JPS62131988A - ダイアフラムポンプ - Google Patents
ダイアフラムポンプInfo
- Publication number
- JPS62131988A JPS62131988A JP27282985A JP27282985A JPS62131988A JP S62131988 A JPS62131988 A JP S62131988A JP 27282985 A JP27282985 A JP 27282985A JP 27282985 A JP27282985 A JP 27282985A JP S62131988 A JPS62131988 A JP S62131988A
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- JP
- Japan
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- chamber
- pump
- diaphragm
- discharge
- supply
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はダイアフラムポンプに係り、特に吸引行程にお
けるダイアフラムの動きを改良して圧縮室内の容積を大
きく確保し、ポンプ効率を向上させたダイアフラムポン
プに関する。本発明のダイアフラムポンプは、主に半導
体洗浄薬液の圧送なと薬液の汚染を嫌−う流体圧送に使
用される。
けるダイアフラムの動きを改良して圧縮室内の容積を大
きく確保し、ポンプ効率を向上させたダイアフラムポン
プに関する。本発明のダイアフラムポンプは、主に半導
体洗浄薬液の圧送なと薬液の汚染を嫌−う流体圧送に使
用される。
一般に半導体洗浄薬液等の材料液を加圧して使用場所へ
供給する手段として可変容積型のふっ素樹脂製ダイアフ
ラムポンプが広く使用されている。
供給する手段として可変容積型のふっ素樹脂製ダイアフ
ラムポンプが広く使用されている。
第２図はこの種のダイアフラムポンプの従来例を示した
ものであり、ポンプのハウジング３１内には独立した２
つの第１および第２ポンプ室３１Ａ。
ものであり、ポンプのハウジング３１内には独立した２
つの第１および第２ポンプ室３１Ａ。
３１Ｂが形成されている。それぞれのポンプ室内にはふ
っ素樹脂のダイアフラム３２Ａ、３２Ｂが張設され、各
ポンプ室内はこのダイアフラムによって吸込み圧縮室３
３Ａ、３３Ｂと作動空気室３４Ａ、３４Ｂとの２つの室
に分画されている。上記ダイアフラム３２Ａ、３２Ｂは
、その中央部が連結棒３５によって連結されており、両
方のダイアフラムは互に、連動するように構成されてい
る。
っ素樹脂のダイアフラム３２Ａ、３２Ｂが張設され、各
ポンプ室内はこのダイアフラムによって吸込み圧縮室３
３Ａ、３３Ｂと作動空気室３４Ａ、３４Ｂとの２つの室
に分画されている。上記ダイアフラム３２Ａ、３２Ｂは
、その中央部が連結棒３５によって連結されており、両
方のダイアフラムは互に、連動するように構成されてい
る。
また、吸込み圧縮室３３Ａ、３３Ｂには吸込通路３６Ａ
、３６Ｂが開口接続され、その通路上に吸込弁３７Ａ、
３７Ｂが組込まれている。ざらに吸込圧縮室３３Ａ、３
３Ｂには吐出通路３８Ａ。
、３６Ｂが開口接続され、その通路上に吸込弁３７Ａ、
３７Ｂが組込まれている。ざらに吸込圧縮室３３Ａ、３
３Ｂには吐出通路３８Ａ。
３８Ｂが開口接続され、その通路上には吐出弁３９Ａ、
３９Ｂが組込まれている。また、吸込通路３６Ａ、３６
Ｂの入口側は材料液の吸込ライン４０Ａ、４０Ｂと接続
される一方、吐出通路３８Ａ、３８Ｂの出口側は、材料
液の吐出ライン４１Ａ、４１Ｂに接続されている。
３９Ｂが組込まれている。また、吸込通路３６Ａ、３６
Ｂの入口側は材料液の吸込ライン４０Ａ、４０Ｂと接続
される一方、吐出通路３８Ａ、３８Ｂの出口側は、材料
液の吐出ライン４１Ａ、４１Ｂに接続されている。
一方、前記作動空気室３４Ａ、３４Ｂには圧縮空気の給
排通路４１Ａ、４１Ｂが開口接続され、その入口ボート
には給排管４２Ａ、４２Ｂが接続され、これらの管路上
に給排切換弁４３が組込まれている。この給排切換弁４
３のＰボートにはコンプレッサ４４が接続されると共に
Ｒボートは大気に連通している。
排通路４１Ａ、４１Ｂが開口接続され、その入口ボート
には給排管４２Ａ、４２Ｂが接続され、これらの管路上
に給排切換弁４３が組込まれている。この給排切換弁４
３のＰボートにはコンプレッサ４４が接続されると共に
Ｒボートは大気に連通している。
このように構成された従来のダイアフラムポンプにおい
ては、給排切換弁４３を切換えることにより、作動空気
室３４Ａまたは３４Ｂに対して交互に圧縮空気を供給し
てダイアフラム３２Ａおよび３２Ｂを左右に交互に動か
して、吸込圧縮室３３Ａまたは３３Ｂ内に材料液を吸込
んだのちこれを圧縮し、吐出ライン４１Ａ、４１Ｂを通
じて吐出している。すなわち、第２図は、作動空気室３
１Ａ内に圧縮空気が導入されてダイアフラム３２Ａが左
方へ動かされ、吸込圧縮室３３Ａ内の゛材料液を加圧し
て吐出させると同時に連結棒３５によってダイアフラム
３２Ｂが左方へ引張られ、吸込圧縮室３３Ｂを負にして
材料液を吸引している状態を示している。
ては、給排切換弁４３を切換えることにより、作動空気
室３４Ａまたは３４Ｂに対して交互に圧縮空気を供給し
てダイアフラム３２Ａおよび３２Ｂを左右に交互に動か
して、吸込圧縮室３３Ａまたは３３Ｂ内に材料液を吸込
んだのちこれを圧縮し、吐出ライン４１Ａ、４１Ｂを通
じて吐出している。すなわち、第２図は、作動空気室３
１Ａ内に圧縮空気が導入されてダイアフラム３２Ａが左
方へ動かされ、吸込圧縮室３３Ａ内の゛材料液を加圧し
て吐出させると同時に連結棒３５によってダイアフラム
３２Ｂが左方へ引張られ、吸込圧縮室３３Ｂを負にして
材料液を吸引している状態を示している。
しかしながら、この種のダイアフラムポンプにおいては
、第２図に示したように、吸込行程側のダイアフラム３
２Ｂの作動空気室３４Ｂ内に空気が残り、図中格子模様
を付して示した部分がデッドスペースとして残り、その
分だけ吸込圧縮室３３Ｂの容積を大きくとれずポンプ効
率の低下を余儀なくしている点が問題となっていた。ま
た、連結棒によって２つのダイアフラムを結合している
ために引張力がダイアフラムの中央部に作用することに
なり、ダイアフラムの強度に影胃を与え、そのために、
高温の液体を加圧する場合に強度上の問題があった。
、第２図に示したように、吸込行程側のダイアフラム３
２Ｂの作動空気室３４Ｂ内に空気が残り、図中格子模様
を付して示した部分がデッドスペースとして残り、その
分だけ吸込圧縮室３３Ｂの容積を大きくとれずポンプ効
率の低下を余儀なくしている点が問題となっていた。ま
た、連結棒によって２つのダイアフラムを結合している
ために引張力がダイアフラムの中央部に作用することに
なり、ダイアフラムの強度に影胃を与え、そのために、
高温の液体を加圧する場合に強度上の問題があった。
そこで、本発明の目的は、吸込側のダイアフラムのデッ
ドスペースを極小にして圧縮室の容積を大きく確保し１
サイクル当りのポンプ効率を大幅に改善できるようにし
たダイアフラムポンプを提供することにある。
ドスペースを極小にして圧縮室の容積を大きく確保し１
サイクル当りのポンプ効率を大幅に改善できるようにし
たダイアフラムポンプを提供することにある。
上記目的を達成するために本発明によるダイアフラムポ
ンプは、ハウジングと、このハウジング内に独立して形
成された第１および第２ポンプ室と、各ポンプ室内を２
分するように張設されて吸込圧縮室と作動気体室とに分
画し室容積を可変の第１および第２ダイアグラムと、各
吸込圧縮室に開口接続され通路上に吸込弁を備えた吸込
通路と、各吸込圧縮室内に開口接続され通路上に吐出弁
を備えた吐出通路と、上記作動気体室に開口接続された
給排通路と、この給排通路の入口側に接続された給排管
と、給排管の一方に接続される圧縮空気源と、給排管の
他方に接続される真空源と、上記給排管上に組込まれ上
記作動気体室の一方を真空源に作動気体室の他方を真空
源に交互に連通させる切換弁とを備えてなることを特徴
とするものである。
ンプは、ハウジングと、このハウジング内に独立して形
成された第１および第２ポンプ室と、各ポンプ室内を２
分するように張設されて吸込圧縮室と作動気体室とに分
画し室容積を可変の第１および第２ダイアグラムと、各
吸込圧縮室に開口接続され通路上に吸込弁を備えた吸込
通路と、各吸込圧縮室内に開口接続され通路上に吐出弁
を備えた吐出通路と、上記作動気体室に開口接続された
給排通路と、この給排通路の入口側に接続された給排管
と、給排管の一方に接続される圧縮空気源と、給排管の
他方に接続される真空源と、上記給排管上に組込まれ上
記作動気体室の一方を真空源に作動気体室の他方を真空
源に交互に連通させる切換弁とを備えてなることを特徴
とするものである。
（発明の実施例）
以下本発明によるダイアフラムポンプの一実施例を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第１図において、符号１はポンプのハウジングを示し、
このハウジング１内には独立した２つの第１および第２
ポンプ室２および３が形成されている。これらのポンプ
室２．３はほぼ同じ曲率半径を有する内側球面を向い合
せることによって構成されている。ハウジング１は実際
には３つの構成部材ＩＡ、ＩＢ、ＩＣとをタンデム結合
することによって構成すると好都合である。第１ボンブ
室２内には第１ダイアフラム４がポンプ室内を２分する
ように張設され、それによってポンプ室内を第１圧縮室
５と第１作初見体室６とに画成している。同様にして、
第２ポンプ室３内には第２ダイアフラム７がポンプ室を
２分するように張設され、第２圧縮室８と第２作初見体
室９とに画成している。
このハウジング１内には独立した２つの第１および第２
ポンプ室２および３が形成されている。これらのポンプ
室２．３はほぼ同じ曲率半径を有する内側球面を向い合
せることによって構成されている。ハウジング１は実際
には３つの構成部材ＩＡ、ＩＢ、ＩＣとをタンデム結合
することによって構成すると好都合である。第１ボンブ
室２内には第１ダイアフラム４がポンプ室内を２分する
ように張設され、それによってポンプ室内を第１圧縮室
５と第１作初見体室６とに画成している。同様にして、
第２ポンプ室３内には第２ダイアフラム７がポンプ室を
２分するように張設され、第２圧縮室８と第２作初見体
室９とに画成している。
第１および第２圧縮室５．８のほぼ中央には、吸込通路
１０Ａおよび１０Ｂが開口接続され、これらは途中で結
合され、その入口側は供給すべき材料液の貯留タンク（
図示せず）の側に接続されている。また、吸込通路１０
Ａ、１０ｂの管路上には吸込弁１１Ａ、１１Ｂが組込ま
れ、これらの吸込弁１１Ａ、１１Ｂとしては逆止め弁が
使用される。
１０Ａおよび１０Ｂが開口接続され、これらは途中で結
合され、その入口側は供給すべき材料液の貯留タンク（
図示せず）の側に接続されている。また、吸込通路１０
Ａ、１０ｂの管路上には吸込弁１１Ａ、１１Ｂが組込ま
れ、これらの吸込弁１１Ａ、１１Ｂとしては逆止め弁が
使用される。
一方、第１および第２圧縮室５，８には吐出通路１２Ａ
、１２Ｂが開口接続され、圧縮された材料液は配管ライ
ン１３を通じて供給先へ供給される。これらの吐出通路
１２Ａ、１２Ｂ上には吐出弁１４Ａ、１４Ｂが組込まれ
、これらの吐出弁１４Ａ、１４Ｂとしては逆止め弁が使
用される。
、１２Ｂが開口接続され、圧縮された材料液は配管ライ
ン１３を通じて供給先へ供給される。これらの吐出通路
１２Ａ、１２Ｂ上には吐出弁１４Ａ、１４Ｂが組込まれ
、これらの吐出弁１４Ａ、１４Ｂとしては逆止め弁が使
用される。
他方、第１および第２の作動気体室６．９には給排通路
１５Ａおよび１５８′ＩｆｉＩｊｔ１口接続され、これ
らの給排通路１５Ａ、１５Ｂの入口ボートには給排管１
６Ａ、１６Ｂが接続され、これらの給管１６Ａ、１６Ｂ
は切換弁１７のＡボートおよびＢボートに接続されてい
る。この切換弁１７はソレノイド操作型の４ボ一ト３位
置切換弁である。また、切換弁１７のＰボートは圧縮空
気源１８として例えばコンプレッサに接続されでいる。
１５Ａおよび１５８′ＩｆｉＩｊｔ１口接続され、これ
らの給排通路１５Ａ、１５Ｂの入口ボートには給排管１
６Ａ、１６Ｂが接続され、これらの給管１６Ａ、１６Ｂ
は切換弁１７のＡボートおよびＢボートに接続されてい
る。この切換弁１７はソレノイド操作型の４ボ一ト３位
置切換弁である。また、切換弁１７のＰボートは圧縮空
気源１８として例えばコンプレッサに接続されでいる。
圧縮空気源１８としてはこのように空気圧縮機でも良い
が、あらかじめ圧縮空気を貯留した空気タンクを使用す
ることもできる。また、切換弁１７のＲボートは真空タ
ンク１９に接続され、真空タンク１９内は真空ポンプ２
０によって負圧に維持されている。
が、あらかじめ圧縮空気を貯留した空気タンクを使用す
ることもできる。また、切換弁１７のＲボートは真空タ
ンク１９に接続され、真空タンク１９内は真空ポンプ２
０によって負圧に維持されている。
本発明のダイアフラムポンプは主に薬液などの汚染を嫌
う液送りに使われるもので、ダイアフラム、ハウジング
などの薬液の接液部はすべてふっ素樹脂など薬液を汚染
しないようにプラスチックその他の材料が使用される。
う液送りに使われるもので、ダイアフラム、ハウジング
などの薬液の接液部はすべてふっ素樹脂など薬液を汚染
しないようにプラスチックその他の材料が使用される。
次にこのように構成されたダイアフラムポンプの作動に
ついて説明する。
ついて説明する。
第１図に示された状態において、切換弁１７は５ＱＬ２
が付勢された状態にあり、圧縮空気源１８の圧縮空気は
給排管１６Ｂを通じて第２作動空気室９内へ送給され、
ダイアフラム７を図の左方へ押圧する。−力筒１ポンプ
室２の側の第１作初見体室６内は給排管１５Ａを通じて
真空タンク１９の側に連通され、第１ダイアフラム４は
第１ポンプ室２の内壁に押圧されて密着し、このときデ
ッドスペースは極小である。この間に圧縮室８内で圧縮
された空気は吐出通路１２Ｂより逆止め弁１４Ｂを聞い
て配管ライン１３に吐出される。
が付勢された状態にあり、圧縮空気源１８の圧縮空気は
給排管１６Ｂを通じて第２作動空気室９内へ送給され、
ダイアフラム７を図の左方へ押圧する。−力筒１ポンプ
室２の側の第１作初見体室６内は給排管１５Ａを通じて
真空タンク１９の側に連通され、第１ダイアフラム４は
第１ポンプ室２の内壁に押圧されて密着し、このときデ
ッドスペースは極小である。この間に圧縮室８内で圧縮
された空気は吐出通路１２Ｂより逆止め弁１４Ｂを聞い
て配管ライン１３に吐出される。
一方、第１ポンプ室２内の吸込圧縮室５内は負圧となる
から、この吸込圧縮室５内には吸込通路１０Ａを通じて
材料液が吸入される。このような動作を交互にくり返す
ことにより、第１ポンプ室２と第２ポンプ室３とで交互
に材料液を吸引して圧縮し配管ライン１３に高圧の材料
液を送出することができる。
から、この吸込圧縮室５内には吸込通路１０Ａを通じて
材料液が吸入される。このような動作を交互にくり返す
ことにより、第１ポンプ室２と第２ポンプ室３とで交互
に材料液を吸引して圧縮し配管ライン１３に高圧の材料
液を送出することができる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、ポンプ
室内に張設されたダイアフラムの作動気体室側に真空圧
を作用させてダイアフラムをポンプ室の内壁に密着させ
るようにしたから、従来のダイアフラムポンプのように
デッドスペースが生じなくなり吸込行程時の圧縮室の容
積を大きく確保することが可能となりポンプ効率を改善
することができる。また、従来のように一対のダイアフ
ラムの中央部を連結棒で接続することがないから、ダイ
アフラムの中央部の強度を低下させることもなく高温の
材料液に対しても十分適応できる。
室内に張設されたダイアフラムの作動気体室側に真空圧
を作用させてダイアフラムをポンプ室の内壁に密着させ
るようにしたから、従来のダイアフラムポンプのように
デッドスペースが生じなくなり吸込行程時の圧縮室の容
積を大きく確保することが可能となりポンプ効率を改善
することができる。また、従来のように一対のダイアフ
ラムの中央部を連結棒で接続することがないから、ダイ
アフラムの中央部の強度を低下させることもなく高温の
材料液に対しても十分適応できる。
第１図は本発明によるダイアフラムポンプの一実施例を
示した縦断面図、第２図は従来のダイアフラムポンプを
示した縦断面図である。 １・・・ポンプのハウジング、２・・・第１ポンプ室、
３・・・第２ポンプ室、４・・・第１ダイアフラム、５
・・・第１圧縮室、６・・・第１作初見体室、７・・・
第２ダイアフラム、８・・・第２圧縮室、９・・・第２
作初見体室、ＩＯＡ、１０Ｂ・・・吸込通路、１１Ａ、
１１Ｂ・・・吸込弁、１２Ａ、１２Ｂ・・・吐出通路、
１４Ａ。 １４Ｂ・・・吐出弁。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第２図
示した縦断面図、第２図は従来のダイアフラムポンプを
示した縦断面図である。 １・・・ポンプのハウジング、２・・・第１ポンプ室、
３・・・第２ポンプ室、４・・・第１ダイアフラム、５
・・・第１圧縮室、６・・・第１作初見体室、７・・・
第２ダイアフラム、８・・・第２圧縮室、９・・・第２
作初見体室、ＩＯＡ、１０Ｂ・・・吸込通路、１１Ａ、
１１Ｂ・・・吸込弁、１２Ａ、１２Ｂ・・・吐出通路、
１４Ａ。 １４Ｂ・・・吐出弁。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第２図
Claims (1)
- ハウジングと、このハウジング内に独立して形成された
第１および第２ポンプ室と、各ポンプ室内を２分するよ
うに張設されて吸込圧縮室と作動気体室とに分画し室容
積を可変の第１および第２ダイアグラムと、各吸込圧縮
室に開口接続され通路上に吸込弁を備えた吸込通路と、
各吸込圧縮室内に開口接続され、通路上に吐出弁を備え
た吐出通路と、上記作動気体室に開口接続された給排通
路と、この給排通路の入口側に接続された給排管と、給
排管の一方に接続される圧縮空気源と、給排管の他方に
接続される真空源と、上記給排管上に組込まれ上記作動
気体室の一方を真空源に作動気体室の他方を真空源に交
互に連通させる切換弁とを備えてなるダイアフラムポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27282985A JPS62131988A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ダイアフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27282985A JPS62131988A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ダイアフラムポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62131988A true JPS62131988A (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=17519345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27282985A Pending JPS62131988A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ダイアフラムポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62131988A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0550810A2 (de) * | 1991-11-08 | 1993-07-14 | ALMATEC Technische Innovationen GmbH | Doppelmembranpumpe |
| WO1994000689A1 (en) * | 1992-06-26 | 1994-01-06 | Svante Bahrton | Pump arrangement |
| JPH08210256A (ja) * | 1994-10-07 | 1996-08-20 | Bayer Corp | 弁一体形ダイヤフラム・ポンプと精密な量の流体をポンプ式に動かす方法 |
| JP2006046284A (ja) * | 2004-08-09 | 2006-02-16 | Ckd Corp | 薬液供給システム及び薬液供給用ポンプ |
| GB2470348A (en) * | 2009-04-29 | 2010-11-24 | Flotronic Pumps Ltd | Double diaphragm pump with unidirectional valve arrangement |
| JP2012036737A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-23 | Tacmina Corp | ダイヤフラムポンプ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125782A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-05 | Nippon Zeon Co Ltd | 血液ポンプ用駆動装置 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP27282985A patent/JPS62131988A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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