JP2015216233A - エッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レジスト膜除去のための設備コストが増大せず環境負荷が低減可能なより簡易的なエッチングを可能とするエッチング方法を提供すること。
【解決手段】エッチング方法は、レジスト膜Rよりも剥離性が高く且つ分割予定ラインLなどと接しないように形成された機能膜Fと、機能膜Fの外側を覆い上層に積層されたレジスト膜Rとの2層で形成された保護膜PをデバイスD表面のみに被覆する保護膜形成ステップと、被加工物Wの分割予定ラインLなどをエッチングするエッチングステップと、保護膜Pを剥離する保護膜剥離ステップとから構成される。保護膜形成ステップでは、デバイスDの中央部に液状の機能膜剤及びレジスト膜剤RMを微細粒子として噴射して機能膜F及びレジスト膜Rを形成する。保護膜剥離ステップでは、剥離テープを保護膜P表面に貼着し、剥離テープと共に保護膜Pを被加工物W表面WSから物理的に剥離する。
【選択図】図3
【解決手段】エッチング方法は、レジスト膜Rよりも剥離性が高く且つ分割予定ラインLなどと接しないように形成された機能膜Fと、機能膜Fの外側を覆い上層に積層されたレジスト膜Rとの2層で形成された保護膜PをデバイスD表面のみに被覆する保護膜形成ステップと、被加工物Wの分割予定ラインLなどをエッチングするエッチングステップと、保護膜Pを剥離する保護膜剥離ステップとから構成される。保護膜形成ステップでは、デバイスDの中央部に液状の機能膜剤及びレジスト膜剤RMを微細粒子として噴射して機能膜F及びレジスト膜Rを形成する。保護膜剥離ステップでは、剥離テープを保護膜P表面に貼着し、剥離テープと共に保護膜Pを被加工物W表面WSから物理的に剥離する。
【選択図】図3
Description
本発明は、エッチング方法に関する。
ウエーハ上においてエッチングを施したくない非エッチング領域には、エッチングに際して事前に例えばレジスト膜である保護膜が形成される。その後、薬液を用いてレジスト膜が形成されていない部分をウェットエッチングやドライエッチングによりエッチングし、エッチング後に、不要になったレジスト膜を除去することによりパターン形成を行っている。かかるレジスト膜の除去には、有機アミンからなる有機溶媒にてウェット処理で行われている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、レジスト膜の除去のためのウェット処理において廃棄設備や処理設備など設備投資が増大し、また、有機溶媒は環境負荷が非常に高いという問題がある。
本発明の目的は、レジスト膜除去のための設備コストが増大せず環境負荷が低減可能なより簡易的なエッチングを可能とするエッチング方法を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエッチング方法は、エッチング領域と非エッチング領域とを備えた被加工物のエッチング方法であって、レジスト膜よりも被加工物の表面に対して剥離性が高く且つ該エッチング領域と接しないように形成された機能膜と、該機能膜の外側を覆い上層に積層されたレジスト膜との2層で形成された保護膜を非エッチング領域のみに被覆する保護膜形成ステップと、被加工物の該エッチング領域をエッチングするエッチングステップと、該エッチングステップを実施した後に、該保護膜を剥離する保護膜剥離ステップと、から構成され、該保護膜形成ステップでは、該非エッチング領域の少なくとも一部に液状の機能膜剤及びレジスト膜剤を微細粒子として噴射して該機能膜及び該レジスト膜を形成し、該保護膜剥離ステップにおいては、強粘着の剥離テープを該保護膜表面に貼着し、該剥離テープと共に該保護膜を被加工物表面から物理的に剥離することを特徴とする。
上記エッチング方法では、該機能膜は、外的刺激により粘着力が低減する樹脂で形成され、該保護膜剥離ステップにおいて、該機能膜に外的刺激を付与することで粘着力を低下させた後に、該機能膜及び該レジスト膜を被加工物表面から剥離するものとすることができる。
本発明では、被加工物の表面にレジスト膜よりも剥離性が高い機能膜及びその外側を覆ったレジスト膜との2層で構成された保護膜を非エッチング領域のみに形成して、エッチングを行うので、エッチング後に剥離テープを用いるなどして、保護膜を物理的に剥離することが可能となる。したがって、レジスト膜除去のための設備コストが増大せず環境負荷が低減可能なより簡易的なエッチングを可能とすることができる。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
実施形態に係るエッチング方法を、図1から図6に基づいて説明する。図1(a)は、実施形態に係るエッチング方法の加工対象の被加工物を示す斜視図、図1(b)は、実施形態に係るエッチング方法の加工対象の被加工物の要部の断面図、図2は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜形成ステップの機能膜を形成する状態を示す断面図、図3は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのレジスト膜を形成する状態を示す断面図、図4は、実施形態に係るエッチング方法のエッチングステップで用いられるプラズマエッチング装置の一例の断面図、図5は、実施形態に係るエッチング方法のエッチングステップ後の被加工物の断面図、図6は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップの概要を示す断面図である。
実施形態に係るエッチング方法を、図1から図6に基づいて説明する。図1(a)は、実施形態に係るエッチング方法の加工対象の被加工物を示す斜視図、図1(b)は、実施形態に係るエッチング方法の加工対象の被加工物の要部の断面図、図2は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜形成ステップの機能膜を形成する状態を示す断面図、図3は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのレジスト膜を形成する状態を示す断面図、図4は、実施形態に係るエッチング方法のエッチングステップで用いられるプラズマエッチング装置の一例の断面図、図5は、実施形態に係るエッチング方法のエッチングステップ後の被加工物の断面図、図6は、実施形態に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップの概要を示す断面図である。
実施形態に係るエッチング方法は、図1に示す被加工物Wのエッチング方法であって、被加工物Wを個々のデバイスDへと分割する方法である。なお、本実施形態に係るエッチング方法により個々のデバイスDに分割される加工対象としての被加工物Wは、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物Wは、図1(a)、図1(b)に示すように、表面WSに複数の分割予定ラインL(エッチング領域に相当)によって区画された複数のデバイスD(非エッチング領域に相当)が形成されている。また、被加工物Wの表面WSの外周部には、複数のデバイスDを囲繞する外周余剰領域S(エッチング領域に相当)が設けられている。即ち、被加工物Wは、エッチング領域としての分割予定ラインL及び外周余剰領域Sと、非エッチング領域としてのデバイスDとを表面WSに備えている。
実施形態に係るエッチング方法は、保護膜形成ステップと、エッチングステップと、保護膜剥離ステップとから構成されている。
保護膜形成ステップは、機能膜F(図2等に示す)と、レジスト膜R(図3等に示す)との2層で形成された保護膜PをデバイスDのみに被覆するステップである。機能膜Fは、レジスト膜Rよりも被加工物Wに表面WSに対して剥離性が高く且つエッチングステップにおけるエッチングガスなどに対する耐食性を有しない材料で構成されている。即ち、機能膜Fは、エッチングステップでは、エッチングされてしまう材料で構成されている。また、機能膜Fは、保護膜剥離ステップにおいて用いられる剥離テープT(図6に示す)よりも被加工物Wの表面WSに対して剥離性の高い(即ち、剥がれやすい)材料で構成されている。機能膜Fは、紫外線などの光が照射されることで粘着力が低減する樹脂や、加熱されることで発泡して粘着力が低減する樹脂などの外的刺激により粘着力が低減する樹脂で形成されてもよい。
機能膜Fは、分割予定ラインL及び外周余剰領域Sに接しないように被加工物Wの表面WS上に形成されている。本実施形態では、機能膜Fは、デバイスD表面の中央部上に形成される。
レジスト膜Rは、エッチングステップにおけるエッチングガスなどに対する耐食性を有する材料で構成されている。レジスト膜Rは、機能膜Fの外側を覆い、機能膜Fの上層に積層されている。レジスト膜Rは、デバイスDの外縁部上と機能膜F上に形成される。
保護膜形成ステップでは、図2に示すように、機能膜Fを構成する液状の機能膜剤FMを噴射するノズル10と被加工物Wとを相対的に移動させながら、デバイスD表面の少なくとも一部としての中央部上に液状の機能膜剤FMをノズル10から微細粒子として噴射して、各デバイスD表面の中央部に機能膜Fを形成する。その後、保護膜形成ステップでは、図3に示すように、レジスト膜Rを構成する液状のレジスト膜剤RMを噴射するノズル20と被加工物Wとを相対的に移動させながら、デバイスD表面上の機能膜Fなどに液状のレジスト膜剤RMをノズル20から微細粒子として噴射して、各デバイスD表面上に機能膜Fの外側を覆い上昇に積層されたレジスト膜Rを形成する。こうして、機能膜Fと機能膜Fの外側を覆い上層に積層されたレジスト膜Rとの2層で保護膜Pを形成して、エッチングステップに進む。
エッチングステップは、被加工物Wの分割予定ラインL及び外周余剰領域Sをエッチングするステップである。エッチングステップでは、例えば、図4に示すプラズマエッチング装置30のハウジング31の開口32を通して、被加工物Wをハウジング31内に収容する。そして、被加工物Wの裏面WRを高周波電源33に接続された下部電極34の吸着保持部材35に吸引、保持して、開口32をゲート36により閉じる。次に、ガス排出手段37を作動してハウジング31内の雰囲気を排気口38を通して真空排気し、ガス供給手段39から上部電極40の噴出口41を通してハウジング31内にエッチングガスを被加工物Wの表面WSに向けて噴射する。なお、この際、ハウジング31内を所定の圧力に維持する。そして、エッチングガスを噴射した状態で、高周波電源33から下部電極34と上部電極40とに高周波電力を印加する。これにより、下部電極34と上部電極40との間にプラズマ放電が発生し、被加工物Wの分割予定ラインL及び外周余剰領域Sをエッチングする。
なお、エッチングステップで用いられるエッチングガスは、被加工物Wの材質に応じて適宜選択される。例えば、被加工物Wの材質がシリコンである場合には、エッチングガスとして、SF6、NF3、XeF2などを用いる。
本実施形態では、被加工物Wがシリコンで構成され、エッチングステップでは、ハウジング31内の圧力を10Pa(ゲージ圧)に維持する。エッチングステップでは、エッチングガスとしてSF6を1分間につき1500ccの流量で供給し、上部電極40に3000Wの高周波電力を印加し、下部電極34に300Wの高周波電力を印加する条件Aと、エッチングガスとしてC4F8を1分間につき1000ccの流量で供給し、上部電極40に3000Wの高周波電力を印加し、下部電極34に0Wの高周波電力を印加する条件Bとを交互に繰り返す。エッチングプロセスでは、条件Aの下でのエッチングを0.6秒間、条件Bの下でのエッチングを0.4秒間、交互に繰り返して、被加工物Wをエッチングする、所謂ボッシュプロセスによりエッチングを行う。
また、所謂ボッシュプロセスを行うエッチングプロセスでは、条件Aのときに分割予定ラインL及び外周余剰領域Sが高速でエッチングされ、条件Bのときに図示しない保護膜が形成されるため、高いアスペクト比で被加工物Wを高速にエッチングすることができる。エッチングプロセスでは、4分間続けると、シリコンで構成される被加工物Wを100μmエッチングすることができる。こうして、本実施形態では、所謂ボッシュプロセスにより図5に示すように、分割予定ラインL及び外周余剰領域Sにエッチング溝Oを形成する。
ボッシュプロセスを行うエッチングプロセスでは、条件Bのときに、エッチング溝Oの内側面及びデバイスDの側面などに図示しない保護膜を形成するので、デバイスDの側面などが露出してもエッチングされることを抑制できる。エッチングステップ後には、保護膜剥離ステップに進む。
保護膜剥離ステップは、エッチングステップを実施した後に、保護膜Pを剥離するステップである。保護膜剥離ステップにおいては、強粘着の剥離テープTを保護膜P表面に貼着する。なお、剥離テープTとは、粘着性を有し保護膜P表面に貼着する粘着層と、粘着層が表面上に設けられた基材層とから構成されている。強粘着の剥離テープTとは、保護膜Pの被加工物Wの表面WSに対する貼着力よりも強い貼着力を有する粘着層を有するものをいう。
保護膜剥離ステップにおいて、剥離テープTを貼着した後に、剥離テープTを被加工物Wの表面WSから引き剥がして、図6に示すように、剥離テープTと共に保護膜Pを被加工物W表面WSから物理的に剥離する。なお、この際、剥離テープTの端部と被加工物Wとを表面WSと平行な方向に平行移動させるなどして、剥離テープTと共に保護膜Pを物理的に剥離してもよい。また、本実施形態では、保護膜剥離ステップを実施した後に、被加工物Wを割断、裏面WRを研削するなどして個々のデバイスDに個片化する。
実施形態に係るエッチング方法によれば、デバイスDの表面上にレジスト膜Rよりも被加工物Wの表面WSに対する剥離性の高い機能膜Fを形成して、レジスト膜Rを除去する際に剥離テープTを保護膜Pに貼着して、剥離テープTを保護膜Pと共に被加工物W表面WSから物理的に剥離させている。このために、エッチングステップ後にレジスト膜Rを除去する際に、酸性又はアルカリ性などを有する環境負荷の高い有機溶媒を用いる必要がない。したがって、レジスト膜Rを除去するための廃液などの処理設備を設置する必要が生じないので、レジスト膜R除去のための設備コストが増大せず環境負荷が低減可能なより簡易的なエッチングを可能とすることができる。
また、実施形態に係るエッチング方法によれば、レジスト膜Rで機能膜Fの外側を覆う。さらに、エッチングステップでは、所謂ボッシュプロセスによりエッチングを行うので、デバイスDをエッチングすることなく、分割予定ラインL及び外周余剰領域Sのみを確実にエッチングすることができる。
〔変形例1〕
実施形態の変形例1に係るエッチング方法を、図7〜図9に基づいて説明する。図7(a)は、実施形態の変形例1に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのデバイス表面の外縁部にレジスト膜を形成した状態を示す断面図、図7(b)は、実施形態の変形例1に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのデバイス表面の外縁部にレジスト膜を形成した状態を示す平面図、図8は、図7(a)で形成されたレジスト膜内に機能膜を形成する状態を示す断面図、図9(a)は、図8で形成された機能膜上にレジスト膜を形成した状態を示す断面図、図9(b)は、図9(a)に示されたレジスト膜などの平面図である。なお、図7〜図9において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
実施形態の変形例1に係るエッチング方法を、図7〜図9に基づいて説明する。図7(a)は、実施形態の変形例1に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのデバイス表面の外縁部にレジスト膜を形成した状態を示す断面図、図7(b)は、実施形態の変形例1に係るエッチング方法の保護膜形成ステップのデバイス表面の外縁部にレジスト膜を形成した状態を示す平面図、図8は、図7(a)で形成されたレジスト膜内に機能膜を形成する状態を示す断面図、図9(a)は、図8で形成された機能膜上にレジスト膜を形成した状態を示す断面図、図9(b)は、図9(a)に示されたレジスト膜などの平面図である。なお、図7〜図9において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
実施形態の変形例1に係るエッチング方法の保護膜形成ステップでは、まず、ノズル20と被加工物Wとを相対的に移動させながら、デバイスD表面上の外縁部に液状のレジスト膜剤RMをノズル20から微細粒子として噴射して、図7(a)及び図7(b)に示すように、各デバイスD表面の外縁部上に全周に亘ってレジスト膜R−1を形成する。そして、ノズル10と被加工物Wとを相対的に移動させながら、図8に示すように、デバイスD表面上の外縁部に形成されたレジスト膜R−1の内側に液状の機能膜剤FMをノズル10から微細粒子として噴射して、機能膜Fを形成する。その後、再度、ノズル20と被加工物Wとを相対的に移動させながら、デバイスD表面上に形成されたレジスト膜R及び機能膜F上に液状のレジスト膜剤RMをノズル20から微細粒子として噴射して、レジスト膜R−2を形成して、保護膜Pを形成する。こうして、図9(a)及び図9(b)に示すように、機能膜Fと機能膜Fの外側を覆い上層に積層されたレジスト膜R−1,R−2との2層で形成された保護膜Pを各デバイスD表面のみに被覆する。
実施形態の変形例1に係るエッチング方法によれば、前述した実施形態と同様に、レジスト膜R−1,R−2を除去するための廃液などの処理設備を設置する必要が生じないので、レジスト膜R−1,R−2除去のための設備コストが増大せず環境負荷が低減可能なより簡易的なエッチングを可能とすることができる。
〔変形例2〕
実施形態の変形例2に係るエッチング方法を、図10に基づいて説明する。図10(a)は、実施形態の変形例2に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップにおいて、被加工物に紫外線を照射する状態を示す断面図、図10(b)は、実施形態の変形例2に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップにおいて、被加工物を加熱する状態を示す断面図である。なお、図10において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
実施形態の変形例2に係るエッチング方法を、図10に基づいて説明する。図10(a)は、実施形態の変形例2に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップにおいて、被加工物に紫外線を照射する状態を示す断面図、図10(b)は、実施形態の変形例2に係るエッチング方法の保護膜剥離ステップにおいて、被加工物を加熱する状態を示す断面図である。なお、図10において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
図10(a)に示す場合では、保護膜形成ステップにおいて、機能膜Fが外的刺激としての紫外線Uなどの光が照射されることにより粘着力が低減する樹脂で形成されている。そして、保護膜剥離ステップにおいて、図10(a)に示すように、機能膜Fに紫外線照射ランプ50から紫外線Uを照射して外的刺激を付与することで、機能膜Fの粘着力を低下させる。その後に、剥離テープTを用いて、機能膜F及びレジスト膜Rを被加工物W表面WSから物理的に剥離する。
また、図10(b)に示す場合では、保護膜形成ステップにおいて、機能膜Fが外的刺激としての加熱されることで発泡されることにより粘着力が低減する樹脂で形成されている。即ち、機能膜Fは、発泡材を含んだ樹脂で形成されている。そして、保護膜剥離ステップにおいて、図10(b)に示すように、例えば、被加工物Wを加熱チャンバー60内で加熱して外的刺激を付与することで、機能膜Fの粘着力を低下させる。その後に、剥離テープTを用いて、機能膜F及びレジスト膜Rを被加工物W表面WSから物理的に剥離する。
実施形態の変形例2に係るエッチング方法によれば、前述した実施形態の効果にくわえ、保護膜剥離ステップにおいて、外的刺激により機能膜Fの粘着力を低下させるので、レジスト膜R除去のための設備コストが増大せず環境負荷を確実に低減可能なより簡易的なエッチングを可能とすることができる。
また、本発明では、エッチングステップにおいて、分割予定ラインL及び外周余剰領域Sの全てをエッチングして、即ち、所謂フルカットしてもよい。また、本発明では、保護膜形成ステップでは、スクリーン印刷などにより、機能膜F及びレジスト膜Rを形成してもよい。
なお、本発明は上記実施形態、変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
D デバイス(非エッチング領域)
L 分割予定ライン(エッチング領域)
S 外周余剰領域(エッチング領域)
F 機能膜
R,R−1,R−2 レジスト膜
P 保護膜
FM 機能膜剤
RM レジスト膜剤
T 剥離テープ
W 被加工物
WS 表面
L 分割予定ライン(エッチング領域)
S 外周余剰領域(エッチング領域)
F 機能膜
R,R−1,R−2 レジスト膜
P 保護膜
FM 機能膜剤
RM レジスト膜剤
T 剥離テープ
W 被加工物
WS 表面
Claims (2)
- エッチング領域と非エッチング領域とを備えた被加工物のエッチング方法であって、
レジスト膜よりも被加工物の表面に対して剥離性が高く且つ該エッチング領域と接しないように形成された機能膜と、該機能膜の外側を覆い上層に積層されたレジスト膜との2層で形成された保護膜を非エッチング領域のみに被覆する保護膜形成ステップと、
被加工物の該エッチング領域をエッチングするエッチングステップと、
該エッチングステップを実施した後に、該保護膜を剥離する保護膜剥離ステップと、から構成され、
該保護膜形成ステップでは、該非エッチング領域の少なくとも一部に液状の機能膜剤及びレジスト膜剤を微細粒子として噴射して該機能膜及び該レジスト膜を形成し、
該保護膜剥離ステップにおいては、強粘着の剥離テープを該保護膜表面に貼着し、該剥離テープと共に該保護膜を被加工物表面から物理的に剥離すること、を特徴とするエッチング方法。 - 該機能膜は、外的刺激により粘着力が低減する樹脂で形成され、
該保護膜剥離ステップにおいて、該機能膜に外的刺激を付与することで粘着力を低下させた後に、該機能膜及び該レジスト膜を被加工物表面から剥離すること、を特徴とする請求項1記載のエッチング方法。
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