JP2015201641A - ソーイングワイヤーによってワークピースからウェハをスライスするための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、少なくとも2つのワイヤーガイドロールがワイヤーウェブをクランプする、ソーイングワイヤーを使用してワークピースからウェハをスライスするための方法に関する。各ワイヤーガイドロールはその横方向面に多数の溝を有し、ワイヤーソーイングの間にワイヤーが挿入されない少なくとも1つの溝がワイヤーガイド溝のそばに存在し、ワイヤーガイド溝の摩耗の後または規定された回数のソーイングプロセスの後に、ソーイングワイヤーはそれぞれ、まだ摩耗または使用されていない以前に占有されていなかった溝に巻回される。
Claims (7)
- ソーイングワイヤー2aによってワークピース3からウェハをスライスするための方法であって、前記ソーイングワイヤー2aは平行に配される多数のワイヤーセクションを含むワイヤーウェブ2を形成し、前記ワイヤーウェブは少なくとも2つのガイドロール1によってクランプされ、前記ソーイングワイヤー2aは、前記少なくとも2つのワイヤーガイドロール1によって、2つの横方向面において互いの間に距離Aを有する溝4を通じてガイドされており、ワイヤー2aがワイヤーソーイングの間に挿入されない少なくとも1つの溝4aが、ワイヤーをガイドする溝4のそばに存在する、方法。
- 2つの溝4同士の間の前記距離Aは、前記ワイヤーガイドロール1の全長に亘って一定である、請求項1に記載の方法。
- 2つの溝4同士の間の前記距離Aは、ワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少する、請求項1に記載の方法。
- 前記溝4および4aのそれぞれの幅Bは前記ワイヤーガイドロール1の全長に亘って同一である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記溝4および4aのそれぞれの幅Bはワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少する、請求項1〜3にいずれか1項に記載の方法。
- 前記ワイヤーをガイドする溝4がひとたび摩耗すると、前記ソーイングワイヤー2aは、まだソーイングワイヤー2aをガイドしていない最も近い隣接した溝4aに巻回される、請求項1〜5にいずれか1項に記載の方法。
- 第1の規定された回数のソーイングプロセスのために前記ワイヤーをガイドする溝4がひとたび使用されると、前記ソーイングワイヤー2aは、まだソーイングワイヤー2aをガイドしていない最も近い隣接した溝4aに周期的に巻回され、前記ソーイングワイヤー2aは、第2の規定された回数のソーイングプロセスの後、以前に用いられたワイヤーガイド溝4に巻回される、請求項1〜5にいずれか1項に記載の方法。
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