JP6323671B2 - 超音波センサー及びその製造方法 - Google Patents
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Description
かかる態様では、圧電体層同士が連結部を介して列方向に連結されているので、圧電体層端部の応力集中箇所を減らすことができる。また、圧電体層除去部を形成するエッチングが第2電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第2電極と共にエッチングされているので、第1電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
かかる態様によれば、圧電体層除去部を形成するエッチングが第2電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第2電極と共にエッチングされているので、第1電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
図1は、超音波センサーの概略構成を示す平面図、図2はそのA−A′線〜G−G′線断面図である。
以上説明した本実施形態では説明は省略したが、例えば、振動板の圧電素子17とは反対側が、測定対象物に向けて発信される超音波や測定対象物から反射した超音波(エコー信号)の通過領域となる構成とすることができる。これによれば、振動板の圧電素子17とは反対側の構成を簡素化させ、超音波等の良好な通過領域を確保できる。また、電極や配線等の電気的領域や各部材の接着固定領域を測定対象物から遠ざけて、これらと測定対象物との間での汚染や漏れ電流を防止しやすくなる。従って、汚染や漏れ電流を特に嫌う医療用の機器、例えば超音波診断装置、血圧計及び眼圧計にも好適に適用できる。
Claims (7)
- 基板側から第1電極、圧電体層及び第2電極を設け、第1方向及び第2方向に配列された複数の超音波素子を設ける超音波センサーであって、
前記第2電極が前記第1方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第1電極が前記第2方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、
前記圧電体層は、前記第2方向に沿って前記超音波素子毎に設けられ、前記第1方向に延設される連結部を介して第1方向で前記超音波素子同士が連結され、
前記連結部の間には、前記圧電体層が除去された圧電体層除去部が存在し、前記連結部及び前記圧電体層除去部の領域には前記第2電極が設けられていることを特徴とする超音波センサー。 - 前記超音波素子の前記第2方向側の前記圧電体層の側面及び前記第2電極の厚さ方向の一部の側面は同一工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサー。
- 前記超音波素子の前記第1方向側の前記圧電体層除去部側の前記圧電体層の側面及び前記第2電極の厚さ方向の一部の側面は同一工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波センサー。
- 前記連結部の前記圧電体層除去部側の側面と反対側の側面とは別工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 基板側から第1電極、圧電体層及び第2電極を設け、第1方向及び第2方向に配列された複数の超音波素子を設け、前記第2電極が前記第1方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第1電極が前記第2方向に並設された超音波素子列に連続して設けられた超音波センサーを製造する超音波センサーの製造方法であって、
前記第1電極をパターニングする工程と、
前記圧電体層となる層をパターニングして前記第1方向に並設される前記超音波素子の間の領域に圧電体層除去部を形成する工程と、
前記第2電極となる電極層を設けて前記圧電体層除去部の前記第2方向の寸法より大きい寸法で前記圧電体層となる層と前記第2電極となる電極層とをパターニングして前記第2方向で前記超音波素子毎に分離する工程と、
を設けることを特徴とする超音波センサーの製造方法。 - 前記圧電体層及び前記第2電極が、前記超音波素子を駆動する同一チャンネル内で接続されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 前記圧電体層及び前記第2電極が、前記超音波素子を駆動する同一チャンネル外で接続されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の超音波センサー。
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