JP2006046284A - 薬液供給システム及び薬液供給用ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本薬液供給システムは、薬液としてのレジスト液Rの吐出時にポンプ13の作動室内に供給源52にて加圧した作動エアを導入し、レジスト液Rの吸入時にポンプ13の作動室内の作動エアを真空発生源54にて吸引して負圧になるように構成される。
【選択図】 図4
Description
前記作動気体を前記作動室に加圧供給するための加圧供給手段(供給源52)と、
前記作動気体を吸引して前記作動室を負圧にするための負圧発生手段(真空発生源54)と、
前記薬液吐出時には前記作動室と前記加圧供給手段とを接続し、前記薬液吸入時には前記作動室と前記負圧発生手段とを接続する接続切換手段(第1切換弁14及びコントローラ60)と、
を備えたことを特徴とする薬液供給システム。
前記可撓性膜は、無負荷状態で前記ポンプ室と前記作動室とを仕切る仕切部(仕切部25b,26b)が前記内壁面に沿った湾曲形状に形成されていることを特徴とする上記手段2に記載の薬液供給システム。
前記可撓性膜の作動方向に沿った断面において、前記ポンプ室を形成する凹設部の内壁面と前記作動室を形成する凹設部の内壁面とがともに湾曲形状をなして線対称をなすものであり、
前記可撓性膜は、無負荷状態で前記ポンプ室と前記作動室とを仕切る仕切部が前記内壁面に沿った湾曲形状に形成されていることを特徴とする薬液供給用ポンプ。
Claims (4)
- 薬液を充填するためのポンプ室と作動室とを容積可変部材で仕切り、その作動室内の作動気体圧力が調整されることにより前記容積可変部材が駆動されて前記ポンプ室の容積が変化し、そのポンプ室の容積変化に基づいて前記薬液を吐出又は吸入するポンプを備えた薬液供給システムであって、
前記作動気体を前記作動室に加圧供給するための加圧供給手段と、
前記作動気体を吸引して前記作動室を負圧にするための負圧発生手段と、
前記薬液吐出時には前記作動室と前記加圧供給手段とを接続し、前記薬液吸入時には前記作動室と前記負圧発生手段とを接続する接続切換手段と、
を備えたことを特徴とする薬液供給システム。 - 前記容積可変部材は、撓み変形により前記ポンプ室の容積を変化させる可撓性膜よりなることを特徴とする請求項1に記載の薬液供給システム。
- 前記可撓性膜の作動方向に沿った断面において、前記ポンプ室を形成する凹設部の内壁面と前記作動室を形成する凹設部の内壁面とがともに湾曲形状をなして線対称をなすものであり、
前記可撓性膜は、無負荷状態で前記ポンプ室と前記作動室とを仕切る仕切部が前記内壁面に沿った湾曲形状に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の薬液供給システム。 - 薬液を充填するためのポンプ室と作動室とを撓み変形可能な可撓性膜で仕切り、その作動室内の作動気体圧力が調整されることにより前記可撓性膜が駆動されて前記ポンプ室の容積が変化し、そのポンプ室の容積変化に基づいて前記薬液を吐出又は吸入する薬液供給用ポンプであって、
前記可撓性膜の作動方向に沿った断面において、前記ポンプ室を形成する凹設部の内壁面と前記作動室を形成する凹設部の内壁面とがともに湾曲形状をなして線対称をなすものであり、
前記可撓性膜は、無負荷状態で前記ポンプ室と前記作動室とを仕切る仕切部が前記内壁面に沿った湾曲形状に形成されていることを特徴とする薬液供給用ポンプ。
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