JPS62138734A - 自動ｍｔｆ測定装置 - Google Patents
自動ｍｔｆ測定装置Info
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- JPS62138734A JPS62138734A JP28133785A JP28133785A JPS62138734A JP S62138734 A JPS62138734 A JP S62138734A JP 28133785 A JP28133785 A JP 28133785A JP 28133785 A JP28133785 A JP 28133785A JP S62138734 A JPS62138734 A JP S62138734A
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- mtf
- ronchi grating
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、焦点全自動的に検出する機能を有する、光学
レンズ用のＭ Ｔ Ｆ （ＭｏｄｕｌａｔｉｏｎＴｒａ
ｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ以下ＭＴＦと略記する。
レンズ用のＭ Ｔ Ｆ （ＭｏｄｕｌａｔｉｏｎＴｒａ
ｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ以下ＭＴＦと略記する。
）の自動測定装置に関するものである。
従来の技術
近年、光学レンズの性能全定量的に評価するた。
めの指標としてＭＴＦ値が重要視されるようになってき
た。
た。
従来のＭＴＦ測定装置は、目視により焦点合せ全行ない
、被検レンズとロンキー格子全同時に回転させることに
よりロンキー格子に点線を走査させて得られた光の強弱
のデータを収集した後、波形解析処理してＭＴＦ値全測
定していた。
、被検レンズとロンキー格子全同時に回転させることに
よりロンキー格子に点線を走査させて得られた光の強弱
のデータを収集した後、波形解析処理してＭＴＦ値全測
定していた。
以下図面を参照しながら、従来のＭＴＦ測定装置につい
て説明する。
て説明する。
第２図は従来のＭＴＦ測定装置の断面図を示すものであ
る。
る。
定盤１上を光軸２の方向に摺動する照明スタンド３とコ
リメータレンイスタンド４と光電変換スタンド６に加え
、被検レンズメタ／ドロとロンキー格子スタンド７と摺
動台８を搭載しモータ９とボールねじ１０により揺動す
る回転テーブル１１と信号処理装置１２と外乱光をしゃ
へいする暗箱１３から構成されていた。摺動台８には回
転テーブル１１の回転軸１４に零をあわせた余尺１６が
取付けられていた。
リメータレンイスタンド４と光電変換スタンド６に加え
、被検レンズメタ／ドロとロンキー格子スタンド７と摺
動台８を搭載しモータ９とボールねじ１０により揺動す
る回転テーブル１１と信号処理装置１２と外乱光をしゃ
へいする暗箱１３から構成されていた。摺動台８には回
転テーブル１１の回転軸１４に零をあわせた余尺１６が
取付けられていた。
以上のように構成されたＭＴＦ測定装置につ、いて、以
下その動作について説明する。
下その動作について説明する。
まず、照明スタンド３のピンホール１６から出た光は、
コリメータレンズ１了を経て被検レンズ１８の焦点面に
結像゛する。この像面にロンキー格子１９をレンズの光
軸２に直交させておき、被検レンズ１８の第２主点付近
を回転軸１４として、光軸２を含む面内で被検レンズ１
８とロンキー格子１９を同時に回転させるとロンキー格
子１９が点像を走査することになる。点像ｉｏンキー格
子１９が走督して得られる透過光は、フィールドレンズ
２０で平行となり、光電子倍増管２１に入射して光電変
換される。光電変換された電気信号より信号処理装置１
２ば、ピーク値（最犬僅）Ａ。
コリメータレンズ１了を経て被検レンズ１８の焦点面に
結像゛する。この像面にロンキー格子１９をレンズの光
軸２に直交させておき、被検レンズ１８の第２主点付近
を回転軸１４として、光軸２を含む面内で被検レンズ１
８とロンキー格子１９を同時に回転させるとロンキー格
子１９が点像を走査することになる。点像ｉｏンキー格
子１９が走督して得られる透過光は、フィールドレンズ
２０で平行となり、光電子倍増管２１に入射して光電変
換される。光電変換された電気信号より信号処理装置１
２ば、ピーク値（最犬僅）Ａ。
ボトム値（最小値）Ｂを選別し、更には像のＭＴＦ八−
Ｂ 値Ｉ （ｆｌ ＝ Ａ＋Ｂ’に計算する。一方、摺動台
８に設置された余尺１６より読みとった被検レンズ１８
の焦点距離、ピンホール１６の直径、ロンキー格子１９
の空間周波数よりピンホールのＭＴＦ値Ｒ（１）が計算
でき更には被検レンズ１８のＭＴＦ値Ｔσ）がＴ（刀＝
Ｉ（ｆ）／Ｒ（ｆ）なる式で計算できる（例えば、松井
弘之「量産用レンズテスター」、（光学技術］スタンド
、ｖｏｌｌＢ、扁４、Ｐ３１−Ｐ３９ ）。
Ｂ 値Ｉ （ｆｌ ＝ Ａ＋Ｂ’に計算する。一方、摺動台
８に設置された余尺１６より読みとった被検レンズ１８
の焦点距離、ピンホール１６の直径、ロンキー格子１９
の空間周波数よりピンホールのＭＴＦ値Ｒ（１）が計算
でき更には被検レンズ１８のＭＴＦ値Ｔσ）がＴ（刀＝
Ｉ（ｆ）／Ｒ（ｆ）なる式で計算できる（例えば、松井
弘之「量産用レンズテスター」、（光学技術］スタンド
、ｖｏｌｌＢ、扁４、Ｐ３１−Ｐ３９ ）。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、
（１）被検レンズ１８の焦点位置にロンキー格子１９の
面をあわせる作業の調整の都度光電子倍増管２１の高圧
スイッチ２２金切り、暗箱１３のカバーをはずし装置の
中に首を入れ摺動台８に設置された余尺１６の目盛を読
みとる等煩雑な操作が必要で読みとりミスも発生しやす
く、又読みとれる測定値も０．２価程度で測定値の信頼
性９分解能のうえでも不充分であったこと、（１１）上
記操作金紗て読みとった被検レンズ１８の焦点距離はデ
ータ処理装置２４のキーボード２６より作業者がキーイ
ンしピンホール１６のＭＴＦ値Ｒ（ｆ）の計算に使われ
る。このような手間のかかる調整のため測定時間が遅い
こと、（１１０ラジアル方向とタンジエンシャル方向の
ＭＴＦ値を求める際には、各々に対応したロンキー格子
１９を交換する必要があり、その都度また焦点の合せ直
しを行なうため、時間がかかるとともに、ラジアル方向
とタンジエンシャル方向の焦点位置が必ずしも一致しな
いこと、という問題を有していた。
面をあわせる作業の調整の都度光電子倍増管２１の高圧
スイッチ２２金切り、暗箱１３のカバーをはずし装置の
中に首を入れ摺動台８に設置された余尺１６の目盛を読
みとる等煩雑な操作が必要で読みとりミスも発生しやす
く、又読みとれる測定値も０．２価程度で測定値の信頼
性９分解能のうえでも不充分であったこと、（１１）上
記操作金紗て読みとった被検レンズ１８の焦点距離はデ
ータ処理装置２４のキーボード２６より作業者がキーイ
ンしピンホール１６のＭＴＦ値Ｒ（ｆ）の計算に使われ
る。このような手間のかかる調整のため測定時間が遅い
こと、（１１０ラジアル方向とタンジエンシャル方向の
ＭＴＦ値を求める際には、各々に対応したロンキー格子
１９を交換する必要があり、その都度また焦点の合せ直
しを行なうため、時間がかかるとともに、ラジアル方向
とタンジエンシャル方向の焦点位置が必ずしも一致しな
いこと、という問題を有していた。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の自動ＭＴＦ測定装
置は、平行光線全照射する光源と、被検レンズを光軸を
中心に任意の角度だけ回転させる第１の回転テーブルと
、ラジアル方向とタンジェンシャル方向のパターンを有
するロンキー格子を連続走査させる走査装置と、前記走
査装置を光軸方向に移動させる第１の位置決めテーブル
と、前記第１の回転テーブルと第１の位置決めテーブル
とを搭載し光軸方向に移動する第２の位置決めテーブル
と、前記第２の位置決めテーブルを搭載し水平方向に任
意の角度だけ回転可能な第２の回転テーブルと、ロンキ
ー格子を透過した光を受光する受光装置と、前記受光装
置からの信号からピーク値とボトム値を検出する計測装
置と、前記第１の位置決めテーブルの位置データおよび
前記計測装置で得られるピーク値とボトム値からＭＴＦ
値を算出するデータ処理装置と、第１の位置決めテーブ
ルの位置全制御し、前記データ処理装置で得られるＩＶ
ｆ Ｔ Ｆ値を参照して、ＭＴＦ値が最大となる焦点位
置に第１の位置決めテーブルを位置決めする制御装置と
を備えた事を特徴とするものである。
置は、平行光線全照射する光源と、被検レンズを光軸を
中心に任意の角度だけ回転させる第１の回転テーブルと
、ラジアル方向とタンジェンシャル方向のパターンを有
するロンキー格子を連続走査させる走査装置と、前記走
査装置を光軸方向に移動させる第１の位置決めテーブル
と、前記第１の回転テーブルと第１の位置決めテーブル
とを搭載し光軸方向に移動する第２の位置決めテーブル
と、前記第２の位置決めテーブルを搭載し水平方向に任
意の角度だけ回転可能な第２の回転テーブルと、ロンキ
ー格子を透過した光を受光する受光装置と、前記受光装
置からの信号からピーク値とボトム値を検出する計測装
置と、前記第１の位置決めテーブルの位置データおよび
前記計測装置で得られるピーク値とボトム値からＭＴＦ
値を算出するデータ処理装置と、第１の位置決めテーブ
ルの位置全制御し、前記データ処理装置で得られるＩＶ
ｆ Ｔ Ｆ値を参照して、ＭＴＦ値が最大となる焦点位
置に第１の位置決めテーブルを位置決めする制御装置と
を備えた事を特徴とするものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、ロンキー格子自体を連
続定歪させることにより、被検レンズとロンキー格子を
同時に回転させる必要がないのでレンズの中の１点での
測定を短時間で行なえる。
続定歪させることにより、被検レンズとロンキー格子を
同時に回転させる必要がないのでレンズの中の１点での
測定を短時間で行なえる。
さらにロンキー格子はラジアル方向とタンジェンンヤル
方向のパターンを有しているため同時に上記両方向のＭ
ＴＦ値が測定できる。
方向のパターンを有しているため同時に上記両方向のＭ
ＴＦ値が測定できる。
また、焦点位置にロンキー格子を自動的に位置するよう
に制御してｋＴＦ値を測定するので、信頼性の高い測定
値を得る墨ができる。
に制御してｋＴＦ値を測定するので、信頼性の高い測定
値を得る墨ができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の実施例における自動ＭＴＦ測定装置
の断面図である。第１図において、１００は平行光線全
照射する光源で、ランプ３３、ピンホール１６、コリメ
ータレンズ１７で構成さし、＆３４は被検レンズ１８を
回転させる第１の回転テーブル、３５は第１の回転テー
ブル３４を搭載し光軸方向に移動可能な第２の位置決め
テーブル、３６はロンキー格子４１およびその走査装置
９９を搭載し第２の位置決めテーブル３６上に光軸方向
に移動可能な第１の位置決めチー プル、３７は第２の
位置決めテーブル３５′ｆｒ：搭載した第２の回転テー
ブルである。３８は光電変換部２１とフィールドレンズ
２０を搭載し、光軸方向に移動可能な第３の位置決めテ
ーブルであって、これらで受光装置９８を構成している
。４３は光電変換部２１からの信号を処理する計測装置
である。第１の回転テーブル３４．第２の位置決めテー
ブル３６、第１の位置決めテーブル３６、第２の回転テ
ーブル３了、フィールド位置決めテーブル３８は、それ
ぞれＮＣ制御されたモーターにより駆動・位置決めされ
、４４ばこれらの位置制御を行なう制御装面である。４
６は測定条件、位置データ、測定値よりＭＴＦ値を算出
するデータ処理装置である。
の断面図である。第１図において、１００は平行光線全
照射する光源で、ランプ３３、ピンホール１６、コリメ
ータレンズ１７で構成さし、＆３４は被検レンズ１８を
回転させる第１の回転テーブル、３５は第１の回転テー
ブル３４を搭載し光軸方向に移動可能な第２の位置決め
テーブル、３６はロンキー格子４１およびその走査装置
９９を搭載し第２の位置決めテーブル３６上に光軸方向
に移動可能な第１の位置決めチー プル、３７は第２の
位置決めテーブル３５′ｆｒ：搭載した第２の回転テー
ブルである。３８は光電変換部２１とフィールドレンズ
２０を搭載し、光軸方向に移動可能な第３の位置決めテ
ーブルであって、これらで受光装置９８を構成している
。４３は光電変換部２１からの信号を処理する計測装置
である。第１の回転テーブル３４．第２の位置決めテー
ブル３６、第１の位置決めテーブル３６、第２の回転テ
ーブル３了、フィールド位置決めテーブル３８は、それ
ぞれＮＣ制御されたモーターにより駆動・位置決めされ
、４４ばこれらの位置制御を行なう制御装面である。４
６は測定条件、位置データ、測定値よりＭＴＦ値を算出
するデータ処理装置である。
尚、第１図にＭで示すのは、モータである。
第３図は、ロンキー格子４１の拡大図を示すものであっ
て、６０はラジアル方向、６１はタンジエンシャル方向
の測定用のロンキー格子パターンであり、走査装置９９
の移動に伴ってａ方向に往復運動全行なって用いる。
て、６０はラジアル方向、６１はタンジエンシャル方向
の測定用のロンキー格子パターンであり、走査装置９９
の移動に伴ってａ方向に往復運動全行なって用いる。
第４図は、測定動作時の光電変換部２１の出力信号であ
り光軸がロンキー格子４１によってさえぎられだ時小さ
くなり光が通過した時に大きくなる。この波形は、ロン
キー格子４１が焦点に近づけば近づくほどピーク値（最
大値）とボトム値（最小値〕の比が大きくなり、逆に焦
点がずれるにつれて、振幅の小さな波形となる。
り光軸がロンキー格子４１によってさえぎられだ時小さ
くなり光が通過した時に大きくなる。この波形は、ロン
キー格子４１が焦点に近づけば近づくほどピーク値（最
大値）とボトム値（最小値〕の比が大きくなり、逆に焦
点がずれるにつれて、振幅の小さな波形となる。
第５図は、ＭＴＦ値と焦点位置の関係全示すものであり
、ＭＴＦ値はその特性上焦点面で最大値全とり、その両
側ではある範囲までは単純に減少する。
、ＭＴＦ値はその特性上焦点面で最大値全とり、その両
側ではある範囲までは単純に減少する。
第６図は、計測装置４３のブロック図である。
光電変換部２１に入力した光はフォトマルに上りポ気信
号に変換され、増巾器６２、ローパスフィルター６３を
通過した信号から、ピークホールド回路６４で最大値を
、ボトムホールド回路５６で最小値全検出する。これｉ
Ａ／Ｄ変換器６７でデジタル値に変換して、ＭＴＦ値の
算出に用いる。
号に変換され、増巾器６２、ローパスフィルター６３を
通過した信号から、ピークホールド回路６４で最大値を
、ボトムホールド回路５６で最小値全検出する。これｉ
Ａ／Ｄ変換器６７でデジタル値に変換して、ＭＴＦ値の
算出に用いる。
６６は波形観測用のオシロスコープであり、第４図のよ
うな波形が観測される。又９７はロンキー格子タイミン
グ信号である。
うな波形が観測される。又９７はロンキー格子タイミン
グ信号である。
ここで、１回分の測定のための装置の動作について説明
する。
する。
光源１００から出た平行光は、被検レンズ１８にてロン
キー格子面近辺に焦点を結ぶ。この状態でロンキー格子
４１を第３図に示すａ１５向に１往復走査させると、受
光装置９８の光電変換部２１では第４図のような波形が
得られる。この波形から第６図の計測装置４３によりピ
ーク値Ａとボトム＋［Ｂ ｋ検出する。この値と第１の
位置決めテーブル３６の位置データを用いて、式（１）
よりＭＴＦ値ヲ算出する。ロンキー格子４１の１往復で
ラジアル方向のロンキー格子パターンと、タンジェンシ
ャル方向のロンキー格子パターンを走査するしうるので
往復時にラジアル方向のＭＴＦ値全、復時にタンジェン
シャル方向のＭＴＦ値を測定する。
キー格子面近辺に焦点を結ぶ。この状態でロンキー格子
４１を第３図に示すａ１５向に１往復走査させると、受
光装置９８の光電変換部２１では第４図のような波形が
得られる。この波形から第６図の計測装置４３によりピ
ーク値Ａとボトム＋［Ｂ ｋ検出する。この値と第１の
位置決めテーブル３６の位置データを用いて、式（１）
よりＭＴＦ値ヲ算出する。ロンキー格子４１の１往復で
ラジアル方向のロンキー格子パターンと、タンジェンシ
ャル方向のロンキー格子パターンを走査するしうるので
往復時にラジアル方向のＭＴＦ値全、復時にタンジェン
シャル方向のＭＴＦ値を測定する。
以上のように、被検レンズ１８の中の１点のＭＴＦ値の
測定は、ロンキー格子４１の１往復中に行なう事ができ
る。
測定は、ロンキー格子４１の１往復中に行なう事ができ
る。
第７図は測定動作フローを示したもので、第８図に第７
スの中の焦点検出の部分の詳細フローを示す。
スの中の焦点検出の部分の詳細フローを示す。
第２の位置決めテーブル３５を被検レンズ１８の第２主
１４が第２の回転テーブル３７の回転軸に一致するよう
に、第２の回転テーブル３７を被検レンズ１８と光軸２
が平行となるように、第１の位置決めテーブル３６を焦
点付近に、フィールド位置決めテーブル３８をロンキー
格子４１を通過した光を受光できる位置に、それぞれ位
置決めする（フロー図■）。
１４が第２の回転テーブル３７の回転軸に一致するよう
に、第２の回転テーブル３７を被検レンズ１８と光軸２
が平行となるように、第１の位置決めテーブル３６を焦
点付近に、フィールド位置決めテーブル３８をロンキー
格子４１を通過した光を受光できる位置に、それぞれ位
置決めする（フロー図■）。
次に第１の位置決めテーブル３６を光軸方向に移動しな
がらＭＴＦ値を測定して、その頭が最大となる焦点位置
を検出する（フロー図■）。焦点の検出が終れば、まず
光軸上で、前記したようにロンキー格子４１を走査して
ＭＴＦｇＬを測定する（フロー図■）ｏ被検レンズ１８
の中の他の点に関しては、第１の回転テーブル３４と第
２の回転テーブル３７を回転させた後、ロンキー格子４
１を定歪してＭ Ｔ Ｆ値を測定する。全測定点の測定
が終了するまで、この動作企くりかえす（フロー図■、
■、■）。測定条件、測定結果全出力して動作を終了す
る（フロー図■）Ｑ 焦点検出は次のように行なう。
がらＭＴＦ値を測定して、その頭が最大となる焦点位置
を検出する（フロー図■）。焦点の検出が終れば、まず
光軸上で、前記したようにロンキー格子４１を走査して
ＭＴＦｇＬを測定する（フロー図■）ｏ被検レンズ１８
の中の他の点に関しては、第１の回転テーブル３４と第
２の回転テーブル３７を回転させた後、ロンキー格子４
１を定歪してＭ Ｔ Ｆ値を測定する。全測定点の測定
が終了するまで、この動作企くりかえす（フロー図■、
■、■）。測定条件、測定結果全出力して動作を終了す
る（フロー図■）Ｑ 焦点検出は次のように行なう。
まず、イニシャル設定された位置（焦点の近辺の点でこ
こ全０とする。）においてＭＴＦ値を測定しＭＴＦｏ４
として記憶する（フロー図■）。次に第１の位置決めテ
ーブル３６を光軸方向に単位量（１〜数μｍ）だけ移動
させる（この移動方同全十とする）、（フロー図■）。
こ全０とする。）においてＭＴＦ値を測定しＭＴＦｏ４
として記憶する（フロー図■）。次に第１の位置決めテ
ーブル３６を光軸方向に単位量（１〜数μｍ）だけ移動
させる（この移動方同全十とする）、（フロー図■）。
その点でＭＴＦ値全測定し、ＭＴＦｌとして記憶する（
フロー図［相］氾ＭＴＦ とＭＴＦ１’ｉ比較する事
により焦点がイ二〇 シャル設定点のどちらにあるかを判定する（フロー図０
）。
フロー図［相］氾ＭＴＦ とＭＴＦ１’ｉ比較する事
により焦点がイ二〇 シャル設定点のどちらにあるかを判定する（フロー図０
）。
ＭＴＦｏの方が大きい場合、焦点は−の側に、ＭｒＦｌ
の方が大きい場合は、十の側に存在するので、各範囲に
限定して焦点をさがす。
の方が大きい場合は、十の側に存在するので、各範囲に
限定して焦点をさがす。
（ａ） ＭＴ Ｆ １の方が大きい場合ＭＴＦ を
ＭＴＦｏとして記憶しなおしくフロー図Ｑ）、第１の位
置決めテーブル３６を再度移動して、ＭＴＦ値を測定し
てＭＴＦｌとして記憶する（フロー図＠、［相］）。Ｍ
ＴＦｏとＭＴＦｌを比較してＭＴＦｌが太きければ再度
上記動作（フロー図■、＠）ｋ＜りかえし、ＭＴＦｏが
大きければ、それが最大値となる（フロー図■）０ら）
ＭＴＦｏの方が大きい場合 第１の位置決めテーブル３６を今度は一方向に移動して
ＭＴＦ値を測定しＭＴ Ｆ ２として記憶する（フロー
図◎、０）。ＭＴＦｏとＭＴＦ２２比較して、ＭＴＦ２
が大きければ、ＭＴＦ２をＭＴＦｏとして記憶しなおし
くフロー図■〕、再度上記動作（フロー図■、ｏ）をく
りかえし、ＭＴＦ。
ＭＴＦｏとして記憶しなおしくフロー図Ｑ）、第１の位
置決めテーブル３６を再度移動して、ＭＴＦ値を測定し
てＭＴＦｌとして記憶する（フロー図＠、［相］）。Ｍ
ＴＦｏとＭＴＦｌを比較してＭＴＦｌが太きければ再度
上記動作（フロー図■、＠）ｋ＜りかえし、ＭＴＦｏが
大きければ、それが最大値となる（フロー図■）０ら）
ＭＴＦｏの方が大きい場合 第１の位置決めテーブル３６を今度は一方向に移動して
ＭＴＦ値を測定しＭＴ Ｆ ２として記憶する（フロー
図◎、０）。ＭＴＦｏとＭＴＦ２２比較して、ＭＴＦ２
が大きければ、ＭＴＦ２をＭＴＦｏとして記憶しなおし
くフロー図■〕、再度上記動作（フロー図■、ｏ）をく
りかえし、ＭＴＦ。
が大きければ、それが最大値となる。
以上のようにして求められた点は、１つ前に測定した位
置であるので、最大値をとった点に戻して（フロー図［
相］）焦点検出を終える。
置であるので、最大値をとった点に戻して（フロー図［
相］）焦点検出を終える。
データ処理装置４６で行なうＭＴＦ値の算出式を下記に
示す。
示す。
Ｉσ）＝罰Ｔ ・・・・・・・・・・・・・・・、
・・・・・・０）Ｒσ）＝Ｊ１（２πａｆ）／（πａｆ
）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
（３）Ｔ（ｆ′）＝Ｉσ）／Ｒσ） ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４）Ｉ
げ）：像のＭＴＦ値 Ａ：光電変換した信号のピーク値（最大値）Ｂ：光電変
換した信号のボトム値（最小値）ａ：ビンホールの像面
での理想半径 ｄ：ビンホールの半径（固定） ｆＴ：被検レンズの焦点距離 ｆｏ：コリメータレンズの焦点距離（固定）ｄ：ビンホ
ールの半径（固定） Ｒ（ｆ） ：ビンホールのＭＴＦ値 ｆ：ロンキー格子の空間周波数（固定）Ｔσ）：レンズ
のＭＴＦ値 なお、ピーク値、ボトム値の検出は、入力を先にＡ／Ｄ
変換したのち、デジタル的に行なっても同じ効果が得ら
れる事はいうまでもない。
・・・・・・０）Ｒσ）＝Ｊ１（２πａｆ）／（πａｆ
）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
（３）Ｔ（ｆ′）＝Ｉσ）／Ｒσ） ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４）Ｉ
げ）：像のＭＴＦ値 Ａ：光電変換した信号のピーク値（最大値）Ｂ：光電変
換した信号のボトム値（最小値）ａ：ビンホールの像面
での理想半径 ｄ：ビンホールの半径（固定） ｆＴ：被検レンズの焦点距離 ｆｏ：コリメータレンズの焦点距離（固定）ｄ：ビンホ
ールの半径（固定） Ｒ（ｆ） ：ビンホールのＭＴＦ値 ｆ：ロンキー格子の空間周波数（固定）Ｔσ）：レンズ
のＭＴＦ値 なお、ピーク値、ボトム値の検出は、入力を先にＡ／Ｄ
変換したのち、デジタル的に行なっても同じ効果が得ら
れる事はいうまでもない。
発明の効果
以上のように本発明によればレンズの中の１点が同時に
でき、更に焦点位置にロンキー格子を自動的に位置させ
てＭＴＦ値測定ができる結果、個人差による測定誤差を
含む事なく、高速で高精度なＬｗｉＴＦ値測定を行なう
ことができる。
でき、更に焦点位置にロンキー格子を自動的に位置させ
てＭＴＦ値測定ができる結果、個人差による測定誤差を
含む事なく、高速で高精度なＬｗｉＴＦ値測定を行なう
ことができる。
第１図は本発明における一実施例の自動ＭＴＦ測定装置
の断面図、第２図は従来例の断面図、第３図は本発明の
上記実施例におけるロンキー格子パターンの拡大図、第
４図は光電変換された信号波形図、第６図はＭＴＦ値と
焦点位置との関係を示すグラフ、第６図は計測装置のブ
ロック図、第７図は動作フロー図、第８図は第７図の焦
点検出部分の詳細フロー図である。 １８・・・・・・被検レンズ、３４・・・・・・第１の
回転チーグル、３５・・・・・・第２の位置決めテーブ
ル、３６・・・・・・第１の位置決めテーブル、３７・
・・・・・第２の回転テーブル、４１・・・・・・ロン
キー格子、４３・・・・・・計測装置、４４・・・・・
・制御装置、４６・・・・・・データ処理装置、９日・
・・・・・受光装置Ｉｔ、９９・・・・・・走査装置、
１００・・・・・光源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ４ｆ 第５図 第６図 第７図 第８図
の断面図、第２図は従来例の断面図、第３図は本発明の
上記実施例におけるロンキー格子パターンの拡大図、第
４図は光電変換された信号波形図、第６図はＭＴＦ値と
焦点位置との関係を示すグラフ、第６図は計測装置のブ
ロック図、第７図は動作フロー図、第８図は第７図の焦
点検出部分の詳細フロー図である。 １８・・・・・・被検レンズ、３４・・・・・・第１の
回転チーグル、３５・・・・・・第２の位置決めテーブ
ル、３６・・・・・・第１の位置決めテーブル、３７・
・・・・・第２の回転テーブル、４１・・・・・・ロン
キー格子、４３・・・・・・計測装置、４４・・・・・
・制御装置、４６・・・・・・データ処理装置、９日・
・・・・・受光装置Ｉｔ、９９・・・・・・走査装置、
１００・・・・・光源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ４ｆ 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 平行光線を照射する光源と、被検レンズを光軸を中心に
任意の角度だけ回転させる第１の回転テーブルと、ラジ
アル方向とタンジェンシャル方向のパターンを有するロ
ンキー格子を連続走査させる走査装置と、前記走査装置
を光軸方向に移動させる第１の位置決めテーブルと、前
記第１の回転テーブルと第１の位置決めテーブルとを搭
載し光軸方向に移動する第２の位置決めテーブルと、前
記第２の位置決めテーブルを搭載し水平方向に任意の角
度だけ回転可能な第２の回転テーブルと、ロンキー格子
を透過した光を受光する受光装置と、前記受光装置から
の信号からピーク値とボトム値を検出する計測装置と、
前記第１の位置決めテーブルの位置データおよび前記計
測装置で得られるピーク値とボトム値からＭＴＦ値を算
出するデータ処理装置と、第１の位置決めテーブルの位
置を制御し、前記データ処理装置で得られるＭＴＦ値を
参照して、ＭＴＦ値が最大となる焦点位置に第１の位置
決めテーブルを位置決めする制御装置とを備えた事を特
徴とする自動ＭＴＦ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28133785A JPS62138734A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 自動ｍｔｆ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28133785A JPS62138734A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 自動ｍｔｆ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62138734A true JPS62138734A (ja) | 1987-06-22 |
Family
ID=17637698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28133785A Pending JPS62138734A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 自動ｍｔｆ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62138734A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012058085A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Fujifilm Corp | レンズ検査装置 |
| CN102914320A (zh) * | 2012-10-22 | 2013-02-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 线阵ccd相机双向调制传递函数测试装置及方法 |
| CN106550232A (zh) * | 2015-09-23 | 2017-03-29 | 广东光阵光电科技有限公司 | 一种摄像头成像品质检测方法及检测系统 |
| CN110519590A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-11-29 | 广东弘景光电科技股份有限公司 | 摄像头模组的检测方法及系统 |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP28133785A patent/JPS62138734A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012058085A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Fujifilm Corp | レンズ検査装置 |
| CN102914320A (zh) * | 2012-10-22 | 2013-02-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 线阵ccd相机双向调制传递函数测试装置及方法 |
| CN106550232A (zh) * | 2015-09-23 | 2017-03-29 | 广东光阵光电科技有限公司 | 一种摄像头成像品质检测方法及检测系统 |
| CN106550232B (zh) * | 2015-09-23 | 2018-10-02 | 广东光阵光电科技有限公司 | 一种摄像头成像品质检测方法及检测系统 |
| CN110519590A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-11-29 | 广东弘景光电科技股份有限公司 | 摄像头模组的检测方法及系统 |
| CN110519590B (zh) * | 2017-08-08 | 2020-11-06 | 广东弘景光电科技股份有限公司 | 摄像头模组的检测方法及系统 |
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