JP2015230086A - ピストンリング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CrN型の窒化クロムとTiN型の窒化チタンを交互に積層したCrN/TiN積層皮膜中に少なくとも1種の金属Mからなる少なくとも1層の金属層を含有する硬質皮膜をピストンリング外周面に被覆する。その際、金属Mの窒化物の標準生成自由エネルギーΔGM-Nと窒化クロムの標準生成自由エネルギーΔGCrNがΔGM-N>ΔGCrNの関係を満たす金属Mを選択する。
【選択図】図1
Description
SWOSC-V相当材の線材から呼称径(d)96 mm、厚さ(a1)3.8 mm、幅(h1)2.5 mmの矩形断面で、外周面をバレルフェイス形状としたピストンリングを作製し、このピストンリングを50本重ね、外周面をショットブラストにより数μmの表面粗さ(Ry)に調整し、アークイオンプレーティングとスパッタリングの機能を併せ持つ複合装置内にセットした。ターゲットは、純度99.9%の金属Crと純度99.9%の金属Ti、純度99.9%の金属Cuを使用した。装置内を1.0×10-2 Paまで真空引きした後、Arガスを1.0 Paまで導入、-900 Vのバイアス電圧を印加してボンバードメント処理により基材となるピストンリング外周面を清浄化した。Arガスは99.99 %の純度のものを用いた。その後、純度99.999 %のN2ガスを4 Paまで導入し、金属Crカソードのアーク電流を120 A、金属Tiカソードのアーク電流を170 A、バイアス電圧-9 V、テーブル回転速度2 rpmで、100分間のイオンプレーティング処理によるCrN/TiN積層皮膜の形成を行った。続いて、金属Crカソードと金属Tiカソードのアーク放電を停止し、N2ガスを真空排除した後、Arガスを0.4 Paまで導入、金属Cuカソードの電圧を400 Vとして、UBM(Unbalanced Magnetron)スパッタリング処理による金属Cuの金属層の形成を行った。ここで、バイアス電圧とテーブル回転速度は変更せずに、処理時間は5分間とした。上記の条件で、イオンプレーティングによるCrN/TiN積層皮膜の形成とスパッタリングによるCu金属層の形成を繰り返し、最終的に、CrN/TiN積層皮膜の中にCu金属層を2層含む硬質皮膜を被覆したピストンリングを作製した。なお、密着性改善を目的とし、基材と積層皮膜との間に金属中間Cr層を形成した。得られた金属(Cu)層含有CrN/TiN積層硬質皮膜被覆ピストンリングは、次の各種測定に供した。
膜厚測定は、被覆面に垂直な鏡面研磨したピストンリング断面について、走査電子顕微鏡(SEM)による写真から、皮膜の基材面から表面までの長さを測定し、試料の膜厚とした。実施例1の膜厚は22.8μmであり、また、高倍率で観察したCu金属層の厚さは0.16μm(160 nm)と0.14μm(140 nm)であった。CrN/TiN積層皮膜の膜厚は22.5μmとなり、回転テーブルが1回転する間に形成された積層単位厚さ(窒化クロム1層+窒化チタン1層)は、上記膜厚22.5μmとコーティング時間(300分間)とテーブルの回転数(2 rpm)から0.0375μm(37.5 nm)と算出された。
硬度測定は、鏡面研磨した被覆面に平行な表面について、マイクロビッカース硬度計を使用し、試験力0.9807 Nで行った。実施例1の金属層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の硬度は1210 HV0.1であった。
皮膜の残留応力σは、次のStoneyの式により算出した。
σ=−{Es(1-νs)hs 2}/6hfΔR …………………………………………………(1)
ここで、Esは基材のヤング率(N/mm2)、νsは基材のポアソン比、hsは基材の厚さ、hfは皮膜厚さ、ΔRは曲率変化量である。なお、Es及びνsは、それぞれ、200,000 N/mm2及び0.3とした。実施例1の金属層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の残留応力は-1170 MPa(圧縮で1170 MPa)であった。
X線回折強度は、鏡面研磨した被覆面に平行な表面について、管電圧40 kV、管電流30mAのCu-Kα線を使用して2θ=35〜70°の範囲で測定した。実施例1の金属層含有CrN/TiN積層硬質皮膜のX線回折パターンは、TiN(200)面で最大ピーク強度を示し、続いてCrN(200)面、TiN(111)面、CrN(111)面、TiN(220)面、CrN(220)面と続き、僅かであったがCu(111)面の回折ピークも検出された。また、TiN(200)面とCrN(200)面にて、次のScherrerの式を用いて結晶子サイズDhklを算出した。
Dhkl=Kλ/βcosθ…………………………………………………………………(2)
ここで、KはScherrerの定数で0.94、λはX線の波長(Cu:1.5406Å)、βは半値全幅(FWHM)、θはBragg角である。実施例1のCrN層の結晶子サイズは10.2 nm 、TiN層の結晶子サイズは20.8 nmであり、よってCrN層とTiN層の結晶子サイズの和は31.0 nmとなる。膜厚から計算した積層単位厚さ37.5 nmは、窒化クロムと窒化チタンの各結晶子サイズの和の1.21倍であった。
CrN/TiN積層皮膜における組成の分析は、EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)を用いて行った。Cr:Ti:Nは原子比率で17.2:29.3:53.5であり、CrとTiの原子比率は3.7:6.3であった。
実機試験での皮膜脱落を再現可能とする評価として、転動すべり疲労試験を行った。図4に試験機の概略を示すが、転動すべり疲労試験では、回転するドラム(21)と摺動する試験片(20)に、繰り返し荷重が加えられ、比較的短時間で皮膜の脱落が再現される。皮膜の脱落は、同一潤滑条件下においては、摩擦係数と荷重(最大ヘルツ応力)と繰り返し回数に依存する。試験条件は、次のとおりである。
試験片:金属層含有CrN/TiN積層皮膜被覆ピストンリング切断片、
荷重:98〜196 N、サインカーブ 50 Hz、
相手材(ドラム):直径80 mmのSUJ2材、
摺動速度:正転逆転パターン運転(±2 m/秒)、速度±2 m/秒で10秒保持、
加速度0.08 m/秒2、
潤滑剤:純水、4 cc/min、
温度:ドラム表面温度80℃、
試験時間:1時間。
なお、試験結果は、皮膜脱落の有無で判定した。実施例1の転動すべり疲労試験の結果、皮膜脱落は無かった。
CrN/TiN積層皮膜の成膜時間と回数を50分×6回、及びCu金属層の成膜時間と回数を5分×5回に変更した以外は実施例1と同じ条件で、金属(Cu)層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の成膜を行った。
イオンプレーティングにおけるアーク電流を金属Crカソードで160 A、金属Tiカソードで130 Aに変更し、Cu金属層の成膜時間と回数を10分×5回に変更した以外は実施例2と同じ条件で、金属(Cu)層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の成膜を行った。
スパッタリングのターゲットをCuからNiに、カソード電圧を500 Vに、成膜時間と回数を5分×5に変更した以外は実施例4と同じ条件で、金属(Ni)層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の成膜を行った。
スパッタリングのターゲットをNiからCoに変更した以外は実施例5と同じ条件で、金属(Co)層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の成膜を行った。
比較例1及び2として、金属層含有CrN/TiN積層硬質皮膜の代わりに、それぞれCrN及びTiNを被覆した市販のピストンリングを用いて、膜厚測定、硬度測定、残留応力測定、X線回折測定、転動すべり疲労試験を行った。その結果を表6に示す。比較例1は耐欠け性に優れると言われている比較的気孔率の高い皮膜で、皮膜硬度がHv 930と低く、一方、比較例2は、皮膜硬度は比較的高めの皮膜であった。いずれも厳しい条件の転動すべり疲労試験において皮膜脱落が観察された。
2 CrN/TiN積層皮膜
3 金属層(M)
4 金属中間層(Cr)
5 CrN層
6 TiN層
7 金属層(M)
10 真空容器
11 プロセスガス導入口
12 プロセスガス排出口
13 金属Crカソード
14 金属Tiカソード
15, 16 金属Mカソード
17 回転テーブル
18 被処理物(ピストンリングを重ねたもの)
19 ヒーター
20 試験片
21 ドラム
Claims (8)
- 外周摺動面に硬質皮膜が被覆されたピストンリングであって、前記硬質皮膜がCrN型の窒化クロムとTiN型の窒化チタンを交互に積層した積層皮膜を含み、前記積層皮膜中に少なくとも1種の金属Mからなる少なくとも1層の金属層を有し、前記金属Mの窒化物の標準生成自由エネルギーΔGM-Nと前記窒化クロムの標準生成自由エネルギーΔGCrNがΔGM-N>ΔGCrNの関係を満たすことを特徴とするピストンリング。
- 請求項1に記載のピストンリングにおいて、前記金属MがCo、Ni及びCuから選択された少なくとも1種であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1又は2に記載のピストンリングにおいて、前記金属層の厚さが10〜1000 nmであることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のピストンリングにおいて、積層した前記窒化クロムと前記窒化チタンの各1層当たりの厚さの和からなる積層単位厚さが20〜100 nmであり、前記窒化クロムと前記窒化チタンの各結晶子サイズの和の1〜1.3倍であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記積層皮膜のクロムとチタンの原子比率が3:7〜7:3であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記積層皮膜の被覆面のX線回折強度が、窒化クロムはCrN(200)面で最大となり、窒化チタンはTiN(200)面で最大となることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記硬質皮膜の残留応力が-500 MPa〜-1500 MPaであることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記硬質皮膜の硬度が1000 HV0.1以上であることを特徴とするピストンリング。
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