JP2016008307A - 絶縁性基材への導電性dlc層のコーティング装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の絶縁体基材1への導電性DLC層3のコーティング装置100は、絶縁性基材を保持する保持部110と、保持部によって保持される絶縁性基材の一の面1aに、導電性の中間層2をコーティングする第1チャンバ140と、導電性の中間層の上に接触して電圧を印加する電圧印加部材160と、電圧印加部材が導電性の中間層に電圧を印加している状態において、導電性の中間層上に導電性DLC層をスパッタリングによってコーティングする第2チャンバ150とを有する。
【選択図】図1
Description
第1実施形態に係る絶縁性基材1への導電性DLC層3のコーティング方法、およびその方法を具現化したコーティング装置100について、図1〜3を参照しながら説明を行う。
第2実施形態に係る絶縁性基材1への導電性DLC層3のコーティング方法、およびその方法を具現化したコーティング装置200について、図5を参照しながら説明を行う。
1a 一の面、
2 導電性の中間層、
3 導電性DLC層、
90、290 制御部、
100 コーティング装置、
110、210 保持部、
111 クランプ、
111a 収容部、
111b 蓋、
111c ネジ、
111d 筐体、
120 搬送部、
130 搬出入チャンバ、
131 第1ゲートバルブ、
140 第1チャンバ、
141 第2ゲートバルブ、
142 導電性ターゲット、
150 第2チャンバ、
151 第3ゲートバルブ、
152 カーボンターゲット、
160、260 電圧印加部材、
161、261 本体部、
162 付勢部、
170 吸排気部、
171 配管、
172 切替弁、
173 ポンプ、
180 電源、
190 押出部材、
191 押出部、
192 駆動部、
192a 作動ロッド、
193 スライド部、
211e 一の面、
261a 凸部、
263 蝶番部、
263a 支持側部材、
263b 可動側部材、
263c 凹部。
Claims (6)
- 絶縁性基材を保持する保持部と、
前記保持部によって保持される前記絶縁性基材の一の面に、導電性の中間層をコーティングする第1チャンバと、
前記導電性の中間層の上に接触して電圧を印加する電圧印加部材と、
前記電圧印加部材が前記導電性の中間層に前記電圧を印加している状態において、前記導電性の中間層上に導電性DLC層をスパッタリングによってコーティングする第2チャンバと、を有する絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング装置。 - 前記第1チャンバと前記第2チャンバとを通して設定された搬送ラインに沿って前記保持部を搬送する搬送部をさらに有し、
前記保持部の移動に連動して、前記電圧印加部材が前記導電性の中間層の上に接触する状態に移行する、請求項1に記載の絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング装置。 - 前記第1チャンバに向けて処理前の前記絶縁性基材を搬入し、前記導電性DLC層を形成後の前記絶縁性基材を前記第1チャンバを経て搬出するインターバック型である、請求項2に記載の絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング装置。
- 前記電圧印加部材は、突出または回転して前記導電性の中間層の上に接触する状態に移行する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング装置。
- 前記保持部は、前記絶縁性基材を把持するクランプを有し、
前記電圧印加部材は、前記クランプに設けられる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング装置。 - 保持部によって保持される絶縁性基材の一の面に、導電性の中間層をコーティングし、
電圧印加部材を前記導電性の中間層の上に接触させ電圧を印加している状態において、前記導電性の中間層上に導電性DLC層をスパッタリングによってコーティングする、絶縁性基材への導電性DLC層のコーティング方法。
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