JP2015204333A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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A−1.半導体装置の構成:
図1は、第1実施形態における半導体装置10の構成を模式的に示す断面図である。図1には、相互に直交するXYZ軸が図示されている。
図2は、半導体装置10の製造方法を示す工程図である。半導体装置10を製造する際には、製造者は、工程P110において、エピタキシャル成長によって基板110の上に半導体層120を形成する。
図9は、IV特性の評価結果を示すグラフである。図9の評価試験では、試験者は、半導体装置として試作例を用意し、裏面電極形成時(工程P170)の熱処理前後の各試作例に対して順方向におけるIV特性を測定した。試作例1は、上述の半導体装置10から工程P150においてバリアメタル層170を積層せずに作製した半導体装置であり、それ以外は同じである。試作例2は、半導体装置10である。試作例3は、バリアメタル層170の積層順を変えた以外は半導体装置10と同様である。つまり、試作例1はバリアメタル層170がない半導体装置であり、試作例3は、バリアメタル層170として、モリブデン層172を積層した後、バナジウム層171した半導体装置である。サンプル数はそれぞれ6である。
図10は、各材料の濃度と半導体装置の深さとの関係を示す図である。この結果は、オージェ電子分光法(AES:Auger Electron Spectroscopy)により得られた。縦軸は、各材料の濃度(%)を示し、横軸は、−Z軸方向の深さ(nm)を示す。横軸の0nm側は配線層160側を示し、500nm側は半導体層120側を示す。本試験では、試作例2と試作例3についての実験結果を示す。なお、本実験において、配線層はアルミニウム(Al)を用いた。
図11は、第2実施形態における半導体装置20の構成を模式的に示す断面図である。第1実施形態における半導体装置10と比較して、第2実施形態における半導体装置20は、ショットキー電極192の+Z方向側の面全体を覆うようにバリアメタル層270を積層し、バリアメタル層270の+Z方向側の面全体を覆うように配線層260を積層している点が異なるが、それ以外は同じである。本発明として、このような形態としてもよい。
図12は、第3実施形態における半導体装置30の構成を模式的に示す断面図である。第1実施形態における半導体装置10と比較して、第3実施形態における半導体装置30は、ショットキー電極192のX軸に水平な面にのみバリアメタル層370と配線層360とが積層されている点が異なるが、それ以外は同じである。本発明として、このような形態としてもよい。
図13は、第4実施形態における半導体装置40の構造を模式的に示す断面図である。第1実施形態における半導体装置10と比較して、第4実施形態における半導体装置40は、ショットキー電極492が2層である点が異なるが、それ以外は同じである。
図14は、第5実施形態における半導体装置50の構造を模式的に示す断面図である。第4実施形態における半導体装置40と比較して、第5実施形態における半導体装置50は、配線層560が複数の層から形成される点が異なるが、それ以外は同じである。
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部または全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部または全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
20…半導体装置
30…半導体装置
40…半導体装置
50…半導体装置
110…基板
120…半導体層
121…界面
160…配線層
170…バリアメタル層
171…バナジウム層
172…モリブデン層
180…絶縁層
181…第1の絶縁層
182…第2の絶縁層
185…開口部
192…ショットキー電極
198…裏面電極
260…配線層
270…バリアメタル層
360…配線層
370…バリアメタル層
492…ショットキー電極
493…ニッケル層
494…パラジウム層
560…配線層
561…チタン層
562…窒化チタン層
563…チタン層
564…アルミニウムシリコン層
Claims (8)
- 半導体により形成される半導体層と、
前記半導体層と少なくとも一部においてショットキー接合された第1の電極層と、
前記第1の電極層の上に形成され、金属の拡散を抑制する第2の電極層と、
前記第2の電極層の上に形成され、配線に用いる第3の電極層と、
を含み、
前記第2の電極層は、
主にモリブデンから形成されるモリブデン層と、
主にバナジウムから形成されるバナジウム層と、を含む、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第3の電極層は、主にアルミニウムから形成される層を含む、半導体装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体装置であって、
前記バナジウム層は、前記モリブデン層に対して前記第1の電極層側に位置する、半導体装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記モリブデン層の膜厚は、50nm以上である、半導体装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記バナジウム層の膜厚は、50nm以上である、半導体装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記半導体層は、主に窒化ガリウムから形成される、半導体装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記第1の電極層が、ニッケルから形成される、半導体装置。 - 半導体装置の製造方法であって、
半導体層を形成する工程と、
前記半導体層と少なくとも一部においてにショットキー接合する第1の電極層を形成する工程と、
前記第1の電極層の上に、金属の拡散を抑制する第2の電極層を形成する工程と、
前記第2の電極層の上に、配線に用いる第3の電極層を形成する工程と、
を含み、
前記第2の電極層を形成する工程は、
主にモリブデンからモリブデン層を形成する工程と、
主にバナジウムからバナジウム層を形成する工程と、
を含む、半導体装置の製造方法。
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