JP2020001116A - ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 - Google Patents
ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020001116A JP2020001116A JP2018122070A JP2018122070A JP2020001116A JP 2020001116 A JP2020001116 A JP 2020001116A JP 2018122070 A JP2018122070 A JP 2018122070A JP 2018122070 A JP2018122070 A JP 2018122070A JP 2020001116 A JP2020001116 A JP 2020001116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- abrasive grains
- saw wire
- saw
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
ンド(熱硬化性樹脂)の中に芯線2を通過させ、芯線2の表面に付着したレジンボンドを冷却して硬化させるレジンボンド法や、砥粒3が混入したメッキ液中で芯線2をニッケル等の金属で電気メッキする電着法などがあり、砥粒3の固着力の観点からすれば電着法が好ましい。芯線2を電気メッキすることによりメッキ層に砥粒3を埋設して固着させることができる。
回転する砥石の表面に対し、ソーワイヤ1を接触させながら走行させることにより行うとよい。この時、図3(b)に示すように、始端2aに接続する所定長さ(L1)の第1部分1aにおいて、第1部分1aに接続する第2部分1bよりもドレス量を大きくする。つまり、第1部分1aのドレス処理後の仕上げ径(Φ1)が、第2部分1bのドレス後の仕上げ径(Φ2)よりも小さくなるように、ドレス処理を行う。
1bとを備え、第1部分1aの砥粒3(第1砥粒3a)の粒径(d1)と、第2部分1bの砥粒3(第2砥粒3b)の粒径(d2)が略同じで、第1部分1aの仕上げ径(Φ1)は、第2部分1bの仕上げ径(Φ2)よりも小さいソーワイヤ1を得ることができる。
1a 第1部分
1b 第2部分
2 芯線
2a 始端
3 砥粒
3a 第1砥粒
3b 第2砥粒
10 マルチワイヤソー装置(MWS)
Claims (3)
- 始端を有する芯線と、前記芯線の表面に固着した砥粒とを備え、
前記始端に接続する所定長さの第1部分と、前記第1部分に接続する第2部分とを有し、前記第1部分の前記砥粒の粒径と、前記第2部分の前記砥粒の粒径は略同じで、
前記第1部分の仕上げ径が、前記第2部分の仕上げ径よりも小さい、ソーワイヤ。 - 始端を有する芯線の表面に砥粒を固着する工程と、
前記砥粒をドレスする工程を有し、
前記始端に接続する所定長さの第1部分において、前記第1部分に接続する第2部分よりもドレス量を大きくする、ソーワイヤの製造方法。 - マルチワイヤソー装置と請求項1に記載のソーワイヤを用いて、前記ソーワイヤを往復走行させながら、複数本のインゴットをそれぞれ複数枚の基板に切断する、基板の製造方法であって、前記ソーワイヤ交換後1本目のインゴットは前記第1部分を用いて切断を開始し、2本目以降のインゴットは前記第2部分を用いて切断を開始する、基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018122070A JP7075295B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018122070A JP7075295B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020001116A true JP2020001116A (ja) | 2020-01-09 |
JP7075295B2 JP7075295B2 (ja) | 2022-05-25 |
Family
ID=69098077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018122070A Active JP7075295B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7075295B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09262827A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワイヤソーによるワーク切断方法 |
JP2010131715A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Sharp Corp | ソーワイヤ、ワイヤソーおよびそれを用いた半導体ブロックの切断方法、並びに、半導体ウエハの製造方法および半導体ウエハ |
JP2011230274A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Sharp Corp | ソーワイヤおよびそれを用いたシリコンインゴットの切断方法 |
JP2015074037A (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-20 | 株式会社安永 | 固定砥粒ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 |
JP2015188958A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤ工具およびワイヤ工具の製造方法 |
-
2018
- 2018-06-27 JP JP2018122070A patent/JP7075295B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09262827A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワイヤソーによるワーク切断方法 |
JP2010131715A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Sharp Corp | ソーワイヤ、ワイヤソーおよびそれを用いた半導体ブロックの切断方法、並びに、半導体ウエハの製造方法および半導体ウエハ |
JP2011230274A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Sharp Corp | ソーワイヤおよびそれを用いたシリコンインゴットの切断方法 |
JP2015074037A (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-20 | 株式会社安永 | 固定砥粒ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 |
JP2015188958A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤ工具およびワイヤ工具の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7075295B2 (ja) | 2022-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6352176B2 (ja) | 固定砥粒ワイヤーソーとその製造方法、及びそれを用いたワークの切断方法 | |
US9579826B2 (en) | Method for slicing wafers from a workpiece using a sawing wire | |
JP5263536B2 (ja) | ワークの切断方法 | |
US9776340B2 (en) | Method for slicing ingot and wire saw | |
JP2009066689A (ja) | 固定砥粒ワイヤーソー | |
US20140318522A1 (en) | Method for slicing workpiece | |
JP2010167509A (ja) | 固定砥粒ソーワイヤ及び切断方法 | |
TWI753128B (zh) | 工件的切斷方法 | |
JP5576177B2 (ja) | 固定砥粒ワイヤーソー及びその製造方法 | |
JP4073328B2 (ja) | 単層固定砥粒ワイヤーソー及びその製造方法並びに切断方法 | |
JP2015074037A (ja) | 固定砥粒ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 | |
TW201726323A (zh) | 固定磨粒線鋸及固定磨粒鋼絲的修整方法 | |
JP5958430B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
JP7075295B2 (ja) | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、および基板の製造方法 | |
JP5876388B2 (ja) | 被加工物切断方法 | |
JP2011079106A (ja) | 固定砥粒ワイヤーソーによる被加工物の切断方法 | |
JP6705399B2 (ja) | ウェーハの製造方法 | |
JP2000288903A (ja) | マルチワイヤーソーを用いた平面研削方法及び平面研削装置 | |
JP6835213B2 (ja) | ワークの切断方法及び接合部材 | |
CN111670088B (zh) | 工件的切断方法及线锯 | |
JP5991267B2 (ja) | ワークの切断方法および切断装置 | |
JP5945967B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
JP5430144B2 (ja) | 基板の製造方法および太陽電池素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200910 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220513 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7075295 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |