JP2015182129A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
レーザビームを出力するレーザ光源と、
制御装置と、
前記制御装置から制御されることにより、前記レーザ光源から出力された前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させるビームエキスパンダと、
前記制御装置から制御されることにより、前記ビームエキスパンダを透過した前記レーザビームの経路内に配置される開口部の大きさを変化させるアパーチャマスクと、
加工対象物を保持するステージと、
前記アパーチャマスクの開口部を透過した前記レーザビームを、前記ステージに保持された前記加工対象物の表面まで導光するとともに、前記開口部を前記加工対象物の表面に結像させる導光光学系と
を有し、
前記制御装置は、前記レーザビームの経路内に配置される前記開口部の大きさが決まると、前記アパーチャマスクの入射側から出射側へのエネルギ到達率が40%〜65%の範囲内になり、かつ前記アパーチャマスクの出射側から、前記ステージに保持された前記加工対象物までのエネルギ到達率が60%以上になるように、前記ビームエキスパンダを制御して、前記アパーチャマスクに入射する前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させるレーザ加工装置が提供される。
レーザビームの経路内に配置される開口部の大きさを変化させることができるアパーチ
ャマスクと、
前記アパーチャマスクの前記開口部を透過した前記レーザビームを、加工対象物の表面まで導光するとともに、前記開口部を前記加工対象物の表面に結像させる導光光学系と
を有するレーザ加工装置を用いてレーザ加工する方法であって、
前記アパーチャマスクの前記開口部の大きさを決定する工程と、
前記開口部が、決定された大きさの条件の下で、前記アパーチャマスクの入射側から出射側へのエネルギ到達率が40%〜65%の範囲内になり、かつ前記アパーチャマスクの出射側から、前記加工対象物までのエネルギ到達率が60%以上になるように、前記アパーチャマスクに入射する前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させる工程と、
前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させた後、前記アパーチャマスク及び前記導光光学系を通して、前記加工対象物に前記レーザビームを入射してレーザ加工を行う工程と
を有するレーザ加工方法が提供される。
ザビームはビームダンパ20に入射する。
チャマスク13の入射側から出射側までのエネルギ到達率を、「第1のエネルギ到達率」ということとする。第1のエネルギ到達率は、パルスレーザビームの経路内に配置されている開口部13Cの寸法、アパーチャマスク13の位置におけるパルスレーザビームのビーム径、及びビームプロファイルに依存する。
第1のエネルギ到達率を単位「%」で表し、縦軸は、真円度を表す。ここで、真円度は、長径に対する短径の比で定義される。第2のエネルギ到達率は60%とした。パルスエネルギ密度は、パルス幅を調整することにより、一定にした。
た状態で、レーザ加工を行うことができる。このため、高い真円度の穴を、再現性よく形成することができる。また、レーザ加工装置の機体間での真円度のばらつきも低減させることができる。
11 非球面レンズ
12 ビームエキスパンダ
13 アパーチャマスク
13A 回転板
13B モータ
13C 開口部
13D 回転軸
14 経路切替器
18 加工経路
19 ダンパ経路
20 ビームダンパ
23 導光光学系
24 フィールドレンズ
25 ビーム走査器
26 対物レンズ
27 可動ミラー
28 第1の測定器
29 第2の測定器
30 ステージ
31 移動機構
35 加工対象物
40、41 ビームプロファイル
50 制御装置
Claims (5)
- レーザビームを出力するレーザ光源と、
制御装置と、
前記制御装置から制御されることにより、前記レーザ光源から出力された前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させるビームエキスパンダと、
前記制御装置から制御されることにより、前記ビームエキスパンダを透過した前記レーザビームの経路内に配置される開口部の大きさを変化させるアパーチャマスクと、
加工対象物を保持するステージと、
前記アパーチャマスクの開口部を透過した前記レーザビームを、前記ステージに保持された前記加工対象物の表面まで導光するとともに、前記開口部を前記加工対象物の表面に結像させる導光光学系と
を有し、
前記制御装置は、前記レーザビームの経路内に配置される前記開口部の大きさが決まると、前記アパーチャマスクの入射側から出射側へのエネルギ到達率が40%〜65%の範囲内になり、かつ前記アパーチャマスクの出射側から、前記ステージに保持された前記加工対象物までのエネルギ到達率が60%以上になるように、前記ビームエキスパンダを制御して、前記アパーチャマスクに入射する前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させるレーザ加工装置。 - さらに、前記ビームエキスパンダと前記アパーチャマスクとの間の前記レーザビームの経路内に配置され、前記アパーチャマスクの位置におけるビームプロファイルを均一に近づける非球面レンズを有する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記アパーチャマスクは、前記レーザビームの経路に配置される前記開口部を、前記レーザビームのビーム断面より大きくすることができるように構成され、
さらに、
前記アパーチャマスクの前記開口部を透過した前記レーザビームのパワーを測定する第1の測定器と、
前記導光光学系を通過した前記レーザビームのパワーを測定する第2の測定器と
を有する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - レーザビームの経路内に配置される開口部の大きさを変化させることができるアパーチャマスクと、
前記アパーチャマスクの前記開口部を透過した前記レーザビームを、加工対象物の表面まで導光するとともに、前記開口部を前記加工対象物の表面に結像させる導光光学系と
を有するレーザ加工装置を用いてレーザ加工する方法であって、
前記アパーチャマスクの前記開口部の大きさを決定する工程と、
前記開口部が、決定された大きさの条件の下で、前記アパーチャマスクの入射側から出射側へのエネルギ到達率が40%〜65%の範囲内になり、かつ前記アパーチャマスクの出射側から、前記加工対象物までのエネルギ到達率が60%以上になるように、前記アパーチャマスクに入射する前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させる工程と、
前記レーザビームのビーム径及び広がり角の少なくとも一方を変化させた後、前記アパーチャマスク及び前記導光光学系を通して、前記加工対象物に前記レーザビームを入射してレーザ加工を行う工程と
を有するレーザ加工方法。 - さらに、前記アパーチャマスクの位置における前記レーザビームのビームプロファイルを均一化する工程を有する請求項4に記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015182129A true JP2015182129A (ja) | 2015-10-22 |
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ID=54349294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014063356A Active JP6324151B2 (ja) | 2014-03-26 | 2014-03-26 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180034227A (ko) * | 2016-09-26 | 2018-04-04 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저가공장치 및 레이저가공방법 |
KR102288204B1 (ko) * | 2020-02-07 | 2021-08-10 | 디아이티 주식회사 | 반도체 표면처리 시스템 |
CN116275132A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-06-23 | 西南石油大学 | 油田抽油杆损伤激光修复设备及工艺 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530206A (ja) * | 1998-11-23 | 2002-09-17 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | レーザアブレーションによる特徴部形状の再生産制御 |
JP2003500220A (ja) * | 1999-05-28 | 2003-01-07 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | ビアを開けるスループットを増加させる方法、および、レーザシステム |
JP2005095936A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工工法 |
JP2006255744A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 |
JP2009107011A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
-
2014
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530206A (ja) * | 1998-11-23 | 2002-09-17 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | レーザアブレーションによる特徴部形状の再生産制御 |
JP2003500220A (ja) * | 1999-05-28 | 2003-01-07 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | ビアを開けるスループットを増加させる方法、および、レーザシステム |
JP2005095936A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工工法 |
JP2006255744A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 |
JP2009107011A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180034227A (ko) * | 2016-09-26 | 2018-04-04 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저가공장치 및 레이저가공방법 |
JP2018051567A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
TWI679076B (zh) * | 2016-09-26 | 2019-12-11 | 日商住友重機械工業股份有限公司 | 雷射加工裝置及雷射加工方法 |
KR102302028B1 (ko) * | 2016-09-26 | 2021-09-13 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 레이저가공장치 및 레이저가공방법 |
KR102288204B1 (ko) * | 2020-02-07 | 2021-08-10 | 디아이티 주식회사 | 반도체 표면처리 시스템 |
CN116275132A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-06-23 | 西南石油大学 | 油田抽油杆损伤激光修复设备及工艺 |
CN116275132B (zh) * | 2023-05-23 | 2023-07-25 | 西南石油大学 | 油田抽油杆损伤激光修复设备及工艺 |
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