JP2010141144A - 高電力マイクロ電子デバイスのための金属化構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体デバイス構造であって、炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分と、該半導体部分に対する相互接続構造であって、それぞれ2つの高導電性層と互い違いに、少なくとも2つの拡散バリア層を含む、相互接続構造とを備え、該拡散バリア層は、該高導電性層とは異なる熱膨張係数を有し、該高導電性層よりも低い熱膨張係数を有し、該それぞれの熱膨張係数の差異は、該高導電性層の膨張を抑えるために十分な大きさであるが、層間の接着強度を超える歪みを隣接層間に生じさせる差異よりも小さい、半導体デバイス構造。
【選択図】図1
Description
一局面では、本発明は、炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分を含む、半導体デバイス構造である。相互接続構造は、半導体部分に対して作製され、該相互接続構造は、それぞれ2つの高導電性層と互い違いに、少なくとも2つの拡散バリア層を含む。拡散バリア層は、高導電性層とは異なる熱膨張係数を有し、該高導電性層よりも低い熱膨張係数を有する。それぞれの熱膨張係数の差異は、高導電性層の膨張を抑えるために十分な大きさであるが、層間の接着強度を超える歪みを隣接層間に生じさせる差異よりも小さい。
(項目1)
半導体デバイス構造であって、
炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分と、
該半導体部分に対する相互接続構造であって、それぞれ2つの高導電性層と互い違いに、少なくとも2つの拡散バリア層を含む、相互接続構造と
を備え、
該拡散バリア層は、該高導電性層とは異なる熱膨張係数を有し、該高導電性層よりも低い熱膨張係数を有し、
該それぞれの熱膨張係数の差異は、該高導電性層の膨張を抑えるために十分な大きさであるが、層間の接着強度を超える歪みを隣接層間に生じさせる差異よりも小さい、半導体デバイス構造。
(項目2)
それぞれ2つ以上の高導電性層と互い違いに2つ以上の拡散バリア層を備える、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目3)
上記拡散バリア層のうちの1つに隣接し、該拡散バリア層と、上記広バンドギャップの半導体部分、オーミック接点、ショットキー接点、および誘電層からなる群から選択される上記デバイスの一部との間にある接着層をさらに備える、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目4)
上記高導電性層は、金およびアルミニウムからなる群から選択され、
上記拡散バリア層は、プラチナ、クロム、ニッケルおよびそれらの合金からなる群から選択される、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目5)
上記接着層は、チタン、クロム、タングステンおよびモリブデンからなる群から選択される、項目3に記載の半導体デバイス構造。
(項目6)
上記高導電性層の熱膨張係数は、上記拡散バリア層の熱膨張係数よりも約1.5〜2倍大きく、
上記相互接続構造は、約0.1〜10ミクロンの厚さを有する、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目7)
上記半導体部分に対するオーミック接点を含み、
該オーミック接点の上に上記金属配線構造を有する、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目8)
上記拡散バリアは、組成が互いに同じであり、上記高導電性層は、組成が互いに同じである、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目9)
上記拡散バリア層は、組成が互いに異なり、上記高導電性層は、組成が互いに異なる、項目1に記載の半導体デバイス構造。
(項目10)
上記広バンドギャップの半導体部分は、第1の導電型を有し、
絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)は、
該第1の半導体部分とは逆の導電型を有する該広バンドギャップの半導体部分内にあるそれぞれのソース部分およびドレイン部分と、
該ソース部分とドレイン部分との間の該広バンドギャップの半導体部分の上にあるゲート絶縁体と、
該ゲート絶縁体の上にあるゲート接点と
をさらに備え、
上記相互接続構造は、該ソース、該ゲート接点、および該ドレインのうちの少なくとも1つの上にある、項目1に記載のIGFET。
(項目11)
上記半導体部分は、炭化ケイ素を含み、
上記拡散バリア層は、プラチナを含み、
上記高導電性層は、金を含む、項目10に記載のIGFET。
(項目12)
上記拡散バリア層の内の少なくとも1つと、上記ソース、上記ゲート接点、および上記ドレインのうちの少なくとも1つとの間にあるチタン接着層と、
オーミック接点のうちの1つの上に上記相互接続を有する該ソースおよび該ドレインの上にある、それぞれのオーミック接点と
をさらに備える、項目10に記載のIGFET。
(項目13)
上記拡散バリア層のうちの少なくとも1つと、上記ソース、上記ゲート接点、および上記ドレインのうちの少なくとも1つとの間に、チタン、タングステン、およびモリブデンからなる群から選択される接着層をさらに備える、項目10に記載のIGFET。
(項目14)
上記広バンドギャップの半導体部分は、窒化ガリウムの層であり、該窒化ガリウムの層の上にある窒化アルミニウムガリウムの層を有し、該窒化ガリウム層と該窒化アルミニウムガリウム層との間にヘテロ接合を形成し、
高電子移動度トランジスタ(HEMT)は、
該窒化ガリウム層に対するそれぞれのソース接点およびドレイン接点と、
該窒化アルミニウムガリウム層に対するゲート接点と
をさらに備え、
上記相互接続構造は、該ソース接点、該ドレイン接点、および該ゲート接点に対して作製される、項目1に記載の高電子移動度トランジスタ。
(項目15)
炭化ケイ素およびサファイヤからなる群から選択される基板と、
該基板上にあるIII族窒化物バッファ層と
をさらに備え、
該基板および該バッファ層は、上記窒化ガリウム層を支持する、項目14に記載の高電子移動度トランジスタ。
(項目16)
上記バッファ層は、窒化アルミニウムガリウムを含み、上記窒化ガリウム層は、少なくとも5000オームセンチメートルの抵抗率を有する、項目15に記載の高電子移動度トランジスタ。
(項目17)
チタン、タングステンおよびモリブデンからなる群から選択され、上記拡散バリア層のうちの少なくとも1つに隣接する接着層をさらに備える、項目14に記載の高電子移動度トランジスタ。
(項目18)
上記接着層は、拡散バリア層と、上記ソース接点、ゲート接点およびドレイン接点との間にある、項目17に記載の高電子移動度トランジスタ。
炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分を含む、半導体デバイス構造を開示する。相互接続構造は、半導体部分に対して作製され、該相互接続構造は、それぞれ2つの高導電性層と互い違いに、少なくとも2つの拡散バリア層を含む。拡散バリア層は、高導電性層とは異なる熱膨張係数を有し、該高導電性層よりも低い熱膨張係数を有する。それぞれの熱膨張係数の差異は、高導電性層の膨張を抑えるために十分な大きさであるが、層間の接着強度を超える歪みを隣接層間に生じさせる差異よりも小さい。
図1は、全体的に参照番号10で示される、本発明による半導体デバイス構造の概略断面図である。特に、括弧で囲んだ部分11は、排他的ではないが、本発明の基本的な構造を示す。最も一般的な状況では、デバイス構造は、炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分12を含む。図1の概略図において、基本的な相互接続構造11は、半導体部分12に対して作製される。他の状況では、相互接続構造11は、オーミック接点、ショットキー接点、または誘電体材料に対して作製することができる。図1はまた、相互接続構造11を、層17で概略的に示された他の構造要素(例えば、誘電体、ポリマー、金属)で覆うか、またはその下に配置することができることを示す図である。
Claims (18)
- 半導体デバイス構造であって、
炭化ケイ素およびIII族窒化物からなる群から選択される広バンドギャップの半導体部分と、
該半導体部分に対する相互接続構造であって、それぞれ2つの高導電性層と互い違いに、少なくとも2つの拡散バリア層を含む、相互接続構造と
を備え、
該拡散バリア層は、該高導電性層とは異なる熱膨張係数を有し、該高導電性層よりも低い熱膨張係数を有し、
該それぞれの熱膨張係数の差異は、該高導電性層の膨張を抑えるために十分な大きさであるが、層間の接着強度を超える歪みを隣接層間に生じさせる差異よりも小さい、半導体デバイス構造。 - それぞれ2つ以上の高導電性層と互い違いに2つ以上の拡散バリア層を備える、請求項1に記載の半導体デバイス構造。
- 前記拡散バリア層のうちの1つに隣接し、該拡散バリア層と、前記広バンドギャップの半導体部分、オーミック接点、ショットキー接点、および誘電層からなる群から選択される前記デバイスの一部との間にある接着層をさらに備える、請求項1に記載の半導体デバイス構造。
- 前記高導電性層は、金およびアルミニウムからなる群から選択され、
前記拡散バリア層は、プラチナ、クロム、ニッケルおよびそれらの合金からなる群から選択される、請求項1に記載の半導体デバイス構造。 - 前記接着層は、チタン、クロム、タングステンおよびモリブデンからなる群から選択される、請求項3に記載の半導体デバイス構造。
- 前記高導電性層の熱膨張係数は、前記拡散バリア層の熱膨張係数よりも約1.5〜2倍大きく、
前記相互接続構造は、約0.1〜10ミクロンの厚さを有する、請求項1に記載の半導体デバイス構造。 - 前記半導体部分に対するオーミック接点を含み、
該オーミック接点の上に前記金属配線構造を有する、請求項1に記載の半導体デバイス構造。 - 前記拡散バリアは、組成が互いに同じであり、前記高導電性層は、組成が互いに同じである、請求項1に記載の半導体デバイス構造。
- 前記拡散バリア層は、組成が互いに異なり、前記高導電性層は、組成が互いに異なる、請求項1に記載の半導体デバイス構造。
- 前記広バンドギャップの半導体部分は、第1の導電型を有し、
絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)は、
該第1の半導体部分とは逆の導電型を有する該広バンドギャップの半導体部分内にあるそれぞれのソース部分およびドレイン部分と、
該ソース部分とドレイン部分との間の該広バンドギャップの半導体部分の上にあるゲート絶縁体と、
該ゲート絶縁体の上にあるゲート接点と
をさらに備え、
前記相互接続構造は、該ソース、該ゲート接点、および該ドレインのうちの少なくとも1つの上にある、請求項1に記載のIGFET。 - 前記半導体部分は、炭化ケイ素を含み、
前記拡散バリア層は、プラチナを含み、
前記高導電性層は、金を含む、請求項10に記載のIGFET。 - 前記拡散バリア層の内の少なくとも1つと、前記ソース、前記ゲート接点、および前記ドレインのうちの少なくとも1つとの間にあるチタン接着層と、
オーミック接点のうちの1つの上に前記相互接続を有する該ソースおよび該ドレインの上にある、それぞれのオーミック接点と
をさらに備える、請求項10に記載のIGFET。 - 前記拡散バリア層のうちの少なくとも1つと、前記ソース、前記ゲート接点、および前記ドレインのうちの少なくとも1つとの間に、チタン、タングステン、およびモリブデンからなる群から選択される接着層をさらに備える、請求項10に記載のIGFET。
- 前記広バンドギャップの半導体部分は、窒化ガリウムの層であり、該窒化ガリウムの層の上にある窒化アルミニウムガリウムの層を有し、該窒化ガリウム層と該窒化アルミニウムガリウム層との間にヘテロ接合を形成し、
高電子移動度トランジスタ(HEMT)は、
該窒化ガリウム層に対するそれぞれのソース接点およびドレイン接点と、
該窒化アルミニウムガリウム層に対するゲート接点と
をさらに備え、
前記相互接続構造は、該ソース接点、該ドレイン接点、および該ゲート接点に対して作製される、請求項1に記載の高電子移動度トランジスタ。 - 炭化ケイ素およびサファイヤからなる群から選択される基板と、
該基板上にあるIII族窒化物バッファ層と
をさらに備え、
該基板および該バッファ層は、前記窒化ガリウム層を支持する、請求項14に記載の高電子移動度トランジスタ。 - 前記バッファ層は、窒化アルミニウムガリウムを含み、前記窒化ガリウム層は、少なくとも5000オームセンチメートルの抵抗率を有する、請求項15に記載の高電子移動度トランジスタ。
- チタン、タングステンおよびモリブデンからなる群から選択され、前記拡散バリア層のうちの少なくとも1つに隣接する接着層をさらに備える、請求項14に記載の高電子移動度トランジスタ。
- 前記接着層は、拡散バリア層と、前記ソース接点、ゲート接点およびドレイン接点との間にある、請求項17に記載の高電子移動度トランジスタ。
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