2011-02-10 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Method and apparatus for determining relevance values for a detection of a fault on a chip and for determining a fault probability of a location on a chip |
JP2011187917A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 受動素子が内蔵された印刷回路基板の検査方法 |
JP2013117482A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Hioki Ee Corp | 電子回路検査装置、電子回路検査方法、回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6320862B2 (ja) | 2018-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010185697A (ja) | プリント配線板の検査装置及び検査方法 | |
JP2011112408A (ja) | 絶縁検査装置および絶縁検査方法 | |
JP2012047675A (ja) | 検査装置 | |
JP2015025808A (ja) | 欠陥のある電気ケーブルの特定 | |
JP6320862B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
CN116482512A (zh) | 一种电源信号自检查的接口电路板、自动测试方法和测试平台 | |
JP5897393B2 (ja) | 抵抗測定装置 | |
JP2012013589A (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6618826B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP5944121B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP2013076633A (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP2011185625A (ja) | 検査装置 | |
JP5485012B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
CN108169664B (zh) | 电路板故障检测方法和装置、计算机设备和存储介质 | |
JP5988557B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP2013117482A (ja) | 電子回路検査装置、電子回路検査方法、回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP2016057248A (ja) | データ生成装置、検査装置、データ生成方法および検査方法 | |
JP2013205026A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
JP6472616B2 (ja) | データ生成装置およびデータ生成方法 | |
JP6400347B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2010286312A (ja) | 回転子検査装置及び回転子検査方法 | |
JP2013117423A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
JP2013053998A (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP4282589B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6798834B2 (ja) | 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6320862 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |