JP2015220421A - 吐出量調整方法、塗布処理装置及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本実施形態に係る基板処理システム1の概要を説明する。図1に示すように、基板処理システム1は、塗布・現像装置2と露光装置3とを備える。露光装置3は、レジスト膜(感光性被膜)の露光処理を行う。具体的には、液浸露光等の方法によりレジスト膜の露光対象部分にエネルギー線を照射する。
続いて、塗布ユニットU1及びこれを制御する制御部100の構成について詳細に説明する。図4に示すように、塗布ユニットU1は、回転保持部20と、ポンプ30と、ノズル60と、変位センサ70と、カップ80とを有する。すなわち塗布・現像装置2は、回転保持部20と、ポンプ30と、ノズル60と、変位センサ70と、カップ80を備える。
続いて、本実施形態に係る吐出量調整方法について説明する。この吐出量調整方法は、制御部100が次の手順で塗布・現像装置2を制御することで実行される。
以上に説明したように、本実施形態に係る塗布・現像装置2によれば、ノズル60からウェハW上に液体を吐出するようにポンプ30を制御し、当該液体の圧送に伴う隔壁42の変位量を検出し、隔壁42の変位量の検出結果に基づいて、ノズル60からの液体の吐出量を調整すること、吐出量の調整用に吐出された液体を振り切るための回転数にてウェハWを回転させるように回転保持部20を制御すること、を含む吐出量調整方法を実行可能である。
静電容量型の変位センサは、計測対象との間の静電容量の変化を利用して変位を検出するものである。図7は、静電容量型の変位センサの例を示す。図7に示される変位センサ90は、ケース41に固定され、隔壁42の中央部に対向するプローブ91を有する。プローブ91は、隔壁42との間に静電容量をなす。変位センサ90は、プローブ91と隔壁42との間における静電容量を検出し、制御部100に出力する。プローブ91と隔壁42との間隔は隔壁42の変位に応じて変化するので、プローブ91と隔壁42との間の静電容量も隔壁42の変位に応じて変化する。このため、プローブ91と隔壁42との間の静電容量に基づいて隔壁42の変位量を検出できる。
隔壁42は流体圧により変位するものであればよいので、隔壁42を変位させるための流体は空気に限られず、他の気体又は液体であってもよい。
Claims (13)
- 基板上に液体を塗布するように構成された塗布処理装置であって、前記基板を保持して回転させる回転保持部と、流体圧により変位して前記液体を圧送する隔壁を有するポンプと、前記隔壁により圧送された前記液体を前記基板上に吐出するノズルと、を備える塗布処理装置を用い、
前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を検出し、前記隔壁の変位量の検出結果に基づいて、前記ノズルからの前記液体の吐出量を調整すること、
前記吐出量の調整用に吐出された前記液体を振り切るための回転数にて前記基板を回転させるように前記回転保持部を制御すること、を含む吐出量調整方法。 - 前記吐出量を調整するために、前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を検出し、当該変位量の検出結果に基づいて前記吐出量を算出し、当該吐出量が目標値に近付くように前記流体圧を変更することを繰り返す、請求項1記載の吐出量調整方法。
- 前記吐出量の調整用に前記液体を吐出する度に、当該液体を振り切るための回転数にて前記基板を回転させるように前記回転保持部を制御する、請求項2記載の吐出量調整方法。
- 複数組の前記ノズル及び前記ポンプを有する前記塗布処理装置を用い、
前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を検出し、当該変位量の検出結果に基づいて前記吐出量を調整することを前記複数組の前記ノズル及び前記ポンプに対し順次実行する、請求項1〜3のいずれか一項記載の吐出量調整方法。 - 複数の処理モジュールを備え、前記回転保持部、前記ノズル及び前記ポンプをそれぞれの前記処理モジュールに有する前記塗布処理装置を用い、
複数の前記基板を前記複数の処理モジュールにそれぞれ配置し、
前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を検出し、前記隔壁の変位量の検出結果に基づいて前記吐出量を調整することを前記複数の処理モジュールにおいて並行で実行する、請求項1〜4のいずれか一項記載の吐出量調整方法。 - 基板を保持して回転させる回転保持部と、
流体圧により変位して液体を圧送する隔壁を有するポンプと、
前記隔壁の変位量を検出するための変位センサと、
前記隔壁により圧送された液体を前記基板上に吐出するノズルと、
前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を前記変位センサによって検出し、当該変位量の検出結果に基づいて前記ノズルからの前記液体の吐出量を調整する調整制御部と、
前記吐出量の調整用に吐出された前記液体を振り切る回転数にて前記基板を回転させるように前記回転保持部を制御する排液制御部と、
前記調整制御部により調整済みの吐出量にて、前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、前記ノズルから吐出された前記液体を前記基板上に塗り広げるための回転数にて前記基板を回転させるように前記回転保持部を制御する塗布制御部と、を備える塗布処理装置。 - 前記調整制御部は、前記吐出量を調整するために、前記ノズルから前記基板上に前記液体を吐出するように前記ポンプを制御し、当該液体の圧送に伴う前記隔壁の変位量を前記変位センサによって検出し、当該変位量の検出結果に基づいて前記吐出量を算出し、当該吐出量が目標値に近付くように前記流体圧を変更することを繰り返す、請求項6記載の塗布処理装置。
- 前記排液制御部は、前記吐出量の調整用に前記液体を吐出する度に、当該液体を振り切るための回転数にて前記基板を回転させるように前記回転保持部を制御する、請求項7記載の塗布処理装置。
- 複数組の前記ノズル及び前記ポンプを備え、
前記調整制御部は、前記液体の吐出量の調整を前記複数組の前記ノズル及び前記ポンプに対し順次実行する、請求項6〜8のいずれか一項記載の塗布処理装置。 - 複数の処理モジュールを備え、前記回転保持部、前記ポンプ、前記変位センサ及び前記ノズルをそれぞれの前記処理モジュールに有し、
前記調整制御部は、前記吐出量の調整を前記複数の処理モジュールにおいて並行で実行する、請求項6〜9のいずれか一項記載の塗布処理装置。 - 前記変位センサは磁気抵抗型である、請求項6〜10のいずれか一項記載の塗布処理装置。
- 前記変位センサは静電容量型である、請求項6〜10のいずれか一項記載の塗布処理装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項記載の吐出量調整方法を装置に実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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