JP2008070190A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008070190A JP2008070190A JP2006247949A JP2006247949A JP2008070190A JP 2008070190 A JP2008070190 A JP 2008070190A JP 2006247949 A JP2006247949 A JP 2006247949A JP 2006247949 A JP2006247949 A JP 2006247949A JP 2008070190 A JP2008070190 A JP 2008070190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- layer
- pressure sensor
- pressure receiving
- thermal expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/006—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/18—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by resistance strain gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】ケースと、ケースの一端部に設けられ、一面が被測定圧力Pを受ける受圧面21として構成されるとともに受圧面21に被測定圧力Pを受けて歪む受圧用ダイアフラム20と、ケースの内部に設けられ受圧用ダイアフラム20から被測定圧力Pが伝達される圧力伝達部材60とを備える圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラム20は、受圧面21を構成する第1の層20aと、圧力伝達部材60寄りの部位に位置する第2の層20bとを有するとともに、第1の層20aと第2の層20bとは、互いに熱膨張係数の異なる材料よりなるものである。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサ100のエンジン200への取付構造を示す概略断面図である。本圧力センサ100は、被測定圧力としてエンジン200の燃焼室202内の圧力(つまり燃焼圧)Pを検出する燃焼圧センサとして適用されるものである。
図3は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、圧力センサにおける受圧用ダイアフラム20近傍部の拡大図である。この図3に示される部分以外は、本実施形態の圧力センサは上記図1に示される圧力センサと同様の構成であるため、以下、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
図4は、本発明の第3実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、圧力センサにおける受圧用ダイアフラム20近傍部の拡大図である。本実施形態においても、この図4に示される部分以外は、本実施形態の圧力センサは上記図1に示される圧力センサと同様の構成であるため、以下、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
なお、受圧用ダイアフラム20において第1の層20aと第2の層20bとの固定は、上記した圧延加工や接着剤20cを用いた構成に限定されるものではない。
20a…受圧用ダイアフラムの第1の層、20b…受圧用ダイアフラムの第2の層、
21…受圧用ダイアフラムの受圧面、60…圧力伝達部材。
Claims (11)
- ケース(10)と、
前記ケース(10)の一端部に設けられ、一面が被測定圧力を受ける受圧面(21)として構成されるとともに当該受圧面(21)に前記被測定圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(20)と、
前記ケース(10)の内部に設けられ前記受圧用ダイアフラム(20)から前記被測定圧力が伝達される圧力伝達部材(60)とを備える圧力センサにおいて、
前記受圧用ダイアフラム(20)は、前記受圧面(21)を構成する第1の層(20a)と、この第1の層(20a)よりも前記圧力伝達部材(60)寄りの部位に位置する第2の層(20b)とを有するとともに、前記第1の層(20a)と前記第2の層(20b)とは、互いに熱膨張係数の異なる材料よりなるものであることを特徴とする圧力センサ。 - 前記第1の層(20a)よりも前記第2の層(20b)の方が熱膨張係数の大きい材料よりなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第2の層(20b)よりも前記第1の層(20a)の方が熱膨張係数の大きい材料よりなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記互いに熱膨張係数の異なる材料において、熱膨張係数の大きい方の材料として、SUS304を用いることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記互いに熱膨張係数の異なる材料において、熱膨張係数の小さい方の材料として、SUS630、SUS631およびSUS430の中から選択されるものを用いることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記互いに熱膨張係数の異なる材料において、熱膨張係数の小さい方の材料として、コバール、インバー、42アロイおよびモリブデンの中から選択されるものを用いることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1の層(20a)と前記第2の層(20b)とは圧延加工により接合されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1の層(20a)と前記第2の層(20b)とはロウ付けにより接合されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1の層(20a)と前記第2の層(20b)との周辺部は溶接されており、これら両層(20a、20b)の間のうち前記溶接された部位の内周部は、接着剤(20c)を介して接着されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1の層(20a)と前記第2の層(20b)とは摩擦圧接もしくは超音波接合により接合されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記被測定圧力として、エンジンの燃焼圧を測定するものであることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247949A JP5034394B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 圧力センサ |
US11/826,844 US7497125B2 (en) | 2006-09-13 | 2007-07-19 | Pressure sensor with diaphragm for detecting pressure |
DE102007042100A DE102007042100B4 (de) | 2006-09-13 | 2007-09-05 | Drucksensor mit Membran zur Druckerfassung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247949A JP5034394B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008070190A true JP2008070190A (ja) | 2008-03-27 |
JP5034394B2 JP5034394B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=39105347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006247949A Expired - Fee Related JP5034394B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 圧力センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7497125B2 (ja) |
JP (1) | JP5034394B2 (ja) |
DE (1) | DE102007042100B4 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186209A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Toyota Motor Corp | 圧力センサ |
JP2010096656A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010122036A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010242577A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Denso Corp | 燃料噴射弁 |
JP2010242578A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Denso Corp | 燃料噴射弁 |
JP2015052597A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー | 圧力センサ |
JP2016004016A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 富士電機株式会社 | 二重ダイアフラム式圧力センサ |
WO2017010416A1 (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017020960A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017040516A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017194358A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2020148480A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8042401B2 (en) * | 2008-06-12 | 2011-10-25 | Rosemount, Inc. | Isolation system for process pressure measurement |
JP5265439B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2013-08-14 | 株式会社デンソー | 燃料噴射弁 |
DE102009030702A1 (de) * | 2009-06-26 | 2010-12-30 | Trafag Ag | Drucksensormesselement sowie damit versehener Drucksensor |
DE102009050911B4 (de) * | 2009-10-26 | 2014-06-12 | Borgwarner Beru Systems Gmbh | Zylinderdrucksensor |
FR2958748B1 (fr) * | 2010-04-08 | 2012-06-08 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif formant capteur de pression, procede de realisation d'un tel capteur et application a la realisation d'un ecran tactile |
FR2977669B1 (fr) * | 2011-07-08 | 2014-02-14 | Continental Automotive France | Dispositif de mesure de pression isole pour moteur a combustion interne |
DE102014104113A1 (de) * | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Kavlico GmbH | Drucksensor für Wasserstoffanwendungen |
JP6114332B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2017-04-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
DE102015225434B3 (de) * | 2015-12-16 | 2017-05-18 | Continental Automotive Gmbh | Sensor und dessen Herstellungsverfahren zur Anwendung in einem Abgasstrang |
JP6374550B1 (ja) * | 2017-02-27 | 2018-08-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
JP7451907B2 (ja) * | 2019-09-09 | 2024-03-19 | Tdk株式会社 | 圧力センサ素子 |
JP2023124671A (ja) * | 2022-02-25 | 2023-09-06 | Tdk株式会社 | 絶縁膜付き金属部材、物理量センサおよび圧力センサ |
JP7214177B1 (ja) * | 2022-08-23 | 2023-01-30 | 合同会社エルエーサイエンス・ラボ | 圧力センサ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ |
JP2005291740A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5641231A (en) | 1979-08-29 | 1981-04-17 | Matsushita Electric Works Ltd | Production of epoxy resin sheetlike molded material |
JPH02253133A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-11 | Copal Electron Co Ltd | 半導体圧力センサ |
AT399952B (de) | 1993-06-01 | 1995-08-25 | Avl Verbrennungskraft Messtech | Gekühlter drucksensor |
DE19744228C1 (de) * | 1997-10-07 | 1998-11-26 | Bosch Gmbh Robert | Sensor mit einer Membran |
JP2006194736A (ja) | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Denso Corp | 圧力検出装置およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-09-13 JP JP2006247949A patent/JP5034394B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-07-19 US US11/826,844 patent/US7497125B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-05 DE DE102007042100A patent/DE102007042100B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ |
JP2005291740A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186209A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Toyota Motor Corp | 圧力センサ |
JP2010096656A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010122036A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010242577A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Denso Corp | 燃料噴射弁 |
JP2010242578A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Denso Corp | 燃料噴射弁 |
JP2015052597A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー | 圧力センサ |
JP2016004016A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 富士電機株式会社 | 二重ダイアフラム式圧力センサ |
WO2017010416A1 (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017020960A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017040516A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2017194358A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP2020148480A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
JP7164835B2 (ja) | 2019-03-11 | 2022-11-02 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102007042100B4 (de) | 2013-10-17 |
DE102007042100A1 (de) | 2008-03-27 |
US20080060441A1 (en) | 2008-03-13 |
JP5034394B2 (ja) | 2012-09-26 |
US7497125B2 (en) | 2009-03-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5034394B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4848904B2 (ja) | 圧力センサ | |
US7628078B2 (en) | Combustion pressure sensor | |
US7404328B2 (en) | Pressure sensor | |
JP5064658B2 (ja) | 鋼ダイヤフラム上にシリコンチップを備えた圧力センサ | |
KR100943325B1 (ko) | 압력검출장치 | |
JP3870917B2 (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置及びその温度センサ固定方法 | |
JP4835353B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4353251B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6056562B2 (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
JP4244861B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP4720451B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5141202B2 (ja) | 圧力センサの取付構造 | |
JP3915605B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP4760590B2 (ja) | 温度検出素子 | |
JP5067138B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2007040749A (ja) | 圧力検出装置 | |
JP4525297B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP2005351789A (ja) | 圧力検出装置の製造方法 | |
JP2010096656A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008082825A (ja) | 圧力センサ | |
JP4168813B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2010122036A (ja) | 圧力センサ | |
JP2005326337A (ja) | 圧力検出装置 | |
JP4019966B2 (ja) | 圧力センサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110927 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120105 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120229 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120321 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |