CN102873772A - 多线切割机辊轮组的调线方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种提高多线切割机切割厚度范围的多线切割机辊轮组的调线方法,它包括由2个切割辊轮(1)组成的切割辊轮组、1~4个过渡辊轮(3)组成的过渡辊轮组,切割辊轮(1)、过渡辊轮(3)上均开有尺寸、槽间距完全相同的V形环槽(4),通过钢丝线(2)在切割辊轮(1)、过渡辊轮(3)的V形环槽(4)内高速往复运动,将硬脆材料一次同时切割成多个薄片,其特征是所述过渡辊轮(3)的轴线与两切割辊轮(1)轴线组成的平面平行,并与切割辊轮(1)的轴线成α角,本发明通过调节过渡辊轮轴线与切割辊轮轴线的夹角大小,使钢丝线绕于各辊轮上时保持入槽状态,避免因辊轮上V形环槽的间距过大而引起各辊轮间的槽间跨角过大,造成跳线和辊轮偏磨等不良现象。
Description
技术领域
本发明涉及一种多线切割机,具体地说是一种多线切割机辊轮,特别是涉及一种多线切割机辊轮组的调线方法。
背景技术
多线切割是一种通过钢丝线的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。它主要应用于太阳能硅片、LED蓝宝石基片、水晶、磁性材料和硬质合金等硬脆材料的加工成型,其成型效率相当高,一次可成型几百片甚至几千片,成品精度高,厚度偏差小于10μm以下,片间厚度偏差甚至小于0.01㎜。但是,多线切割机辊轮组它包括由2个切割辊轮组成的切割辊轮组、1~4个过渡辊轮组成的过渡辊轮组,各辊轮之间均平行布置,即其轴线平行,各辊轮上均设有相同尺寸和相同间距的V形环槽,V形环槽之间的间距确定切割片的厚度,V形环槽的数量确定切割片的一次成型片数。由于每一V形环槽均为环形封闭结构,这样,工作时,钢丝线从辊轮的一个V形环槽跳到另一个辊轮的另一V形环槽内时容易形成跨角,若跨角超过一定范围,必定造成辊轮严重磨损和钢丝线跳线现象,从而限制了V形环槽的槽间距,即限制了多线切割机的切割厚度。目前,多线切割机的切割厚度仅在0.1㎜~3㎜范围内,而在将大料切成小料时,其切割厚度一般为15㎜左右,再将小料去切片。因此,目前的多线切割机不能满足生产的需要。
发明内容
本发明的目的是提供一种提高多线切割机切割厚度范围的多线切割机辊轮组的调线方法。
本发明是采用如下技术方案实现其发明目的的,一种多线切割机辊轮组的调线方法,它包括由2个切割辊轮组成的切割辊轮组、1~4个过渡辊轮组成的过渡辊轮组,切割辊轮、过渡辊轮上均开有尺寸、槽间距完全相同的V形环槽,通过钢丝线在切割辊轮、过渡辊轮的V形环槽内高速往复运动,将硬脆材料一次同时切割成多个薄片,所述过渡辊轮的轴线与两切割辊轮轴线组成的平面平行,并与切割辊轮的轴线成α角。
本发明所述的α角大于0°小于90°。
为适应多片切割的需要,本发明所述的α角大于等于0.5°,小于等于5°。
为适应单片切割的需要,本发明所述的α角大于等于30°,小于等于45°。
由于采用上述技术方案,本发明较好的实现了发明目的,其方法简单,通过调节过渡辊轮轴线与切割辊轮轴线的夹角大小,使钢丝线绕于各辊轮上时保持入槽状态,避免因辊轮上V形环槽的间距过大而引起各辊轮间的槽间跨角过大,造成跳线和辊轮偏磨等不良现象。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是图1的俯视图;
图3是本发明过渡辊轮3的安装示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
实施例1:
由图1、图2可知,一种多线切割机辊轮组的调线方法,它包括由2个切割辊轮1组成的切割辊轮组、1~4个过渡辊轮3组成的过渡辊轮组(本实施例的过渡辊轮3为1个,与2个切割辊轮1成等腰三角形布置),切割辊轮1、过渡辊轮3上均开有尺寸、槽间距完全相同的V形环槽4,通过钢丝线2在切割辊轮1、过渡辊轮3的V形环槽4内高速往复运动,将硬脆材料一次同时切割成多个薄片,所述过渡辊轮3的轴线与两切割辊轮1轴线组成的平面平行,并与切割辊轮1的轴线成α角。
本发明所述的α角大于0°小于90°。
为适应多片切割的需要,本发明所述的α角大于等于0.5°,小于等于5°,本实施例为1.46°。
为避免因各辊轮上V形环槽4的间距过大而引起各辊轮间的槽间跨角过大,造成跳线和各辊轮偏磨等不良现象,本发明过渡辊轮3的轴线与两切割辊轮1轴线组成的平面平行,并与切割辊轮1的轴线成α角,本实施例为1.46°。
通过调节α角大小,可调节钢丝线2与过渡辊轮3上的V形环槽4的入槽程度。
由图3可知,一种多线切割机过渡辊轮的安装装置,它包括机架5,机架5上设有安装过渡辊轮3的前固定座11、后固定座7,前固定座11、后固定座7的轴孔上分别安装有前偏心角度调整座12、后偏心角度调整座6,前偏心角度调整座12、后偏心角度调整座6上分别设有偏心孔,偏心孔之间的轴线与前固定座11、后固定座7的轴孔之间的轴线成α角,安装有过渡辊轮3的主轴8的一端安装在前偏心角度调整座12的偏心孔上,另一端安装在后偏心角度调整座6的偏心孔上。主轴8的两端分别安装有前轴承10、后轴承13,前锥套9安装在前轴承10的外圈上,后锥套14安装在后轴承13的外圈上,过渡辊轮3通过前锥套9、后锥套14安装在主轴8上。
本发明在安装过渡辊轮3时,可根据实际情况,通过调整前偏心角度调整座12、后偏心角度调整座6的偏心角度,使偏心孔之间的轴线与前固定座11、后固定座7的轴孔之间的轴线成α角,本实施例为1.46°。
实施例2:
为适应单片切割的需要,本发明所述的α角大于等于30°,小于等于45°,本实施例为45°。余同实施例1。
Claims (4)
1.一种多线切割机辊轮组的调线方法,它包括由2个切割辊轮(1)组成的切割辊轮组、1~4个过渡辊轮(3)组成的过渡辊轮组,切割辊轮(1)、过渡辊轮(3)上均开有尺寸、槽间距完全相同的V形环槽(4),通过钢丝线(2)在切割辊轮(1)、过渡辊轮(3)的V形环槽(4)内高速往复运动,将硬脆材料一次同时切割成多个薄片,其特征是所述过渡辊轮(3)的轴线与两切割辊轮(1)轴线组成的平面平行,并与切割辊轮(1)的轴线成α角。
2.根据权利要求1所述的多线切割机辊轮组的调线方法,其特征是所述的α角大于0°小于90°。
3.根据权利要求1所述的多线切割机辊轮组的调线方法,其特征是所述的α角大于等于0.5°,小于等于5°。
4.根据权利要求1所述的多线切割机辊轮组的调线方法,其特征是所述的α角大于等于30°,小于等于45°。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109333847A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-02-15 | 中电工业互联网有限公司 | 一种新型的多线切割机主轴系统 |
CN109624113A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-04-16 | 烟台力凯数控科技有限公司 | 一种开方机导轮绕线装置以及绕线方法 |
CN109732797A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-10 | 东莞金坤新材料股份有限公司 | 一种用于切削导磁件的线切割机 |
CN110341062A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-18 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种防止拼缝跳并线产生的方法 |
CN114260527A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-01 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种金刚线多线切割机的多辊切割机构 |
CN114273740A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-05 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种三辊金刚线多线切割机 |
CN114274382A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-05 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种三辊金刚线多线切割机的走线结构 |
WO2023226771A1 (zh) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 长沙韵为科技有限公司 | 一种切割装置及切割方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101652217A (zh) * | 2007-04-04 | 2010-02-17 | 西门子公司 | 线锯以及制造线锯的方法 |
CN201500839U (zh) * | 2009-09-29 | 2010-06-09 | 无锡市斯达自控设备有限公司 | 数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件 |
CN101850579A (zh) * | 2009-03-31 | 2010-10-06 | 小松Ntc株式会社 | 工件切断方法以及工件切断用线材卷绕宽度变更装置 |
-
2012
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101652217A (zh) * | 2007-04-04 | 2010-02-17 | 西门子公司 | 线锯以及制造线锯的方法 |
CN101850579A (zh) * | 2009-03-31 | 2010-10-06 | 小松Ntc株式会社 | 工件切断方法以及工件切断用线材卷绕宽度变更装置 |
CN201500839U (zh) * | 2009-09-29 | 2010-06-09 | 无锡市斯达自控设备有限公司 | 数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109624113A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-04-16 | 烟台力凯数控科技有限公司 | 一种开方机导轮绕线装置以及绕线方法 |
CN109333847A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-02-15 | 中电工业互联网有限公司 | 一种新型的多线切割机主轴系统 |
CN109732797A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-10 | 东莞金坤新材料股份有限公司 | 一种用于切削导磁件的线切割机 |
CN110341062A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-18 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种防止拼缝跳并线产生的方法 |
CN110341062B (zh) * | 2019-06-24 | 2020-11-13 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种防止拼缝跳并线产生的方法 |
CN114260527A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-01 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种金刚线多线切割机的多辊切割机构 |
CN114273740A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-05 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种三辊金刚线多线切割机 |
CN114274382A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-05 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种三辊金刚线多线切割机的走线结构 |
WO2023226771A1 (zh) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 长沙韵为科技有限公司 | 一种切割装置及切割方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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