JP2015503457A - アルミニウム基板ディスク上に改良された研磨線を提供するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- アルミニウム基板ディスク上に研磨線を確立するための研磨装置であって、
中央回転可能シャフトと、
回転可能な周囲リングと、
一対の円形研磨プレートと、
複数のキャリアプレートと、を備え、
前記一対の円形研磨プレートの各々は、前記中央回転可能シャフトの周りに位置することができる中央ボアホールを含み、他方に対して且つ/又は前記中央回転可能シャフトに対して独立して自由に回転するものであり、
前記複数のキャリアプレートは前記一対の円形研磨プレートの間に挟まれるように構成され、各キャリアプレートは、アルミニウム基板ディスクの上面及び下面が前記円形研磨プレートの各々と接触可能なように前記アルミニウム基板ディスクを収容可能な一連のポケットを含み、
前記中央回転可能シャフト、前記周囲リング及び前記複数のキャリアプレートは、それらの環状縁に沿って一連の歯及び/又はギアを含むことで遊星ギアを確立し、前記アルミニウム基板ディスクが内部に置かれる前記キャリアプレートへ回転を付与する能力が結果として楕円十字形研磨線パターンをもたらすように、前記中央回転可能シャフト、前記周囲リング及び前記複数のキャリアプレートの各々に対してある程度の回転を増加させ且つ付与する研磨装置。 - 前記中央回転可能シャフトは中央及び/又はサンギアである請求項1に記載の研磨装置。
- 前記周囲リングは内側に向く歯を有する外側リングである請求項2に記載の研磨装置。
- 前記中央及び/又はサンギアは外側に向く歯を含む請求項3に記載の研磨装置。
- 前記アルミニウム基板ディスクが内部に置かれる各キャリアプレートは、前記外側リング及び/又は中央/サンギアに噛み合うように構成される環状外向き歯を有する請求項4に記載の研磨装置。
- 前記装置は前記一対の研磨プレートが分離可能なように調節可能であり、上側研磨プレートは下側研磨プレートに対して持ち上げられることができ、前記研磨装置の非動作中に、前記アルミニウム基板ディスクが収容される前記複数のキャリアプレートを前記下側研磨プレート上に置くことが可能な請求項5に記載の研磨装置。
- 前記複数のキャリアプレートは、各キャリアプレート内に収容される前記アルミニウム基板ディスクと前記キャリアプレートが挟まれるそれぞれの円形研磨プレートの各々との間の接触面積を最大化するように前記下側円形プレートの周りに構成される請求項6に記載の研磨装置。
- 前記複数のキャリアプレート内に収容されている前記アルミニウム基板ディスク上に前記上側及び下側研磨プレートから動作中に与えられる研磨応力は両面で等しい請求項6又は7に記載の研磨装置。
- 前記装置はディスク研磨プロセスの間に発生する熱を最小化する十分な冷却を更に含む請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨装置は、研磨プロセスがマシンの外部から見えないようにすべく前記一対の円形研磨プレートが前記装置内に包み込まれるような主外側ハウジング体を含み、それにより、生成されたダスト及び浮遊金属くずへの暴露を最小にする請求項1に記載の研磨装置。
- 先ず粗い研磨を次いでより微細な研磨を確立するように個々の装置が位置させられる一連のステップを先行する請求項のいずれかに記載の前記研磨装置が含む研磨配置。
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