JP5405419B2 - レンズ検査装置 - Google Patents
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Description
12 被検レンズ
13 光軸(被検レンズの光軸)
15 レンズ保持部
16〜19 十字チャート(テストチャート)
21 センタコリメータ
22 第1サイドコリメータ
23 第2サイドコリメータ
24 第1回転ステージ
25 第2回転ステージ
26 第1ガイド
27 第2ガイド
28 撮像部
30 チャート板
32 光源部
33 LED
34 ヒートシンク
35 集光レンズ
36 コリメートレンズ
40 ベース部材
41 台座
42 固定枠
43 (センタコリメータから出射する)チャート光の出射光軸
44,80,90 (第1サイドコリメータの)出射光軸
45,81,91 (第2サイドコリメータの)出射光軸
46 第1スライドステージ
47 第2スライドステージ
48,49 矢印
50 拡大光学系
51 結像レンズ
52 カメラ部
53 (拡大光学系の)光軸
55 三次元ステージ
56 Yステージ
57 Xステージ
58 Zステージ
60 (被検レンズの)入射面
62 拡大光学系50の撮影範囲
64 十字チャート16〜19の空中像
71〜79,82〜89,92〜99 入射面60上の位置
100 制御装置
102 CPU
103 システムメモリ
105 (モータ用の)ドライバ
111 第1回転ステージ用モータ
112 第2回転ステージ用モータ
113 第1スライドステージ用モータ
114 第2スライドステージ用モータ
115 レンズ保持部用モータ
116 Xステージ用モータ
117 Yステージ用モータ
118 Zステージ用モータ
Claims (4)
- ベース部材上に支持され、被検レンズが光軸回りに回転自在に保持されるレンズ保持部と、
前記ベース部材上に支持されるとともに、テストチャート及びコリメートレンズを内蔵し、被検レンズにその光軸上から前記テストチャートからの平行光を入射させるセンタコリメータと、
前記センタコリメータ側から前記レンズ保持部側に近づくにつれて前記光軸から離れるように前記ベース部材上に設けられた直線状の第1ガイドと、
前記第1ガイドにより直線的に移動自在、かつ前記第1ガイド上の任意の位置でベース部材に垂直な軸回りに揺動自在に支持されるとともに、テストチャート及びコリメートレンズを内蔵し、前記レンズ保持部で保持された被検レンズにその光軸外から前記テストチャートからの平行光を入射させる第1サイドコリメータと、
前記被検レンズの光軸と平行に、かつ前記光軸に直交する面内の2方向に移動自在に支持され、前記被検レンズによって空中結像された前記センタコリメータまたは第1サイドコリメータからのテストチャートの像を撮像する撮像部と、
を備えたことを特徴とするレンズ検査装置。 - 前記第1ガイドは、前記センタコリメータの近傍から光軸方向に前記被検レンズが保持される位置を越えて延ばされ、かつ前記第1サイドコリメータの光軸が前記センタコリメータの光軸から120°まで傾くように前記第1サイドコリメータの揺動範囲が設定されていることを特徴とする請求項1記載のレンズ検査装置。
- 前記センタコリメータの光軸に関して前記第1ガイドと線対称となる位置に第2ガイドが設けられ、この第2ガイドにより直線的に移動自在、かつ前記第2ガイド上の任意の位置でベース部材に垂直な軸回りに揺動自在に支持されるとともに、テストチャート及びコリメートレンズを内蔵し、前記レンズ保持部で保持された被検レンズにその光軸上から前記テストチャートからの平行光を入射させる第2サイドコリメータを備えたことを特徴とする請求項2記載のレンズ検査装置。
- 前記センタコリメータ及び第1,第2サイドコリメータの各々に複数種類のテストチャートが内蔵され、それぞれのコリメータごとに任意の1つのテストチャートが選択可能であることを特徴とする請求項3記載のレンズ検査装置。
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JP2010201835A JP5405419B2 (ja) | 2010-09-09 | 2010-09-09 | レンズ検査装置 |
Publications (2)
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JP5405419B2 true JP5405419B2 (ja) | 2014-02-05 |
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Family Applications (1)
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2010
- 2010-09-09 JP JP2010201835A patent/JP5405419B2/ja not_active Expired - Fee Related
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