JP2015231053A5 - 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 - Google Patents
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Description
より具体的に説明すると、胴体部21は、上下方向を厚さ方向とする板状をなしており、この胴体部21には、胴体部21の厚さ方向(上下方向)に貫通している円柱状の貫通孔211と、胴体部21の下面に開口している円柱状の凹部212と、胴体部21の下面に開口していて貫通孔211と凹部212とを連通させている溝213(凹部)と、凹部212に対して貫通孔211とは反対側において胴体部21の厚さ方向に貫通している貫通孔214と、が形成されている。
Claims (12)
- 金属と、
1対の窓部と、
前記1対の窓部の間に配置されていて、気体状の前記金属が封入されている内部空間を前記1対の窓部とともに構成している胴体部と、
前記内部空間の一部を構成または前記内部空間に連通している空間であって、液体状または固体状の前記金属が配置されている金属溜り部と、
を備え、
前記金属溜り部を構成している前記空間と外部との間の壁部は、前記窓部よりも厚さが薄い薄肉部を有する、原子セル。 - 前記窓部と、凹部と、を含み、前記胴体部に積層されている基板を備え、
前記薄肉部は、前記基板の前記凹部である、請求項1に記載の原子セル。 - 前記凹部は、前記基板の厚さ方向から見たときに前記金属溜り部に重なる位置に配置されている、請求項2に記載の原子セル。
- 前記凹部は、前記基板を貫通している、請求項3に記載の原子セル。
- 前記胴体部はシリコンを含む、請求項2ないし4のいずれか1項に記載の原子セル。
- 前記基板はガラスを含む、請求項5に記載の原子セル。
- 前記胴体部と前記基板とが直接接合または陽極接合されている請求項2ないし6のいずれか1項に記載の原子セル。
- 前記胴体部は凹部を含み、
前記薄肉部は、前記胴体部の凹部である、請求項1に記載の原子セル。 - 前記薄肉部を冷却する冷却手段を備える請求項1ないし8のいずれか1項に記載の原子セル。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の原子セルを備えることを特徴とする量子干渉装置。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の原子セルを備えることを特徴とする原子発振器。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の原子セルを備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014114636A JP6511734B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 |
CN201510291059.5A CN105306054A (zh) | 2014-06-03 | 2015-06-01 | 原子室、量子干涉装置、原子振荡器、电子设备和移动体 |
US14/728,234 US9654125B2 (en) | 2014-06-03 | 2015-06-02 | Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014114636A JP6511734B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015231053A JP2015231053A (ja) | 2015-12-21 |
JP2015231053A5 true JP2015231053A5 (ja) | 2017-06-15 |
JP6511734B2 JP6511734B2 (ja) | 2019-05-15 |
Family
ID=54702979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014114636A Expired - Fee Related JP6511734B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9654125B2 (ja) |
JP (1) | JP6511734B2 (ja) |
CN (1) | CN105306054A (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016029362A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルおよび磁気測定装置 |
US10145909B2 (en) * | 2014-11-17 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Magnetism measuring device, gas cell, manufacturing method of magnetism measuring device, and manufacturing method of gas cell |
JP6589211B2 (ja) | 2015-11-26 | 2019-10-16 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | ガスタービン、及びその部品温度調節方法 |
US10396809B2 (en) * | 2016-02-19 | 2019-08-27 | Seiko Epson Corporation | Atomic cell, atomic cell manufacturing method, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and vehicle |
EP3244269B1 (en) * | 2016-05-11 | 2021-12-15 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Alkali vapor cell |
WO2018096730A1 (ja) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 株式会社村田製作所 | 原子発振器および電子機器 |
JP6891760B2 (ja) | 2017-10-27 | 2021-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 周波数信号生成装置および周波数信号生成システム |
JP2019193237A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
JP2020109889A (ja) | 2018-12-28 | 2020-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
JP2020162054A (ja) | 2019-03-27 | 2020-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
JP2020167591A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
CA3154731A1 (en) | 2019-10-21 | 2021-04-29 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Manufacturing vapor cells that have one or more optical windows bonded to a dielectric body |
WO2023287455A1 (en) | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Microchip Technology Incorporated | Techniques for controlling vapor pressure of subject materials in vapor cells and related methods |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0817329B2 (ja) | 1992-11-13 | 1996-02-21 | 日本電気株式会社 | ルビジウム原子発振器用ルビジウムガスセル |
JP2720772B2 (ja) * | 1993-10-25 | 1998-03-04 | 日本電気株式会社 | ルビジウム原子発振器 |
US7902927B2 (en) * | 2008-06-18 | 2011-03-08 | Sri International | System and method for modulating pressure in an alkali-vapor cell |
JP2010205875A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Seiko Epson Corp | ガスセル |
US8258884B2 (en) * | 2009-12-22 | 2012-09-04 | Teledyne Scientific & Imaging, Llc | System for charging a vapor cell |
JP5741021B2 (ja) * | 2011-01-31 | 2015-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 磁場測定装置およびセル |
JP5712066B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2015-05-07 | 株式会社日立製作所 | 磁場計測装置、磁場計測装置製造方法 |
JP6031787B2 (ja) | 2011-07-13 | 2016-11-24 | 株式会社リコー | 原子発振器の製造方法 |
US8854146B2 (en) * | 2012-01-31 | 2014-10-07 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for external frit mounted components |
JP5874522B2 (ja) * | 2012-05-09 | 2016-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 発振装置および電子装置 |
JP6060568B2 (ja) | 2012-09-05 | 2017-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルユニット、原子発振器および電子機器 |
JP6346446B2 (ja) * | 2013-02-14 | 2018-06-20 | 株式会社リコー | 原子発振器、cpt共鳴の検出方法及び磁気センサ |
US9568565B2 (en) * | 2013-07-23 | 2017-02-14 | Texas Instruments Incorporated | Vapor cell structure having cavities connected by channels for micro-fabricated atomic clocks, magnetometers, and other devices |
US9169974B2 (en) * | 2013-07-23 | 2015-10-27 | Texas Instruments Incorporated | Multiple-cavity vapor cell structure for micro-fabricated atomic clocks, magnetometers, and other devices |
-
2014
- 2014-06-03 JP JP2014114636A patent/JP6511734B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-06-01 CN CN201510291059.5A patent/CN105306054A/zh not_active Withdrawn
- 2015-06-02 US US14/728,234 patent/US9654125B2/en not_active Expired - Fee Related
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