JP2016040521A5 - - Google Patents

Description

このような目的は、下記の本発明により達成される。
［適用例１］
本発明の物理量センサーは、一方の面側に開口している凹部を有する基板と、
前記凹部の底部を含んでいるダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部に配置されているセンサー素子と、
空洞部を介して前記ダイヤフラム部に対向している天井部と、
前記基板と前記天井部との間に配置されていて、前記基板および前記天井部とともに前記空洞部を構成し、前記空洞部に面している内壁面を有する側壁部と、
を備え、
前記天井部および前記側壁部のうちの少なくとも一方が金属を含んで構成され、
前記基板の平面視において、前記底部の外周縁は、前記内壁面の前記基板側の端よりも前記ダイヤフラム部の中心側に位置していることを特徴とする。

［適用例２］
本発明の物理量センサーでは、前記天井部および前記側壁部が金属を含んで構成されていることが好ましい。
これにより、気密性に優れた空洞部を形成することができる。

Claims (10)

1. 一方の面側に開口している凹部を有する基板と、
   前記凹部の底部を含んでいるダイヤフラム部と、
   前記ダイヤフラム部に配置されているセンサー素子と、
   空洞部を介して前記ダイヤフラム部に対向している天井部と、
   前記基板と前記天井部との間に配置されていて、前記基板および前記天井部とともに前記空洞部を構成し、前記空洞部に面している内壁面を有する側壁部と、
   を備え、
   前記天井部および前記側壁部のうちの少なくとも一方が金属を含んで構成され、
   前記基板の平面視において、前記底部の外周縁は、前記内壁面の前記基板側の端よりも前記ダイヤフラム部の中心側に位置していることを特徴とする物理量センサー。
2. 前記天井部および前記側壁部が金属を含んで構成されている請求項１に記載の物理量センサー。
3. 前記金属は、アルミニウム、チタンまたは窒化チタンである請求項１または２に記載の物理量センサー。
4. 前記平面視で、前記側壁部の内周面の基板側の端との間の距離が０．１μｍ以上２５μｍ以下の範囲内にある部分を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
5. 前記基板は、複数の前記凹部を有しており、
   前記平面視で、１つの前記空洞部に複数の前記ダイヤフラム部が重なっている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量センサー。
6. 前記空洞部は、前記基板の前記凹部が開口している側とは反対側に配置されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする圧力センサー。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする高度計。
9. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
10. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。