JP2015531060A - 局所測定を用いた試料の特徴付けのための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、より詳細には、少なくとも、測定器と、該測定器を試料に対して絶対的に位置決めすることを可能にする位置決めシステムとを含む、特徴付け装置に関する。
本発明はまた、2つの測定器を含み、2つの測定器によって、位置決めシステムが試料上で共局在化測定を行うことを可能にする特徴付け装置に関する。
測定の共局在化は、一方で、高度な空間的精度を必要とし、すなわち測定器は、時間的に厳密な測定中に、特徴付けされる試料に対して非常に正確に位置決めされなければならない。
他方で、これは高い測定繰返し精度を必要とする。実際、異なる場面で同じ測定を行うこと、及び、安定な試料について同じ結果を得ることができることが必須である。
かかる特徴付け装置を用いるときには、試料を測定器に対して正確に位置付けして、試料の特定の一点で測定が行われるようにすることが有用である。
しかし、特許文献1の位置決めシステムは、試料に対する測定器の位置を正確に知ること、すなわち測定器を試料に対して絶対的に位置決めすることを可能にしない。
特許文献2は、1回目に、この文献では光学顕微鏡で形成された位置決めシステムを用い、2回目に走査トンネル顕微鏡を含む測定器を用いる特徴付け装置を開示する。従って、位置決め操作と測定操作は同時には行われない。
−試料の一点において該試料の物理特性を決定するようなっている測定器と、
−試料の1つの局所測定点において、特徴付けされる前記試料に対して測定器を位置決めするようになっている位置決めシステムと、
を含み、位置決めシステムは、
−試料にリンクした座標系を定める、試料と一体にされた局所化ターゲットと、
−画像取得及び解析手段であって、
−局所化ターゲットを照明する手段と、
−測定器と一体であり、局所化ターゲットの少なくとも1つの部分画像を取得するようになっている、光学画像化システムと、
−局所化ターゲットの部分画像を解析して、局所化ターゲットに対する光学画像化システムの位置及び配向を決定するようになっている画像解析手段と、
を含む、画像取得及び解析手段と、
−光学画像化システムに対する測定器の相対位置を決定するようになっている較正手段と、
−試料にリンクした座標系における局所測定点の絶対位置を決定するようになっている、画像解析結果及び較正結果を処理するための手段と
を含み、
測定器は、局所測定点における測定のために位置決めされ、試料の物理特性は、局所測定点において測定器によって決定されることを特徴とする装置に関する。
−試料の一点において該試料の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器を含む特徴付け装置であって、位置決めシステムは、試料の第2の局所測定点において該試料に対して他の測定器を位置決めするようになっており、光学画像化システムはまた、他の測定器とも一体であり、位置決めシステムの較正手段は、光学画像化システムに対する他の測定器の相対位置を決定するようになっており、結果処理手段は、試料にリンクした座標系における第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、試料の他の物理特性は、第2の測定点において他の測定器によって決定される、特徴付け装置、
−試料の一点において該試料の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器を含む特徴付け装置であって、位置決めシステムは、試料の第2の局所測定点において該試料に対して他の測定器を位置決めするようになっており、該特徴付け装置は、局所化ターゲットの少なくとも1つの部分の別の画像を取得するようになっている、他の測定器と一体の別の光学画像化システムを含み、画像解析手段は、局所化ターゲットの部分の他の画像を解析して、局所化ターゲットに対する他の光学画像化システムの位置及び配向を決定するようになっており、位置決めシステムの較正手段は、他の光学画像化システムに対する他の測定器の相対位置を決定するようになっており、結果処理手段は、試料にリンクした座標系における第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、試料の他の物理特性は、第2の測定点において他の測定器によって決定される、特徴付け装置、及び
−試料の一点において該試料の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器を含む特徴付け装置であって、位置決めシステムは、試料の第2の局所測定点において該試料に対して他の測定器を位置決めするようになっており、
−局所化ターゲットの少なくとも1つの部分の別の画像を取得するようになっている、他の測定器と一体の別の光学画像化システムを含み、画像解析手段は、局所化ターゲットの部分の他の画像を解析して、局所化ターゲットに対する他の光学画像化システムの位置及び配向を決定するようになっており、位置決めシステムはさらに、
−他の光学画像化システムに対する他の測定器の相対位置を決定するようになっている他の較正手段を含み、
結果処理手段は、試料にリンクした座標系における第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、試料の他の物理特性は、第2の測定点において他の測定器によって決定される、特徴付け装置、
に関する。
かかる特徴付け装置を用いて、異なる測定器で、空間的及び/又は時間的に分離した、試料上の同じ場所又は別個の場所における相互局所測定を行うことができる。
従って、この特徴付け装置は、異なる測定器に実装された事実上異なる測定技法を結び付けることを可能にする。このことは、試料に対してマルチモードの研究を行う要求を満たす。
−可視、紫外及び赤外領域における、広視野又はレーザ走査型(共焦点顕微鏡)、コントラスト吸収型、反射型、弾性散乱型又はラマン型、位相型、干渉型、偏光型又は蛍光型デジタル光学顕微鏡、
−局部プローブ顕微鏡(例えば、原子間力顕微鏡)、
−走査型、透過型又は走査型透過電子顕微鏡、オージェ分光光度計、X線光電子分光光度計、
−機械式プロフィルメータ、
−表面プラズモン共鳴イメージングシステム、
−質量分光光度計
−X線吸収又は蛍光分光光度計
−陰極線ルミネセンス分光光度計。
−局所化ターゲットは、機械的技法若しくはフォトリソグラフィ技法で試料の上又は中に食刻されるか、又はインキング若しくはセリグラフィで試料上に印刷される。
−局所化ターゲットは、試料に取り付けられる可撓性又は剛性の支持体を含み、支持体を試料と一体にする。
−局所化ターゲットは、接着シートで形成される。
−局所化ターゲットは、第1の面及び第2の面を含む試料の第2の面と一体にされ、局所測定点は、試料の第1の面上に位置する。
−局所化ターゲットは、測定器によって特徴付けされることが意図された試料の測定領域よりも広い局所化領域を空間的に覆って拡がる。
−局所化ターゲットは、試料の第2の面全体を覆って拡がる。
−局所化ターゲットは、試料と同時に製造される。
−局所化ターゲットは、マイクロ又はナノ構造パターンを含む。
−局所化ターゲットは、規則的な二次元ペーブメントを形成する複数の基本セルで形成される。
−各基本セルは、試料にリンクした座標系における基本セルの位置を示す位置決めパターンと、試料にリンクした座標系における基本セルの配向を示す配向パターンとを含む。
−各基本セルは、試料に対する基本セルの位置決め精度を高めることを可能にする周期的パターンを含む。
−各基本セルは、試料及び/又は局所化ターゲットに関する情報をコード化する識別パターンを含む。
−識別パターンは、基本セルの各々について同一である。
−光学画像化システムは、局所化ターゲットの部分画像が周期的パターンの画像を含むように配置される。
−光学画像化システムは、局所化ターゲットの部分画像が識別パターンの画像を含むように配置される。
−測定器は、光学顕微鏡が透過モードで用いられる場合に集光器を受け入れることを意図した場所を備えた光学顕微鏡を含み、
−局所化ターゲットは、試料の第2の面と一体にされ、局所測定点は、試料の第1の面上に位置し、
−光学画像化システムは、集光器の場所に配置される、
装置に関する。
a)測定器と一体の光学画像化システムに対する該測定器の相対位置を決定するステップ、
b)特徴付けされる試料を、該試料の少なくとも1つの局所測定点において測定器によって測定されるような条件で配置するステップであって、局所化ターゲットが試料と一体にされ、該局所化ターゲットが試料にリンクした座標系を定める、ステップ、
c)局所化ターゲットを照明し、光学画像化システムによって局所化ターゲットの少なくとも1つの部分画像を取得するステップ、
d)局所化ターゲットの部分画像の解析から、局所化ターゲットに対する光学画像化システムの位置及び配向を決定するステップ、及び
e)測定器が測定のために局所測定点に位置決めされたときに、試料にリンクした座標系における局所測定点の絶対位置をステップa)及びステップd)から推定して、局所測定点における試料の物理特性を測定器によって決定するステップ
から成るステップを含む、方法に関する。
測定器2は、試料11の物理特性を該試料の一点において決定することを可能にする。
位置決めシステム3は、測定される試料11に対して測定器2を位置決めすることを可能にし、測定器2は、試料11の1つの局所測定点における物理特性の測定を行う。
試料11は、実質的に平面であり、第1の面11A及び第2の面11Bを有する。
以後、第1の面11Aを上面と呼び、第2の面11Bを下面と呼ぶ。
上面11Aは、異なる特徴付け装置10、110、210によって行われる測定が行われる、試料11の面である。
試料11の上面11A上の注目領域11Cに食刻された超小形電子回路は、数百ナノメートル(1nm=10−3マイクロメートル)のオーダーの特有のサイズを有する。
位置決めシステム30は、第一に局所化ターゲット31を含み、これもまた実質的に平面である。局所化ターゲット31は、具体的には、試料11に取り付けられて局所化ターゲット31を試料11と一体にする、接着シートの形態の可撓性支持体を含む。一体とは、局所化ターゲット31が、試料11の特徴付けの間、該試料に対して動かないことを意味する。
図3は、試料11に付着する前の接着ラベル内に含まれる様々な層を有する、局所化ターゲット31の断面構造の略図を示す。
接着ラベルは、5つの層31A、31B、31C、31D及び31Eを含み、その全厚は、ここでは200μm未満である。
第5の層31Eは、ここでは可視領域の光に対して光学的に透明であるものとする。
別の変形例として、局所化ターゲットは、インキング又はセリグラフィで試料上に印刷することができる。
変形例として、局所化ターゲットは、ガラス製の顕微鏡スライドであり、その上にフォトリソグラフィでパターンが作られ、試料はスライド上に貼り付けられ及び/又は付着される。
有利には、局所化ターゲット31は、測定器10、110、210によって特徴付けされることが意図された試料11の測定領域を構成する注目領域11Cよりも広い局所化領域を空間的に覆って広がる。
変形例として、局所化ターゲットは、例えば、試料の下面全体を覆って広がることができる。
従って、局所化ターゲット31は、ここでは、局所化ターゲット31の平面内に規則的な二次元ペーブメントを形成する複数の基本セル310で形成される。従って、基本セル310は、ここでは図4において互いに直交する軸Xmire及びYmireによって表される2つの直交する方向11X、11Yに沿って周期的に分布する。
さらに、局所化ターゲット31の左上隅に配置された点31R(図4参照)を考える。この点31Rは、局所化ターゲット31の固定基準点を構成し、これは試料11と一体になっている。この基準点31Rは、従って、試料11にリンクした点でもある。
従って、基準点31R、軸11X及び11Yが一緒になって、試料11にリンクした座標系31R、11X、11Yを形成し、この試料11の任意の点をこの座標系に対して絶対的に位置決定することが可能である。
好ましくは、各基本セル3101、3102、3103、3104は、軸11X、11Yに沿って40μmと1mmとの間に含まれる寸法を有する。
その目的で、図6において、図5の正方形3100の左上隅に位置するセルである基本セル3101を考える。
この基本セル3101は、4つの互いに異なるサブセル3101A(基本セル3101の左上隅にあるサブセル)、3101B(右上隅)、3101C(左下隅)、及び3101D(右下隅)に分割することができる。各サブセル3101A、3101B、3101C、3101Dは、ここでは一辺が約100μmの正方形である。
基本セル3101のサブセル3101Aを最初に考える。このサブセル3101Aは、それ自体を図7に示すように5×5=25個のサブ・サブセルに細分することができる。
サブセル3101Aの左上隅に位置する4つのサブ・サブセルは、配向パターン3101A1を含む。配向パターン3101A1は、ここでは、直角定規状を有し、この直角定規の各部分は、サブセル3101Aのサブ・サブセルのサイズに等しい長さを有する。
配向パターン3101A1の形は、局所化ターゲット31の平面に平行な平面内での回転無しで不変であるという幾何学的性質を配向パターンに与える。
図7の場合、直交軸3101X及び3101Yは、各々、基本セル3101の一辺に対して平行であるので、2つの直交軸3101X及び3101Yは、それぞれ、2つの直交軸Xmire及びYmireに平行である。
従って、配向パターン3101A1は、試料11にリンクした座標系31A、11X、11Yにおける基本セル3101の配向を示す。
サブセル3101Aのその他の21個のサブ・サブセルは、1から21まで番号付けされ、その番号付けは、上から下、及び左から右に行われる(図7参照)。
図8から分かるように、各サブ・サブセルは、白(サブ・サブセル#1から3、5から8、10、12から17、及び19の場合)、又は黒(サブセル#4、9、11、18、20及び21の場合)のいずれかとすることができる。それゆえ、これらは、位置決めパターン3101A2を形成する。
位置決めパターン3101A2は、試料11にリンクした座標系31A、11X、11Yにおける基本セル3101の位置を示す。
−サブ・サブセルが黒の場合、そのサブ・サブセルに割り当てられたビット値は0に等しい。
−サブ・サブセルが白の場合、そのサブ・サブセルに割り当てられたビット値は1に等しい。
−1(最下位ビット)から10(最上位ビット)までの番号のサブ・サブセルのビットで形成された第1の二進数、及び
−11(最下位ビット)から20(最上位ビット)までの番号のサブ・サブセルのビットで形成された第2の二進数。
−第1の二進数が0100001000、
−第2の二進数が1010000001、及び
−21番目のビットが1に等しい(最初の20ビットの和が5に等しく、奇数である)
ようになっている。
図8において、基本セル3101は、サブセル3101B及び3101Cの各々の中に周期的パターンを含むことが観察される。これらのサブセルは、実際には、白色の正方形3101B1、3101C1と黒色の正方形3101B2、3101C2とを有するチェッカー盤で形成される。各チェッカー盤は、10行(又は10列)の白と黒が交互の10個の正方形、すなわち全部で100個の正方形を含む。チェッカー盤の各正方形は、ここでは一辺約10μmである。
好ましくは、チェッカー盤の正方形は、2μmと50μmとの間に含まれる寸法を有するものとすることができる。
以下、これらの周期的パターンが、試料11に対するターゲット画像化システム320の位置決めの精度をどのようにして向上させるかを示す。
サブセル3101Dは、図7に示すように25個のサブ・サブセルに細分することができる。これらのサブ・サブセルは、1から25まで番号付けされ、その番号付けは、上から下、及び左から右に行われる。
サブセル3101Aのように、及び図8から分かるように、各サブ・サブセルは、白(サブセル#1及び2、5及び6、12から20、22、23及び25の場合)又は黒(サブセル#3及び4、7から11、21及び24の場合)のいずれかとすることができる。
従って、サブセル3101Dの最初の24個のサブ・サブセルは、図8に示す識別パターン3101D1を形成する。
基本セル3101の識別パターン3101D1は、試料11及び局所化ターゲット31に関する情報をコード化する。
実際には、サブセル3101Aの場合と同様に、サブセル3101Dのこれらのサブ・サブセルの各々に関連付けられたビットの値から、1つ又は幾つかの二進数が形成される。サブ・サブセルが黒であればビット値は0に等しく、サブ・サブセルが白であればビット値は1に等しいことを思い出して欲しい。
−1(最下位ビット)から12(最上位ビット)までの番号のサブ・サブセルの12ビットで形成された第1の二進数、及び
−13(最下位ビット)から24(最上位ビット)までの番号のサブ・サブセルの12ビットで形成された第2の二進数。
25番目のサブ・サブセル(図7の番号25)のビットは、やはり、可能性のあるデコードの誤りを訂正するために用いられる。これは、最初の24ビット(サブ・サブセル#1から24)の和に対応し、すなわち、この和が奇数であれば「1」に等しく、この和が偶数であれば「0」に等しい。
−第1の二進数が100000110011、
−第2の二進数が011011111111、及び
−25番目のビットが1に等しい(最初の24ビットの和が15に等しく、奇数である)
ようになっている。
別の変形例として、識別パターンは、例えば、局所化ターゲットの各々の基本セルごとに異なるものとすることができる。
−光軸に沿って可視光又は近赤外光を発するエレクトロルミネセンスダイオード、
−照明手段321から来た光を局所化ターゲット31に向けて伝達するスプリッティングキューブ(splitting cube)325、及び
−照明手段321から来た光を局所化ターゲット31に向けてコリメートして、該局所化ターゲットを照明することを可能にする、第1群の光学レンズ323、
を含む。
入射光(光軸326に平行な光線)は、次いで局所化ターゲット31によって反射、散乱又は回折され、有利には、局所化ターゲット31の部分画像を形成するために用いることができる。
−スプリッティングキューブ325で反射された光を屈折させる第2群の光学レンズ324、及び
−第2の二重レンズ系324で屈折された光を集光する光学画像化システム322
も含む。
図10は、検出器平面アレイ322Aの詳細図を示す。平面アレイは、検出器アレイ322Aの行及び列に沿った2方向に周期6μmで640×480ピクセル322Bの矩形アレイを含む。
検出器アレイ322Aの640×480ピクセル322Bは、規則的に配置され、2つの直交軸Ximage322X及びYimage322Yを以下のように定めることができる(図10参照)。
−Ximage322Xは、検出器アレイ322Aのピクセルの行に平行になるように配向され、
−Yimage322Yは、検出器アレイ322Aのピクセルの列に平行になるように配向される。
図12は、光学画像化システム322で取得された局所化ターゲット31の部分画像31Pを示す。この局所化ターゲット31の部分画像31Pは、局所化ターゲット31の幾つかの基本セル310の画像310Pを含む。
−位置決めパターン及び配向パターンの画像、
−サブセルを形成する周期的パターンの画像、及び
−識別パターンの画像
を含むように配置されることが有利である。
従って、画像解析手段33は、
−光学画像化システム322が、2つの直交軸Ximage322X及びYimage322Yに従って配向していること、及び
−局所化ターゲット31が、2つの直交軸Xmire11X又はYmire11Yに従って配向していること
を決定する。
従って、比較により、画像解析手段33は、局所化ターゲット31に対する光学画像化システム322の配向を決定する。
画像解析手段33は、特に、画像中心322Cを含む中心基本セル310Cを識別する。画像解析手段33は次に、中心基本セル310Cの位置決めパターンをデコードして、局所化ターゲット31に対する画像中心322の第1の位置決めを決定する。
この方法で、これらの周期的パターンは、試料11に対する光学画像化システム322の位置決めの精度を高めることを可能にする。
−画像31P内に存在する異なる基本セル310の配向パターンの識別により、局所化ターゲット31に対する光学画像化システム322の配向を決定し、
−中心基本セル310Cの位置決めパターンの読み取り、及び、中心基本セル310Cの周期的パターンを含むサブセルのサブピクセル位置決めにより、局所化ターゲット31に対する光学画像化システム322の位置を決定する。
図2に示す第1の実施形態において、特徴付け装置10は、デジタル光学顕微鏡20である測定器を含む。
本発明によれば、測定器20及び光学画像化システム322は、互いに一体である。このことは、それらの間に機械的カップリングが存在することを意味し、すなわち、試料11に平行な平面内での測定器20のいかなる変位も、試料11に対する光学画像化システム322の同一の変位を引き起こすことを意味する。
これは、図2において、光学顕微鏡20と位置決めシステム30のターゲット画像化システム320との間の実線12で示される。
−試料11の注目領域11Cの部分の画像化を可能にする、X10倍率レンズ21、及び
−注目領域11Cの部分の画像を取得することを可能にするデジタルカメラ22
をさらに含む。
−試料11の局所測定点における試料11の光学的コントラストを決定する測定器20、及び
−局所化ターゲット31に対する、従ってそれと一体の試料11に対する、光学画像化システム322の位置及び配向を決定することを可能にする位置決めシステム30
を含む。
これらの較正手段は、第1に、光学顕微鏡で従来用いられているような薄いガラススライド34を含む。このガラススライド34は、サブミクロンの食刻分解能を可能にするフォトリソグラフィの従来技術によってガラススライド34の上面に食刻された較正ターゲット34Aを含む。
較正ターゲット34Aは、試料11上に固定された局所化ターゲット31と類似した構造を有することが有利である。較正ターゲット34Aは半透明であることが好ましく、例えば、黒く見えるパターンは、少なくとも部分的に透明な背景上で、不透明である。
従って、ガラススライド34は特徴付け装置10内に置かれ、較正ターゲット34Aは、両側から同時に観察することができ、上方からはデジタル光学顕微鏡20で、下方からはターゲット画像化システム320で画像化することができる。
一方の側から、位置決めシステム30の画像解析手段33が、局所化ターゲット31の場合と同じ方法で、較正ターゲット34Aに対する、すなわち較正ターゲット34Aにリンクした座標系における、光学画像化システム322の位置及び配向を決定する。
他方の側から、測定器20の画像処理手段23が、やはり同じ方法で、較正ターゲット34Aに対する、すなわち較正ターゲット34Aにリンクした同じ座標系における、測定器20の位置及び配向を決定する。
−画像解析手段33によって、較正ターゲット34Aにリンクした座標系における光学画像化システム322の位置及び配向が送信され、及び
−画像処理手段23によって、較正ターゲット34Aにリンクした座標系における測定器20の位置及び配向が送信される。
a)較正
オペレータは、較正ターゲット34を特徴付け装置10内に配置し、これをその両面から、片側からは光学顕微鏡20で、もう一方の側からは光学画像化システム322で観察できるようにする。
光学顕微鏡20は、較正ターゲット34の第1の部分画像を取得し、これを画像処理手段23が処理して、較正ターゲット34Aに対する光学顕微鏡20の位置及び配向を決定する。
光学画像化システム322は、較正ターゲット34の第2の部分画像を取得し、これを画像解析手段33が解析して、較正ターゲット34Aに対する光学画像化システム322の位置及び配向を決定する。
次いでデータ処理手段35が、光学画像化システム322に対する光学顕微鏡20の相対位置を決定する。
オペレータは、特徴付けされるシリコンウェファ11を入手し、シリコンウェファ11の下面11Bに局所化ターゲット31を接着によって固定する。従って、局所化ターゲット31は試料11と一体にされる。局所化ターゲット31は、図4に示すタイプのものである。これらのパターンによって、この局所化ターゲット31は、試料11にリンクした座標系を定義する。
次に、オペレータは、シリコンウェファ11を測定のために特徴付け装置10内に配置する。光学顕微鏡20は、注目領域11Cの部分画像を取得し、この画像は局所測定点を中心とする。この注目領域11Cの部分画像を画像処理手段23で処理し、これは次に、局所測定点における試料11の光学的コントラストの値を決定する。
ターゲット画像化システム320は、照明手段321により局所化ターゲット31を照明し、光学画像化システム322は、局所化ターゲット31の少なくとも1つの部分画像を取得する。
先に光学画像化システム322が取得した画像を画像解析手段33によって解析し、これは次に、局所化ターゲット31に対する光学画像化システム322の位置及び配向を決定する。
画像解析手段33は、局所化ターゲット31に対する、すなわちシリコンウェファ11にリンクした座標系における、光学画像化システム322の位置及び配向をデータ処理手段35に送信する。
特徴付け装置10は、画像解析結果及び較正結果を処理するための手段13をさらに含み、該手段に対して、一方で、画像処理手段23により、局所測定点における光学的コントラストの測定結果が送信され、他方で、データ処理手段35により、光学画像化システム322に対する光学顕微鏡20の相対位置が送信される。
次いで画像解析結果及び較正結果を処理するための手段13は、そこから、試料11にリンクした座標系における局所測定点の絶対位置を推定する。
−局所測定点における試料11の光学的コントラストの値、及び
−試料11にリンクした座標系における局所測定点の絶対位置
を知ることになる。
図16に、本発明による特徴付け装置110の第2の実施形態を示す。
第2の実施形態において、特徴付け装置110は、回転プレート124と、回転プレート124に固定された第1のX10倍率レンズ121Aと、デジタルカメラ122と、画像処理手段123とを含む第1の測定器120A(図16の点線参照)を含む。
特徴付け装置110はまた、第2の測定器120B(図16の点線参照)も含む。この第2の測定器120Bは、第1の測定器120Aと、回転プレート124、デジタルカメラ122及び画像処理手段123を共有する。
第2の測定器120Bはさらに、回転プレート124に固定された第2のX50倍率レンズ121Bを含む。
回転プレート124は、その平面内で回転することができ、特徴付け装置110を用いるオペレータが測定の際にどちらの対物レンズを使用するかを選択することを可能にする。
有利には、オペレータは、2つのレンズ121A、121Bによる連続的な測定を行う前に、2つのレンズ121A及び121Bの較正ステップを逐次行うことができる。
較正は、同じ較正試料を(図15のガラススライドをその較正ターゲットと共に)用いて、配向パターンが見える状態で較正ターゲットの画像がデジタルカメラの視野内に入るように注意して行うことができる。光学顕微鏡のデジタルカメラから来る画像を取得し記録することによって、配向パターンが(手動で又は自動的に)探索され、画像中心に対するその相対位置、並びにその配向が決定される。未だ、第1の較正の際にその絶対位置が決定された較正ターゲットの同じ領域内にあるという仮説を立てることにより、高倍率の光学顕微鏡の視野の絶対位置及び配向に戻ることが可能である。
図17に、本発明による特徴付け装置210の第3の実施形態を示す。
この第3の実施形態において、特徴付け装置210は、2つの測定器、すなわちデジタル光学顕微鏡20及び原子間力顕微鏡220(以後、AFMと呼ぶ)を含む。
デジタル光学顕微鏡20は、第1の実施形態(図2参照)で用いられるものと同一であり、レンズ21、デジタルカメラ22、及びデジタルカメラ22で取得した画像を処理する画像処理手段23を含む。
AFM220は、先端部221、増幅器222、及び増幅器222から出た信号を処理する信号処理手段223を含む。AFMはまた、AFM220の先端部221で探索される領域の画像を取得することを可能にする可視化装置224も含む。可視化装置224はここでは、低倍率下で試料11の画像を提供するビデオカメラを含む。
−第1の光学画像化システム(図示せず)を含み、第1の画像解析手段33に関連付けられた第1のターゲット画像化システム320、及び
−第2の光学画像化システム(図示せず)を含み、第2の画像解析手段233に関連付けられた第2のターゲット画像化システム2320
を含む。
特に、較正ステップ又は測定ステップの間に、これらは、観測しているターゲット(較正の際には較正ターゲット、測定の際には局所化ターゲット)に対する第1及び第2の光学画像化システムの位置及び配向を決定し、データ処理手段35に送信する。
特に、先端部221の較正は、高倍率光学レンズの較正と同じ様に行われる(第2の実施形態参照)。較正ターゲットが設けられたガラススライドのような較正試料の表面のAFMトポグラフィ測定を行い、配向パターンの位置及び配向を見いだす。
原子間力顕微鏡の場合、デジタル光学顕微鏡の場合と同じ様に進めることによって、可視化装置224の較正に進むことができる。
代替的な実施形態において、原子間力顕微鏡のための較正手段と光学顕微鏡のための較正手段は異なるものとすることができる。
ひとたび測定器20、220の各々の較正が終了したら、特徴付け装置210は試料11の測定に進むことができる。
2、20、120A、120B、220:測定器
3、30、230:位置決めシステム
11:試料
11A:試料の第1の面
11B:試料の第2の面
13:結果処理手段
21、121A、121B:レンズ
22:デジタルカメラ
23、123、223:画像処理手段
31:局所化ターゲット
31P:局所化ターゲットの部分画像
33、233:画像解析手段
34:ガラススライド
34A:較正ターゲット
35:データ処理手段
124:回転プレート
221:先端部
222:増幅器
224:可視化装置
310、3101、3102、3103、3104:基本セル
310:中心基本セル
320、2320:ターゲット画像化システム
321:照明手段
322、2322:光学画像化システム
322A:検出器アレイ
322B:ピクセル
322C:画像中心
3101A、3101B、3101C、3101D:サブセル
3101A1:配向パターン
3101A2:位置決めパターン
3101D1:識別パターン
Claims (11)
- 試料(11)を特徴付けするための装置(1、10、110、210)であって、
−前記試料(11)の一点において該試料(11)の物理特性を決定するようなっている測定器(2、20、120、220)と、
−前記試料(11)の1つの局所測定点において、特徴付けされる前記試料(11)に対して前記測定器(2、20、120、220)を位置決めするようになっている位置決めシステム(3、30、230)と、
を含み、前記位置決めシステム(3、30、230)は、
−前記試料(11)にリンクした座標系を定める、前記試料(11)と一体にされた局所化ターゲット(31)と、
−画像取得及び解析手段であって、
−前記局所化ターゲット(31)を照明する手段(321)と、
−前記測定器(2、20、120、220)と一体であり、前記局所化ターゲット(31)の少なくとも1つの部分画像(31P)を取得するようになっている、光学画像化システム(322)と、
−前記局所化ターゲット(31)の前記部分画像(31P)を解析して、前記局所化ターゲット(31)に対する前記光学画像化システム(322)の位置及び配向を決定するようになっている画像解析手段(33)と、
を含む、画像取得及び解析手段と、
−前記光学画像化システム(322)に対する前記測定器(2、20、120、220)の相対位置を決定するようになっている較正手段(34、34A)と、
−前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記局所測定点の絶対位置を決定するようになっている、前記画像解析結果及び前記較正結果を処理するための手段(13)と
を含み、
前記測定器(2、20、120、220)は、前記局所測定点における測定のために位置決めされ、前記試料(11)の前記物理特性は、前記局所測定点において前記測定器(2、20、120、220)によって決定される、
ことを特徴とする装置(1、10、110、210)。 - 前記試料(11)の一点において該試料(11)の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器(120)を含む請求項1に記載の特徴付け装置(110)であって、前記位置決めシステム(30)は、前記試料(11)の第2の局所測定点において該試料(11)に対して前記他の測定器(120)を位置決めするようになっており、前記光学画像化システム(322)はまた、前記他の測定器(120)とも一体であり、前記位置決めシステム(30)の前記較正手段(34、34A)は、前記光学画像化システム(322)に対する前記測定器(120)の相対位置を決定するようになっており、前記結果処理手段(13)は、前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、前記試料(11)の前記他の物理特性は、前記第2の測定点において前記他の測定器(120)によって決定されることを特徴とする、請求項1に記載の特徴付け装置(10)。
- 前記試料(11)の一点において該試料(11)の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器(220)を含む請求項1に記載の特徴付け装置(210)であって、前記位置決めシステム(230)は、前記試料(11)の第2の局所測定点において該試料(11)に対して前記他の測定器(220)を位置決めするようになっており、前記局所化ターゲット(31)の少なくとも1つの部分の別の画像を取得するようになっている、前記他の測定器(220)と一体の別の光学画像化システム(2322)を含み、前記画像解析手段(233)は、前記局所化ターゲット(31)の前記部分の前記他の画像を解析して、前記局所化ターゲット(31)に対する前記他の光学画像化システム(2322)の位置及び配向を決定するようになっており、前記位置決めシステム(230)の前記較正手段(34、34A)は、前記他の光学画像化システム(2322)に対する前記他の測定器(220)の相対位置を決定するようになっており、前記結果処理手段(13)は、前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、前記試料(11)の前記他の物理特性は、前記第2の測定点において前記他の測定器(220)によって決定されることを特徴とする、請求項1に記載の特徴付け装置(210)。
- 前記試料(11)の一点において該試料(11)の別の物理特性を決定するようになっている別の測定器(220)を含む請求項1に記載の特徴付け装置(210)であって、前記位置決めシステム(230)は、前記試料(11)の第2の局所測定点において該試料(11)に対して前記他の測定器(220)を位置決めするようになっており、
−前記局所化ターゲット(31)の少なくとも1つの部分の別の画像を取得するようになっている、前記他の測定器(220)と一体の別の光学画像化システム(2322)を含み、前記画像解析手段(233)は、前記局所化ターゲット(31)の前記部分の前記他の画像を解析して、前記局所化ターゲット(31)に対する前記他の光学画像化システム(2322)の位置及び配向を決定するようになっており、前記位置決めシステムはさらに、
−前記他の光学画像化システム(2322)に対する前記他の測定器(220)の相対位置を決定するようになっている他の較正手段を含み、
前記結果処理手段(13)は、前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記第2の局所測定点の絶対位置を決定するようになっており、前記試料(11)の前記他の物理特性は、前記第2の測定点において前記他の測定器(220)によって決定される
ことを特徴とする、請求項1に記載の特徴付け装置(210)。 - 前記局所化ターゲット(31)は、機械的技法若しくはフォトリソグラフィ技法で前記試料(11)の上又は中に食刻されるか、又はインキング若しくはセリグラフィで前記試料(11)上に印刷されることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の特徴付け装置(1、10、110、210)。
- 前記局所化ターゲット(31)は、前記試料(11)に取り付けられる可撓性又は剛性の支持体を含み、前記支持体を前記試料(11)と一体にすることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の特徴付け装置(1、10、110、210)。
- 前記局所化ターゲット(31)は、マイクロ又はナノ構造パターンを含むことを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の特徴付け装置(1、10、110、210)。
- 前記局所化ターゲット(31)は、規則的な二次元ペーブメントを形成する複数の基本セル(310)で形成されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか1項に記載の特徴付け装置(1、10、110、210)。
- 前記基本セル(310)の各々は、
−前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記基本セル(310)の位置を示す位置決めパターン(3101A2)と、
−前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記基本セル(310)の配向を示す配向パターン(3101A1)と、
を含むことを特徴とする、請求項8に記載の特徴付け装置(1、10、110、210)。 - 第1の面(11A)及び第2の面(11B)を含む実質的に平面的な試料(11)のための特徴付け装置(10、110)であって、
−前記測定器(20、120)は、光学顕微鏡が透過モードで用いられる場合に集光器を受け入れることを意図した場所を備えた光学顕微鏡を含み、
−次に、前記局所化ターゲット(31)は、前記試料(11)の前記第2の面(11B)と一体にされ、前記局所測定点は、前記試料(11)の前記第1の面(11A)上に位置し、
−前記光学画像化システム(322)は、前記集光器の場所に配置される
ことを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の特徴付け装置(10、110)。 - 試料(11)を、前記試料(11)の一点において物理特性を決定するようになっている測定器(2、20、120、220)によって特徴付けるための方法であって、
a)前記測定器(2、20、120、220)と一体の光学画像化システム(322、2322)に対する前記測定器(2、20、120、220)の相対位置を決定するステップと、
b)特徴付けされる前記試料(11)を、前記試料(11)の少なくとも1つの局所測定点において前記測定器(2、20、120、220)によって測定されるような条件で配置するステップであって、局所化ターゲット(31)が前記試料(11)と一体にされ、前記局所化ターゲット(31)が前記試料(11)にリンクした座標系を定める、ステップと、
c)前記局所化ターゲット(31)を照明し、前記光学画像化システム(322、2322)によって前記局所化ターゲット(31)の少なくとも1つの部分画像(31P)を取得するステップと、
d)前記局所化ターゲット(31)の前記部分画像(31P)の解析から、前記局所化ターゲット(31)に対する前記光学画像化システム(322、2322)の位置及び配向を決定するステップと、
e)前記測定器(2、20、120、220)が測定のために前記局所測定点に位置決めされたときに、前記試料(11)にリンクした前記座標系における前記局所測定点の絶対位置をステップa)及びステップd)から推定して、前記局所測定点における前記試料(11)の前記物理特性を前記測定器(2、20、120、220)によって決定するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
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