CN101637947A - 一种切割硅片的工艺方法 - Google Patents

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李仙华
胡董成
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本发明涉及一种切割硅片的工艺方法，尤其是太阳能光伏领域的直拉硅单晶和铸锭晶切片的工艺方法。该方法是把分布主轮上的线槽其宽度设计成变化分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄，采用钢线绕在主轮上分布的线槽内，通过主轮的匀速运转，钢线夹带SIC切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片。本发明具有工艺方法简单，减少材料损耗，节约成本，提高硅片质量和出片率等特点，是光伏领域生产硅片工艺方法的一次技术创新。

Description

一种切割硅片的工艺方法
技术领域
本发明涉及一种切割硅片的工艺方法，尤其是太阳能光伏领域的直拉硅单晶和铸锭晶切片的工艺方法。
背景技术
目前，CZ法单晶锭和铸锭多晶锭在做电池过程中，普遍采用0.1mm或其它直径的钢线绕在主轮上均匀分布的等径槽内，通过主轮匀速运转，使钢线夹带SIC切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片。由于钢线在研磨时存在磨损，导致切割出线时的线径比进线时的线径变细。从而导致一根晶锭上始部切割的硅片薄，尾部切割的硅片厚，片与片之间厚度不均匀，这给下游的生产商带来了分拣、加工的难度，且造成材料浪费。目前行业内厚度差标准为±20μm。
发明内容
本发明的目的在于：通过改变切割机主轮上分布线槽的径度，提供一种即使生产出的硅片厚度均匀，又可提高出片率，减少材料损耗的切割硅片的工艺方法。
本发明是通过下列方案来实现的：把分布主轮上的线槽其宽度设计成变化分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄，采用钢线绕在主轮上分布的线槽内，通过主轮的匀速运转，钢线夹带SIC切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片。
该方案在主轮长度不变的情况下，分布主轮上的线槽其宽度的变化幅度为5-15μm。
其工作原理：在切割过程中，当主轮作匀速运转时，带动线槽内钢线对晶锭进行切割。由于钢线在切割过程中存在磨损，致使切割出线时的线径比进线时的线径变细，然而通过改变分布在主轮上的线槽宽度，即分布在主轮上的线槽其宽度从主轮的始部向尾部逐渐变窄，亦即钢线的分布是由主轮的始部向尾部逐渐变密，这样弥补了钢线的磨损量，使切割出来的硅片厚度变化幅度为±3μm。在主轮长度不变的情况下，，分布的线槽其宽度变化幅度在5-15μm之间，线槽数量有所增加，每增加一个线槽可多出一片硅片，硅片的出片率提高了8％。
本发明具有工艺方法简单，减少材料损耗，节约成本，提高硅片质量和出片率等特点。是光伏领域生产硅片工艺方法的一次技术创新。

Claims (2)

1.一种切割硅片的工艺方法，采用钢线绕在主轮上分布的线槽内，通过主轮的匀速运转，钢线夹带sic切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片，其特征在于：分布在主轮上的线槽其宽度呈变化分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄。
2.根据权利要求1所述的切割硅片的工艺方法，其特征在于：在主轮长度不变的情况下，分布的线槽其宽度变化幅度为5-15μm。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
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C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20100203