JP2016004016A - 二重ダイアフラム式圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部を有する金属容器21の底部21bに搭載される圧力センサユニット4と、前記容器21凹部の開口部21aに気密接合される金属ダイアフラム23と、該金属ダイアフラム23と前記容器21の凹部とで形成される空間を満たす圧力伝達媒体24と、前記容器21の底部21bに前記容器21とは電気的に絶縁気密状態で貫通する金属端子26と、前記半導体圧力センサユニット4で検出した外部圧力を変換した電気信号を外部に出力する構成を備える二重ダイアフラム式圧力センサ。
【選択図】図1
Description
20 本発明の二重ダイアフラム式圧力センサ
21 金属容器
21a 開口部
21b 凹部底部
22 ガラスハーメチック
23 二重金属ダイアフラム
23a 上側ダイアフラム
23b 下側ダイアフラム
24 シリコーンオイル
25 アルミワイヤ
26 金属端子
26a 一端
26b 他端
27 ガラス
Claims (9)
- 凹部を有する金属容器の底部に搭載される圧力センサユニットと、前記容器凹部の開口部に気密接合される金属ダイアフラムと、該金属ダイアフラムと前記容器の凹部とで形成される空間を満たす圧力伝達媒体と、前記容器の底部に前記容器とは電気的に絶縁状態で貫通する金属端子と、前記圧力センサユニットで検出した外部圧力を変換した電気信号を外部に出力する構成を備えることを特徴とする二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記金属ダイアフラムが、熱膨張係数が大の外側ダイアフラムと、熱膨張係数が小の内側ダイアフラムとを貼り合わせた構成を有することを特徴とする請求項1記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 15μm乃至40μmから選ばれるいずれかの厚さのダイアフラムであって、前記熱膨張係数が大の外側ダイアフラムがSUS316Lステンレス鋼であり、熱膨張係数が小の内側ダイアフラムがFe/Ni42であることを特徴とする請求項2記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記金属ダイアフラムが円形であって、同心円状の波型を備えていることを特徴とする請求項3に記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記同心円状の波型が等間隔の3重〜5重の同心円で、波の振幅高さ30〜50μmの波型であることを特徴とする請求項4記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記圧力伝達媒体がシリコーンオイルであることを特徴とする請求項1記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記容器がステンレス鋼であることを特徴とする請求項1記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記圧力センサユニットが半導体圧力センサチップを備えることを特徴とする請求項1記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
- 前記圧力センサユニットが半導体圧力センサチップであることを特徴とする請求項1記載の二重ダイアフラム式圧力センサ。
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