JPH075074A - 光学性能評価測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定光学系のＭＴＦ等の光学性能を高精度に
求めることができる光学性能評価測定装置を得ること。 【構成】 投影手段に設けたテストパターンを測定光学
系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテス
トパターン像を利用して演算手段により該測定光学系の
光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を
光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの
光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する
照明系を有していること。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光学性能評価測定装置に
関し、特に投影手段に設けたテストパターンを撮影レン
ズ等の測定光学系により受光手段やスクリーン等の所定
面上に投影し、所定面上に投影したテストパターン像を
用いて測定光学系の解像力やＭＴＦそしてＯＴＦ等の光
学性能を評価するようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より撮影レンズ等の測定光学系の光
学性能を評価する装置では、投影手段に設けたテストパ
ターンを測定光学系により受光手段やスクリーン面等の
所定面上に投影し、所定面上に投影したテストパターン
像を用いて行なっている。テストパターンは投影手段に
設けた照明系からの光束で照明している。照明系として
は、例えば図６１に示すような構成より成っている。

【０００３】図６１においては、光源ランプ５１０１か
らの光束をコンデンサーレンズ５１０２，５１０３，５
１０４，５１０５で集光し、これによりテストパターン
５１０６全面を均一に照明している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の光学性能評価測
定装置において、テストパターン（チャート）５１０６
の面積が大きくなったときには、同じＮ．Ａを維持しつ
つチャート全面を均一に所定の照度で照明する為にはコ
ンデンサーレンズの有効径を大きくする必要があった。
一般にコンデンサーレンズの有効径を大きくすると装置
全体が大型化し、又光源ランプからの光束を集光する能
力が同じ場合には、光量が低下してくるという問題点が
生じてくる。

【０００５】本発明は投影手段に設けた照明系からの光
束で照明したテストパターンを測定光学系により受光手
段やスクリーン面等の所定面上に投影し、該所定面上の
テストパターン像を用いて該測定光学系の光学性能を評
価する際、テストパターンの面積が大きくなっても装置
全体の小型化を図りつつ、該テストパターンを効率的に
照明することのできる光学性能評価測定装置の提供を目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の光学性能評価測
定装置は、 （１−１）投影手段に設けたテストパターンを測定光学
系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテス
トパターン像を利用して演算手段により該測定光学系の
光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を
光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの
光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する
照明系を有していることを特徴としている。

【０００７】特に、前記投影手段は前記光ファイバーの
射出面が前記テストパターン面と平行な面内において移
動可能となる移動機構を有していることや、前記移動機
構は前記光ファイバーへ射出面が複数の位置に移動可能
となる自動移動機構より成り、前記投影手段は該光ファ
イバーの射出面の複数の移動位置を記憶するティーチン
グ機構と、該光ファイバーの射出面を該複数の移動位置
に順に移動させる移動制御機構を有していることを特徴
としている。

【０００８】（１−２）投影手段に設けたテストパター
ンを測定光学系により所定面上に投影し、該所定面上に
投影したテストパターン像を用いて該測定光学系の光学
性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を周囲
に少なくとも１つのリミットセンサーを設けた光ファイ
バーで導光し、該光ファイバーの射出面からの光束によ
り該テストパターンの一部又は全部を照明する照明系と
該光ファイバーの射出面が該テストパターン面と平行な
面内において移動可能な移動機構とを有していることを
特徴としている。

【０００９】

【実施例】図１〜図５３を用いて本発明をＭＴＦ（ＯＴ
Ｆ）測定装置に適用したときの実施例を例にとり説明す
る。図１は光学性能評価測定装置を構成する受光手段１
００の概略図、図２，図３は光学性能評価測定装置を構
成する投影手段２００の概略図、図４，図９は光学性能
評価測定装置の概略図、図５，図６は受光手段１００の
一部分の説明図、図７，図８は投影手段２００の一部分
の説明図、図１０は光学性能評価測定装置の要部ブロッ
ク図である。

【００１０】図１において、１０１は被測定光学系（不
図示）によって投影された像（テストパターン像）をス
キャニングして受光素子に取り込む受光部、１０２は受
光部１０１を上下移動及び回転させる機構部、１０３は
受光部１０１を搭載した機構部１０２が移動するガイド
が設けられて左右に移動する支柱部、１０４は支持部１
０３を左右に移動させるモーター、１０５は支持部１０
３が移動するガイドが設けられたベース部、１０６と１
０７は支持部１０３が移動する範囲に人及びその他のも
のが進入したときに全ての動きを停止させる光電スイッ
チを利用した安全装置、１０８はミラー回転用モーター
のドライバー、１０９は受光部１０１の電気配線用中継
ＢＯＸ、１１０及び１１１はフォトマル用アンプＢＯＸ
である。

【００１１】図２において、２０１は投影部本体を上下
に移動させるモーター、２０２は被測定光学系（不図
示）を設置するマウント、２０３は投影部の受光部に対
する光軸をだすためのレーザー、２０４は投影部の電気
配線用中継ＢＯＸ及び投影台上下移動用モーターのドラ
イバーである。

【００１２】図３において、３０１は光源ＢＯＸ、３０
２は投影部本体のベース、３０３は投影部本体を上下に
あおるハンドル、３０４は光源のランプ電圧を調整する
電源ＢＯＸ、３０５は投影部全体を移動させる電動式の
自走移動機構、３０６は投影部本体を上下に移動させる
移動機構の起動スイッチ、３０７は投影部本体が上下に
移動するためのガイド、３０８は自走移動機構３０５に
よって投影部全体を移動させた後投影部全体を固定する
ための固定足、３０９は被測定光学系で測定する光学レ
ンズ等をここに装着する。

【００１３】装着部３１０はステージ群であり、測定光
学系やテストパターン、そして照明用の光ファイバー等
のアライメントを行っている。

【００１４】図５において、５０１は結像面に配置した
スリットで被測定光学系によって結像したスリット像を
走査するための走査用の回転ミラー、５０２は回転ミラ
ー５０１を回転させるモーター、５０３はミラー回転用
モーター５０２と回転ミラー５０１を接続し回転力を伝
えるフレキシブルジョイント、５０４は被測定光学系に
よって結像された像を目視にて観察するためのスクリー
ン、５０５は回転ミラー５０１の回転時のバランスをと
るためのオモリ、５０６は迷光が受光素子に回りこまな
いようにするためのマスク、５０７は走査用の回転ミラ
ー５０１と対になって被測定光学系によって結像した像
を走査する走査スリット、５０８は投影部に搭載された
チャートの測定対象とするスリットと被測定光学系と走
査用スリット５０７との光軸を出すためのダブルスリッ
ト、５０９は光軸出し用ダブルスリット５０８を通った
光を受ける光軸アライメント用のフォトマル、５１０は
走査用スリット５０７を通った光を受ける測定用フォト
マル、５１１は回転ミラー５０１の回転角度を読み取り
被測定光学系による像をデータ処理系に取り込むタイミ
ングを取るためのアブソリュートエンコーダ、５１２は
アブソリュートエンコーダ５１１と回転ミラー５０１を
直結するカップリング、５１３は像観察用スクリーン５
０４の位置を調整するステージ、５１４は光軸出し用ダ
ブルスリット５０８の位置を調整するステージ、５１５
は走査用スリット５０７の位置を調整するステージであ
る。

【００１５】図６において、６０１，６０２は受光部内
部を保護し遮光するカバー、６０３は走査用スリットを
ワンタッチで交換するためのスリット押えレバー、６０
４は投影部と受光部の光軸を出すために受光部から投光
されたレーザー光を反射するミラーで測定時は取り外
す。

【００１６】図７において、７０１は被測定光学系によ
って投影されるスリットが切ってあるチャート、７０２
はチャート７０１を照明する光を光源ＢＯＸから導く為
の光ファイバー、７０３は光ファイバー７０２をチャー
ト７０１の面に対して上下に移動させるためのＹステー
ジ、７０４は光ファイバー７０２を上下に移動させるＹ
軸用エンコーダ付のＹ軸のＤＣモーター、７０５は光フ
ァイバー７０２をチャート７０１の面に対して左右に移
動させるためのＸステージ、７０６は光ファイバー７０
２を左右に移動させるＸ軸用エンコーダ付のＸ軸ＤＣモ
ーター、７０７はチャート７０１と光ファイバー７０２
とＹステージ７０３とＹ軸ＤＣモーター７０４とＸステ
ージ７０５とＸ軸ＤＣモーター７０６とを前後左右に傾
けるためのゴニオステージ、７０８はスぺーサであり、
それより上の構造物体の高さを調整している。

【００１７】７０９はチャート７０１と光ファイバー７
０２とＹステージ７０３とＹ軸ＤＣモーター７０４とＸ
ステージ７０５とＸ軸ＤＣモーター７０６とゴニオステ
ージ７０７とを電動にて光軸方向に微調移動させる微動
Ｚステージ、７１０は微動Ｚステージ７０９を駆動する
エンコーダ付のＤＣモーター、７１１はチャート７０１
と光ファイバー７０２とＹステージ７０３とＹ軸ＤＣモ
ーター７０４とＸステージ７０５とＸ軸ＤＣモーター７
０６とゴニオステージ７０７と微動Ｚステージ７０９と
微動ＺＤＣモーター７１０とを鉛直方向に対して直交す
る平面内で回転移動させるためのθステージ、７１２は
ステージであり、それより上方の構造物体を水平面内で
光軸と垂直方向に移動させている。

【００１８】７１３はチャート７０１と光ファイバー７
０２とＹステージ７０３とＹ軸ＤＣモーター７０４とＸ
ステージ７０５とＸ軸ＤＣモーター７０６とゴニオステ
ージ７０７と微動Ｚステージ７０９と微動ＺＤＣモータ
ー７１０とθステージ７１１とを光軸方向に粗調移動さ
せるための粗動Ｚステージ、２０３は図２におけるレー
ザー２０３と同じで光軸調整をおこなうためのレーザ発
光装置、２０２は図２のマウント２０２と同じで被測定
光学系を搭載するマウント部、７１６はレーザ発光装置
２０３とマウント部２０２とを前後に傾けるゴニオステ
ージ、７１７はレーザ発光装置２０３とマウント部２０
２とゴニオステージ７１６とを鉛直方向に対して直交す
る平面内で回転移動させるためのθステージ、７１８は
投影機構本体全体を鉛直方向に対して直交する平面内で
回転移動させるためのθステージである。

【００１９】本実施例では以上のように、光ファイバー
７０２の射出面をチャート７０１面に平行な面内で移動
可能としている。これによりチャート７０１の面積が大
きくなっても装置全体の大型化を防止しつつ、チャート
面７０１を均一にしかも光量の損失を少なくしつつ効率
的に照明している。

【００２０】図８において、８０１は光源ランプ、８０
２，８０３，８０４，８０５は各々光学レンズで光源ラ
ンプ８０１の光を集めるコンデンサーレンズの役割を果
たす、７０２は図７における光ファイバー７０２と同じ
でレンズ８０２，８０３，８０４，８０５によって集め
た光をチャートに導くための光ファイバー、８０７はタ
ーレット式の光学フィルターホルダー、８０８はフィル
ターホルダー８０７を回転させてフィルターを交換する
ためのモーター、８０９はランプを冷却するためのファ
ン、８１０はランプの高さを調整するスライド、８１１
はランプの左右位置を調整するスライドである。

【００２１】図９において、９０１は作業台兼用の電装
ラック、９０２は制御用コンピュータ、９０３は投影部
側の各種モーター用のモータードライバー、９０４は受
光部側の各種モーター用のモータードライバー、９０５
はデータ収集装置、９０６は被測定光学系の回転角度表
示及びチャートの微動Ｚ軸移動量を有する表示装置、９
０７はデータ処理用コンピュータ、９０８はデータ処理
用コンピュータ９０７の画面表示装置、９０９はデータ
処理用コンピュータ９０７の外部記憶装置、９１０は測
定結果等のグラフなどを描くプロッター、９１１は測定
結果等の数値を印字するプリンター、９１２は受光部に
投影された像をリアルタイムでモニターするためのオシ
ロスコープ（リアルタイム表示器）、９１３は操作盤、
９１４は各種インターフェイスボード及び各種パルス発
生ボード等の入ったラックである。

【００２２】本実施例では各要素９０２，９０７，９０
９等は演算手段の一要素を構成している。

【００２３】図１０において、１００１は受光部の各部
分に搭載されている各種装置センサ、１００２は投影部
の各部分に搭載されている各種装置センサ、１００３は
投影台の上下用モーター、１００４は受光部に搭載され
ている各種モーター、１００５は投影部に搭載されてい
る投影台上下用モーター１００３以外の各種モーター、
１００６はデータ取り込み及び位置合わせ用の受光素子
であるフォトマル、１００７は光源センサー、１００８
はスキャニング用のミラーの回転角度を出力するエンコ
ーダー、１００９は光源ランプ、１０１０はスキャニン
グ用ミラーを回転させるモーター、１０１１は操作盤、
１０１２は受光部の電気配線用中継ＢＯＸ、１０１３は
投影部の電気配線用中継ＢＯＸ、１０１４は投影台上下
用モーター１００３のドライバー、１０１５はフォトマ
ル１００６を動作させるためのフォトマルアンプＢＯ
Ｘ、１０１６はミラー回転角検出用エンコーダー１００
８の出力をつなぎこむエンコーダー用インターフェイス
ボード、１０１７はミラーモーター１０１０を駆動させ
るミラーモーター用ドライブユニット、１０１８は信号
配線の並び変えや電圧等の変換を行う変換ユニット、１
０１９は受光部の各種モーターを駆動するための受光部
モーター用ドライバー、１０２０は投影部の各種モータ
ーを駆動するための投影部モーター用ドライバー、１０
２１はフォトマルアンプＢＯＸ１０１５からの測定信号
をエンコーダーインターフェイスを介して取り込まれる
ミラーエンコーダー１００８の信号に同期して取り込む
ためのデータ収集装置、１０２２は光源ランプ１００９
の電源電圧を変化させるための光源用電源ユニット、１
０２３は操作盤用インターフェイスボード、１０２４は
制御用信号の入出力を行う制御用インターフェイスボー
ド、１０２５は受光部用各種モーターの駆動パルスを発
生させるパルス発生ボード、１０２６は投影部用各種モ
ーターの駆動パルスを発生させるパルス発生ボード、１
０２７はデータ収集装置１０２１から測定データを入力
するデータ収集装置インターフェイス、１０２８は光源
用電源ユニットへ設定電圧を出力する光源電源用インタ
ーフェイス、１０２９は被測定光学系を搭載するマンウ
ントの回転角度を表示するレンズ回転表示ユニット、１
０３０はチャートが搭載している微動Ｚ軸の位置を表示
するチャートＺ軸表示ユニット、１０３１は操作盤をは
じめとする各種の信号や各種モーターの駆動さらには測
定データの取り込み等を制御する制御用コンピュータ、
１０３２はフォトマルでとらえた測定信号波形をリアル
タイムで表示するためのオシロスコープ、１０３３は測
定したデータを制御用コンピュータ１０３１を介して受
け取りＭＴＦあるいはＯＴＰをはじめとする各種の演算
をおこない結果をモニターやプロッターあるいは外部記
憶装置に出力するなどといった処理を行うためのデータ
処理用コンピュータ、１０３４は測定結果や計測用の設
定値等を表示するためのモニター、１０３５は装置のプ
ログラムや測定結果などを記憶しておくための外部記憶
装置、１０３６は測定結果のグラフを描くためのプロッ
ター、１０３７は測定結果等の数値を印字するためのプ
リンターである。

【００２４】次に本実施例の各種の動作を図１１〜図５
３のフローチャートを用いて説明する。

【００２５】図１１は制御コンピュータ処理フローのメ
インルーチンである。

【００２６】図１１において、１１０１は制御コンピュ
ータの初期データの読み込み及び制御対象を初期化する
初期化処理ルーチン（以下「処理ルーチン」を単に「処
理」ともいう。）、１１０２は操作盤の各スイッチ状態
を取り込んでスイッチ状態に従って各処理を行う操作盤
スイッチ取り込み処理ルーチン、１１０３はデータ処理
用コンピュータと設定データの送信及び受信を行う設定
データ通信ルーチン、１１０４はデータ処理用コンピュ
ータから受信した設定データの内容を調べ設定データに
従って各処理を行う設定データ処理ルーチンである。

【００２７】図１２，１３，１４，１５は制御コンピュ
ータ処理フローの操作盤スイッチ取り込み処理ルーチン
で図１１における処理１１０２の処理内容である。

【００２８】図１２，１３，１４，１５において、１２
０１は線像強度分布のリアルタイム表示モニターにどの
受光素子からのデータが選択されているかを切り替える
スイッチが切り替わったかどうか判断するモニター切替
判断分岐処理、１２０２は切り替わった受光素子からの
波形データをモニターに表示するよう処理を行うモニタ
ー切替処理ルーチン、１２０３はフィルター選択のスイ
ッチが現在選択されているフィルターとは別のフィルタ
ーに切り替わったかどうか判断するフィルター切替判断
分岐処理、１２０４はフィルター切替機構を駆動して新
に選択されたフィルターに切り替える一連の処理を行う
フィルター切替処理ルーチン、１２０５は受光部を上あ
るいは下に移動させるスイッチが押されたかどうか判断
する受光部上下移動判断分岐処理、１２０６は受光部上
下移動用モーターのドライバーに対して加減速駆動を含
む一連の移動処理を行う受光部上下移動処理ルーチン、
１２０７は受光部を右あるいは左に移動させるスイッチ
が押されたかどうか判断する受光部左右移動判断分岐処
理、１２０８は受光部左右移動用モーターのドライバー
に対して加減速駆動を含む一連の移動処理を行う受光部
左右移動処理ルーチン、１２０９はファイバーをＸ軸方
向に前進あるいは後進させるスイッチが押されたかどう
か判断する受光部Ｘ軸方向移動判断分岐処理、１２１０
はファイバーＸ軸方向移動用モーターのドライバーに対
して加減速駆動を含む一連の移動処理を行うファイバー
Ｘ軸方向移動処理ルーチン、１２１１はファイバーをＹ
軸方向に前進あるいは後進させるスイッチが押されたか
どうか判断する受光部Ｙ軸方向移動判断分岐処理、１２
１２はファイバーＹ軸方向移動用モーターのドライバー
に対して加減速駆動を含む一連の移動処理を行うファイ
バーＹ軸方向移動処理ルーチン、１２１３は受光部を時
計回りあるいは反時計回りに回転させるスイッチが押さ
れたかどうか判断する受光部θ軸移動判断分岐処理、１
２１４は受光部θ軸方向回転用モーターのドライバーに
対して加減速駆動を含む一連の回転移動処理を行う受光
部θ軸移動処理ルーチン、１２１５はチャートをＺ軸方
向に前進あるいは後進させるスイッチが押されたかどう
か判断するチャートＺ軸方向移動判断分岐処理、１２１
６はチャートＺ軸方向移動用モーターのドライバーに対
して加減速駆動を含む一連の移動処理を行うチャートＺ
軸方向移動処理ルーチン、１２１７は被検光学系を時計
回りあるいは反時計回りに回転させるスイッチが押され
たかどうか判断するレンズ回転判断分岐処理、１２１８
はレンズ回転用モーターのドライバーに対して加減速駆
動を含む一連の回転移動処理を行うレンズ回転駆動処理
ルーチン、１２１９は線像波形のサンプリングを始める
開始点を移動（開始時間を変更）するスイッチが押され
たかどうか判断するサンプリング開始点移動判断分岐処
理、１２２０は線像波形のサンプリング開始点（開始時
間）の変更処理を行うサンプリング開始点移動処理ルー
チン、１２２１はフォトマルに供給する電源の電圧値を
変更するスイッチが切り替わったかどうか判断するフォ
トマル高圧変更判断処理、１２２２はフォトマルに供給
する電源電圧の変更処理を行うフォトマル高圧変更処理
ルーチン、１２２３はフォトマルのゲインを自動的に決
めるオートゲイン動作開始スイッチが押されたかどうか
判断するフォトマルオートゲイン開始判断処理、１２２
４はフォトマルのゲインを線像波形の大きさでフィード
バックを掛ながら適正な値に自動的に決定する一連の処
理を行うフォトマルオートゲイン設定処理ルーチン、１
２２５は手動状態でデータを取り込んでデータ処理用コ
ンピュータに測定データを送り込む処理を行うスイッチ
が押されたかどうか判断するデータ転送開始判断処理、
１２２６はデータ取り込みフラグを立ててデータ処理用
コンピュータにデータを通信する準備をするデータ転送
処理ルーチン、１２２７はモーターの速度を変更するス
イッチが切り替わったかどうか判断するモーター速度変
更判断処理、１２２８はモーターの速度設定値を切り替
える処理を行うモーター速度変更処理ルーチン、１２２
９は原点出しスイッチが押されたかどうか判断する原点
出し判断処理、１２３０は一連の原点出し処理を行う原
点出し処理ルーチン、１２３１は自動測定開始スイッチ
が押されたかどうか判断する自動測定開始判断処理、１
２３２は自動測定フラグをセットして自動測定状態に入
る処理を行う自動測定フラグセット処理ルーチン、１２
３３は手動測定開始スイッチが押されたかどうか判断す
る手動測定開始判断処理、１２３４は手動測定フラグを
セットして手動測定状態に入る処理を行う手動測定フラ
グセット処理ルーチン、１２３５はティーチング開始ス
イッチが押されたかどうか判断するティーチング開始判
断処理、１２３６はティーチングフラグをセットしてテ
ィーチング状態に入る処理を行うティーチングフラグセ
ット処理ルーチンである。

【００２９】図１６は制御コンピュータのデータ処理用
コンピュータとの設定データの通信ルーチンで図１１に
おける処理１１０３の処理内容である。

【００３０】図１６において、１３０１は設定データを
制御コンピュータがデータ処理用コンピュータから受け
取る通信ルーチン、１３０２は設定データを制御コンピ
ュータからデータ処理用コンピュータへ送る通信ルーチ
ン、１３０３は測定完了フラグがＯＮかどうか判断する
フラグ判断処理、１３０４は測定データを制御コンピュ
ータからデータ処理用コンピュータへ送る通信ルーチン
である。

【００３１】図１７，１８，１９，２０は制御コンピュ
ータにおいてデータ処理用コンピュータから受け取った
設定データを処理する設定データ処理ルーチンで図１１
における処理１１０４の処理内容である。

【００３２】１４０１は受光部の上下方向移動データフ
ラグがＯＮかＯＦＦかを判断する受光部上下方向移動判
断処理、１４０２は設定データ中の受光部上下方向位置
データに従って受光部を現在位置から設定位置まで移動
させる一連の移動処理を行う受光部上下方向移動処理ル
ーチン、１４０３は受光部の左右方向移動データフラグ
がＯＮかＯＦＦかを判断する受光部左右方向移動判断処
理、１４０４は設定データ中の受光部左右方向位置デー
タに従って受光部を現在位置から設定位置まで移動させ
る一連の移動処理を行う受光部左右方向移動処理ルーチ
ン、１４０５はファイバーのＸ軸方向移動データフラグ
がＯＮかＯＦＦかを判断するファイバーＸ軸方向移動判
断処理、１４０６は設定データ中のファイバーＸ軸方向
位置データに従ってファイバーを現在位置から設定位置
まで移動させる一連の移動処理を行うファイバーＸ軸方
向移動処理ルーチン、１４０７はファイバーのＹ軸方向
移動データフラグがＯＮかＯＦＦかを判断するファイバ
ーＹ軸方向移動判断処理、１４０８は設定データ中のフ
ァイバーＹ軸方向位置データに従ってファイバーを現在
位置から設定位置まで移動させる一連の移動処理を行う
ファイバーＹ軸方向移動処理ルーチン、１４０９はチャ
ートのＺ軸方向移動データフラグがＯＮかＯＦＦかを判
断するチャートＺ軸方向移動判断処理、１４１０は設定
データ中のチャートＺ軸方向位置データに従ってチャー
トを現在位置から設定位置まで移動させる一連の移動処
理を行うチャートＺ軸方向移動処理ルーチン、１４１１
はフィルターの切替フラグがＯＮかＯＦＦかを判断する
フィルター切替判断処理、１４１２は設定データ中のフ
ィルター設定データに従ってフィルターを切り替えるフ
ィルター切替処理ルーチン、１４１３はサンプリング開
始点データが現在の設定値と設定データ中の値と異なっ
ているかどうか判断するサンプリング開始点データ変更
判断処理、１４１４は設定データ中のサンプリング開始
点データに従ってサンプリング開始点を変更するサンプ
リング開始点変更処理ルーチン、１４１５はサンプリン
グ間隔時間データが現在の設定値と設定データ中の値と
異なっているかどうか判断するサンプリング間隔時間デ
ータ変更判断処理、１４１６は設定データ中のサンプリ
ング間隔時間データに従ってサンプリング間隔時間を変
更するサンプリング間隔時間変更処理ルーチン、１４１
７はサンプリング分割数データが現在の設定値と設定デ
ータ中の値と異なっているかどうか判断するサンプリン
グ分割数データ変更判断処理、１４１８は設定データ中
のサンプリング分割数データに従ってサンプリング分割
数を変更するサンプリング分割数変更処理ルーチン、１
４１９はサンプリング回数データが現在の設定値と設定
データ中の値と異なっているかどうか判断するサンプリ
ング回数データ変更判断処理、１４２０は設定データ中
のサンプリング回数データに従ってサンプリング回数を
変更するサンプリング回数変更処理ルーチン、１４２１
は測定用フォトマルの設定電圧値が現在の設定値と設定
データ中の値と異なっているかどうか判断する測定用フ
ォトマル設定電圧変更判断処理、１４２２は設定データ
中の電圧値に従って測定用フォトマルの設定電圧を変更
する測定用フォトマル設定電圧変更処理ルーチン、１４
２３は軸合わせ用フォトマルの設定電圧値が現在の設定
値と設定データ中の値と異なっているかどうか判断する
軸合わせ用フォトマル設定電圧変更判断処理、１４２４
は設定データ中の電圧値に従って軸合わせ用フォトマル
の設定電圧を変更する軸合わせ用フォトマル設定電圧変
更処理ルーチン、１４２５は測定データの取り込みを開
始するフラグがＯＮになっているかどうか判断する測定
データ取り込み判断処理、１４２６は測定データを取り
込んで加算等の一連の取り込み処理を行うデータ取り込
み処理ルーチン、１４２７はフォトマルオートゲインを
行うフラグがＯＮになっているかどうか判断するフォト
マルオートゲインフラグ判断処理、１４２８はフォトマ
ルオートゲイン処理で図１４の処理１２２４と同じ処理
である。

【００３３】図２１，２２，２３は制御コンピュータ処
理プログラムにおけるデータ取り込み処理ルーチンで図
２０における処理１４２６の処理内容である。

【００３４】図２１，２２，２３において１５０１はデ
ータを取り込む回数のカウンター変数を１にリセットす
るカウンターリセット処理、１５０２はフォトマル１０
０６の信号をミラーエンコーダー１００８の１回転分の
測定データとして数値配列に取り込む測定データ取り込
み処理ルーチン、１５０３は重心計算用に測定値を別の
配列にコピーする配列数値コピー処理、１５０４は重心
計算用配列データの高周波成分を除去するためのフィル
タリング処理ルーチン、１５０５は重心計算用配列デー
タの重心位置を計算する重心位置計算処理ルーチン、１
５０６はデータの取り込み回数が１回目かどうか判断す
る取り込み回数判断処理、１５０７はデータ取り込み１
回目の重心位置を記憶する重心位置記憶処理、１５０８
はデータ積算用配列に１回目の取り込みデータをコピー
する配列数値コピー処理、１５０９は取り込み１回目の
重心位置との差分を計算する重心位置差分計算処理、１
５１０は２回目以降に取り込んだデータ配列を重心位置
の差分だけ数値をずらして１回目のデータ配列の重心位
置に２回目以降の重心位置が重なるように足し込むデー
タ配列積算処理ルーチン、１５１１はデータ取り込み回
数のカウンターをカウントアップするカウントアップ処
理、１５１２はデータの取り込み回数が設定回数になっ
たかどうか判断するデータ取り込み終了判断処理、１５
１３は取り込み回数分重心位置を揃えて積算したデータ
配列をデータ転送用の配列にコピーする数値配列コピー
ルーチン、１５１４は測定完了フラグを立てるフラグ処
理ルーチンである。

【００３５】図２４，２５はデータ処理用コンピュータ
のプログラムフローにおけるメイン処理ルーチンであ
る。

【００３６】図２４，２５において、１６０１はデータ
処理用コンピュータ及び設定データの初期状態の読み込
みと設定を行う初期化処理ルーチン、１６０２は設定デ
ータをデータ処理用コンピュータから制御用コンピュー
タへ送るデータ通信ルーチン、１６０３は設定データを
データ処理用コンピュータが制御用コンピュータから受
け取るデータ通信ルーチン、１６０４は制御用コンピュ
ータから受信した設定データの内容を調べ設定データに
従って各処理を行う設定データ処理ルーチン、１６０５
は各パラメータの設定を変更するかしないかを判断する
設定パラメータ変更判断処理、１６０６は各パラメータ
の設定値を変更する設定パラメータ変更処理ルーチン、
１６０７は測定結果ファイルからデータを読み出し測定
データに処理を加えたりグラフ表示等を行う測定データ
編集処理をおこなうかどうか判断する測定データ編集判
断処理、１６０８は測定結果を測定結果ファイル等から
読み出してデータに各処理を加えグラフや表等にまとめ
プロッターやプリンター等の外部機器に出力する測定デ
ータ編集処理ルーチン、１６０９はデータ処理コンピュ
ータのプログラム処理ルーチンから抜けるかどうか判断
するプログラム終了判断処理である。

【００３７】１６１０は終了処理である。

【００３８】図２６はデータ処理用コンピュータプログ
ラムフローの設定データ処理ルーチンで図２４における
処理１６０４の処理内容である。

【００３９】図２６において１７０１は設定データ中に
ティーチング処理実行フラグが立っているかどうか判断
するティーチング処理実行判断処理、１７０２は受光部
及びファイバーの位置のティーチングや各設定値を記憶
させるティーチング処理ルーチン、１７０３は設定デー
タ中に手動測定実行フラグが立っているかどうか判断す
る手動測定実行判断処理、１７０４はデータの読み込み
からＭＴＦ（ＯＴＦ）計算そして結果表示と一連の手動
測定を行う手動測定処理ルーチン、１７０５は設定デー
タ中に自動測定実行フラグが立っているかどうか判断す
る自動測定実行判断処理、１７０６はデータの読み込み
からＭＴＦ（ＯＴＦ）計算そして結果表示とファイル書
き込みなど自動測定手順に従って一連の自動測定を行う
自動測定処理ルーチンである。

【００４０】図２７はデータ処理用コンピュータプログ
ラムフローのティーチング処理ルーチンで図２６におけ
る処理１７０２の処理内容である。

【００４１】図２７において、１８０１は現在選択され
ているチャートに切られたスリットのティーチング順番
を１にリセットとするカウンターリセット処理、１８０
２は現在のカウンターが示すスリットに対応する測定フ
ラグがＯＮになっているかどうか判断する測定フラグ判
断処理、１８０３は現在のカウンターが示すスリットに
対応する受光部及びファイバーの位置座標を始めとする
各種設定値の現在までのティーチングデータを制御コン
ピュータへ出力するデータ出力処理ルーチン、１８０４
は受光部及びファイバーの位置座標を始めとする各種設
定値を手動にて設定するルーチン、１８０５は設定した
ティーチングデータが良いかどうかデータ処理コンピュ
ータに指示するティーチング設定判断処理、１８０６は
ティーチング処理を終了するかどうか判断するティーチ
ング終了判断処理、１８０７は今ティーチングした受光
部及びファイバーの位置座標を始めとする各種設定値を
制御コンピュータを通してデータ処理用コンピュータに
読み込むデータ入力処理ルーチン、１８０８はチャート
のスリットナンバーカウンターを１カウントアップする
カウントアップ処理、１８０９は現在選択されているチ
ャートデータ上のスリットが全て終ったかどうか判断す
るチャートスリット終了判断処理、１８１０はティーチ
ング処理を終了するかどうか判断するティーチング終了
判断処理である。

【００４２】図２８，２９はデータ処理用コンピュータ
プログラムフローの手動測定処理ルーチンで図２６にお
ける処理１７０４の処理内容である。

【００４３】図２８，２９において、１９０１は手動測
定を開始するかどうか判断する測定開始判断処理、１９
０２は制御コンピュータがデータの取り込み処理を完了
したかどうかを制御コンピュータのフラグ等を検知する
ことで判断する測定データ取り込み完了判断処理、１９
０３は制御コンピュータより測定データをデータ処理用
コンピュータに読み込む測定データ読み込み処理ルーチ
ン、１９０４は測定データをフーリエ変換を始めとする
一連の各種演算処理を行いＭＴＦ（ＯＴＦ）を求めるＭ
ＴＦ（ＯＴＦ）計算処理ルーチン、１９０５はＭＴＦ
（ＯＴＦ）計算結果をモニターに表示する結果グラフ表
示処理ルーチン、１９０６は測定結果のグラフをプロッ
ターをはじめとする外部表示機器に出力するかどうか判
断する結果グラフ出力判断処理、１９０７は測定結果の
グラフ等をプロッターを始めとする外部表示機器に出力
処理を行うプロッターグラフ表示処理ルーチン、１９０
８は測定データを複数データ出力用メモリーに記憶する
かどうか判断するメモリー記憶判断処理、１９０９は測
定データを複数データ出力用メモリーに記憶するデータ
記憶処理ルーチン、１９１０は複数データを外部表示器
に出力するかしないか判断する出力判断処理、１９１１
は複数データを外部表示器例えばプロッターなどに出力
する外部表示出力処理ルーチン、１９１２は手動測定処
理ルーチンを終了するかどうか判断する手動測定終了判
断処理である。

【００４４】図３０はデータ処理用コンピュータプログ
ラムフローの自動測定処理ルーチンで図２６における処
理１７０６の処理内容である。

【００４５】図３０において、２００１はＭＴＦ画角特
性自動測定を行うかどうか判断するＭＴＦ画角特性自動
測定判断処理、２００２は自動測定処理手順に従って一
連のＭＴＦ画角特性自動測定処理を行うＭＴＦ画角特性
自動測定処理ルーチン、２００３は倍率色収差特性自動
測定を行うかどうか判断する倍率色収差特性自動測定判
断処理、２００４は自動測定処理手順に従って一連の倍
率色収差特性自動測定処理を行う倍率色収差特性自動測
定処理ルーチン、２００５はデフォーカス特性自動測定
を行うかどうか判断するデフォーカス特性自動測定判断
処理、２００６は自動測定処理手順に従って一連のデフ
ォーカス特性自動測定処理を行うデフォーカス特性自動
測定処理ルーチンである。

【００４６】図３１，３２，３３はデータ処理用コンピ
ュータプログラムフローのＭＴＦ画角特性自動測定処理
ルーチンで図３０における処理２００２の処理内容であ
る。

【００４７】図３１，３２，３３において、２１０１は
測定データを保存するための外部記憶装置をＭＴＦ画角
特性自動測定の結果の書き込みが出来るようにファイル
の初期化やアドレスの割り振り等の処理を行う測定デー
タ書き込み用ファイル初期化処理ルーチン、２１０２は
ＭＴＦ画角自動測定手順に従って切替て測定するフィル
ターの順序カウンターを１にリセットするカウンターリ
セット処理、２１０３はフォトマルのゲインを現在の入
力線像波形から適正値を自動的に決定する処理を行うフ
ラグがＯＮかどうか判断するフォトマルオートゲインＯ
Ｎ判断処理、２１０４はフォトマルのゲインを現在の入
力線像波形の大きさを読み取ってフィードバックをかけ
ることによってゲインを適正値に設定するフォトマルオ
ートゲイン処理ルーチン、２１０５は測定開始のフラグ
をデータ処理用コンピュータから制御コンピュータに送
る測定開始フラグ通信処理ルーチン、２１０６は制御コ
ンピュータのデータ取り込み終了を待つデータ取り込み
終了判断処理、２１０７はデータ処理用コンピュータが
制御コンピュータから測定データを読み込む測定データ
通信処理ルーチン、２１０８はチャートのスリット番号
カウンターをカウントアップするカウンターカウントア
ップ処理、２１０９はチャートのスリット番号が完了し
たかどうか判断するスリット完了判断処理、２１１０は
フィルター切替のフィルター順序カウンターをカウント
アップするカウンターカウントアップ処理、２１１１は
フィルター切替の順番が完了したかどうか判断するフィ
ルター完了判断処理、２１１２は現在のフィルターカウ
ンター値に対応するフィルターでＭＴＦ画角自動測定を
行うかどうか判断する現フィルター測定判断処理、２１
１３はフィルター変更データを制御コンピュータに送る
フィルターデータ通信処理ルーチン、２１１４はＭＴＦ
画角自動測定手順に従って測定するチャートのスリット
順番カウンターを１にリセットするカウンターリセット
処理、２１１５は現在のスリットカウンターに対応する
測定フラグがＯＮになっているかどうか判断する測定フ
ラグ判断処理、２１１６は現在のスリットカウンターに
対応する受光部及びファイバーのティーチング位置座標
をデータ処理用コンピュータから制御コンピュータに送
る移動位置通信処理ルーチン、２１１７は現在のスリッ
トカウンターに対応するサンプリング開始点を始めとす
る各種設定値をデータ処理用コンピュータから制御コン
ピュータに送る設定データ通信処理ルーチン、２１１８
は測定が１回目かどうか判断する判断処理、２１１９は
測定データをフーリエ変換を始めとする一連の各種演算
処理を行いＭＴＦ（ＯＴＦ）を求めるＭＴＦ（ＯＴＦ）
計算処理ルーチン、２１２０はＭＴＦ（ＯＴＦ）計算結
果をモニターに表示する結果グラフ表示処理ルーチン、
２１２１は測定したチャートのスリットごとすなわち画
角毎のＭＴＦ（ＯＴＦ）計算結果を外部記憶装置のファ
イルに書き込む結果ファイル書き込みルーチン、２１２
２は自動測定を終了するかしないか判断する自動測定終
了判断処理である。

【００４８】図３４，３５，３６はデータ処理用コンピ
ュータプログラムフローの倍率色収差特性自動測定処理
ルーチンで図３０における処理２００４の処理内容であ
る。

【００４９】図３４，３５，３６において、２２０１は
測定データを保存するための外部記憶装置を倍率色収差
特性自動測定の結果の書き込みが出来るようにファイル
の初期化やアドレスの割り振り等の処理を行う測定デー
タ書き込み用ファイル初期化処理ルーチン、２２０２は
倍率色収差特性自動測定手順に従って測定するチャート
のスリット順番カウンターを１にリセットするカウンタ
ーリセット処理、２２０３はフォトマルのゲインを現在
の入力線像波形から適正値を自動的に決定する処理を行
うフラグがＯＮかどうか判断するフォトマルオートゲイ
ンＯＮ判断処理、２２０４はフォトマルのゲインを現在
の入力線像波形の大きさを読み取ってフィードバックを
かけることによってゲインを適正値に設定するフォトマ
ルオートゲイン処理ルーチン、２２０５は測定開始のフ
ラグをデータ処理用コンピュータから制御コンピュータ
に送る測定開始フラグ通信処理ルーチン、２２０６は制
御コンピュータのデータ取り込み終了を待つデータ取り
込み終了判断処理、２２０７はデータ処理用コンピュー
タが制御コンピュータから測定データを読み込む測定デ
ータ通信処理ルーチン、２２０８はフィルター切替のフ
ィルター順序カウンターをカウントアップするカウンタ
ーカウントアップ処理、２２０９はフィルター切替の順
番が完了したかどうか判断するフィルター完了判断処
理、２２１０はチャートのスリット番号カウンターをカ
ウントアップするカウンターカウントアップ処理、２１
１１はチャートのスリット番号が完了したかどうか判断
するスリット完了判断処理、２２１２は現在のスリット
カウンターに対応する測定フラグがＯＮになっているか
どうか判断する測定フラグ判断処理、２２１３は現在の
スリットカウンターに対応する受光部及びファイバーの
ティーチング位置座標をデータ処理用コンピュータから
制御コンピュータに送る位置データ通信処理ルーチン、
２２１４は倍率色収差特性自動測定手順に従って切替て
測定するフィルターの順序カウンターを１にリセットす
るカウンターリセット処理、２２１５は現在のフィルタ
ーカウンター値に対応するフィルターで倍率色収差特性
自動測定を行うかどうか判断する現フィルター測定判断
処理、２２１６はフィルターの変更データをデータ処理
用コンピュータから制御用コンピュータへ送るフィルタ
ーデータ通信処理ルーチン、２２１７は現在のスリット
カウンターに対応するサンプリング開始点を始めとする
各種設定値をデータ処理用コンピュータから制御コンピ
ュータに送る設定データ通信処理ルーチン、２２１８は
測定が１回目かどうか判断する判断処理、２２１９は倍
率色収差計算処理ルーチン、２２２０は倍率色収差計算
結果をモニターに表示する結果グラフ表示処理ルーチ
ン、２２２１は測定したチャートのスリットごとすなわ
ち画角毎の倍率色収差計算結果を外部記憶装置のファイ
ルに書き込む結果ファイル書き込みルーチン、２２２２
は自動測定を終了するかしないか判断する自動測定終了
判断処理である。

【００５０】図３７，３８，３９はデータ処理用コンピ
ュータプログラムフローのデフォーカス特性自動測定処
理ルーチンで図３０における処理２００６の処理内容で
ある。

【００５１】図３７，３８，３９において、２３０１は
測定データを保存するための外部記憶装置をデフォーカ
ス特性自動測定の結果の書き込みが出来るようにファイ
ルの初期化やアドレスの割り振り等の処理を行う測定デ
ータ書き込み用ファイル初期化処理ルーチン、２３０２
はデフォーカス特性測定を行うチャートスリットに対応
する受光部及びファイバーのティーチング位置座標をデ
ータ処理用コンピュータから制御コンピュータに送り一
連の移動処理を行う位置移動処理ルーチン、２３０３は
デフォーカス特性測定を行うチャートスリットに対応す
るサンプリング開始点を始めとする各種設定値をデータ
処理用コンピュータから制御コンピュータに送り一連の
設定処理を行う設定処理ルーチン、２３０４はチャート
のフォーカス方向即ちＺ軸方向の初期位置データをデー
タ処理用コンピュータから制御コンピュータに送るチャ
ートＺ軸移動処理ルーチン、２３０５はフォトマルのゲ
インを現在の入力線像波形の大きさを読み取ってフィー
ドバックをかけることによってゲインを適正値に設定す
るフォトマルオートゲイン処理ルーチン、２３０６は測
定開始のフラグをデータ処理用コンピュータから制御コ
ンピュータに送る測定開始フラグ通信処理ルーチン、２
３０７は制御コンピュータのデータ取り込み終了を待つ
データ取り込み終了判断処理、２３０８はデータ処理用
コンピュータが制御コンピュータから測定データを読み
込む測定データ通信処理ルーチン、２３０９はフィルタ
ー切替のフィルター順序カウンターをカウントアップす
るカウンターカウントアップ処理、２３１０はフィルタ
ー切替の順番が完了したかどうか判断するフィルター完
了判断処理、２３１１はチャートのＺ軸方向のステップ
カウンターを１カウントカウントアップするカウントア
ップ処理、２３１２はチャートのＺ軸方向のステップ移
動がすべて完了したかどうか判断するチャートＺ軸ステ
ップ完了判断処理、２３１３はチャートＺ軸方向の１ス
テップに対応する移動量データをデータ処理用コンピュ
ータから制御コンピュータに送るチャートＺ軸移動量出
力処理ルーチン、２３１４はデフォーカス特性自動測定
手順に従って切替て測定するフィルターの順序カウンタ
ーを１にリセットするカウンターリセット処理、２３１
５は現在のフィルターカウンター値に対応するフィルタ
ーで出フォーカス特性自動測定を行うかどうか判断する
現フィルター測定判断処理、２３１６はフィルターの変
更データをデータ処理用コンピュータから制御用コンピ
ュータに送るフィルターデータ通信処理ルーチン、２２
１７は測定が１回目かどうか判断する判断処理、２３１
８は測定データをフーリエ変換を始めとする一連の各種
演算処理を行いＭＴＦ（ＯＴＦ）を求めるＭＴＦ（ＯＴ
Ｆ）計算処理ルーチン、２３１９はＭＴＦ（ＯＴＦ）計
算結果をモニターに表示する結果グラフ表示処理ルーチ
ン、２３２０は測定したチャートのＺ軸方向１ステップ
ごとすなわちデフォーカス毎のＭＴＦ（ＯＴＦ）計算結
果を外部記憶装置のファイルに書き込む結果ファイル書
き込みルーチン、２３２１は自動測定を終了するかしな
いか判断する自動測定終了判断処理である。

【００５２】図４０はデータ処理用コンピュータプログ
ラムフローの倍率色収差特性計算処理ルーチンで図３６
における処理２２１９の処理内容である。

【００５３】図４０において、２４０１は測定した線像
強度分布波形から波形の重心位置を求める重心位置計算
ルーチン、２４０２は倍率色収差特性の基準となるフィ
ルターの測定かどうかを判断する測定フィルター判断処
理、２４０３は基準フィルターで測定したときの線像波
形の重心位置を記憶する重心位置記憶処理ルーチン、２
４０４は基準フィルターで測定したときの重心位置と現
在のフィルターで測定したときの重心位置との差分を計
算する重心位置差分演算処理ルーチンである。

【００５４】図４１はデータ処理用コンピュータプログ
ラムフローの設定パラメータ変更処理ルーチンで図２５
における処理１６０６の処理内容である。

【００５５】図４１において、２５０１は固定パラメー
タの変更を行うかどうか判断する変更判断処理、２５０
２は固定パラメータの各設定値を任意に変更する固定パ
ラメータ変更処理ルーチン、２５０３は自動測定手順の
変更を行うかどうか判断する変更判断処理、２５０４は
自動測定手順の各設定値を任意に変更する自動測定手順
変更処理ルーチン、２５０５はチャートデータの設定及
び変更を行うかどうか判断する変更判断処理、２５０６
はチャートデータの各設定値を任意に設定及び変更する
チャートデータ変更処理ルーチン、２５０７は設定パラ
メータ変更処理を終了するかどうか判断する終了判断処
理である。

【００５６】図４２，４３，４４はデータ処理用コンピ
ュータプログラムフローの測定データ編集処理ルーチン
で図２５における処理１６０８の処理内容である。

【００５７】図４２，４３，４４において、２６０１は
ＭＴＦ画角特性データの出力をおこなうかどうか判断す
るデータ出力判断処理、２６０２は測定し外部記憶装置
のファイルに書き込まれた測定データの中からＭＴＦ画
角特性データを選択的に読み出すファイルデータ読み出
し処理ルーチン、２６０３は処理２６０２で読み出した
ＭＴＦ画角特性ファイルの一覧をモニターに表示するモ
ニター表示処理ルーチン、２６０４はＭＴＦ画角特性デ
ータの出力処理を終了するかどうか判断するデータ出力
終了判断処理、２６０５はファイルより読み出されて処
理２６０３でモニターに表示されたデータの一覧表から
外部出力機器に出力したいＭＴＦ画角特性データを選択
するデータ選択処理ルーチン、２６０６はプロッターや
プリンター等の外部出力機器に処理２６０５で選択した
ＭＴＦ画角特性データのグラフや数値を出力表示するデ
ータ出力表示処理ルーチン、２６０７は倍率色収差特性
データの出力をおこなうかどうか判断するデータ出力判
断処理、２６０８は測定し外部記憶装置のファイルに書
き込まれた測定データの中から倍率色収差特性データを
選択的に読み出すファイルデータ読み出し処理ルーチ
ン、２６０９は処理２６０８で読み出した倍率色収差特
性ファイルの一覧をモニターに表示するモニター表示処
理ルーチン、２６１０は倍率色収差特性データの出力処
理を終了するかどうか判断するデータ出力終了判断処
理、２６１１はファイルより読み出されて処理２６０９
でモニターに表示されたデータの一覧表から外部出力機
器に出力したい倍率色収差特性データを選択するデータ
選択処理ルーチン、２６１２はプロッターやプリンター
等の外部出力機器に処理２６１１で選択した倍率色収差
特性データのグラフや数値を出力表示するデータ出力表
示処理ルーチン、２６１３はデフォーカス特性データの
出力をおこなうかどうか判断するデータ出力判断処理、
２６１４は測定し外部記憶装置のファイルに書き込まれ
た測定データの中からデフォーカス特性データを選択的
に読み出すファイルデータ読み出し処理ルーチン、２６
１５は処理２６１４で読み出したデフォーカス特性ファ
イルの一覧をモニターに表示するモニター表示処理ルー
チン、２６１６はデフォーカス特性データの出力処理を
終了するかどうか判断するデータ出力終了判断処理、２
６１７はファイルより読み出されて処理２６１５でモニ
ターに表示されたデータの一覧表から外部出力機器に出
力したいデフォーカス特性データを選択するデータ選択
処理ルーチン、２６１８はプロッターやプリンター等の
外部出力機器に処理２６１７で選択したデフォーカス特
性データのグラフや数値を出力表示するデータ出力表示
処理ルーチン、２６１９は測定データ編集処理ルーチン
を終了するかどうか判断する終了判断処理である。

【００５８】図４５，４６，４７はデータ処理用コンピ
ュータプログラムフローの固定パラメータ変更処理ルー
チンで図４１における処理２５０２の処理内容である。

【００５９】図４５，４６，４７において、２７０１は
外部記憶装置のファイルに測定データを書き込む際のフ
ァイル名を入力するかどうかを判断するファイル名入力
判断処理、２７０２は外部記憶装置のファイルに測定デ
ータを書き込む際のファイル名を入力するファイル名入
力処理ルーチン、２７０３は被測定光学系の各種パラメ
ータを入力するかどうかを判断するパラメータ入力判断
処理、２７０４は焦点距離や明るさ等の被測定光学系固
有のパラメータを入力するパラメータ入力処理ルーチ
ン、２７０５はサンプリング時間の入力をするかどうか
を判断するサンプリング時間入力判断処理、２７０６は
サンプリング時間を入力するサンプリング時間入力処理
ルーチン、２７０７はサンプリング分割数の入力をする
かどうかを判断するサンプリング分割数入力判断処理、
２７０８はサンプリング分割数を入力するサンプリング
分割数入力処理ルーチン、２７０９はサンプリング回数
の入力をするかどうかを判断するサンプリング回数入力
判断処理、２７１０はサンプリング回数を入力するサン
プリング回数入力処理ルーチン、２７１１は測定データ
のＭＴＦ（ＯＴＦ）を計算する際の空間周波数の設定値
を入力するかどうか判断する空間周波数入力判断処理、
２７１２は測定データからＭＴＦ（ＯＴＦ）を求める際
に演算する空間周波数の設定値を入力する空間周波数入
力処理ルーチン、２７１３は測定倍率の入力をするかど
うか判断する測定倍率入力判断処理、２７１４は測定倍
率の入力処理を行う測定倍率入力処理ルーチン、２７１
５は現在選択されているチャートのスリット座標と入力
した倍率から投影時のスリット投影位置座標を計算する
スリット投影座標計算処理ルーチン、２７１６は処理２
７１５で計算した各スリット投影座標を受光部のティー
チング初期データとして記憶させる受光部初期位置デー
タ記憶処理ルーチン、２７１７は測定対象のチャート選
択を行うかどうか判断するチャート選択判断処理、２７
１８はチャートデータ保存用ファイルより現在記録され
ているチャート名を読み出すチャート名読み出し処理ル
ーチン、２７１９は処理２７１８で読み出したチャート
名の一覧表をモニターに表示するモニター表示処理ルー
チン、２７２０は処理２７１９で表示したチャート名一
覧表から使用するチャートを選択しそのチャートのスリ
ット位置座標データを読み出すスリット座標位置データ
読み出し処理ルーチン、２７２１は処理２７２０で読み
出したチャートのスリット位置座標データと現在設定さ
れている倍率から投影時のスリット投影位置座標を計算
するスリット投影座標計算処理ルーチン、２７２２は処
理２７２１で計算した各スリット投影座標を受光部のテ
ィーチング初期データとして記憶させる受光部初期位置
データ記憶処理ルーチン、２７２３は固定パラメータの
変更処理を終了するかどうか判断する固定パラメータ変
更終了判断処理である。

【００６０】図４８，４９，５０，５１はデータ処理用
コンピュータプログラムフローの自動測定手順変更処理
ルーチンで図４１における処理２５０４の処理内容であ
る。

【００６１】図４８，４９，５０，５１において、２８
０１は自動測定手順データ保存ファイルより自動測定手
順データを読み出す自動測定手順データ読み出し処理ル
ーチン、２８０２は処理２８０１で読み出した自動測定
手順データをモニターに表示する自動測定手順一覧表示
処理ルーチン、２８０３はＭＴＦ画角特性の自動測定手
順を変更するかどうか判断するＭＴＦ画角特性自動測定
手順変更判断処理、２８５１はＭＴＦ画角特性自動測定
を行うかどうかのフラグを変更するかどうかを判断する
ＭＴＦ画角特性自動測定フラグ変更判断処理、２８５２
はＭＴＦ画角特性の自動測定をするかしないかのＯＮ”
“ＯＦＦ”フラグを切り替えるＭＴＦ画角特性自動測定
フラグ切り替え処理ルーチン、２８０４は測定するスリ
ットを決める各スリットの測定“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラ
グを切り替えるかどうか判断する測定フラグ切替判断処
理、２８０５は各スリットを測定するかしないかを決め
る測定“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラグを切り替える測定フラ
グ切替処理ルーチン、２８０６はＭＴＦ画角特性自動測
定時に使用するフィルターを設定変更するかどうか判断
するフィルター変更判断処理、２８０７はＭＴＦ画角特
性自動測定時に使用するフィルターの設定変更を行うフ
ィルター設定変更処理ルーチン、２８０８は設定あるい
は変更したＭＴＦ画角特性の自動測定手順をファイルに
保存するかどうか判断する測定手順ファイル保存判断処
理、２８０９は設定あるいは変更したＭＴＦ画角特性の
自動測定手順を自動測定手順データ保存ファイルに書き
込み処理を行うＭＴＦ画角特性自動測定手順データファ
イル書き込み処理ルーチン、２８１０はＭＴＦ画角特性
自動測定手順の変更を終了するかどうかを判断する自動
測定手順変更終了判断処理、２８１１は倍率色収差特性
の自動測定手順を変更するかどうか判断する倍率色収差
特性自動測定手順変更判断処理、２８５３は倍率色収差
特性自動測定を行うかどうかのフラグを変更するかどう
かを判断する倍率色収差特性自動測定フラグ変更判断処
理、２８５４は倍率色収差特性の自動測定をするかしな
いかのＯＮ”“ＯＦＦ”フラグを切り替える倍率色収差
特性自動測定フラグ切り替え処理ルーチン、２８１２は
測定するスリットを決める各スリットの測定“ＯＮ”
“ＯＦＦ”フラグを切り替えるかどうか判断する測定フ
ラグ切替判断処理、２８１３は各スリットを測定するか
しないかを決める測定“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラグを切り
替える測定フラグ切替処理ルーチン、２８１４は倍率色
収差特性自動測定時に使用するフィルターを設定変更す
るかどうか判断するフィルター変更判断処理、２８１５
は倍率色収差特性自動測定時に使用するフィルターの設
定変更を行うフィルター設定変更処理ルーチン、２８１
６は設定あるいは変更した倍率色収差特性の自動測定手
順をファイルに保存するかどうか判断する測定手順ファ
イル保存判断処理、２８１７は設定あるいは変更した倍
率色収差特性の自動測定手順を自動測定手順データ保存
ファイルに書き込み処理を行う倍率色収差特性自動測定
手順データファイル書き込み処理ルーチン、２８１８は
倍率色収差特性自動測定手順の変更を終了するかどうか
を判断する自動測定手順変更終了判断処理、２８１９は
デフォーカス特性の自動測定手順を変更するかどうか判
断するデフォーカス特性自動測定手順変更判断処理、２
８５５はデフォーカス特性自動測定を行うかどうかのフ
ラグを変更するかどうかを判断するデフォーカス特性自
動測定フラグ変更判断処理、２８５６はデフォーカス特
性の自動測定をするかしないかのＯＮ”“ＯＦＦ”フラ
グを切り替えるデフォーカス特性自動測定フラグ切り替
え処理ルーチン、２８２０はデフォーカス初期位置を変
更するかどうか判断するデフォーカス初期位置変更判断
処理、２８２１はデフォーカス特性自動測定時のチャー
トＺ軸の初期位置を設定及び変更するチャートＺ軸初期
位置変更処理ルーチン、２８２２はデフォーカスする量
を変更するかどうか判断するデフォーカス量変更判断処
理、２８２３はデフォーカス特性自動測定時のチャート
Ｚ軸方向１ステップ毎の移動量を設定及び変更するチャ
ート１ステップ移動量変更処理ルーチン、２８２４はデ
フォーカスするステップ数を変更するかどうか判断する
デフォーカスステップ数変更判断処理、２８２５はデフ
ォーカス特性自動測定時のチャートＺ軸方向のステップ
数を設定及び変更するチャートステップ数変更処理ルー
チン、２８２６はデフォーカス特性自動測定時に使用す
るフィルターを設定変更するかどうか判断するフィルタ
ー変更判断処理、２８２７はデフォーカス特性自動測定
時に使用するフィルターの設定変更を行うフィルター設
定変更処理ルーチン、２８２８は設定あるいは変更した
デフォーカス特性の自動測定手順をファイルに保存する
かどうか判断する測定手順ファイル保存判断処理、２８
２９は設定あるいは変更したデフォーカス特性の自動測
定手順を自動測定手順データ保存ファイルに書き込み処
理を行うデフォーカス特性自動測定手順データファイル
書き込み処理ルーチン、２８３０はデフォーカス特性自
動測定手順の変更を終了するかどうかを判断する自動測
定手順変更終了判断処理、２８３１は自動測定手順の全
ての設定及び変更処理を終了するかどうか判断する自動
測定処理変更終了判断処理である。

【００６２】図５２，５３はデータ処理用コンピュータ
プログラムフローのチャートデータ設定変更処理ルーチ
ンで図４１における処理２５０６の処理内容である。

【００６３】図５２，５３において、２９０１はチャー
トデータ保存ファイルより現在登録されているチャート
データを読み出すチャートデータ読み込み処理ルーチ
ン、２９０２は処理２９０１で読み出したチャートデー
タのチャート名一覧表をモニターに表示するチャート名
一覧表示処理ルーチン、２９０３は処理２９０２で表示
されたチャート名の中からチャートを選択するかどうか
判断するチャート選択判断処理、２９０４は処理２０８
２で表示されたチャートのから選択したチャートのチャ
ートスリットデータを読み込むチャートスリット読み込
み処理ルーチン、２９０５は新しいチャートを設定する
ために新しいチャート名を入力するかどうか判断する新
チャート名入力判断処理、２９０６は新チャート名の入
力と同時にチャートスリットデータの初期値を自動的に
設定するチャートスリット初期データ設定ルーチン、２
９０７は現在選択されているチャートのスリットデータ
一覧表をモニターに表示するチャートスリットデータ一
覧表示処理ルーチン、２９０８はチャートの中の任意の
スリットについてスリット位置座標を変更するかどうか
判断するスリット位置座標変更判断処理、２９０９はチ
ャートの中の任意のスリットを指定しスリット位置座標
値の設定及び変更処理を行うスリット位置座標変更処理
ルーチン、２９１０はチャートの中の任意のスリットに
ついてスリット幅データを変更するかどうか判断するス
リット幅データ変更判断処理、２９１１はチャートの中
の任意のスリットを指定しスリット幅データの設定及び
変更処理を行うスリット幅データ変更処理ルーチン、２
９１２はチャートスリットデータをチャートデータ保存
ファイルに書き込むかどうか判断するチャートデータフ
ァイル書き込み判断処理、２９１３はチャートスリット
データをチャートデータ保存ファイルに書き込み処理を
行うチャートデータファイル書き込み処理ルーチン、２
９１４は現在選択しているチャートのスリットデータの
設定及び変更を終了するかどうか判断するスリットデー
タ変更終了判断処理、２９１５はチャートデータの設定
及び変更処理を終了するかどうか判断するチャートデー
タ変更終了判断処理である。

【００６４】次に本実施例に係る各要素の構成上の特徴
について説明する。

【００６５】図５４はデータ取り込みのためのアライメ
ントが完了したときの線像リアルタイムモニター画面で
ある。

【００６６】図５４において、３００１はモニター画
面、３００２はフォトマルにより取り込まれた線像の波
形、３００３はサンプリングエリア内かどうか判断する
ための線で３００４の示す範囲がデータをサンプリング
するエリアとなる。

【００６７】図５５はチャートと光ファイバーの関係を
示す図である。

【００６８】図５５において、３１０１は円筒状のチャ
ートホルダー、７０２は光ファイバー、３１０３は障害
物検知用の光センサー（リミッタスイッチ）、７０１は
チャートである。

【００６９】図５６は光ファイバーを光の射出側正面か
ら見た図である。７０２が光ファイバー、３１０３が障
害物検知用の光センサーで矢印の方向がセンサーの検知
方向である。

【００７０】本実施例では光ファイバー７０２の周囲に
複数のリミッタスイッチ３１０３を放射状に設けること
により、光ファイバーの移動限界を設定している。これ
により光ファイバーを移動させたときに他の障害物と接
触するのを効果的に防止している。

【００７１】図５７はチャートのスリットと光源の光照
射範囲の関係を図示したものである。

【００７２】図５７において、７０１はチャート、３３
０２は透明に抜けていて裏から光をあてて照明するスリ
ット、３３０３が光の照射範囲で図のようにスリットに
合わせて光照射範囲を移動させる。

【００７３】図５８は受光部内部を走査ミラー５０１の
回転軸方向から見たときの測定用フォトマル５１０と測
定走査用スリット５０７と走査ミラー５０１と光軸合わ
せ用スリット５０８と光軸合わせ用フォトマル５０９の
位置関係を示した図である。

【００７４】図５９は測定用フォトマル５１０に走査用
スリット５０７を通して迷光３５０２が入射しないよう
に迷光を遮蔽するマスク５０６を図示したものである。

【００７５】図５９において３５０２は迷光、３５０３
は回転ミラーにより走査されたスリット像光である。

【００７６】次に本実施例において、本実施例の特徴で
ある自動測定について説明する。

【００７７】まず図９のコンピュータ９０７及び図１０
のコンピュータ１０３３が示すところのデータ処理用コ
ンピュータを使用して固定パラメータとチャートデータ
と自動測定手順の設定を行う。本ＭＴＦ測定器の電源を
入れると、制御コンピュータには図１１に示すメインル
ーチンが起動し、データ処理用コンピュータには図２
４，２５に示すメインルーチンが起動する。

【００７８】図１１の処理１１０３すなわち図１６の処
理１３０１と処理１３０２はプログラムが起動しシーケ
ンスがメインルーチンを通るたびに実行され設定データ
の受渡しや機構部の自動移動データ及びティーチングデ
ータさらには処理１３０４にて測定データの通信が随時
行われる。

【００７９】図９における操作台９１３、すなわち図１
０の操作盤１０１１の示すスイッチ状態及び設定状態は
変換ユニット１０１８と操作盤ｉ／Ｆ１０２３を通して
制御コンピュータにて読み取られる。またデータ処理用
コンピュータでは操作盤などの設定データはメインフロ
ーの１６０２と１６０３で制御コンピュータと通信し、
その他の機構部の移動データやティーチングデータ及び
測定データなどはそれぞれの処理ルーチンでデータの受
渡しが行われる。

【００８０】図２４，２５のシーケンスにおいて判断１
６０５でＹｅｓを選択し設定パラメータ変更処理ルーチ
ン１６０６の図４１へ行く。ここで測定に使用するチャ
ートデータがファイルに登録していない場合は判断２５
０５でＹｅｓを選択しチャートデータ設定処理２５０６
へ行く。

【００８１】図５２，５３のチャートデータ設定処理ル
ーチンにおいて、処理２９０１で既に登録されているチ
ャート名をファイルから読み出し処理２９０２でモニタ
ーに登録チャート名の一覧表が表示される。新規のチャ
ートを登録する場合は判断２９０３でＮｏを選択し更に
判断２９０５でＹｅｓを選択してチャート名を入力し処
理２９０６でチャートデータの初期値がセットされる。

【００８２】登録済みのチャートデータを変更する場合
は処理２９０２でモニターに表示されているチャート名
からチャートを選択し処理２９０４でファイルから選択
したチャート名のデータを読み込む。初期値がセットさ
れたチャートデータ及びファイルから読み込まれたチャ
ートデータは処理２９０７でモニターに表示される。こ
こでスリット位置座標を変更したい場合は判断２９０８
でＹｅｓを選択して処理２９０９でスリット位置座標の
変更処理を行う。

【００８３】同様にスリット幅データの変更をしたい場
合は判断２９１０でＹｅｓを選択して処理２９１１でス
リットの幅の変更を行う。ファイルにデータを保存する
場合は判断２９１２でＹｅｓを選択すれば処理２９１３
にてチャートデータのファイル書き込みが行われる。デ
ータの変更を繰り返すときは判断２９１４でＮｏを選択
すれば各種変更処理を繰り返すことができる。

【００８４】データの変更を終了するときは判断２９１
４でＹｅｓを選択する。別のチャートデータを変更ある
いは別のチャートデータを新規に登録する場合は判断２
９１５でＮｏを選択すればチャートデータ設定ルーチン
を繰り返すことができる。チャートデータ設定ルーチン
を終了するときは判断２９１５でＹｅｓを選択する。判
断２９１５でＹｅｓを選択するとシーケンスは図４１の
設定パラメータ変更処理ルーチンに戻る。

【００８５】次に図４１の設定パラメータ変更処理ルー
チンにおいて判断２５０１でＹｅｓを選択し固定パラメ
ータ変更処理ルーチン２５０２の図４５，４６，４７へ
行く。

【００８６】図４５，４６，４７の固定パラメータ変更
処理ルーチンでは、ファイル名入力判断処理２７０１で
Ｙｅｓを選択しファイル名入力処理ルーチン２７０２で
自動測定時に測定結果をファイルに記録する際、データ
の区別をつけるためのファイル名を入力する。被検光学
系パラメータ入力判断処理２７０３でＹｅｓを選択し被
検光学系パラメータ入力処理ルーチン２７０４で被検光
学系の焦点距離や明るさを始めとする被測定物の固有デ
ータを入力する。この被検光学系の固有データは測定デ
ータと共に測定結果ファイルに書き込まれる。

【００８７】次にサンプリング時間入力判断処理２７０
５でＹｅｓを選択しサンプリング時間入力処理ルーチン
２７０６でサンプリング時間の入力を行う。サンプリン
グ時間を変えると測定線像波形を取り込むサンプリング
エリアの大きさが変わるので、波形がサンプリングエリ
ア内に充分入るように設定する。

【００８８】次にサンプリング分割数入力判断処理２７
０７でＹｅｓを選択しサンプリング分割数入力ルーチン
２７０８でサンプリング分割数の入力を行う。

【００８９】次にサンプリング回数入力判断処理２７０
９でＹｅｓを選択しサンプリング回数入力処理ルーチン
２７１０でサンプリング回数の入力を行う。

【００９０】次に測定最大周波数の入力判断処理２７１
１でＹｅｓを選択し測定最大周波数入力処理ルーチン２
７１２で測定最大周波数の入力を行う。ここに設定した
空間周波数までのＭＴＦ（ＯＴＦ）計算を行うことにな
る。

【００９１】次に測定倍率入力判断処理２７１３でＹｅ
ｓを選択し測定倍率の入力処理ルーチン２７１４で測定
する倍率の入力を行う。処理２７１４の処理で倍率が入
力されると続いて処理２７１５が実行されて現在選択さ
れているチャートのスリット位置座標データと処理２７
１４で入力した測定倍率からチャートを実際に投影した
ときの各スリット投影像位置が計算される。さらに処理
２７１５で計算された各チャートの投影位置座標を処理
２７１６で受光部のティーチング初期位置データとして
メモリーに記憶される。

【００９２】次にチャート選択判断処理でＹｅｓを選択
すると処理２７１８が実行されチャートデータ保存ファ
イルより図５２，５３のチャートデータ設定ルーチンで
登録したチャート名を読み出し、処理２７１９でチャー
ト名の一覧表がモニターに表示される。

【００９３】処理２７１９でモニターに表示されたチャ
ート名から測定に使用するチャートを選択すると処理２
７２０でファイルからチャートデータを読み出し、処理
２７２１で現在の設定倍率と読み出したチャートのスリ
ット位置座標から投影時のスリット座標を計算する。さ
らに処理２７２２で処理２７２１において計算した投影
時のスリット座標を受光部のティーチング初期座標位置
として記憶される。

【００９４】固定パラメータの変更処理を繰り返すとき
は判断２７２３でＮｏを選択する。処理２７２３でＹｅ
ｓを選択すると固定パラメータ変更処理ルーチンを抜け
て図４１の設定パラメータ変更処理ルーチンに戻る。

【００９５】次に自動測定手順の設定を行う。図４１の
設定パラメータ変更処理ルーチンにおいて、判断２５０
３でＹｅｓを選択して自動測定手順変更処理ルーチン２
５０４の図４８，４９，５０，５１へ行く。

【００９６】自動測定手順変更処理ルーチン２５０４が
実行されるとまず処理２８０１の自動測定手順保存ファ
イルから自動測定手順データの読み込みが行われ、処理
２８０２によって自動測定手順の一覧表がモニターに表
示される。ＭＴＦ画角特性の自動測定手順を変更すると
きは判断２８０３でＹｅｓを選択する。ＭＴＦ画角特性
自動測定を行うかどうかの設定は判断２８５１でＹｅｓ
を選択し処理２８５２で測定の“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラ
グを設定する。

【００９７】チャート上のどのスリットを測定するかを
設定するときは判断２８０４でＹｅｓを選択してスリッ
ト測定フラグの変更処理２８０５を行う。ここでＯＮに
したスリットのみティーチングと自動測定が選択的に行
われる。続いて判断２８０６でＹｅｓを選択し処理２８
０７において測定するフィルターの種類を設定する。

【００９８】設定したＭＴＦ画角特性自動測定データを
保存するときは判断２８０８でＹｅｓを選択し処理２８
０９で自動測定手順保存ファイルに設定したＭＴＦ画角
特性自動測定手順データを保存する。判断２８１０でＮ
ｏを選択するとＭＴＦ画角特性自動測定手順の変更処理
を繰り返すことができる。倍率色収差特性の自動測定手
順を変更するときは判断２８１１でＹｅｓを選択する。

【００９９】倍率色収差特性自動測定を行うかどうかの
設定は判断２８５３でＹｅｓを選択し処理２８５４で測
定の“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラグを設定する。判断２８１
２でＹｅｓを選択して処理２８１３にて測定するスリッ
トを設定し、判断２８１４でＹｅｓを選択して処理２８
１５にて測定するフィルターの種類を設定する。

【０１００】設定した倍率色収差特性自動測定データを
保存するときは判断２８１６でＹｅｓを選択し処理２８
１７で自動測定手順保存ファイルに設定した倍率色収差
特性自動測定手順データを保存する。判断２８１８でＮ
ｏを選択すると倍率色収差特性自動測定手順の変更処理
を繰り返すことができる。デフォーカス特性の自動測定
手順を変更するときは判断２８１９でＹｅｓを選択す
る。デフォーカス特性自動測定を行うかどうかの設定は
判断２８５５でＹｅｓを選択し処理２８５６で測定の
“ＯＮ”“ＯＦＦ”フラグを設定する。

【０１０１】判断２８２０でＹｅｓを選択して処理２８
２１においてチャートＺ軸方向の初期位置すなわちデフ
ォーカス位置の初期値を入力する。さらに判断２８２２
でＹｅｓを選択して処理２８２３でチャートＺ軸方向の
１ステップ移動量すなわちデフォーカスステップ量を入
力し、処理２８２５でチャートＺ軸方向のステップ数す
なわちデフォーカスステップ数を入力する。そして判断
２８２６でＹｅｓを選択して処理２８２７において測定
に使用するフィルターの種類を設定する。

【０１０２】設定したデフォーカス特性自動測定手順デ
ータを保存するときは判断２８２８でＹｅｓを選択し処
理２８２９において自動測定手順保存ファイルに設定し
たデフォーカス特性自動測定手順データを保存する。判
断２８３０でＮｏを選択するとデフォーカス特性自動測
定手順の変更処理を繰り返すことができ、また判断２８
３１でＮｏを選択すると自動測定手順の変更処理を繰り
返すことができる。

【０１０３】自動測定手順変更処理を終了するときは判
断２８３１でＹｅｓを選択し、図４１の設定パラメータ
変更処理ルーチンへ戻る。以上で自動測定のための設定
パラメータの設定が終る。設定パラメータデータは一度
ファイルに保存しておけば測定の度に設定し直す必要は
ない。自動測定のためのパラメータの設定すなわち固定
パラメータデータ、自動測定手順データ、チャートデー
タの設定が終ると実際に被測定光学系を用いてチャート
スリット像を映し、ティーチングを行う。

【０１０４】まず測定用のチャートと被測定光学系の装
着、そして被測定光学系及び投影部の受光部に対するア
ライメントを行う。測定用のチャートは図７のチャート
の７０１の様に取り付け、被測定光学系はマウント２０
２に取り付ける。

【０１０５】図３における自走移動機構３０５を使って
投影機全体を動かし受光部と投影部即ち被測定光学系の
距離を測定したい任意の位置に移動し図４の様な状態に
する。このときある程度、受光部の左右及び上下の移動
面に対して被測定光学系の光軸が垂直に交わるように位
置出しをしておく。

【０１０６】次に図６の様に受光部にアライメント用の
ミラー６０４を取り付け、図７のアライメント用レーザ
２０３を発光させる。レーザ光をミラー６０４に当てレ
ーザ光が垂直に戻ってくるように、図７のステージ７１
８を調整して左右のアライメントを、図３のハンドル３
０３を回して上下方向の光軸のアライメントを行う。

【０１０７】光軸出しが終了したらレーザ２０３の電源
を切りミラー６０４を取り外す。次に測定倍率とチャー
トスリットの大きさから走査用スリット５０７において
必要なスリットエリア以外から迷光が入り込まないよう
に図５９に図示したようなマスク５０６を選んでスリッ
ト５０７に取り付け迷光３５０２を遮断し正規のスリッ
ト像光３５０３のみ通過させる。

【０１０８】マスク５０６は遮蔽の効果を高める為とス
リット像がケラレて光量を落さないようにするために光
を透過させる範囲を変更したものをいくつか用意して測
定条件によって交換する。

【０１０９】次に光源電源ＢＯＸ３０４のスイッチを入
れて所定電圧までランプ電圧を上げチャート７０１に光
を照射する。まず基準となるスリット投影像がスクリー
ン５０４に映るように操作盤を操作して受光部１０１と
スリットを照明する光源から導かれた光ファイバー７０
２とを移動させる。スクリーン５０４上でスリット像を
観察したときピントずれがひどいときは粗動Ｚ軸ステー
ジ７１３を移動させてだいたいのピント合わせをする。
ほぼピントがあったら基準スリット投影像が受光部のス
キャニング用ミラーに入射するように受光部を移動させ
る。

【０１１０】受光部のスキャニング用ミラー５０１を回
転させるとエンコーダ５１１からサンプリングタイミン
グ信号が出力されてリアルタイム表示器としてのオシロ
スコープ９１２に線像の波形が表示される。操作盤を操
作して光軸合わせ用フォトマルからの信号を取り込むよ
うにする。線像波形がだいたい見やすい大きさになるよ
うに光軸合わせ用フォトマルのゲインを合わせておいて
受光部１０１を左右に移動したりθ軸方向に回転させて
線像波形が一番大きくなるところへ持って行く。

【０１１１】図５８に示すように光軸合わせ用フォトマ
ル５０９の前には間隔を適宜設けたスリット５０８が測
定用フォトマルの前のデータ取り込み用スリット５０７
とスキャニングミラー５０１の回転中心と一直線をなす
ように設置されており２枚のスリット５０８を抜けて線
像合わせ用フォトマル５０９にスリット像が入射したと
き測定状態において同じくスリット像が正しくデータ取
り込み走査用スリット５０７と測定用フォトマル５１０
に入射している。

【０１１２】さらに操作盤を操作して微動Ｚ軸ステージ
７０９を移動させ精密なピント合わせを行う。以上でテ
ィーチング及び測定前のアライメントが完了する。

【０１１３】続いて操作盤のティーチングＳＷを押す。
すると操作盤ＳＷ取り組みルーチン１１０２で読み込ま
れたティーチングＳＷデータは設定データとしてデータ
通信１１０３を通ってデータ処理用コンピュータの設定
データ入力ルーチン１６０３にて渡され、設定データ処
理１６０４のルーチンに入り判断１７０１の判断がＹｅ
ｓとなってティーチング処理ルーチンへフロー１７０２
が進む。

【０１１４】図２７のティーチング処理ルーチンにおい
てまず処理１８０１でスリットＮｏ．のカウンターを１
にリセットする。判断１８０２の測定フラグ判断では自
動測定手順データに従って［ＯＮ］［ＯＦＦ］を判定す
る。

【０１１５】測定フラグがＯＮならば処理１８０３へ行
き、カウンターの示すスリットに対応する受光部１０１
及び光ファイバー７０２のティーチング初期位置座標デ
ータを設定データとして設定データ通信ルーチン１３０
１を通して制御コンピュータに送り、制御コンピュータ
の設定データ処理ルーチン１１０４の処理１４０２と処
理１４０４で受光部１０１を、さらに処理１４０６と処
理１４０８で光ファイバー７０２を自動的に移動する。

【０１１６】これは光源の光照射範囲がチャートのスリ
ットをすべてカバーできない場合複数の光源を用意する
ことなく図５７に図示したようにひとつの光源を測定す
るスリットに合わせて移動させる機能である。

【０１１７】本実施例では図８の光源ランプ８０１から
８０２，８０３，８０４，８０５のコンデンサーレンズ
により光ファイバー７０２に光を入射させ光ファイバー
の入射とは反対側の図７の光ファイバー７０２をステー
ジ７０３と７０５によって移動しチャート７０１に対し
て図５７のように光照射範囲が移動する。

【０１１８】この実施例ではスリットが複数個設けられ
たチャートに対して光照射範囲を移動させているがその
他の実施例として図６０のようにファイバーの光照射口
に直接スリットを設けファイバーとスリットを同時に移
動させることも可能である。ここでティーチング前のア
ライメント時と同様に受光部１０１を操作盤より移動さ
せ軸合わせを行い光ファイバーの位置調整も行う。

【０１１９】このときステージの移動機構には、例えば
受光部が移動するステージである１０３と１０５の両端
のようにそれ以上移動して破損しないように自動的に移
動をストップさせるリミットスイッチが付いているが、
移動範囲が単純でないチャートスリット照明用ファイバ
ーの場合は図５５の様にファイバーの周囲にセンサーを
設け、どの方向にも障害物があれば停止する機構が備え
られている。

【０１２０】図５５はチャートスリットが円筒状のホル
ダーに取り付けられていてファイバーがその中に入る場
合を表している。

【０１２１】図５６はファイバーを正面から見たところ
で、ファイバー７０２の周囲に非接触のセンサー例えば
光センサー３１０３を配置し矢印の方向にセンサーが反
応するようにして、障害物の接近を感知するようになっ
ている。もちろん光源の照射する範囲すなわち光ファイ
バーが照射する範囲内におさまるようなチャートの大き
さであれば光ファイバーを移動させる必要はなく、その
ときは障害物検知用のセンサーを障害物検知状態にして
おけば操作盤などの誤操作から不必要に光ファイバーが
動いてしまうことを防ぐことができる。

【０１２２】次に図５４の様にサンプリングエリア内に
線像波形が入るようにサンプリング開始点を設定し、ま
たフォトマルのゲイン設定もこのとき行う。

【０１２３】以上の処理１８０４は手動にて設定するも
のである。現在のスリット位置でのティーチング設定が
完了したら操作盤にてティーチング完了ＳＷを押す。シ
ーケンスは処理１８０７へ進み受光部位置やファイバー
位置及びサンプリング開始点等の設定値が制御用コンピ
ュータの設定データ出力ルーチン１３０２を通してデー
タ処理用コンピュータへ渡され記憶される。ティーチン
グ設定中にティーチング処理ルーチンを終了したいとき
は操作盤にてティーチング処理終了を指示すれば判断処
理１８０６でＹｅｓへ進みティーチング処理ルーチンか
らぬける。

【０１２４】一方処理１８０７でティーチング設定デー
タを読み込んだ後は処理１８０８でチャートスリットＮ
ｏ．のカウンターをアップし、判断１８０９でチャート
のスリットが設定数まで終了したかどうか判断しＹｅｓ
ならティーチング処理ルーチンを終了する。スリットＮ
ｏ．が設定数に達してなく、判断１８１０で終了を選択
しないときはシーケンスは処理１８０２に戻る。

【０１２５】以上の処理を繰り返してティーチングを完
了しシーケンスもメインフローに戻る。これで自動測定
のための準備が全て完了する。後は操作盤の自動測定Ｓ
Ｗを押せば設定した通りの測定が自動的に行われる。

【０１２６】以下に自動的に進む自動測定のシーケンス
を説明する。

【０１２７】操作盤にて自動測定ＳＷが押されると、制
御コンピュータが自動測定ＳＷを読み取り処理１２３２
で自動測定フラグがセットされる。これが処理１３０２
を通してデータ処理用コンピュータの処理１６０３にて
受け取られ、設定データ処理ルーチン１６０４の判断１
７０５でＹｅｓへ分岐し自動測定処理１７０６へと進
む。

【０１２８】図３０の自動測定処理ルーチンにおいてＭ
ＴＦ画角特性自動測定が設定されていればシーケンスは
ＭＴＦ画角特性自動測定処理２００２へ行く。

【０１２９】図３１，３２，３３のＭＴＦ画角特性自動
測定処理ルーチンにおいて、まず処理２１０１において
測定データ書き込み用ファイルに対して今回のＭＴＦ画
角特性自動測定でファイルされるデータ量を計算し、デ
ータを書き込むのに必要充分なエリアをファイルに確保
する。

【０１３０】次にフィルターカウンターを１にリセット
し判断２１１１でフィルターが終了でないことを確認し
て判断２１１２で現在のフィルターカウンターが示すフ
ィルターで測定するかどうか判断する。Ｙｅｓならば処
理２１１３でフィルターの切り替え指令データをデータ
処理用コンピュータから制御用コンピュータへ送り、処
理２１１４でチャートスリットＮｏ．カウンターを１に
セットし、さらに現在のチャートスリットＮｏ．で測定
するかしないかを判断２１１５で判断する。

【０１３１】Ｙｅｓならば処理２１１６にて受光部位置
とファイバー位置のティーチング設定データを制御コン
ピュータの処理１３０１を通して送り、同様に処理２１
１７でサンプリング開始点やフォトマルゲインなどの設
定データも制御コンピュータへ送る。受光部位置データ
が制御コンピュータへ送られると図１７，１８，１９，
２０の判断１４０１及び判断１４０３がＯＮとなり処理
１４０２及び処理１４０４にて受光部の移動処理が行わ
れる。

【０１３２】制御用コンピュータは図１０の受光部用パ
ルス発生ボード１０２５にパルスを発生させ、受光部モ
ータードライバー１０１９によって受光部移動用のモー
ターを駆動し、指令値どうりの位置へ受光部を移動させ
る。

【０１３３】同様にファイバーの位置データも制御コン
ピュータへ送られると投影部用パルス発生ボード１０２
６のうちファイバー用に対してパルスを発生させ投影部
モータードライバー１０２０のうちファイバー移動用に
よりファイバーが駆動する。判断２１１８で今回は１回
目の測定なのでシーケンスは判断２１２２へ行き、自動
測定終了がＮｏならば判断２１０３に進みフォトマルオ
ートゲインが設定されていれば処理２１０４へ行き、制
御コンピュータの処理１４２８が実行されフォトマルの
ゲインが設定される。

【０１３４】次に測定データ取り込み開始フラグ出力処
理ルーチン２１０５へ行く。ここでは測定開始フラグが
データ処理用コンピュータから制御コンピュータへ通信
され制御コンピュータのデータ取り込み処理１４２６が
実行される。

【０１３５】図２１，２２，２３に示すデータ取り込み
処理ルーチンでは、データの取り込みを繰り返したとき
に機械的な振動や電気的なノイズなどにより取り込む度
に波形の位置がずれて、積算した波形が元の波形に対し
て歪んでしまわないような取り込み処理を行うプログラ
ムフローである。

【０１３６】図２１，２２，２３においてまず処理１５
０１でデータ取り込み回数をリセットする。処理１５０
２でフォトマルからの線像波形をデータ収集装置１０２
１とデータ収集装置インターフェイス１０２７を通して
予め設定されたサンプリング時間で、同じく予め設定さ
れたサンプリング開始点からミラーに直結されたアブソ
リュートエンコーダ５１１の信号により同期をとって制
御用コンピュータに１スキャン分取り込み、データ配列
Ｙｉ（ｍ）｛ｍ＝１〜ｎ｝に記憶する。このときアブソ
リュートエンコーダ５１１の原点信号から線像波形まで
の角度信号も測定データと同様にデータ収集装置１０２
１によって制御用コンピュータに読み込まれ測定データ
をデータ処理用コンピュータに送るときに同時に通信さ
れる。

【０１３７】この角度信号はＭＴＦ（ＯＴＦ）計算の画
角による補正計算に用いられる。次に処理１５０３で重
心計算用の配列Ｙ’ｉ（ｍ）に配列Ｙｉ（ｍ）をコピー
する。処理１５０４では配列Ｙ’（ｍ）をローパスフィ
ルターに通し、高周波成分をカットする。

【０１３８】これは高周波成分が多い状態で波形の位置
を合わせると、例えばピーク位置を揃えて積算したとき
にピークの位置が元波形より鋭く尖り反対にすそのは広
がった波形になってしまうのを防ぐためである。次に処
理１５０５においてデータ配列Ｙ’ｉ（ｍ）の重心位置
Ｇｉを求め、判断１５０６でデータの取り込み回数が１
回目かどうか判断し、Ｙｅｓなら重心位置をＧ１として
記憶しデータ積算用配列Ｒ（ｍ）にコピーする。

【０１３９】データ取り込み回数が２回目以降の場合は
処理１５０９で１回目のとき記憶した重心位置Ｇ１とＧ
ｉとの差分を計算し、処理１５１０で差の分だけ波形を
ずらしてデータ積算用配列Ｒ（ｍ）に足し込んでいく。
処理１５１１でデータ取り込み回数のカウンターをカウ
ントアップし、判断１５１２において取り込みが完了し
たかどうか判断する。

【０１４０】このとき波形をずらして積算用配列に足し
込んでいく配列は、高周波成分をカットしていない配列
Ｙｉ（ｍ）である。高周波成分が全てノイズ成分ならば
高周波成分を除去した配列Ｙ’ｉ（ｍ）をずらして足し
込んでも、或いはローパスフィルターを通すだけでも目
的を達成できる。しかし、図６２の様に元波形にノイズ
ではない高周波成分が含まれている場合、図６３の様に
この波形にノイズがのったものをローパスフィルターに
通すと図６４の様に元波形に含まれているノイズではな
い高周波成分まで除去されてしまい正しい波形を得るこ
とができない。

【０１４１】そこで本発明の様に波形のずれ量を演算す
る配列は高周波成分をカットした配列Ｙ’ｉ（ｍ）、積
算用配列に足し込む配列は高周波成分をカットしていな
い元の配列Ｙｉ（ｍ）とすれば、図６５の様に積算によ
る平均効果によってランダムなノイズ成分は除去され、
元波形に含まれているノイズではない高周波成分は足し
込む複数の波形毎に同一の特定箇所に存在するので残る
し、ずれ量の演算時にノイズによってずれ量に誤差が発
生することも、そのまま積算することによる波形の歪み
も起こることがない。

【０１４２】取り込みが完了していない場合は処理１５
０２に戻り以上の処理を繰り返し、取り込みが完了した
ならば処理１５１３のデータ転送用配列Ｔ（ｍ）に積算
の終ったデータ配列Ｒ（ｍ）をコピーして測定完了フラ
グを立ててデータ取り込み処理ルーチンを抜ける。

【０１４３】本実施例ではデータ配列の重心位置を計算
し、その位置を揃えて積算しているが重心位置を求める
代わりにピーク位置やハーフレベル位置を求める方法も
ある。

【０１４４】しかしこの場合は処理１５０４の様に高周
波成分を除去しないと積算することによって波形が歪む
可能性が重心位置を求める方法より高い。データ取り込
み処理が終了すると設定データ通信ルーチン１１０３に
おいて測定完了フラグがＯＮになるので処理は処理１３
０４へ行き、同時にデータ処理用コンピュータのフロー
では判断２１０６がＹｅｓに分岐して処理２１０７にお
いて測定データが制御用コンピュータからデータ処理用
コンピュータに受け渡される。

【０１４５】測定データの受渡しが完了すると処理２１
０８でチャートスリットＮｏ．のカウントアップをしス
リット終了判断とスリット測定フラグの判断をしてすぐ
に処理２１１６で次のスリットによる受光部及びファイ
バー位置データの通信、さらに処理２１１７の設定デー
タの通信を行う。制御コンピュータが受光部やファイバ
ーの位置決め及び設定データの実行を行っている間に処
理２１１９のＭＴＦ（ＯＴＦ）計算処理と処理２１２０
の結果モニター表示と処理２１２１のデータ保存ファイ
ルへの結果書き込みが実行される。

【０１４６】このように本発明では機械系を駆動するコ
ンピュータとデータを処理するコンピュータが別なので
機械系を駆動しているときに計算処理ができ測定時間の
短縮が図れる。判断２１２２にて測定が終りかどうか判
断しＹｅｓなら自動測定ルーチンをぬける。Ｎｏならば
処理２１０３へ戻り測定を繰り返す。

【０１４７】判断２１０９でスリット終了がＹｅｓのと
きは処理２１１０でフィルターカウンターのカウントア
ップを行い判断２１１１で測定フィルターの完了を判断
してこれまでの測定処理を繰り返す。

【０１４８】この場合は制御用コンピュータが受光部及
びファイバー位置駆動と設定データ処理に加えてフィル
ターの変更処理を実行している間にＭＴＦ計算処理等を
行うことになる。測定フィルターが終了していればＭＴ
Ｆ画角特性自動測定処理は完了となりシーケンスは図３
０の自動測定処理ルーチンに戻る。

【０１４９】次に図３０の自動測定処理ルーチンにおい
て倍率色収差特性自動測定が設定されていればシーケン
スは倍率色収差特性自動測定処理２００４へ行く。

【０１５０】図３４，３５，３６の倍率色収差特性自動
測定処理ルーチンにおいて、まず処理２２０１において
測定データ書き込み用ファイルに対して今回の倍率色収
差特性自動測定でファイルされるデータ量を計算し、デ
ータを書き込むのに必要充分なエリアをファイルに確保
する。

【０１５１】次に処理２２０２でチャートスリットＮ
ｏ．カウンターを１にセットし、判断２２１１でチャー
トスリットが終了していないことを確認して現在のチャ
ートスリットＮｏ．で測定するかしないかを判断２２１
２で判断する。Ｙｅｓならば処理２２１３にて受光部位
置とファイバー位置のティーチング設定データを制御コ
ンピュータの処理１３０１を通して送る。

【０１５２】受光部位置データが制御コンピュータへ送
られると図１７の判断１４０１及び判断１４０３がＯＮ
となり処理１４０２及び処理１４０４にて受光部の移動
処理が行われる。制御用コンピュータは図１０の受光部
用パルス発生ボード１０２５にパルスを発生させ、受光
部モータードライバー１０１９によって受光部移動用の
モーターを駆動し、指令値どうりの位置へ受光部を移動
させる。

【０１５３】同様にファイバーの位置データも制御コン
ピュータへ送られると投影部用パルス発生ボード１０２
６のうちファイバー用に対してパルスを発生させ投影部
モータードライバー１０２０のうちファイバー移動用に
よりファイバーが駆動する。つづいてフィルターカウン
ターを１にリセットし判断２２１５で現在のフィルター
カウンターが示すフィルターで測定するかどうか判断す
る。Ｙｅｓならば処理２２１６でフィルターを切り替え
データを、処理２２１７でサンプリング開始点やフォト
マルゲインなどの設定データを制御コンピュータへ送
る。

【０１５４】判断２２１８で今回は１回目の測定なので
判断２２２２で自動測定が終了かどうか判断しＮｏなら
ばシーケンスは判断２２０３に進みフォトマルオートゲ
インが設定されていれば処理２２０４へ行き、制御コン
ピュータの処理１４２８が実行されフォトマルのゲイン
が設定される。次にシーケンスは測定データ取り込み指
令出力処理２２０５に行く。

【０１５５】倍率色収差特性自動測定処理におけるデー
タ取り込み処理はＭＴＦ画角特性自動測定処理のデータ
取り込み処理と同じである。測定データの取り込みが終
ると判断２２０６がＹｅｓに分岐し処理２２０７にて測
定データが制御用コンピュータからデータ処理用コンピ
ュータへ通信される。測定データの通信が完了するとフ
ィルター終了の判断２２０９、判断２２１５をへて処理
２２１６でフィルター変更データの出力さらに処理２２
１７で設定データの出力をデータ処理用コンピュータか
ら制御用コンピュータへ行い制御用コンピュータが各種
設定や受光部の移動などを行っている間に倍率色収差特
性計算処理２２１９を実行する。

【０１５６】図４０の倍率色収差特性計算処理ルーチン
において、処理２４０１でまず測定線像波形の重心位置
を計算する。判断２４０２で色収差計算の基準となるフ
ィルターで測定したものかどうか判断しＹｅｓなら重心
位置の基準として記憶する。Ｎｏの場合は処理２４０３
で記憶した基準の重心位置との差分を処理２４０４にお
いて計算し、これが倍率色収差特性の測定結果データと
なる。

【０１５７】シーケンスは処理２２２０、２２２１と進
み、結果データをモニターに表示してさらに測定データ
保存用ファイルに出力する。処理２２２２にて測定が終
りかどうか判断しＹｅｓなら自動測定ルーチンをぬけ
る。Ｎｏならば判断２２０３へ戻り測定を繰り返す。

【０１５８】判断２２０９がＹｅｓのときはチャートス
リットＮｏ．のカウントアップを行いチャートスリット
の完了を判断する。測定すべきチャートのスリットが残
っている場合は判断２２１２へ行きこれまでの処理を繰
り返す。

【０１５９】この場合制御用コンピュータがフィルター
変更と設定データ処理に加えて受光部及びファイバー位
置の駆動を実行している間にデータ処理用コンピュータ
は倍率色収差特性の計算処理等を行うことになる。チャ
ートスリットが終了していれば倍率色収差特性自動測定
処理は完了となりシーケンスは図３０の自動測定処理ル
ーチンに戻る。

【０１６０】次に図３０の自動測定処理ルーチンにおい
てデフォーカス特性自動測定が設定されていればシーケ
ンスはデフォーカス特性自動測定処理２００６へ行く。
図３７，３８，３９のデフォーカス特性自動測定処理ル
ーチンにおいて、まず処理２３０１において測定データ
書き込み用ファイルに対して今回のデフォーカス特性自
動測定でファイルされるデータ量を計算し、データを書
き込むのに必要充分なエリアをファイルに確保する。

【０１６１】次に受光部位置と光源用光ファイバー位置
をデフォーカス特性自動測定位置としてティーチングし
た設定データを処理２３０２にて送り受光部及びファイ
バーを設定値まで移動させ、処理２３０３においてサン
プリング開始点などの設定データも送る。処理２３０４
でチャートをフォーカス方向即ちＺ軸方向のデフォーカ
ス特性自動測定初期位置データのデータ通信処理が行わ
れる。

【０１６２】チャートのＺ軸位置がデータ処理用コンピ
ュータから制御用コンピュータへ送られると制御コンピ
ュータは図１０の投影部パルス発生ボード１０２６のう
ちチャートＺ軸用に対してパルスを発生させ、チャート
Ｚ軸用ドライバーによってチャートＺ軸が駆動される。
つづいて処理２３１４でフィルターカウンターを１にリ
セットし判断２３１５で現在のフィルターカウンターが
示すフィルターで測定するかどうか判断する。Ｙｅｓな
らば処理２３１６でフィルターを切り替えデータを制御
用コンピュータへ通信する。測定が１回目なのでシーケ
ンスは判断２３２１に行きＮｏならば処理２３０５でフ
ォトマルのゲインが自動的に設定される。

【０１６３】次にシーケンスは測定データ取り込み開始
フラグ通信処理２３０６に行く。デフォーカス特性自動
測定処理におけるデータ取り込み処理はＭＴＦ画角特性
自動測定処理のデータ取り込み処理と同じである。判断
２３０７でデータの取り込みが完了すると処理２３０８
で測定データが制御用コンピュータからデータ処理用コ
ンピュータへ送られる。

【０１６４】測定データの通信が完了すると処理２３０
９でフィルター番号のカウントアップを実行し判断２３
１０と判断２３１５をへて処理２３１６でフィルターの
変更データを制御用コンピュータに出力した後今度は判
断２３１７をシーケンスは処理２３１８、処理２３１
９、処理２３２０へ行き、ＭＴＦ（ＯＴＦ）の計算と結
果のモニター表示とデータ保存用ファイルへの結果書き
込みが行われる。処理２３２１にて測定が終りかどうか
判断しＹｅｓなら自動測定ルーチンをぬける。Ｎｏなら
ば処理２３０５へ戻り測定を繰り返す。

【０１６５】判断２３１０でフィルター終了がＹｅｓな
らば処理２３１１にてチャートのＺ軸ステップカウンタ
ーをカウントアップし判断２３１２がＮｏなら処理２３
１３でチャートＺ軸ステップ移動量を制御用コンピュー
タに出力して処理２３１４のフィルターカウンターを１
にセットする処理に戻る。

【０１６６】この場合制御用コンピュータがフィルター
変更処理に加えチャートＺ軸駆動を実行している間にデ
ータ処理用コンピュータはＭＴＦの計算処理等を行うこ
とになる。

【０１６７】判断２３１２でチャートＺ軸ステップが終
了していればデフォーカス特性自動測定処理は完了とな
りシーケンスは図３０の自動測定処理ルーチンに戻る。

【０１６８】シーケンスは図２６の設定データ処理ルー
チンへ行き、さらに図２４，２５のデータ処理用プログ
ラムメインフローに戻る。

【０１６９】以上で自動測定が全て完了する。ティーチ
ングデータ及び自動測定手順データが保存されている限
り、操作盤の自動測定スイッチを押すだけで以上の様な
複雑な測定が自動的に行われる。

【０１７０】次に自動測定によって保存された測定結果
データを読み出して表示する機能を説明する。

【０１７１】測定データのファイルからの読み出しはデ
ータ処理用コンピュータだけの操作で行えるのでＭＴＦ
測定器本体が必ずしも測定可能な状態になっている必要
はない。

【０１７２】図２４，２５のデータ処理用コンピュータ
プログラムメインフローにおいて測定データ編集処理判
断１６０７をＹｅｓに分岐し測定データ編集処理ルーチ
ン１６０８へ行く。

【０１７３】図４２，４３，４４の測定データ編集処理
ルーチンではまず判断２６０１でＭＴＦ画角特性データ
の出力をするかしないか判断する。Ｙｅｓを選択すると
測定データ保存ファイルよりＭＴＦ画角特性測定データ
のファイル名を選択的に読み出しモニターにＭＴＦ画角
特性測定データファイル名の一覧表が表示される。

【０１７４】処理２６０５で表示されたデータから出力
したい測定データを選択すると処理２６０６が実行され
外部表示器例えばプロッターなどにＭＴＦ画角特性のグ
ラフを表示することができる。

【０１７５】シーケンスは処理２６０３に戻り、何回で
も測定データの選択及びプロッター表示を繰り返すこと
ができる。ＭＴＦ画角特性データの出力を終了するとき
は判断２６０４にてＹｅｓを選択する。

【０１７６】倍率色収差特性データ出力のシーケンスは
ＭＴＦ画角特性データ出力とほぼ同様である。判断２６
０７で倍率色収差特性データの出力を選択すると測定デ
ータ保存ファイルより倍率色収差特性測定データのファ
イル名を選択的に読み出しモニターに倍率色収差特性測
定データファイル名の一覧表を表示する。

【０１７７】処理２６１１で表示されたデータから出力
したい測定データを選択すると処理２６１２が実行され
外部表示器例えばプロッターなどに倍率色収差特性のグ
ラフを表示する。シーケンスは処理２６０９に戻り、何
回でも測定データの選択及びプロッター表示を繰り返す
ことができる。

【０１７８】さらにデフォーカス特性データの出力も同
様である。判断２６１３でデフォーカス特性データの出
力を選択すると測定データ保存ファイルよりデフォーカ
ス特性測定データのファイル名を選択的に読み出しモニ
ターにデフォーカス特性測定データファイル名の一覧表
を表示する。処理２６１７で表示されたデータから出力
したい測定データを選択すると処理２６１８が実行され
外部表示器例えばプロッターなどにデフォーカス特性の
グラフを表示する。

【０１７９】シーケンスは処理２６１５に戻り、何回で
も測定データの選択及びプロッター表示を繰り返すこと
ができる。判断２６１９においてＮｏを選択すれば以上
の測定データ編集のルーチンを何回でも繰り返すことが
できる。判断２６１９でＹｅｓを選択すればシーケンス
は測定データ編集ルーチンをぬけて図２４，２５のメイ
ンフローに戻る。

【０１８０】以上が本発明によるＭＴＦ（ＯＴＦ）測定
器の特徴である自動測定の実施例である。本ＭＴＦ（Ｏ
ＴＦ）測定器は自動測定の他に１回毎にＭＴＦ（ＯＴ
Ｆ）測定を行える手動測定機能も兼ね備えている。

【０１８１】手動測定を行うにはまず自動測定手順のテ
ィーチング設定で説明したように被測定光学系と受光部
と投影部のアライメントをそれぞれ行い測定線像がリア
ルタイムモニター９１２に図５４（Ａ）のように表示さ
れるようにする。操作盤の手動モードスイッチを押すと
制御コンピュータから手動モードフラグが通信され、図
２６の設定データ処理ルーチンにおいて判断１７０３か
ら手動測定処理１７０４へシーケンスが分岐する。

【０１８２】図２８，２９の手動測定処理ルーチンにお
いて操作盤の測定開始スイッチが押されると制御コンピ
ュータは測定データの取り込みを開始し、判断１９０２
でデータ取り込みの完了を待つ。制御コンピュータのデ
ータ取り込みが終ると処理１９０３でデータ処理用コン
ピュータに制御コンピュータからデータを通信し、ＭＴ
Ｆ（ＯＴＦ）計算処理１９０４を実行して結果をモニタ
ーに表示する。判断１９０６で外部表示装置例えばプロ
ッターの出力を選択すると処理１９０７が実行され測定
した結果を表示することができる。

【０１８３】処理１９０９で測定データを複数データ出
力用メモリーに記憶しこれを何回か繰り返すと処理１９
１１の表示処理によりいくつかの測定データの変化を見
ることができる。手動測定モードをクリアすると判断１
９１２から手動測定処理ルーチンをぬけて図２４，２５
のメインフローに戻る。

【０１８４】

【発明の効果】

（２−１）本発明によれば前述の如く移動可能な光ファ
イバーを用いることにより、投影手段に設けた照明系か
らの光束で照明したテストパターンを測定光学系により
受光手段やスクリーン面等の所定面上に投影し、該所定
面上のテストパターン像を用いて該測定光学系の光学性
能を評価する際、テストパターンの面積が大きくなって
も装置全体の小型化を図りつつ、該テストパターンを効
率的に照明することのできる光学性能評価測定装置を達
成することができる。

【０１８５】特にチャートの照明に本発明に係る移動機
構を持った光ファイバーを用いれば大きなチャートを照
明するのに大がかりな集光光学系を用意することなく
Ｎ．Ａが高く光量の多い照明が可能となる。また光ファ
イバーの移動に自動移動機能を持たせることで自動測定
機能を持った光学性能評価測定装置においてもその自動
測定機能を損なうことなくチャートの照明を行うことが
できるといった特長がある。

【０１８６】（２−２）本発明によれば以上のように、
チャート照明用の光ファイバーの周囲にリミットセンサ
ーを設けることにより光ファイバーを移動ステージの制
御範囲に関係なく移動リミットを設定することができ、
光ファイバーを狭い所や複数な空間に設定することがチ
ャートを効率良く照明することができる光学性能評価測
定装置を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 被測定光学系によって結像したスリット像
を取り込むための受光素子を搭載した受光部と受光部の
ＸＹ平面移動機構部全体の正面図

【図２】 被測定光学系によるチャートのスリット像
を投影させるための投影部全体の正面図

【図３】 図２における投影部全体の側面図

【図４】 測定状態における受光部及び受光移動部全
体と投影部全体の側面図

【図５】 測定光学系によって投影された像を走査し
て受光素子へ取り込む受光部の内部詳細正面図

【図６】 アライメント用ミラーを装着した受光部正
面図

【図７】 チャートステージと被測定光学系マウント
部とファイバー移動部を主な構成部品とする投影部主要
部側面図

【図８】 投影部の光源部詳細図

【図９】 制御系電装とデータ処理系の外観図

【図１０】 制御系、データ処理系のシステムブロック
図

【図１１】 制御用コンピュータプログラムのメインル
ーチン

【図１２】 制御用コンピュータプログラムの操作盤ス
イッチ取り込み処理ルーチン

【図１３】 制御用コンピュータプログラムの操作盤ス
イッチ取り込み処理ルーチン

【図１４】 制御用コンピュータプログラムの操作盤ス
イッチ取り込み処理ルーチン

【図１５】 制御用コンピュータプログラムの操作盤ス
イッチ取り込み処理ルーチン

【図１６】 制御用コンピュータプログラムのデータ通
信ルーチン

【図１７】 制御用コンピュータプログラムの設定デー
タ処理ルーチン

【図１８】 制御用コンピュータプログラムの設定デー
タ処理ルーチン

【図１９】 制御用コンピュータプログラムの設定デー
タ処理ルーチン

【図２０】 制御用コンピュータプログラムの設定デー
タ処理ルーチン

【図２１】 制御用コンピュータプログラムのデータ取
り込み処理ルーチン

【図２２】 制御用コンピュータプログラムのデータ取
り込み処理ルーチン

【図２３】 制御用コンピュータプログラムのデータ取
り込み処理ルーチン

【図２４】 データ処理用コンピュータプログラムのメ
インルーチン

【図２５】 データ処理用コンピュータプログラムのメ
インルーチン

【図２６】 データ処理用コンピュータプログラムの設
定データ処理ルーチン

【図２７】 データ処理用コンピュータプログラムのテ
ィーチング処理ルーチン

【図２８】 データ処理用コンピュータプログラムの手
動測定処理ルーチン

【図２９】 データ処理用コンピュータプログラムの手
動測定処理ルーチン

【図３０】 データ処理用コンピュータプログラムの自
動測定処理ルーチン

【図３１】 データ処理用コンピュータプログラムのＭ
ＴＦ画角特性自動測定処理ルーチン

【図３２】 データ処理用コンピュータプログラムのＭ
ＴＦ画角特性自動測定処理ルーチン

【図３３】 データ処理用コンピュータプログラムのＭ
ＴＦ画角特性自動測定処理ルーチン

【図３４】 データ処理用コンピュータプログラムの倍
率色収差特性自動測定処理ルーチン

【図３５】 データ処理用コンピュータプログラムの倍
率色収差特性自動測定処理ルーチン

【図３６】 データ処理用コンピュータプログラムの倍
率色収差特性自動測定処理ルーチン

【図３７】 データ処理用コンピュータプログラムのデ
フォーカス特性自動測定処理ルーチン

【図３８】 データ処理用コンピュータプログラムのデ
フォーカス特性自動測定処理ルーチン

【図３９】 データ処理用コンピュータプログラムのデ
フォーカス特性自動測定処理ルーチン

【図４０】 データ処理用コンピュータプログラムの倍
率色収差計算処理ルーチン

【図４１】 データ処理用コンピュータプログラムの設
定パラメータ変更処理ルーチン

【図４２】 データ処理用コンピュータプログラムの測
定データ編集処理ルーチン

【図４３】 データ処理用コンピュータプログラムの測
定データ編集処理ルーチン

【図４４】 データ処理用コンピュータプログラムの測
定データ編集処理ルーチン

【図４５】 データ処理用コンピュータプログラムの固
定パラメータ変更処理ルーチン

【図４６】 データ処理用コンピュータプログラムの固
定パラメータ変更処理ルーチン

【図４７】 データ処理用コンピュータプログラムの固
定パラメータ変更処理ルーチン

【図４８】 データ処理用コンピュータプログラムの自
動測定手順変更処理ルーチン

【図４９】 データ処理用コンピュータプログラムの自
動測定手順変更処理ルーチン

【図５０】 データ処理用コンピュータプログラムの自
動測定手順変更処理ルーチン

【図５１】 データ処理用コンピュータプログラムの自
動測定手順変更処理ルーチン

【図５２】 データ処理用コンピュータプログラムのチ
ャートデータ設定変更ルーチン

【図５３】 データ処理用コンピュータプログラムのチ
ャートデータ設定変更ルーチン

【図５４】 線像波形のリアルタイムモニター画面

【図５５】 円筒状チャートホルダーに装着されたチャ
ートと光源用光ファイバーの関係図

【図５６】 光ファイバーと光センサーをチャート照明
側正面から見た図

【図５７】 チャート上のスリットと光照射範囲の関係
図

【図５８】 光軸合わせ用受光素子部と測定用受光素子
部と走査ミラーの関係図

【図５９】 受光素子と走査用スリットと迷光遮蔽用マ
スクとの関係図

【図６０】 光ファイバーによるスリット照明のその他
の実施例

【図６１】 従来のチャート照明方法の説明図

【図６２】 本発明に係る線像波形のリアルタイムモニ
タ画面

【図６３】 本発明に係る線像波形のリアルタイムモニ
タ画面

【図６４】 本発明に係る線像波形のリアルタイムモニ
タ画面

【図６５】 本発明に係る線像波形のリアルタイムモニ
タ画面

【符号の説明】

１００ 受光手段 ２００ 投影手段 １０１ 受光部 ２０３ レーザー ３０９ 装着部 ５０７，５０８ スリット ５０９，５１０ フォトマル ７０１ チャート ８０１ 光源ランプ ８０２，８０３，８０４，８０５ コンデンサーレン
ズ ９０２ コンピュータ ９０６ 表示装置 ９０８ 画面表示装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 投影手段に設けたテストパターンを測定
   光学系により受光手段に投影し、該受光手段で得られた
   テストパターン像を利用して、演算手段により該測定光
   学系の光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの
   光束を光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面
   からの光束により該テストパターンの一部又は全部を照
   明する照明系を有していることを特徴とする光学性能評
   価測定装置。
2. 【請求項２】 前記投影手段は前記光ファイバーの射出
   面が前記テストパターン面と平行な面内において移動可
   能となる移動機構を有していることを特徴とする請求項
   １の光学性能評価測定装置。
3. 【請求項３】 前記移動機構は前記光ファイバーへ射出
   面が複数の位置に移動可能となる自動移動機構より成
   り、前記投影手段は該光ファイバーの射出面の複数の移
   動位置を記憶するティーチング機構と、該光ファイバー
   の射出面を該複数の移動位置に順に移動させる移動制御
   機構を有していることを特徴とする請求項２の光学性能
   評価測定装置。
4. 【請求項４】 投影手段に設けたテストパターンを測定
   光学系により所定面上に投影し、該所定面上に投影した
   テストパターン像を用いて該測定光学系の光学性能を評
   価する際、該投影手段は光源からの光束を周囲に少なく
   とも１つのリミットセンサーを設けた光ファイバーで導
   光し、該光ファイバーの射出面からの光束により該テス
   トパターンの一部又は全部を照明する照明系と該光ファ
   イバーの射出面が該テストパターン面と平行な面内にお
   いて移動可能な移動機構とを有していることを特徴とす
   る光学性能評価測定装置。