JP2015525285A - 水素および窒素の吸着に特に適する不揮発性ゲッター合金 - Google Patents
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Abstract
水素および窒素の吸着に関して特に適する合金の粉末に基づくゲッター装置が開示される。前記合金はジルコニウム、バナジウム、およびチタン、および任意に、鉄、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、およびアルミニウムからなる群から選択される1つ以上の金属、を含む組成を有する。
Description
a.ジルコニウム 42%から85%
b.バナジウム 8%から50%
c.チタン 5%から30%
前記原子パーセンテージ範囲は、不揮発性ゲッター合金内のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に対して考えられる。
a.42%から85%のジルコニウム
b.8%から50%のバナジウム
c.5%から30%のチタン
前記原子パーセント範囲は、不揮発性ゲッター合金中のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に関して計算される。
a.42%から85%のジルコニウム
b.8%から50%のバナジウム
c.5%から30%のチタン
前記原子パーセント範囲は、不揮発性ゲッター合金中のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に対して計算される。
表1(以下に示す)に列記される各々の合金150mgは、サンプルA、B、C、D、E、F、およびGと名付けられたサンプル(本発明による)、および参照サンプル1、2、および3を得るために、環状の容器内で圧縮された。それらについて、水素および窒素に対する吸着性能が比較された。
30 ボード
40 ゲッター装置
41 一片
42 位置
43 支持体
44、44’、44” 曲線
45 重複領域
50 装置
51 タブレット
52 支持体
60 装置
61 合金
62 金属容器
70 支持体
71 金属シート
72 凹部
73 孔
80 装置
81 粉末充填物
82、83 露出表面
a.42%から85%のジルコニウム
b.8%から50%のバナジウム
c.5%から30%のチタン
前記原子パーセント範囲は、不揮発性ゲッター合金中のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に関して計算され、不揮発性ゲッター合金は、組成元素として、鉄、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、およびアルミニウムからなる群から選択される1つ以上の金属をさらに含んでよく、一方で、合金組成物全体に対して全般的なパーセンテージが1%未満である場合に限り、合金組成物中に他の化学元素が存在し得る。
a.42%から85%のジルコニウム
b.8%から50%のバナジウム
c.5%から30%のチタン
前記原子パーセント範囲は、不揮発性ゲッター合金中のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に対して計算され、不揮発性ゲッター合金は、組成元素として、鉄、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、およびアルミニウムからなる群から選択される1つ以上の金属をさらに含んでよく、一方で、合金組成物全体に対して全般的なパーセンテージが1%未満である場合に限り、合金組成物中に他の化学元素が存在し得る。
Claims (11)
- 特に水素および窒素に関して高い気体吸着効率を有する不揮発性ゲッター合金粉末を含むゲッター装置であって、
前記合金粉末が成分元素としてジルコニウム、バナジウム、およびチタンを含み、以下の範囲内で変化し得る、前記元素の原子パーセンテージ組成を有することを特徴とする、ゲッター装置:
a.ジルコニウム 42%から85%
b.バナジウム 8%から50%
c.チタン 5%から30%
前記原子パーセンテージ範囲は、不揮発性ゲッター合金内のジルコニウム、バナジウム、およびチタンの合計に対して計算される。 - バナジウムの原子パーセントが30%から47%の間である、請求項1に記載のゲッター装置。
- バナジウムの原子パーセントが37%から47%の間である、請求項2に記載のゲッター装置。
- バナジウムの原子パーセントが28%から30%の間である、請求項1に記載のゲッター装置。
- バナジウムの原子パーセントが8%から23%の間である、請求項1に記載のゲッター装置。
- 前記合金が、その組成に、鉄、クロム、マンガン、コバルト、およびニッケルからなる群から選択される1つ以上の追加の元素を、全合金組成に対する原子パーセント組成が0.1%から7%の間で、より好ましくは0.1%から5%の間でさらに含む、請求項1から5の何れか1項に記載のゲッター装置。
- 前記合金が、追加の元素としてその組成にアルミニウムを、全合金組成に対する原子パーセント組成が0.1%から12%の間で、より好ましくは0.1%から10%の間でさらに含む、請求項1から6の何れか1項に記載のゲッター装置。
- 前記ゲッター合金粉末が金属粉末と混合され、前記金属粉末が好ましくはチタンおよびジルコニウムまたはそれらの混合物の中から選択される、請求項1から7の何れか1項に記載のゲッター装置。
- 前記合金粉末が500μm未満の粒子径を、好ましくは300μm未満の粒子径を有する、請求項1から8の何れか1項に記載のゲッター装置。
- 水素および窒素の除去のための、請求項1から9の何れか1項に記載のゲッター装置の使用。
- 請求項1から9の何れか1項に記載のゲッター装置を含む水素感受性装置。
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