JP2016013146A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決する本発明の態様は、基板側から第１電極、圧電体層及び第２電極を設け、第１方向及び第２方向に配列された複数の超音波素子を設ける超音波センサーであって、前記第２電極が前記第１方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第１電極が前記第２方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記圧電体層は、前記第２方向に沿って前記超音波素子毎に設けられ、前記第１方向に延設される連結部を介して第１方向で前記超音波素子同士が連結され、前記連結部の間には、前記圧電体層が除去された圧電体層除去部が存在し、前記連結部及び前記圧電体層除去部の領域には前記第２電極が設けられていることを特徴とする超音波センサーにある。
かかる態様では、圧電体層同士が連結部を介して列方向に連結されているので、圧電体層端部の応力集中箇所を減らすことができる。また、圧電体層除去部を形成するエッチングが第２電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第２電極と共にエッチングされているので、第１電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
かかる態様では、圧電体層同士が連結部を介して列方向に連結されているので、圧電体層端部の応力集中箇所を減らすことができる。また、圧電体層除去部を形成するエッチングが第２電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第２電極と共にエッチングされているので、第１電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
本発明の他の態様は、基板側から第１電極、圧電体層及び第２電極を設け、第１方向及び第２方向に配列された複数の超音波素子を設け、前記第２電極が前記第１方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第１電極が前記第２方向に並設された超音波素子列に連続して設けられた超音波センサーを製造する超音波センサーの製造方法であって、前記第１電極をパターニングする工程と、前記圧電体層となる層をパターニングして前記第１方向に並設される前記超音波素子の間の領域に圧電体層除去部を形成する工程と、前記第２電極となる電極層を設けて前記圧電体層除去部の前記第２方向の寸法より大きい寸法で前記圧電体層となる層と前記第２電極となる電極層とをパターニングして前記第２方向で前記超音波素子毎に分離する工程と、を設けることを特徴とする超音波センサーの製造方法にある。
かかる態様によれば、圧電体層除去部を形成するエッチングが第２電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第２電極と共にエッチングされているので、第１電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
かかる態様によれば、圧電体層除去部を形成するエッチングが第２電極の厚さ方向の少なくとも一部が形成される前に実施され、連結部の外側をエッチングする工程が第２電極と共にエッチングされているので、第１電極は連結部の外側をエッチングする際にオーバーエッチングされるだけであり、断線の虞もなく、信頼性を向上させることができる。
Claims (7)
- 基板側から第１電極、圧電体層及び第２電極を設け、第１方向及び第２方向に配列された複数の超音波素子を設ける超音波センサーであって、
前記第２電極が前記第１方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第１電極が前記第２方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、
前記圧電体層は、前記第２方向に沿って前記超音波素子毎に設けられ、前記第１方向に延設される連結部を介して第１方向で前記超音波素子同士が連結され、
前記連結部の間には、前記圧電体層が除去された圧電体層除去部が存在し、前記連結部及び前記圧電体層除去部の領域には前記第２電極が設けられていることを特徴とする超音波センサー。 - 前記超音波素子の前記第２方向側の前記圧電体層の側面及び前記第２電極の厚さ方向の一部の側面は同一工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の超音波センサー。
- 前記超音波素子の前記第１方向側の前記圧電体層除去部側の前記圧電体層の側面及び前記第２電極の厚さ方向の一部の側面は同一工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の超音波センサー。
- 前記連結部の前記圧電体層除去部側の側面と反対側の側面とは別工程のエッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 基板側から第１電極、圧電体層及び第２電極を設け、第１方向及び第２方向に配列された複数の超音波素子を設け、前記第２電極が前記第１方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、前記第１電極が前記第２方向に並設された超音波素子列に連続して設けられた超音波センサーを製造する超音波センサーの製造方法であって、
前記第１電極をパターニングする工程と、
前記圧電体層となる層をパターニングして前記第１方向に並設される前記超音波素子の間の領域に圧電体層除去部を形成する工程と、
前記第２電極となる電極層を設けて前記圧電体層除去部の前記第２方向の寸法より大きい寸法で前記圧電体層となる層と前記第２電極となる電極層とをパターニングして前記第２方向で前記超音波素子毎に分離する工程と、
を設けることを特徴とする超音波センサーの製造方法。 - 前記圧電体層及び前記第２電極が、前記超音波素子を駆動する同一チャンネル内で接続されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 前記圧電体層及び前記第２電極が、前記超音波素子を駆動する同一チャンネル外で接続されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の超音波センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014135134A JP6323671B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 超音波センサー及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014135134A JP6323671B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 超音波センサー及びその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016013146A JP2016013146A (ja) | 2016-01-28 |
| JP2016013146A5 true JP2016013146A5 (ja) | 2017-07-27 |
| JP6323671B2 JP6323671B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=55229923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014135134A Active JP6323671B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 超音波センサー及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP6323671B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP6874463B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 |
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2014
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