JP2015199619A - 多結晶シリコンの洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多結晶シリコンを、界面化性剤、フッ化水素、硝酸、及び水を含む第一混合溶液と接触させる工程、並びに前記工程を経た多結晶シリコンを、過酸化水素水と接触させる工程を含むことを特徴とする多結晶シリコンの洗浄方法を提供する。
【選択図】 なし
Description
本発明において、エッチング工程でエッチング(洗浄)の対象となる多結晶シリコン(以下、単に「対象物」とする場合もある)は、特に制限されるものではないが、半導体材料の原料として使用するものを対象とすることが好ましい。このような多結晶シリコンは、金属不純物量が少なく、高品質でなければならないため、本発明の対象物として好適である。
次に、このような対象物を、エッチング工程について具体的に説明する。
本発明においては、先ず、上記対象物を界面化性剤、フッ化水素、硝酸、及び水を含む第一混合溶液と接触させる(エッチング工程を実施する)。このエッチング工程においては、粉砕等により塊状とした多結晶シリコンをそのまま第一混合溶液と接触させることができる。
次に、このエッチング工程で使用する第一混合液について説明する。
エッチング工程で使用する第一混合液は、界面化性剤、フッ化水素、硝酸、及び水を含むものである。
第一混合溶液によるエッチング方法は、対象物と第一混合溶液とを接触させればよい。第一混合液が対象物と接触することにより、対象物(多結晶シリコン)の表面が溶解され、それと共に表面に付着した金属不純物を低減することができる。具体的な方法としては、第一混合液中に対象物を浸漬する方法を採用することができる。
次に精製工程について説明する。
エッチング工程を経て得られる多結晶シリコン(精製対象物)は、過酸化水素水と接触させる。
精製工程の後は、得られた多結晶シリコンを水洗してやればよい。この水も、特に制限されるものではないが、超純水を使用することが好ましい。超純水で洗浄した後の多結晶シリコンは、送風乾燥(通気乾燥)により、乾燥させることが好ましい。乾燥後の多結晶シリコンは、汚染を防ぐため、オレフィン系樹脂からなる袋等に保存することが好ましい。
シーメンス法により製造した多結晶シリコン(棒状)のものを粉砕し、長さ0.5〜10cm、幅0.5〜10cmの塊状の多結晶シリコン(実施例・比較例ではポリシリコンナゲットと記す)を準備した。この対象物を実施例1〜4、比較例1、2で使用した。
測定対象の多結晶シリコンを、ICP質量分析装置を用い、表面の金属不純物量を求めた。
炭素(残留)量は、GC−MS測定装置により求めた。
エッチング前後の多結晶シリコンの質量、およびその形状から表面積を近似し、平均値を求めた。
ポリシリコンナゲットを、30kg バスケットに入れ、下記表1に示す薬液(エッチング液、過酸化水素水)濃度、時間で(1)エッチング工程、(2)水洗工程、(3)精製工程、(4)水洗工程、(5)乾燥を実施した。なお、(1)〜(3)の各工程浸漬中、1分あたり、10回バスケットの上下運動を行った。(1)のエッチング工程は20〜25℃の範囲で行い、(2)(4)の水洗工程、及び(3)の精製工程は室温で実施した。得られた精製物(多結晶シリコン)について、金属不純物量(鉄(Fe))、炭素(残留)量を測定した。結果を表6にまとめた。
薬液(エッチング液、過酸化水素水)濃度、各工程の時間を表2に示す通りとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表6にまとめた。
薬液(エッチング液、過酸化水素水)濃度、各工程の時間を表3に示す通りとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表6にまとめた。
実施例1において、(3)精製工程、(4)水洗工程を行わなかった以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を表4にまとめた。
実施例1において、(1)エッチング工程、(2)水洗工程を行わず、(3)精製工程を行った後、(4)水洗工程、(5)乾燥を表5に示す条件で行った以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を表6にまとめた。
Claims (5)
- 多結晶シリコンを、界面化性剤、フッ化水素、硝酸、及び水を含む第一混合溶液と接触させる工程、並びに
前記工程を経た多結晶シリコンを、過酸化水素水と接触させる工程
を含むことを特徴とする多結晶シリコンの洗浄方法。 - 前記第一混合溶液が、水100質量部に対して、界面活性剤を0.01〜1質量部、フッ化水素を1〜15質量部、硝酸を75〜250質量部含むことを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコンの洗浄方法。
- 前記第一混合溶液が、フッ化水素に対する硝酸の質量比(硝酸の質量/フッ化水素の質量)が10〜50であることを特徴とする請求項1又は2に記載の多結晶シリコンの洗浄方法。
- 前記過酸化水素水が、過酸化水素の濃度が5〜30質量%であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の多結晶シリコンの製造方法。
- 前記界面活性剤が、ラウリル硫酸塩であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の多結晶シリコンの製造方法。
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