JP2015175618A - 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置 - Google Patents

熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2015175618A
JP2015175618A JP2014049877A JP2014049877A JP2015175618A JP 2015175618 A JP2015175618 A JP 2015175618A JP 2014049877 A JP2014049877 A JP 2014049877A JP 2014049877 A JP2014049877 A JP 2014049877A JP 2015175618 A JP2015175618 A JP 2015175618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
observation window
thermal analysis
cooling air
lens housing
thermal analyzer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014049877A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6212416B2 (ja
Inventor
晋哉 西村
Shinya Nishimura
晋哉 西村
寛仁 藤原
Hiroto Fujiwara
寛仁 藤原
山田 健太郎
Kentaro Yamada
健太郎 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Science Corp
Original Assignee
Hitachi High Tech Science Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Science Corp filed Critical Hitachi High Tech Science Corp
Priority to JP2014049877A priority Critical patent/JP6212416B2/ja
Priority to TW103143876A priority patent/TWI620931B/zh
Priority to CN201410806681.0A priority patent/CN104914104B/zh
Priority to US14/606,345 priority patent/US9753509B2/en
Priority to DE102015101293.6A priority patent/DE102015101293B4/de
Publication of JP2015175618A publication Critical patent/JP2015175618A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6212416B2 publication Critical patent/JP6212416B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16Constructional details or arrangements
    • G06F1/20Cooling means
    • G06F1/206Cooling means comprising thermal management
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/55Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/51Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
    • G01N25/48Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation
    • G01N25/4846Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation for a motionless, e.g. solid sample
    • G01N25/4853Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N5/00Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
    • G01N5/04Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by removing a component, e.g. by evaporation, and weighing the remainder

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)

Abstract

【課題】熱分析装置の内部の加熱された試料を観察窓を介して撮像する際、鮮明な画像を撮像できると共に、撮像手段の熱による損傷を抑制した熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置を提供する。【解決手段】熱分析装置本体部150に設けられた観察窓Wから内部の加熱された試料Sを撮像する熱分析装置用撮像装置200であって、レンズ筐体232と本体部234とを備えた撮像手段230と、撮像手段を保持する保持部210と、保持部の内部に配置された冷却ファン220と、を備え、撮像手段は、レンズ筐体が観察窓に直接向けられ、本体部がレンズ筐体よりも観察窓の反対側に位置するようにして保持部に保持され、保持部は吸気部212と排気部216が形成された冷却風通路Pasを有し、当該冷却風通路内に、レンズ筐体の少なくとも一部と冷却ファンとが配置され、レンズ筐体が冷却ファンから送出された冷却風Airにより空冷される。【選択図】図2

Description

本発明は、熱分析装置に設けられた観察窓から、熱分析装置の内部の加熱された試料を撮像する熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置に関する。
従来から、試料の温度特性を評価する手法として、試料を加熱し、温度変化に伴う試料の物理的変化を測定する熱分析といわれる手法が行われている。熱分析は、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義されており、測定対象(試料)の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する手法が全て熱分析とされる。一般的に用いられる熱分析は、(1)温度(温度差)を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量(重量変化)を検出する熱重量測定(TG)、(4)力学的特性を検出する熱機械分析(TMA)、及び(5)動的粘弾性測定(DMA)の5つの方法がある。
ところで、熱分析中の試料を観察したいという要望があり、このため、観察窓を設けた熱分析装置が知られている。そして、観察窓から熱分析装置の内部の加熱された試料を撮像する技術として、観察窓に対向して望遠鏡を設置し、この望遠鏡からの光軸を90度曲げてCCDカメラに接続した熱分析装置が開発されている(特許文献1)。特許文献1記載の技術においては、高温の観察窓の鉛直方向から外れた位置にCCDカメラを配置しているので、CCDカメラが熱によって損傷することを抑制できる。
特開平2−102440号公報(図1)
しかしながら、特許文献1記載の技術のように、被写体である観察窓(の内部の試料)とカメラとの間に望遠鏡やミラー等の光学系を配置して観察窓の熱がカメラのレンズに直接加わらないようにすると、試料とレンズとの距離が長くなる。図2に示すように、一般に、試料SとレンズLとの距離はワークディスタンス(作動距離)WDで規定され、WDは視野Vの大きさ、レンズの焦点距離F、及びCCDサイズ(CCD上の像の大きさ)Iによって決まる。このため、観察窓とカメラの間に光学系を配置し、WDが大きくなった状態において試料Sの観察像の解像度を確保するためには、視野Vを一定とすることを要する。この場合、焦点距離Fは長くなり、被写界深度が浅くなるため、試料Sの凹凸に対して観察画像の精細度が低下することとなる。又、WDが大きくなることで光学系の構成がより大きくなったり、複雑になるなどの弊害もある。
又、観察窓上部にカメラを配置する場合に、これらの間に熱遮蔽のために透明な材料(例えば、石英・耐熱・サファイア等のガラス)を配置すると、同様に透明材料で形成されたファーナスチューブと合わせて多層となり、観察画像が滲む問題がある。
そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、熱分析装置の内部の加熱された試料を観察窓を介して撮像する際、試料とレンズとのワークディスタンスを大きくすることなく、鮮明な画像を撮像できると共に、撮像手段の熱による損傷を抑制した熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置の提供を目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明の熱分析装置用撮像装置は、熱分析装置本体部に設けられた観察窓から、該熱分析装置本体部の内部の加熱された試料を撮像する熱分析装置用撮像装置であって、レンズ筐体と本体部とを備えた撮像手段と、
前記撮像手段を保持する保持部と、前記保持部の内部に配置された冷却ファンと、を備え、前記撮像手段は、前記レンズ筐体が前記観察窓に直接向けられ、前記本体部が前記レンズ筐体よりも前記観察窓の反対側に位置するようにして前記保持部に保持され、前記保持部は吸気部と排気部が形成された冷却風通路を有し、当該冷却風通路内に、前記レンズ筐体の少なくとも一部と前記冷却ファンとが配置され、前記レンズ筐体が前記冷却ファンから送出された冷却風により空冷される。
この熱分析装置用撮像装置によれば、レンズ筐体が観察窓に直接向けられるので、レンズ筐体と試料との間には望遠鏡やプリズムのような光学系が介在せず、ワーキングディスタンスを大きくすることなく、又、光学系を大型なものや複雑なものとすることなく、試料の鮮明な画像が得られる。
冷却風通路内に冷却風を送出することにより、冷却風通路内に少なくとも一部が配置されたレンズ筐体が冷却風により空冷される。このため、レンズ筐体を観察窓に直接向けるように設置した場合に、高温の観察窓の熱がレンズ筐体に伝わるのを抑制し、撮像手段の熱による損傷を抑制できる。
前記排気部は前記レンズ筐体の周方向外側を囲んで前記レンズ筐体の軸方向先端側へ向かって、かつ前記観察窓に向かって開口し、前記冷却風が前記排気部から前記レンズ筐体の軸方向先端側へ排出されてもよい。
この熱分析装置用撮像装置によれば、レンズ筐体に沿って冷却風が流れるため、レンズ筐体の先端側が排気部から突出していても、レンズ筐体をより確実に冷却できると共に、高温の観察窓の熱をレンズ筐体から遠ざける向きに冷却風が流れるので冷却効果がさらに向上する。
前記吸気部から前記排気部へ向かって前記冷却風通路の断面積が減少し、かつ前記レンズ筐体は前記吸気部よりも前記排気部に近い側に配置されていてもよい。
この熱分析装置用撮像装置によれば、排気部付近で冷却風通路の流速が速くなる。そして、レンズ筐体が吸気部よりも排気部に近い側に配置されているので、レンズ筐体を流れる冷却風通路の流速が速くなり、冷却効果がさらに向上する。
なお、「レンズ筐体が吸気部よりも排気部に近い側に配置されている」とは、レンズ筐体と排気部との最短距離が、レンズ筐体と吸気部との最短距離よりも短いことをいう。
本発明の熱分析装置は、前記熱分析装置用撮像装置と、観察窓を有して該観察窓から自身の内部の加熱された試料を撮像可能な熱分析装置本体部と、を備えてなる。
本発明によれば、熱分析装置の内部の加熱された試料を観察窓を介して撮像する際、試料とレンズとのワークディスタンスを大きくすることなく、鮮明な画像を撮像できると共に、撮像手段の熱による損傷を抑制することができる。
本発明の第1の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置の概略構成を示す斜視図である。 熱分析装置用撮像装置と、熱分析装置本体部とを備えた熱分析装置の構成を示す図である。 熱分析装置の熱分析装置部の構成を示す斜視図である。 本発明の第2の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置200の概略構成を示す斜視図である。熱分析装置用撮像装置200は、レンズ筐体232と本体部234とを備えた撮像手段230と、撮像手段230を保持する保持部210と、保持部210の内部に配置された冷却ファン220と、を備えている。なお、図1では、後述する照明部材240、スタンド260等(図2参照)の図示を省略している。
撮像手段230は、詳しくは後述するが、熱分析装置本体部の観察窓にレンズ筐体232が直接向けられ、本体部234がレンズ筐体232よりも観察窓の反対側に位置するようにして保持部210に保持されている。撮像手段230は例えばCCDカメラ、デジタルビデオカメラ等からなり、熱分析装置本体部の内部の加熱された試料を撮像可能である。なお、レンズ筐体232は1枚以上のレンズを内蔵しており、本体部234はCCD素子等のイメージング素子や各種制御部を有している。
図1の左右方向に沿って、保持部210の左側部210aが所定高さの略箱型をなし、中央部210cに繋がっている。中央部210cは右側へ向かって斜めに立ち上がる台形状の箱をなし、左側部210aより高い所定高さの略箱型の右側部210bに一体に繋がっている。又、保持部210の下面(左側部210a210a、右側部210b、中央部210cのそれぞれの下面の全体が開口しており、これら下面のうち、後述する冷却ファン220より図1の左側部分が排気部216を形成している。保持部210は、例えば鋼板をプレス加工等して形成することができる。
一方、右側部210bの内部空間には冷却ファン220が配置され、冷却ファン220の吸気面220aが、図1の左側から右側へ向かって立ち下がるように向いている。又、右側部210bのうち、冷却ファン220の吸気面220aより右側の2つの側面には複数のスリットが開口して吸気部212を形成している(図1では、一方の側面の吸気部212のみ表示)。そして、吸気部212と排気部216との間における、保持部210の内部空間が冷却風通路Pasを形成し、冷却ファン220から送出された冷却風Airが冷却風通路Pasに沿って通過するようになっている。
保持部210の左側部210aの上面には、レンズ筐体232よりやや大径の円形の開口部214が形成され、開口部214を介して円筒状のレンズ筐体232を左側部210aの内部の冷却風通路Pas内に挿入可能になっている。又、左側部210aの上面のうち、開口部214の外周側には環状のマグネット218が配置され、撮像手段230のレンズ筐体232を開口部214内に挿入したときに、レンズ筐体232より拡径の本体部234の下面がマグネット218に当接し、マグネット218により本体部234を左側部210aの上面に固定可能になっている。なお、本体部234は鋼板等の磁石に付く強磁性材料から形成された筐体を有する。
以上のようにして、撮像手段230が保持部210に固定(保持)され、レンズ筐体232の先端側が排気部216より下面側に突出する。なお、撮像手段230の固定方法はマグネットに限定されない。
次に、図2を参照し、熱分析装置用撮像装置200と、熱分析装置本体部150とを備えた熱分析装置300の構成について説明する。
まず、熱分析装置用撮像装置200は、上述の保持部210に加え、照明部材240及びスタンド260を有している。照明部材240は、排気部216よりも下面側に突出するレンズ筐体232の外周を囲む環状をなし、保持部210の側面から下方に延びる複数の取付けステー250によって保持部210の下方に取り付けられている。照明部材240は、例えばLEDライトである。
スタンド260は、上下に延びる支柱261と、保持部210の右側部210bに取り付けられた取付部材262と、接地面上に載置されるベース部264とを有する。取付部材262は支柱261の所定の位置に自在に固定することができ、取付部材262の固定位置を調整することで、熱分析装置本体部150上の撮像手段230の高さ方向の位置を調整可能である。
一方、熱分析装置本体部150は、熱分析を行う熱分析装置部100を含む実際の測定装置であり、観察窓Wを有し、該観察窓Wから熱分析装置部100の内部の加熱された試料Sを撮像可能である。
図3に示すように、熱分析装置部100は熱重量測定(TG)装置を構成し、筒状で透明なファーナスチューブ9と、ファーナスチューブ9を外側から取り囲む筒状の加熱炉3と、ファーナスチューブ9の内部に配置される一対の試料ホルダ41,42とを有している。そして、観察窓Wが加熱炉3の上面に開口し、観察窓Wの上方から透明なファーナスチューブ9内の試料ホルダ41,42に設置された試料S、S(図2では、まとめて「S」で表示)を撮像するようになっている。
ここで、測定試料(サンプル)S、参照試料Sは一対の試料容器51、52にそれぞれ収容され、各試料容器51、52が一対の試料ホルダ41,42上にそれぞれ載置されている。さらに、試料ホルダ41、42は、互いに水平に延びる天秤アーム43、44にそれぞれ接続されている。又、試料ホルダ41、42の直下には熱電対が設置され、試料温度を計測可能になっている。
参照試料Sは、測定試料に対する基準物質(リファレンス)である。本発明においては、測定試料S、参照試料Sのいずれを撮像してもよく、測定試料S、参照試料Sはいずれも特許請求の範囲の「試料」に相当する。
又、ファーナスチューブ9は、石英ガラス、サファイアガラス、又はYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)セラミックス等の透明材料により形成されている。
ファーナスチューブ9は先端部9aに向かってテーパ状に縮径し、先端部9aは細長いキャピラリ状に形成されてその先端に排気部9bが開口している。そして、ファーナスチューブ9には適宜パージガスが後端側から導入され、このパージガスや、加熱による試料の分解生成物等が排気部9bを通じて外部に排気される。
又、加熱炉3の軸方向両端近傍の下端から下方へ、それぞれ2つの支柱18が延び、各支柱18は支持台20の上面に接続されている。又、ファーナスチューブ9の後端部9dの外側にフランジ部7が固定され、フランジ部7の下端から下方へ1つの支柱16が延びている。支柱16は支持台20の上面に接続されている。
一方、ファーナスチューブ9の軸方向Oの後端部9dに測定室30が接続され、測定室30内には、天秤アーム43、44先端の各試料S、Sの重量を測定する重量検出器32が配置されている。又、測定室30の先端部には管状のベローズ34が取り付けられ、ベローズ34の先端側はフランジ部36を形成している。
そして、支持台20及び測定室30が基台10の上面に載置されている。さらに、基台10の軸方向Oに沿って形成された溝にアクチュエータ22が配置され、支持台20はアクチュエータ22により、上記溝に沿って軸方向Oに進退可能になっている。そして、支持台20が測定室30に向かって後退し、フランジ部36がフランジ部7に気密に接続され、測定室30とファーナスチューブ9の内部が連通し、各天秤アーム43、44の後端がファーナスチューブ9を通って測定室30内部まで延びている。
このとき、試料容器51、52(試料ホルダ41,42)の直上に観察窓Wが位置して熱分析の測定が行われることになる。なお、熱分析装置本体部150の筐体の上面のうち、観察窓Wを含む部分に開口OPが形成されており、開口OPを介して熱分析測定中の試料Sを撮像する。
なお、試料S、Sをセット又は交換する場合には、支持台20をファーナスチューブ9毎、先端側に前進させ、各試料ホルダ41、42をファーナスチューブ9及び加熱炉3より後端側に露出させる。
次に、本発明の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置200の作用について説明する。
図2に示すように、熱分析装置用撮像装置200のレンズ筐体232を観察窓Wの直上に配置し、レンズ筐体232を観察窓Wに直接向けるように設置する。このとき、レンズ筐体232のレンズLと試料Sとの間には、望遠鏡やプリズムのような光学系が介在しないので、WDを大きくすることなく、又、光学系を大型なものや複雑なものとすることなく、試料Sの鮮明な画像が得られる。
又、熱分析装置用撮像装置200の冷却ファン210から冷却風通路Pasに沿って冷却風Airを送出することにより、冷却風通路Pas内に少なくとも一部が配置されたレンズ筐体232が冷却風Airにより空冷される。このため、レンズ筐体232を観察窓Wに直接向けるように設置した場合に、高温の観察窓Wの熱がレンズ筐体232に伝わるのを抑制し、撮像手段230の熱による損傷を抑制できる。
特に、本実施形態では、レンズ筐体232の先端側が排気部216より下面側に突出している。そして、排気部216は、レンズ筐体232の周方向外側を囲みつつ、レンズ筐体232の軸方向先端側へ向かい、かつ観察窓Wに向かって開口している。
このため、図2に示すように、冷却風Wは排気部216からレンズ筐体232の軸方向先端側へ排出され、このとき、レンズ筐体232に沿って冷却風Wが流れるため、レンズ筐体232の先端側が排気部216から突出していても、レンズ筐体232をより確実に冷却できると共に、高温の観察窓Wの熱をレンズ筐体232から遠ざける向きに冷却風Wが流れるので冷却効果がさらに向上する。
又、この実施形態では、保持部210の左側部210aが最も高さが低く、中央部210cから右側部210bへ向けて高さが高くなっている。そして、排気部216が左側部210aに形成され、吸気部212が右側部210bに形成されている。
このため、吸気部212から排気部216へ向かって冷却風通路Pasが窄まる、つまり冷却風通路Pasの断面積が減少するので、排気部216付近で冷却風通路Pasの流速が速くなる。そして、レンズ筐体232が吸気部212よりも排気部216に近い側に配置されているので、レンズ筐体232を流れる冷却風通路Pasの流速が速くなり、冷却効果がさらに向上する。
なお、「レンズ筐体232が吸気部212よりも排気部216に近い側に配置されている」とは、レンズ筐体232と排気部216との最短距離が、レンズ筐体232と吸気部212との最短距離よりも短いことをいう。
次に、図2を参照し、本発明の第2の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置について説明する。図2は、第2の実施形態に係る熱分析装置用撮像装置200xの概略構成を示す斜視図である。
熱分析装置用撮像装置200xは、保持部210の下面に底板を有しているが、左側部210aの下面が開口して排気部(排気口)216xを形成している点が第1の実施形態と異なる。熱分析装置用撮像装置200xも第1の実施形態の熱分析装置用撮像装置200と同様な作用効果を奏するにはいうまでもない。
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、熱分析装置本体部は、上記した熱重量測定(TG)装置の他、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義され、測定対象(試料)の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する全ての熱分析に適用可能である。具体的には、 (1)温度(温度差)を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量(重量変化)を検出する熱重量測定(TG)、等が挙げられる。又、熱分析装置本体部は、上記したファーナスチューブを備えたタイプに限定されない。又、開口部の形状、大きさ、位置等も上記した例に限定されない。
又、保持部の形状、冷却ファンの個数、排気部及び冷却風通路の形状や個数も上記した例に限定されない。
又、照明部材240は、スタンド260に直接設けたアーム(図示しない)に固定してもよい。
又、レンズ筐体の一部が冷却風通路に配置されていればよいが、レンズ筐体の全体が冷却風通路に配置されていてもよい。又、上記実施形態では、撮像手段の本体部は保持部の上方に配置され、冷却風通路内には配置されていないが、本体部の少なくとも一部が冷却風通路内に配置されていてもよい。なお、撮像手段の本体部はレンズ筐体よりも観察窓の反対側に位置するので、本体部が冷却風通路内には配置されていなくても、本体部がレンズ筐体よりも加熱されることはない。
150 熱分析装置本体部
200,200x 熱分析装置用撮像装置
210 保持部
212 吸気部
216,216x 排気部
220 冷却ファン
230 撮像手段
232 レンズ筐体
234 本体部
300 熱分析装置
W 観察窓
S 試料
Air 冷却風
Pas 冷却風通路

Claims (4)

  1. 熱分析装置本体部に設けられた観察窓から、該熱分析装置本体部の内部の加熱された試料を撮像する熱分析装置用撮像装置であって、
    レンズ筐体と本体部とを備えた撮像手段と、
    前記撮像手段を保持する保持部と、
    前記保持部の内部に配置された冷却ファンと、を備え、
    前記撮像手段は、前記レンズ筐体が前記観察窓に直接向けられ、前記本体部が前記レンズ筐体よりも前記観察窓の反対側に位置するようにして前記保持部に保持され、
    前記保持部は吸気部と排気部が形成された冷却風通路を有し、当該冷却風通路内に、前記レンズ筐体の少なくとも一部と前記冷却ファンとが配置され、前記レンズ筐体が前記冷却ファンから送出された冷却風により空冷される熱分析装置用撮像装置。
  2. 前記排気部は前記レンズ筐体の周方向外側を囲んで前記レンズ筐体の軸方向先端側へ向かって、かつ前記観察窓に向かって開口し、前記冷却風が前記排気部から前記レンズ筐体の軸方向先端側へ排出される請求項1に記載の熱分析装置用撮像装置。
  3. 前記吸気部から前記排気部へ向かって前記冷却風通路の断面積が減少し、かつ前記レンズ筐体は前記吸気部よりも前記排気部に近い側に配置されている請求項1又は2に記載の熱分析装置用撮像装置。
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載の熱分析装置用撮像装置と、観察窓を有して該観察窓から自身の内部の加熱された試料を撮像可能な熱分析装置本体部と、を備えた熱分析装置。
JP2014049877A 2014-03-13 2014-03-13 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置 Active JP6212416B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014049877A JP6212416B2 (ja) 2014-03-13 2014-03-13 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置
TW103143876A TWI620931B (zh) 2014-03-13 2014-12-16 Photographing device for thermal analysis device, and thermal analysis device therewith
CN201410806681.0A CN104914104B (zh) 2014-03-13 2014-12-23 热分析装置用摄像装置及具备它的热分析装置
US14/606,345 US9753509B2 (en) 2014-03-13 2015-01-27 Imaging apparatus for thermal analyzer and thermal analyzer including the same
DE102015101293.6A DE102015101293B4 (de) 2014-03-13 2015-01-29 Bildaufnahmeeinrichtung zur thermischen Analyse und ein diese umfassender thermischer Analysator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014049877A JP6212416B2 (ja) 2014-03-13 2014-03-13 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015175618A true JP2015175618A (ja) 2015-10-05
JP6212416B2 JP6212416B2 (ja) 2017-10-11

Family

ID=54010291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014049877A Active JP6212416B2 (ja) 2014-03-13 2014-03-13 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9753509B2 (ja)
JP (1) JP6212416B2 (ja)
CN (1) CN104914104B (ja)
DE (1) DE102015101293B4 (ja)
TW (1) TWI620931B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019186871A (ja) * 2018-04-17 2019-10-24 キヤノン株式会社 冷却装置およびそれを備える撮像装置
JP2020148477A (ja) * 2019-03-11 2020-09-17 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6061836B2 (ja) * 2013-12-04 2017-01-18 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱重量測定装置
JP6212416B2 (ja) * 2014-03-13 2017-10-11 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置
TWI630669B (zh) * 2017-01-20 2018-07-21 萬潤科技股份有限公司 液體檢測裝置
JP7365278B2 (ja) * 2019-06-19 2023-10-19 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置
CN110763149B (zh) * 2019-11-12 2022-10-14 广东莱伯通试验设备有限公司 一种半导体晶圆翘曲形变测试设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58112956U (ja) * 1982-01-28 1983-08-02 三菱重工業株式会社 試料皿
JPS5949950U (ja) * 1982-09-28 1984-04-03 三田村理研工業株式会社 融点・凝固点測定装置
JP2008160577A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Murata Mach Ltd 画像読取装置及びファクシミリ装置
US20150264277A1 (en) * 2014-03-13 2015-09-17 Hitachi High-Tech Science Corporation Imaging Apparatus for Thermal Analyzer and Thermal Analyzer Including the Same

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4695881A (en) * 1985-12-16 1987-09-22 Kennedy Jesse R Apparatus for imaging infrared emitting surfaces
JPH02102440A (ja) 1988-10-12 1990-04-16 Shinku Riko Kk 熱分析装置
US4981088A (en) * 1990-05-14 1991-01-01 Diamond Electronics, Inc. Slag eliminator for furnace viewing system
JPH09138205A (ja) * 1995-11-15 1997-05-27 Agency Of Ind Science & Technol 赤外線サーモグラフィによる材料の欠陥検出方法
TW352346B (en) * 1997-05-29 1999-02-11 Ebara Corp Method and device for controlling operation of melting furnace
US6111599A (en) * 1998-01-14 2000-08-29 Westinghouse Savannah River Company Apparatus for observing a hostile environment
JP2000295502A (ja) * 1999-04-06 2000-10-20 Asahi Glass Co Ltd 炉内観察装置
US6709667B1 (en) * 1999-08-23 2004-03-23 Conceptus, Inc. Deployment actuation system for intrafallopian contraception
JP3409259B2 (ja) * 2000-10-02 2003-05-26 山陽精工株式会社 高温観察装置
CN1589398A (zh) * 2001-11-19 2005-03-02 财团法人理工学振兴会 热分析方法和热分析装置
JP5403852B2 (ja) * 2005-08-12 2014-01-29 株式会社荏原製作所 検出装置及び検査装置
JP4873962B2 (ja) * 2006-02-27 2012-02-08 関西熱化学株式会社 炉内観察装置およびそれを備えた押出ラム
JP4926866B2 (ja) 2007-07-23 2012-05-09 東興ジオテック株式会社 老朽化モルタル吹付法面の再生工法及び補強構造並びに法面安定化工法
JP2011053077A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Sii Nanotechnology Inc 熱分析装置
US8184151B2 (en) * 2009-09-18 2012-05-22 Siemens Energy, Inc. Flexible imaging fiber bundle monitoring system for combustion turbines
WO2011158873A1 (ja) * 2010-06-16 2011-12-22 旭硝子株式会社 電子デバイス
CN201779984U (zh) * 2010-08-11 2011-03-30 中钢集团洛阳耐火材料研究院有限公司 一种带有管式成像机构的耐火度试验炉
US9480544B2 (en) * 2012-01-27 2016-11-01 Ivoclar Vivadent Ag Dental furnace
JP5792660B2 (ja) * 2012-03-06 2015-10-14 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58112956U (ja) * 1982-01-28 1983-08-02 三菱重工業株式会社 試料皿
JPS5949950U (ja) * 1982-09-28 1984-04-03 三田村理研工業株式会社 融点・凝固点測定装置
JP2008160577A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Murata Mach Ltd 画像読取装置及びファクシミリ装置
US20150264277A1 (en) * 2014-03-13 2015-09-17 Hitachi High-Tech Science Corporation Imaging Apparatus for Thermal Analyzer and Thermal Analyzer Including the Same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019186871A (ja) * 2018-04-17 2019-10-24 キヤノン株式会社 冷却装置およびそれを備える撮像装置
JP7154805B2 (ja) 2018-04-17 2022-10-18 キヤノン株式会社 冷却装置およびそれを備える撮像装置
JP2020148477A (ja) * 2019-03-11 2020-09-17 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置
JP7236728B2 (ja) 2019-03-11 2023-03-10 株式会社日立ハイテクサイエンス 熱分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104914104A (zh) 2015-09-16
US20150264277A1 (en) 2015-09-17
CN104914104B (zh) 2019-02-26
TWI620931B (zh) 2018-04-11
US9753509B2 (en) 2017-09-05
DE102015101293B4 (de) 2024-05-08
JP6212416B2 (ja) 2017-10-11
TW201534907A (zh) 2015-09-16
DE102015101293A1 (de) 2015-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6212416B2 (ja) 熱分析装置用撮像装置、及びそれを備えた熱分析装置
JP6061836B2 (ja) 熱重量測定装置
JP6246113B2 (ja) 熱分析装置
JP5792660B2 (ja) 熱分析装置
JP2015108540A5 (ja)
JP2008192616A (ja) 粒子ビーム及び光を用いる顕微鏡で試料を観察する装置
JP7365278B2 (ja) 熱分析装置
US11460425B2 (en) Thermal analyzer
JP2018077416A (ja) 顕微鏡
JP2015144731A5 (ja)
JP2008096298A (ja) 高炉装入物プロフィルの測定方法及び測定装置
JP2021524023A (ja) トポグラフィック測定装置
JP5405419B2 (ja) レンズ検査装置
JP2014070929A (ja) 光センシングデバイスユニットおよび光センシング装置
JP2008128770A (ja) レンズ性能検査装置及びレンズ性能検査方法
JP2018081041A (ja) 加熱対象物計測システム
TWI845863B (zh) Mtf測試設備及其用途
JP2020034607A (ja) 撮像装置、メータ画像の撮像方法および撮像システム
RU2649071C1 (ru) Универсальная микросистема на основе карбида кремния
RU162207U1 (ru) Устройство крепления тугоплавких материалов внутри камеры высокого давления для экспериментов с лазерным нагревом
TW202318095A (zh) 光學鏡頭裝置及光學量測方法
JP2004325418A (ja) ニュートンリング観察測定装置
TW202248614A (zh) 用於測量光學系統的成像特性的裝置和方法
JP2015177313A (ja) デジタルカメラ
JP2019170658A (ja) 内視鏡装置、内視鏡装置における光学系の切り替え判定方法、プログラム、および記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161020

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170828

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170915

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6212416

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250