JPS61114178A - マトリクスアレイ型超音波振動子 - Google Patents
マトリクスアレイ型超音波振動子Info
- Publication number
- JPS61114178A JPS61114178A JP59236501A JP23650184A JPS61114178A JP S61114178 A JPS61114178 A JP S61114178A JP 59236501 A JP59236501 A JP 59236501A JP 23650184 A JP23650184 A JP 23650184A JP S61114178 A JPS61114178 A JP S61114178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elements
- piezoelectric assembly
- lead wires
- electrodes
- matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
この発明は、例えば医療その他用途に供される超音波撮
像装置に関連し、殊にこの発明は、この種装置に組込ま
れるマトリクスアレイ型超音波振動子に関する。
像装置に関連し、殊にこの発明は、この種装置に組込ま
れるマトリクスアレイ型超音波振動子に関する。
〈発明の概要〉
この発明のマトリクスアレイ型超音波振動子は、平板状
の圧電体を分割してエレメントがマトリクス状に配列さ
れた圧電集合体を形成し、この圧電集合体の片面側に各
行のエレメントに接触する電極を行数分設けて第１の電
極群を形成するとともに、他面側に各列のエレメントに
接触する電極を列数分設けて第２の電極群を形成゛じた
ものであり、これにより、各エレメントを動作させるに
必要１１１Ｊ−ド線の数を低減し、構成の簡易化を実現
した。
の圧電体を分割してエレメントがマトリクス状に配列さ
れた圧電集合体を形成し、この圧電集合体の片面側に各
行のエレメントに接触する電極を行数分設けて第１の電
極群を形成するとともに、他面側に各列のエレメントに
接触する電極を列数分設けて第２の電極群を形成゛じた
ものであり、これにより、各エレメントを動作させるに
必要１１１Ｊ−ド線の数を低減し、構成の簡易化を実現
した。
〈発明の背景〉
従来のマトリクスアレイ型超音波振動子は、第３図に示
す如く、平板状の圧電体の上面側を、ダイシング法等に
より縦横分割して、エレメント２１がマトリクス状に配
列された圧電集合体２２を形成し、この圧電集合体２２
の上面側に、各エレメントに対応して多数の電極２３を
取り出すとともに、圧電集合体２２の下面側に、共通電
極２４を形成して、これを導出させている。
す如く、平板状の圧電体の上面側を、ダイシング法等に
より縦横分割して、エレメント２１がマトリクス状に配
列された圧電集合体２２を形成し、この圧電集合体２２
の上面側に、各エレメントに対応して多数の電極２３を
取り出すとともに、圧電集合体２２の下面側に、共通電
極２４を形成して、これを導出させている。
ところが、この種従来の超音波振動子２０においては、
例えばマ） ＩＪクス配列がｍ行、ｎ列ノ場合、（ｍＸ
ｎ）本の電極、更にはリード線が必要であり、而もこの
リード線数は、エレメントの増加に比例して増加するた
め、信号処理回路との結合が困難かつ複雑とｒ、（るな
どの問題を有していた。
例えばマ） ＩＪクス配列がｍ行、ｎ列ノ場合、（ｍＸ
ｎ）本の電極、更にはリード線が必要であり、而もこの
リード線数は、エレメントの増加に比例して増加するた
め、信号処理回路との結合が困難かつ複雑とｒ、（るな
どの問題を有していた。
〈発明の目的〉
この発明は、上記欠点を解消するためのもので、圧電集
合体の各エレメントを動作させるに必要を電極やリード
線の数を低減して、信号処理回路との結合を簡略化でき
るマトリクスアレイ型超音波振動子を提供することを目
的とする。
合体の各エレメントを動作させるに必要を電極やリード
線の数を低減して、信号処理回路との結合を簡略化でき
るマトリクスアレイ型超音波振動子を提供することを目
的とする。
〈発明の溝成および効果〉
上記目的を達成するため、この発明の７） ＩＪクスア
レイ型超超音波振動子は、平板状の圧電体を複数行およ
び複数列に分割してエレメントがマトリクス状に配列さ
れた圧電集合体を形成し、この圧電集合体の片面側に、
各行のエレメントに対応して一連に接触する電極を行数
分設けて第１の電極群を形成するとともに、圧電集合体
の他面側に、各列のエレメントに対応して一連に接触す
る電極を列数分設けて第２の電極群を形成するようにし
た。
レイ型超超音波振動子は、平板状の圧電体を複数行およ
び複数列に分割してエレメントがマトリクス状に配列さ
れた圧電集合体を形成し、この圧電集合体の片面側に、
各行のエレメントに対応して一連に接触する電極を行数
分設けて第１の電極群を形成するとともに、圧電集合体
の他面側に、各列のエレメントに対応して一連に接触す
る電極を列数分設けて第２の電極群を形成するようにし
た。
この発明によれば、ｍ行、ｎ列のマトリクス配列をもつ
超音波振動子に対しては、１！ｉ極数が（ｍ＋ｎ）本と
なり、従って圧電集合体の各エレメントを動作させるに
必要ｒｌリード線数も（ｍ ＋ ｎ ）本と少なくて済
み、従来例に比較して、電極やリード線の数を大幅に低
減でき、また信号処理回路との結合を簡略化できるなど
、発明目的を達成した顕著な効果を奏する。
超音波振動子に対しては、１！ｉ極数が（ｍ＋ｎ）本と
なり、従って圧電集合体の各エレメントを動作させるに
必要ｒｌリード線数も（ｍ ＋ ｎ ）本と少なくて済
み、従来例に比較して、電極やリード線の数を大幅に低
減でき、また信号処理回路との結合を簡略化できるなど
、発明目的を達成した顕著な効果を奏する。
〈実施例の説明〉
第１図は、この発明の一実施例であるマトリクスアレイ
型超音波振動子を示しており、この超音波振動子１は、
平板状の圧電体の上面側をダイヤモンドダイシング法あ
るいはレーザダイシング法等により、縦横ｍ行、ｎ列（
図示例でハ、ｍ＝５ 、 ｎ＝５ ）に分割して、エレ
メント２がマトリクス状に配列された圧電集合体３を形
成したものである。この圧電集合体３の下面側には、マ
スク蒸着法あるいはマスクスパッタリング法等により、
各行のエレメント２に対応して一連に接触するたんざく
状の下部電極４ａ〜４ｅを設けて、第１の電極群４を形
成する。
型超音波振動子を示しており、この超音波振動子１は、
平板状の圧電体の上面側をダイヤモンドダイシング法あ
るいはレーザダイシング法等により、縦横ｍ行、ｎ列（
図示例でハ、ｍ＝５ 、 ｎ＝５ ）に分割して、エレ
メント２がマトリクス状に配列された圧電集合体３を形
成したものである。この圧電集合体３の下面側には、マ
スク蒸着法あるいはマスクスパッタリング法等により、
各行のエレメント２に対応して一連に接触するたんざく
状の下部電極４ａ〜４ｅを設けて、第１の電極群４を形
成する。
また、圧電集合体３の上面側には、下部電極４ａ〜４ｅ
の形成方向と直角方向に、各列のエレメント２に対応し
て一連に接触するたんざく状の上部１１１ｔ極５ａ〜５
ｅを設けて、第２の電極群５を形成する。この上部電極
５ａ〜５ｅの形成は、各エレメント２．２間のピッチが
小さい場合には、マスク蒸着法あるいはマクスバッタリ
ング法により実現できる。またこのピッチが大きい場合
には、まず蒸着法、スパッタリング法により四々のエレ
メント２上に電極を形成し、その後、個々のエレメント
２上の電極間をたんざく状の導電シートをはりつけて接
続するか、あるいはワイヤボンディング法を用いて接続
する。
の形成方向と直角方向に、各列のエレメント２に対応し
て一連に接触するたんざく状の上部１１１ｔ極５ａ〜５
ｅを設けて、第２の電極群５を形成する。この上部電極
５ａ〜５ｅの形成は、各エレメント２．２間のピッチが
小さい場合には、マスク蒸着法あるいはマクスバッタリ
ング法により実現できる。またこのピッチが大きい場合
には、まず蒸着法、スパッタリング法により四々のエレ
メント２上に電極を形成し、その後、個々のエレメント
２上の電極間をたんざく状の導電シートをはりつけて接
続するか、あるいはワイヤボンディング法を用いて接続
する。
ｒｌお、圧電集合体３の下面側には、下部電極４ａ〜４
ｅを介して、バッキング材６が取り付けである。
ｅを介して、バッキング材６が取り付けである。
図示例のマトリクスアレイ型超音波振動子１番こよれば
、圧電集合体３の各エレメント２を駆動させるに必要ｒ
ｌリード線の数は、５ ＋ ５ ＝１０本であり、従来
例であれば、５Ｘ５＝２５木のリード線を必要とするの
に対して、リード線の数を大幅に低減でき、その結果、
センサ部と信号処理回路との結合を簡略化できる。
、圧電集合体３の各エレメント２を駆動させるに必要ｒ
ｌリード線の数は、５ ＋ ５ ＝１０本であり、従来
例であれば、５Ｘ５＝２５木のリード線を必要とするの
に対して、リード線の数を大幅に低減でき、その結果、
センサ部と信号処理回路との結合を簡略化できる。
上記マトリクスアレイ型超音波振動子１の駆動は、第２
図に示すように、上部電極５ａ〜５ｅを切り換える切換
回路７と、下部電極４３〜４ｅを切り換える切換回路８
を用いて行ｒｌわれる。例えば切換回路７中のスイッチ
９ａをオンさせるとともに、切換回路８中のスイッチ１
０ａをオンさせると、圧電集合体３の各エレメントのう
ち、上部電極５ａと下部電極４ａの交叉部に位置するエ
レメントが動作する。このようにして上部電極５ａ〜５
ｅおよび下部電極４ａ〜４ｅのそれぞれいずれか１極を
選択的に動作させれば、圧電集合体３の任意のエレメン
トを動作させることが可能である。
図に示すように、上部電極５ａ〜５ｅを切り換える切換
回路７と、下部電極４３〜４ｅを切り換える切換回路８
を用いて行ｒｌわれる。例えば切換回路７中のスイッチ
９ａをオンさせるとともに、切換回路８中のスイッチ１
０ａをオンさせると、圧電集合体３の各エレメントのう
ち、上部電極５ａと下部電極４ａの交叉部に位置するエ
レメントが動作する。このようにして上部電極５ａ〜５
ｅおよび下部電極４ａ〜４ｅのそれぞれいずれか１極を
選択的に動作させれば、圧電集合体３の任意のエレメン
トを動作させることが可能である。
第１図はこの発明の一実施例であるマ） ＋１クスアレ
イ型超音波振動子の斜面図、第２図はその駆動回路を示
す配線図、第３図は従来のマトリクスアレイ型超音波振
動子の斜面図である。 １・・・超音波振動子 ２・・・エレメント３・
・・圧電集合体 ４・・・第１の電極群４ａ〜
４ｅ・・・電極 ５・・・第２の電極群５３〜５
ｅ・・・電極
イ型超音波振動子の斜面図、第２図はその駆動回路を示
す配線図、第３図は従来のマトリクスアレイ型超音波振
動子の斜面図である。 １・・・超音波振動子 ２・・・エレメント３・
・・圧電集合体 ４・・・第１の電極群４ａ〜
４ｅ・・・電極 ５・・・第２の電極群５３〜５
ｅ・・・電極
Claims (1)
- 平板状の圧電体を複数行および複数列に分割してエレメ
ントがマトリクス状に配列された圧電集合体を形成し、
この圧電集合体の片面側に、各行のエレメントに対応し
て一連に接触する電極を行数分設けて第１の電極群を形
成するとともに、圧電集合体の他面側に、各列のエレメ
ントに対応して一連に接触する電極を列数分設けて第２
の電極群を形成したことを特徴とするマトリクスアレイ
型超音波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59236501A JPS61114178A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | マトリクスアレイ型超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59236501A JPS61114178A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | マトリクスアレイ型超音波振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114178A true JPS61114178A (ja) | 1986-05-31 |
Family
ID=17001663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59236501A Pending JPS61114178A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | マトリクスアレイ型超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61114178A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436198A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| JPS6436196A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| JPS6436197A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| US5187403A (en) * | 1990-05-08 | 1993-02-16 | Hewlett-Packard Company | Acoustic image signal receiver providing for selectively activatable amounts of electrical signal delay |
| JP2006025805A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Fujinon Corp | 超音波検査装置 |
| JP2016013146A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー及びその製造方法 |
| JP2016161494A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 株式会社東芝 | マトリックスアレイセンサ |
-
1984
- 1984-11-08 JP JP59236501A patent/JPS61114178A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436198A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| JPS6436196A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| JPS6436197A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 | Yokogawa Medical Syst | Ultrasonic wave probe |
| JPH0543239B2 (ja) * | 1987-07-30 | 1993-07-01 | Yokogawa Medical Syst | |
| JPH0543240B2 (ja) * | 1987-07-30 | 1993-07-01 | Yokogawa Medical Syst | |
| US5187403A (en) * | 1990-05-08 | 1993-02-16 | Hewlett-Packard Company | Acoustic image signal receiver providing for selectively activatable amounts of electrical signal delay |
| JP2006025805A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Fujinon Corp | 超音波検査装置 |
| JP2016013146A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー及びその製造方法 |
| JP2016161494A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 株式会社東芝 | マトリックスアレイセンサ |
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