JP6874463B2 - 圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
特許文献1には、圧電素子を備えた超音波デバイスが開示されている。この超音波デバイスは、複数の開口を有する基体の各開口に振動膜が設けられており、各振動膜上に下電極、圧電体層、上電極が積層された圧電素子が設けられる。また、基体の表面には、複数本の第一導電膜が列方向に設けられ、複数本の第二導電膜が行方向に設けられている。第一導電膜は、振動膜上で下電極を形成し、第二導電膜は、振動膜上で上電極を形成している。
また、第二電極層の第四部分は第三部分から離れて配置されているので、第一電極層と第二電極層とが、第四部分を介して導通されることがなく、第一電極層の第一部分と第二電極層の第三部分とにより、圧電体層に適切に駆動電圧を印加して駆動させることができる。
本適用例では、第四部分は、第一部分と第二部分との間の離間している部分を埋めるように設けられている。このため、第一部分と第二部分との断線をより確実に抑制でき、圧電素子の信頼性をより高くできる。
本適用例では、第二導電層が第二電極層よりも厚み寸法が大きいので、第一電極層と導電層との間の電気抵抗値を低減でき、所望の電圧値の信号を第一電極層に印加することが可能となる。また、第二電極層は、第二導電層よりも厚み寸法が小さいので、第一電極層及び第二電極層の間に電圧を印加した際の圧電体層の変位量を大きくすることができる。
本適用例では、第二導電層は、第一電極層と第一導電層との間の離間している部分を埋めるように設けられている。このため、第一電極層と第二導電層との断線をより確実に抑制でき、圧電素子の信頼性をより高くできる。
本適用例では、上述したような圧電素子により駆動部を駆動させる。ここで、圧電素子は、上記適用例と同様に、第一電極層に対して適切に信号を入力することができ、圧電素子の信頼性を高めることができる。よって、圧電アクチュエーターにおける信頼性も高めることができる。
本適用例の超音波探触子は、圧電アクチュエーターを筐体内に収納し、圧電素子により駆動部(振動部)を振動させることで、超音波の送受信を実施することができる。ここで、圧電アクチュエーターは、上記適用例と同様に、第一電極層に対して適切に信号を入力することが可能な圧電素子を備え、圧電アクチュエーターの信頼性を高めることができる。よって、このような圧電アクチュエーターを有する超音波探触子における信頼性も高めることができる。
本適用例の超音波装置は、制御部により圧電アクチュエーターを制御して駆動部を駆動させることで超音波の送受信を行うことができ、制御部は、超音波の受信結果に基づいて、例えば被検体の内部断層像を形成したり、被検体の内部構造の診断を行ったりすることができる。ここで、圧電アクチュエーターは、上記適用例と同様に、第一電極層に対して適切に信号を入力することが可能な圧電素子を備え、圧電アクチュエーターの信頼性を高めることができる。よって、このような圧電アクチュエーターを有する超音波装置における信頼性も高めることができる。
本適用例の電子機器は、制御部により圧電アクチュエーターを制御して駆動部を駆動させることで、各種作業を実施する。このような電子機器としては、例えば、駆動部を駆動させることで対象物を変位させる駆動装置の他、駆動部の変位を圧電素子で検出する変位検出センサーなどとして広く用いることができる。ここで、圧電アクチュエーターは、上記適用例と同様に、第一電極層に対して適切に信号を入力することが可能な圧電素子を備え、圧電アクチュエーターの信頼性を高めることができる。よって、このような圧電アクチュエーターを有する電子機器における信頼性も高めることができる。
本適用例の液体噴射ヘッドでは、圧電アクチュエーターにより駆動部を駆動させることで、例えばタンク内に貯留されている液体を、噴射口から噴射させることができる。ここで、圧電アクチュエーターは、上記適用例と同様に、第一電極層に対して適切に信号を入力することが可能な圧電素子を備え、圧電アクチュエーターの信頼性を高めることができる。よって、このような圧電アクチュエーターを有する液体噴射ヘッドにおける信頼性も高めることができる。
本適用例では、液体噴射装置は、上述のように信頼性の高い液体噴射ヘッドであり、これにより、液体噴射装置における信頼性も高めることができる。
以下、第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
図1は、超音波測定装置1の概略構成を示す斜視図である。
超音波測定装置1は、超音波装置に相当し、図1に示すように、超音波プローブ2と、超音波プローブ2にケーブル3を介して電気的に接続された制御装置10と、を備える。
この超音波測定装置1は、超音波プローブ2が生体(例えば人体)の表面に接触された状態で、超音波プローブ2から生体内に超音波を送出する。また、生体内の器官にて反射された超音波を超音波プローブ2にて受信し、その受信信号に基づいて、例えば生体内の内部断層画像を取得したり、生体内の器官の状態(例えば血流等)を測定したりする。
制御装置10は、制御部に相当し、例えば、図1に示すように、ボタンやタッチパネル等を含む操作部11と、表示部12と、を備える。また、制御装置10は、図示は省略するが、メモリー等により構成された記憶部と、CPU(Central Processing Unit)等により構成された演算部と、を備える。制御装置10は、記憶部に記憶された各種プログラムを、演算部に実行させることにより、超音波測定装置1を制御する。例えば、制御装置10は、超音波プローブ2の駆動を制御するための指令を出力したり、超音波プローブ2から入力された受信信号に基づいて、生体の内部構造の画像を形成して表示部12に表示させたり、血流等の生体情報を測定して表示部12に表示させたりする。このような制御装置10としては、例えば、タブレット端末やスマートフォン、パーソナルコンピューター等の端末装置を用いることができ、超音波プローブ2を操作するための専用端末装置を用いてもよい。
図2は、超音波プローブ2の概略構成を示す断面図である。
超音波プローブ2は、超音波探触子に相当し、図2に示すように、筐体21と、筐体21内部に収納された超音波デバイス22と、超音波デバイス22を制御するためのドライバー回路等が設けられた回路基板23と、を備える。なお、超音波デバイス22と、回路基板23とにより超音波センサー24が構成される。
筐体21は、図1に示すように、例えば平面視矩形状の箱状に形成され、厚み方向に直交する一面(センサー面21A)には、センサー窓21Bが設けられており、超音波デバイス22の一部が露出している。また、筐体21の一部(図1に示す例では側面)には、筐体21の内部の回路基板23に接続されるケーブル3が挿通されており、当該ケーブル3により、超音波プローブ2と制御装置10とが接続される。なお、超音波プローブ2と制御装置10との接続構成としては、これに限定されず、例えば超音波プローブ2と制御装置10とが無線通信により接続されていてもよく、さらに、超音波プローブ2内に制御装置10の各種構成が設けられていてもよい。
回路基板23は、後述する超音波デバイス22の信号端子51P(図3参照)及び共通端子52P(図3参照)と電気的に接続され、制御装置10の制御に基づいて超音波デバイス22を制御する。
具体的には、回路基板23は、送信回路や受信回路等を備えている。送信回路は、超音波デバイス22に超音波送信させる駆動信号を出力する。受信回路は、超音波を受信した超音波デバイス22から出力された受信信号を取得し、当該受信信号の増幅処理、A−D変換処理、整相加算処理等を実施して制御装置10に出力する。
図3は、超音波デバイス22を構成する素子基板41の一部を封止板42側から見た平面図である。図4は、図3に示すA−A線で切断した超音波デバイス22の断面図である。なお、図3は、説明の便宜上、超音波トランスデューサーTrの配置数を減らしているが、実際には、より多くの超音波トランスデューサーTrが配置されている。
超音波デバイス22は、図2及び図4に示すように、素子基板41と、封止板42(基板)と、音響レンズ44とを備えている。
また、この超音波デバイス22は、図3に示すように、互いに交差(本実施形態では、直交を例示)するX方向(スキャン方向)及びY方向(スライス方向)に沿って、複数の超音波トランスデューサーTrが2次元アレイ状に配置されている。本実施形態では、Y方向に配置された複数の超音波トランスデューサーTrにより、1CH(チャネル)の送受信列Chが構成される。また、当該1CHの送受信列ChがX方向に沿って複数並んで配置されることで、1次元アレイ構造の超音波デバイス22が構成される。ここで、超音波トランスデューサーTrが配置される領域をアレイ領域Ar1とする。
素子基板41は、図4に示すように、基板本体部411と、基板本体部411の封止板42側(−Z側)に設けられる振動膜412と、を備える。また、振動膜412には、複数の圧電素子5が設けられている。
本実施形態では、各開口部411Aは、基板本体部411の基板厚み方向を貫通した貫通孔であり、当該貫通孔の一端側(封止板42側)を閉塞するように振動膜412が設けられている。
なお、圧電素子5のより詳細な説明については、後述する。
図2及び図4に示す封止板42は、厚み方向から見た際の平面形状が例えば素子基板41と同形状に形成され、Si等の半導体基板や、絶縁体基板により構成される。なお、封止板42の材質や厚みは、超音波トランスデューサーTrの周波数特性に影響を及ぼすため、超音波トランスデューサーTrにて送受信する超音波の中心周波数に基づいて設定することが好ましい。
音響層43は、図4に示すように、素子基板41の封止板42とは反対側に設けられ、開口部411A内に充填されている。
音響レンズ44は、素子基板41の封止板42とは反対側、すなわち素子基板41及び音響層43の+Z側に配置される。音響レンズ44は、生体表面に密着され、超音波トランスデューサーTrから送信された超音波を生体内で収束させる。また、音響レンズ44は、生体内で反射した超音波を、音響層43を介して超音波トランスデューサーTrに伝搬させる。
次に、圧電素子5の構成について、より詳細に説明する。
図5は、素子基板41に設けられる超音波トランスデューサーTrを、封止板42側から見た平面図である。図6は、図5に示すB−B線で切断した超音波トランスデューサーTrの一部の断面図である。
圧電素子5は、上述したように、順に積層された下部電極51と、圧電膜6、及び上部電極52と、を備え、このうち、積層方向から見た平面視において、下部電極51、圧電膜6、及び上部電極52が重なる部分が能動部50を構成する。この能動部50は、下部電極51及び上部電極52への電圧印加によって変形する部分であり、可撓部412A上に位置して、超音波トランスデューサーTrを構成する。
圧電膜6は、平面視において、例えば略矩形状の外形を有し、可撓部412Aと重なる位置に、下部電極51の一部を覆うように設けられる。この圧電膜6は、圧電本体部61と、圧電外周部62と、を有する。
圧電外周部62は、平面視において、圧電本体部61の外側に連続する部分であり、下部電極51及び上部電極52(後述する接続電極部523を除く)のいずれか一方、又は双方が重ならない部分である。
下部電極本体部511は、第一部分に相当し、平面視において圧電膜6と重なり合う。下部電極本体部511のうち、圧電膜6(圧電本体部61)及び上部電極52(上部電極本体部521)と重なる部分は、能動部50を構成する。
下部電極接続部512は、第二部分に相当し、下部電極本体部511の±Y側のそれぞれからY方向に沿って延出し、圧電膜6と重なり合わない部分である。この下部電極接続部512は、送受信列Chに含まれる複数の超音波トランスデューサーTrの隣り合う下部電極本体部511同士を接続する。
上部電極本体部521は、第三部分に相当し、平面視において、下部電極本体部511及び圧電本体部61と重なって能動部50を構成する。
上部電極接続部522は、上部電極本体部521の±X側のそれぞれからX方向に沿って連続して延設され、X方向において隣り合う上部電極本体部521を接続する。本実施形態では、上部電極本体部521の±Y側の端縁521Aと、上部電極接続部522の±Y側の端縁522Aとが直線で連続する。
ここで、+Y側に配置される接続電極部523の−Y側の端縁523Aは、上部電極本体部521及び上部電極接続部522の+Y側の端縁521A,522Aから所定寸法だけ+Y側に位置する。また、−Y側に配置される接続電極部523の+Y側の端縁523Aは、上部電極本体部521及び上部電極接続部522の−Y側の端縁521A,522Aから所定寸法だけ−Y側に位置する。つまり、接続電極部523は、上部電極本体部521や上部電極接続部522から離れて配置されている。
ところで、本実施形態では、下部電極本体部511と下部電極接続部512との間は、図7や図8に示すように、少なくとも一部が離間する形状となる。
つまり、本実施形態の圧電素子5は、下部電極51を形成した後、圧電膜6を形成する圧電層60(図10参照)を成膜し、圧電層60をドライエッチング(イオンミリング)によりパターニングする。
この際、圧電層60が、超音波トランスデューサーTrの形成位置以外に残留すると、超音波デバイス22の性能が低下するおそれがある。例えば、超音波トランスデューサーTr以外の位置で、可撓部412A上に圧電層60が残留していると、可撓部412Aの応力バランスが不均一となり、送受信可能な超音波の周波数や音圧に影響が出る。このため、超音波トランスデューサーTrを構成する位置以外の圧電層60が残留しないように、十分な長い時間をかけてエッチング処理を行う必要がある。しかしながら、圧電膜6の外縁(エッジ部)では、他の位置に比べてエッチングレートが大きくなり、下部電極接続部512の下部電極本体部511との接続部がオーバーエッチングされる。
このため、図7に示すように、下部電極接続部512の下部電極本体部511側は、少なくとも一部が下部電極本体部511から離間する形状となる(隙間部512Aが形成される)。また、オーバーエッチングが進行すると、例えば図8に示すように、下部電極本体部511と、下部電極接続部512とが離れる形状となる場合もある。図7に示すような形状となると、下部電極接続部512の電気抵抗が増大し、下部電極本体部511に適正な信号を入力できず、また、図8に示すような形状となると、下部電極本体部511と下部電極接続部512とが断線されてしまう。
なお、本発明における断線とは、図8に示すような下部電極接続部512が下部電極本体部511から離間する形状に限られず、図7に示すような下部電極接続部512の一部が下部電極本体部511から離間する形状まで含まれる。
これにより、本実施形態では、圧電膜6を形成するための圧電層60が超音波トランスデューサーTr以外の領域で残留せず、かつ、下部電極本体部511と下部電極接続部512との間の隙間部512Aでの電気抵抗の増大や断線が抑制される。
次に、上述したような圧電素子5の製造方法について説明する。
図9は、圧電素子5の製造方法を示すフローチャートであり、図10は、図9の各ステップにおける圧電素子5の製造過程を示す図である。
圧電素子5を製造するためには、先ず、下部電極を形成する(ステップS1)。このステップS1では、振動膜412が形成された素子基板41の振動膜412上に、下部電極51を構成する電極材料により下部電極層を成膜する。そして、エッチングにより下部電極層をパターニングし、図10の1番目に示すように、下部電極51を形成する。
この後、上部電極層520をエッチングし、上部電極52をパターニングする(ステップS5)。これにより、図10の5番目に示すように、上部電極本体部521及び上部電極接続部522とは離れた位置に接続電極部523が形成される。この接続電極部523により隙間部512Aが埋められていることで、下部電極51の下部電極本体部511と下部電極接続部512とが接続電極部523により接し、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が導通する。
なお、超音波トランスデューサーTrを製造する場合、この後、素子基板41を振動膜412とは反対側の面からエッチング処理し、開口部411Aを形成する。
本実施形態では、圧電素子5を構成する下部電極51は、平面視で圧電膜6と重なる下部電極本体部511と、圧電膜6と重ならない下部電極接続部512とを有する。下部電極接続部512の下部電極本体部511側には、隙間部512Aが形成されることで、下部電極接続部512は、下部電極本体部511から一部が離間する。一方、圧電素子5を構成する上部電極52は、下部電極本体部511及び圧電本体部61と重なって能動部50を構成する上部電極本体部521と、上部電極本体部521から離れて設けられる接続電極部523を含んで構成されている。接続電極部523は、圧電膜6の圧電外周部62から下部電極接続部512に亘って形成され、下部電極本体部511と下部電極接続部512とに接する。
このため、接続電極部523により、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が導通されることになり、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が断線する不都合を抑制できる。したがって、能動部50を構成する下部電極本体部511に、下部電極接続部512から適切に駆動信号を入力することができ、圧電素子5の信頼性を向上できる。これにより、圧電素子5を有する超音波トランスデューサーTrや超音波プローブ2、超音波測定装置1における機器信頼性も高めることができる。
以下、第二実施形態について説明する。
第一実施形態の圧電素子5では、ステップS5において、上部電極52の一部である接続電極部523を、上部電極本体部521から離れた位置に形成し、当該接続電極部523により、下部電極本体部511と、下部電極接続部512を導通させた。これに対して、第二実施形態では、上部電極52とは異なる電極により、下部電極本体部511と、下部電極接続部512とを導通させる点で、上記第一実施形態と相違する。なお、以降の説明にあたり、既に説明した構成については、同符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
本実施形態の超音波トランスデューサーTrは、第一実施形態と同様、駆動部である可撓部412Aと、圧電素子5とにより構成されている。本実施形態の圧電素子5は、下部電極51と、圧電膜6と、上部電極52とを順に積層することで構成されている。
ここで、下部電極51は、下部電極本体部511と、下部電極接続部512とにより構成されている。上記第一実施形態と同様、下部電極接続部512は、下部電極本体部511から少なくとも一部が離間しており、下部電極本体部511側に隙間部512Aが形成されている。
本実施形態において、下部電極本体部511は、第一電極層に相当し、下部電極接続部512は、第一導電層に相当する。下部電極接続部512は、第一実施形態と同様、ステップS1で、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が同時に形成される。そして、ステップS3において、圧電膜6をパターニングする際に、下部電極接続部512の下部電極本体部511側の端部がオーバーエッチングされることで、下部電極接続部512が下部電極本体部511から離間して隙間部512Aが形成される。
なお、接続電極53は、第一実施形態における接続電極部523と同様に、Y方向に隣り合う超音波トランスデューサーTrの圧電外周部62間に亘って設けられ、当該超音波トランスデューサーTr間に配置される下部電極接続部512を覆って設けられてもよい。
第二実施形態の圧電素子5は、第一実施形態と略同一の製造方法により製造することができる。つまり、本実施形態では、図12に示すように、先ず、ステップS1により、振動膜412上に下部電極本体部511及び下部電極接続部512を含む下部電極51を形成する。
次に、ステップS2により、振動膜412上に、下部電極51を覆う圧電層60を成膜する。そして、ステップS3により、図10の3番目に示すように、圧電層60をエッチングして圧電膜6を形成する。この際、上記第一実施形態と同様に、圧電膜6のエッジ部に沿ってオーバーエッチングが進行し、下部電極接続部512の下部電極本体部511側に、図7や図8に示すような隙間部512Aが形成される。
その後、ステップS4を実施して、上部電極52を形成するための上部電極層520を成膜する。この際、上部電極52の膜厚寸法に合わせて上部電極層520を成膜する。
この後、上部電極層520に対して、エッチングを用いたパターニングを行い、図13の1番目に示すように、上部電極本体部521及び上部電極接続部522を有する上部電極52を形成する(ステップS11)。このステップS11では、下部電極接続部512は、隙間部512Aにおいて、少なくとも一部が下部電極本体部511から離間している。
この後、電極層530に対して、エッチングを用いたパターニングを行い、図13の3番目に示すように、接続電極53を形成する(ステップS13)。この接続電極53により隙間部512Aが埋められ、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が導通する。
本実施形態の圧電素子5では、下部電極接続部512の下部電極本体部511側に隙間部512Aが形成されることで、下部電極接続部512の一部が下部電極本体部511から離間する。また、圧電素子5の能動部50を構成する上部電極52(上部電極本体部521)から離れて、上部電極52から独立した接続電極53が設けられ、この接続電極53は、圧電膜6の圧電外周部62から下部電極接続部512に亘って形成され、下部電極本体部511と下部電極接続部512とに接する。
このため、接続電極53により、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が導通されることになり、下部電極本体部511及び下部電極接続部512が断線する不都合を抑制できる。したがって、能動部50を構成する下部電極本体部511に、下部電極接続部512から適切に駆動信号を入力することができ、圧電素子5の信頼性を向上できる。
次に、第三実施形態について説明する。
上述した第一実施形態では、圧電素子5を有する超音波デバイス22を筐体21内に収納した超音波プローブ2、及び当該超音波プローブ2を備えて超音波測定を実施する超音波測定装置1の構成を例示した。これに対し、圧電素子5及び圧電素子5を備える圧電アクチュエーターとしては、その他の電子機器に対しても適用可能であり、第三実施形態では、当該他の電子機器の一例である液体噴射装置について説明する。
プリンター100は、液体噴射装置に相当し、図14に示すように、メディアを供給する供給ユニット110と、メディアを搬送する搬送ユニット120と、記録ヘッド70が取り付けられるキャリッジ130と、キャリッジ130を移動させるキャリッジ移動ユニット140と、プリンター100を制御する制御ユニット(図示略)とを備える。このプリンター100は、例えばパーソナルコンピューター等の外部機器から入力された印刷データに基づいて、各ユニット110,120,140及びキャリッジ130を制御し、メディアMに画像を印刷する。
複数の圧力室711は、後述するようにノズルプレート72に形成されたノズル列を構成する各ノズル721に、一対一に対応して設けられている。すなわち、各圧力室711は、ノズル列方向に沿って、ノズル721の形成ピッチと同じピッチで形成されている。
連通部713は、複数の圧力室711に沿って形成されている。この連通部713は、後述する振動板731の連通開口部734及び封止板74の液室空部742と連通し、インクタンク(図示略)から供給されたインクが充填される。連通部713に充填されたインクは、インク供給路712を介して圧力室711に供給される。すなわち、連通部713は、各圧力室711に共通なインク室であるリザーバー(共通液室)を構成する。
なお、インク供給路712は、圧力室711よりも狭い幅で形成されており、連通部713から圧力室711に流入するインクに対して流路抵抗となる部分である。
振動板731は、圧力室形成基板71の上に形成された弾性膜732と、この弾性膜732上に形成された絶縁体膜733と、を含む。なお、弾性膜732としては、例えば、厚さが300〜2000nmの二酸化シリコン(SiO2)が好適に用いられる。また、絶縁体膜733としては、例えば、厚さが30〜600nmの酸化ジルコニウム(ZrOx)が好適に用いられる。この振動板731の圧力室711を閉塞する領域は、圧電素子5の駆動によってノズル721に対して接離する方向に撓み変形が許容される領域(可撓部)である。なお、振動板731における圧力室形成基板71の連通部713に対応する部分には、当該連通部713と連通する連通開口部734が設けられている。
なお、図15では、一方向に沿って配置された複数の圧電素子5の非被覆部に亘る溝部が形成されている構成を例示しているが、これに限定されず、各圧電素子5に個別に溝部が形成されてもよい。
なお、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良、及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
例えば、接続電極部523(又は接続電極53)が、XY平面内で、下部電極本体部511の一部と重なって+X側に延設される第一延設部、下部電極接続部512の一部と重なって+X側に延設される第二延設部、及び第一延設部と第二延設部とを接続する接続部とを備える構成などとしてもよい。
また、接続電極部523(又は接続電極53)が、圧電膜6の上面(素子基板41とは反対側の面)の圧電外周部62から、下部電極接続部512に亘って設けられる例を示したが、これに限定されない。例えば、接続電極部523(又は接続電極53)は、圧電膜6の外縁部で、上面から下面(素子基板41側の面)まで傾斜する傾斜面から、下部電極接続部512に亘って設けられていてもよい。さらに、接続電極部523(又は接続電極53)が、圧電膜6と重ならず、ピンポイントで、隙間部512A上に設けられて、下部電極本体部511と下部電極接続部512とに接する構成などとしてもよい。
Claims (12)
- 第一電極層、圧電体層、及び第二電極層が順に積層された圧電素子であって、
前記第一電極層は、前記第一電極層、前記圧電体層、及び前記第二電極層の積層方向から見た平面視において、前記圧電体層に重なる第一部分と、前記第一部分から少なくとも一部が離間し、かつ前記圧電体層に重ならない第二部分とを有し、
前記第二電極層は、前記平面視において、前記圧電体層に重なる第三部分と、前記第三部分とは非導通の第四部分とを有し、
前記第四部分は、前記第一部分及び前記第二部分に接している
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記第四部分は、前記第一部分及び前記第二部分の離間部分を埋める
ことを特徴とする圧電素子。 - 第一電極層、圧電体層、及び第二電極層が順に積層された圧電素子であって、
前記第一電極層及び前記第二電極層は、前記第一電極層、前記圧電体層、及び前記第二電極層の積層方向から見た平面視において、前記圧電体層に重なり、
前記第一電極層から一部が離間し、前記平面視において前記圧電体層と重ならない第一導電層と、
前記第二電極層とは非導通の第二導電層と、を備え、
前記第二導電層は、前記第一電極層及び前記第一導電層に接している
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項3に記載の圧電素子において、
前記第二導電層は、前記第二電極層よりも厚み寸法が大きい
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項3又は請求項4に記載の圧電素子において、
前記第二導電層は、前記第一電極層及び前記第一導電層の間の離間部分を埋める
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧電素子と、
前記圧電素子により駆動される駆動部と、を備える
ことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項6に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターを収納する筐体と、を備え、
前記圧電素子は、前記駆動部を駆動して超音波を送受信する
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項6に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターを制御する制御部と、を備え、
前記圧電素子は、前記駆動部を駆動して超音波を送受信する
ことを特徴とする超音波装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧電素子と、
前記圧電素子を制御する制御部と、を備える
ことを特徴とする電子機器。 - 請求項6に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項10に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
- 第一電極層、圧電体層、第二電極層が順に積層された圧電素子であって、
前記第一電極層は、前記第一電極層、前記圧電体層、及び前記第二電極層の積層方向から見た平面視において、前記圧電体層に重なる第一部分と、前記第一部分から少なくとも一部が離間し、かつ前記圧電体層に重ならない第二部分とを有し、
前記平面視において、前記圧電体層上の前記第二電極層から離れた位置から前記第二部分に亘って設けられる接続電極部を備え、
前記接続電極部は、前記第一部分及び前記第二部分に接している
ことを特徴とする圧電素子。
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