CN105252661A - 一种机床双单向切割多晶硅棒的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，涉及硅棒切割技术领域；步骤包括：更换新钢线，装硅棒，设定第一刀参数，设定第一刀运行方向，更换砂浆，设定第二刀运行参数和设定第二刀运行方向等，方法简单，容易操作，节约材料，节省成本，提高了工作效率，使现代工艺得到优化。

Description

一种机床双单向切割多晶硅棒的方法

技术领域

本发明涉及硅棒切割技术领域，特别是涉及一种机床双单向切割多晶硅棒的方法。

背景技术

日本NTC-442DM切片机的切割方式一般分为3种，即双向切割、单向切割和反比例切割，其中反比例切割主要应用于二极管单晶圆棒切割，目前很少使用，常用的是前两种方式，双向切割即钢线运行方式为按照工艺设定的周期往复运行完成切割，新线使用为逐渐递进，此方式普遍应用于单晶切割。单向切割即钢线朝同一方向，在一定的线速下运行完成切割，一搬为每卷钢线切割一刀硅棒，主要应用于多晶切割和有特定要求的单晶切割。

由于目前行业内多晶生产的现状，成品的多晶硅棒一般长度较短，切割硅片时要求使用单向切割工艺，每卷钢线只能切割一刀多晶硅棒，即新线切割一刀硅棒后就要更换，在此工艺下，加工多晶硅片时的钢线成本要高出单晶硅片近一倍，成本较高，工作效率也不高。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种双单向切割多晶硅棒的方法，方法简单，容易操作，节约材料，节省成本，提高了工作效率，使现代工艺得到优化。

为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案是：包括如下步骤：

（1）更换新钢线，安装硅棒；

（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向；

（3）更换砂浆；

（4）切割第一刀；

（5）第一刀切割完毕，清理；

（6）进行第二刀切割：常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面：将工作台进给速度降低，将进线张力调低，使钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。

作为优选，设定切割参数，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量。

作为优选，第一刀切割钢线运行方向为由左至右，则第二刀切割钢线运行方向为由右至左。

作为优选，张力设定，第一刀切割进线张力为18N，出线张力为10N；第二刀切割进线张力17N，出线张力10N。

作为优选，第二刀切割时工作台进给速度降低，降低速度后用时较第一刀切割用时延长20分钟。

作为优选，机床为NTC442DM机床，第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本发明方法简单，操作方便，使用一卷钢线，单向连续切割两刀硅棒，第一刀和第二刀的交替进行，使得切割时材料能得到充分利用，节约材料，节省成本，满足并优化了现代工艺，提高了工作效率。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

以下为本发明一种机床双单向切割多晶硅棒的方法的一个实施例，包括如下步骤：

（1）更换新钢线，安装上硅棒，降下工作台到硅棒接触线网时，将工作台位置清零；

按需求及时更换钢线，可以保证切割工艺的质量；安装上准备好的两根硅棒，工作台下降至硅棒接触线网的位置时，按下工作台复位按钮，将工作台位置清零，保证工作台不受上一个切割工艺的影响，保证完整准确的完成切割任务；

（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向，打开钢线运行页面，有一钢线运行方向设定按钮，选择需要运行的方向，即完成了钢线运行方向设定；

NTC442DM机床的运行是靠人为设定的，人为设定可以按照需求进行切割，能达到理想切割方式，满足人们的需求；由于是单向切割，因此，钢线运行周期设定为0，钢线只有新线进给量，没有钢线返回量；

（3）更换砂浆，砂浆对切割工作中有降温的作用，及时更换砂浆可以保证降温效果，同时也保证了切割质量；

（4）切割第一刀；

（5）第一刀切割完毕取下后，完成清理工作，保证接下来工作顺利、高效、高质量的进行；

（6）第二刀切割的常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面，一是在参数设定页面，将工作台速度降低；二是在参数设定页面内，改变张力设定，将进线张力调低；三是在钢线运行页面，钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。

第二刀切割时降低进线张力和延长切割时间，主要是因为，钢线在切割第一刀后，直径将会有8um左右的磨损，其破断拉力和抗拉强度都会有所降低，如果按照第一刀的速度和张力设定，势必会增加第二刀钢线的断线几率，因此做了降低进线张力和延长切割时间的调整；改变第二刀的钢线运行方向，不更换钢线，即用第一刀的旧线再反向切割一刀，完成双单向切割工艺。

打开切割参数页面，按参数要求设定、检查切割工艺，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量，参数的设定保证机床能按照人的意愿和需要工作。

第一刀切割钢线运行方向为由左至右，则第二刀切割钢线运行方向为由右至左，第一刀和第二刀的交替进行，就是本发明所说的双单向切割；第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的，NTC442DM机床尚未实现自动转换；本方法改变了钢线只能单向使用一次的固定模式，开始一种新的切割方法，实现了双单向切割，钢线可以使用两次，节约了成本，节省了材料。

张力设定，第一刀切割进线张力为18N，出线张力为10N；第二刀切割进线张力17N，出线张力10N，满足硅棒切割的要求，保证钢线不断损。

第二刀切割时工作台进给速度降低，降低速度后用时较第一刀切割用时延长20分钟，保证钢线不断损。

机床为NTC442DM机床，第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的，NTC442DM机床按照上述方法切割多晶硅棒，节约成本，提高工作效率。

采用上述方法后，442机床在切割多晶硅棒时，同样使用一卷钢线，单向连续切割两刀硅棒，改变了钢线只能单向使用一次的固定模式，通过改变钢线进线方向，实现双单向切割，同时第二刀切割时延长切割时间、降低进线张力保证了钢线不被损坏拉断，使用上述方法，操作简单，优化现有切割工艺，降低生产成本，提高工作效率。

Claims (6)

1.一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）更换新钢线，安装硅棒；

（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向；

（3）更换砂浆；

（4）切割第一刀；

（5）第一刀切割完毕，清理；

（6）进行第二刀切割：常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面：将工作台进给速度降低，将进线张力调低，使钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。

2.根据权利要求１所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述设定切割参数，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量。

3.根据权利要求1所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述第一刀切割钢线运行方向为由左至右，则第二刀切割钢线运行方向为由右至左。

4.根据权利要求2所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述张力设定，第一刀切割进线张力为18N，出线张力为10N；第二刀切割进线张力17N，出线张力10N。

5.根据权利要求１所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述第二刀切割时工作台进给速度降低，降低速度后用时较第一刀切割用时延长20分钟。

6.根据权利要求１所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述机床为NTC442DM机床，第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的。