JPH11183326A - レンズの測定装置及び測定方法 - Google Patents
レンズの測定装置及び測定方法Info
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- JPH11183326A JPH11183326A JP36625297A JP36625297A JPH11183326A JP H11183326 A JPH11183326 A JP H11183326A JP 36625297 A JP36625297 A JP 36625297A JP 36625297 A JP36625297 A JP 36625297A JP H11183326 A JPH11183326 A JP H11183326A
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- light
- light beam
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アフォーカル光学系において、レンズの中心
部や周辺部の光学性能の測定が短時間でできるレンズの
測定装置及び測定方法を提供する。 【解決手段】 光源１１と、スリット１３ａと、コリメ
ータ１４と、被検レンズＡを保持する試料台１８と、回
動自在な光路折曲ミラー２１と、この両側に配置された
入射角設定ミラー２２，２３と、中心光束用の結像レン
ズ２４及び中心光束用の受光素子２７と、入射角設定ミ
ラー２２，２３から射出されて被検レンズＡの周辺部に
入射し、被検レンズから射出された光束が入射する位置
に設けられた周辺光束用の結像レンズ２５，２６及び周
辺光束用の受光素子２８，２９と、を有する。光路折曲
ミラー２１を回動することにより簡単に被検レンズＡの
中心部や周辺部のレンズ性能を測定できる。
部や周辺部の光学性能の測定が短時間でできるレンズの
測定装置及び測定方法を提供する。 【解決手段】 光源１１と、スリット１３ａと、コリメ
ータ１４と、被検レンズＡを保持する試料台１８と、回
動自在な光路折曲ミラー２１と、この両側に配置された
入射角設定ミラー２２，２３と、中心光束用の結像レン
ズ２４及び中心光束用の受光素子２７と、入射角設定ミ
ラー２２，２３から射出されて被検レンズＡの周辺部に
入射し、被検レンズから射出された光束が入射する位置
に設けられた周辺光束用の結像レンズ２５，２６及び周
辺光束用の受光素子２８，２９と、を有する。光路折曲
ミラー２１を回動することにより簡単に被検レンズＡの
中心部や周辺部のレンズ性能を測定できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アフォーカル光学
系におけるＭＴＦ等のレンズ性能を測定する装置及び方
法に関し、カメラのファインダ、双眼鏡又は望遠鏡等の
レンズ性能の測定にも適用できる技術に関する。
系におけるＭＴＦ等のレンズ性能を測定する装置及び方
法に関し、カメラのファインダ、双眼鏡又は望遠鏡等の
レンズ性能の測定にも適用できる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】カメラのファインダレンズ等のアフォー
カル光学系のレンズ性能の測定を行うものとして、図４
に示すイギリスのイーリング社のテレスコープ測定装置
が知られている。これは、被検レンズのＭＴＦを測定す
るものである。
カル光学系のレンズ性能の測定を行うものとして、図４
に示すイギリスのイーリング社のテレスコープ測定装置
が知られている。これは、被検レンズのＭＴＦを測定す
るものである。
【０００３】図４において、光源１から射出された光
は、スリット２を通過し、コリメータレンズ３で平行光
束にされ、ファインダレンズ等の被検レンズ４で虚像Ｐ
´から射出される発散光束となり、結像レンズ５でＰ点
に結像する。この像を拡大レンズ６で受光素子７上に結
像させ、マイクロコンピュータで光量分布をフーリエ変
換し、アフォーカル光学系のＭＴＦを測定している。
は、スリット２を通過し、コリメータレンズ３で平行光
束にされ、ファインダレンズ等の被検レンズ４で虚像Ｐ
´から射出される発散光束となり、結像レンズ５でＰ点
に結像する。この像を拡大レンズ６で受光素子７上に結
像させ、マイクロコンピュータで光量分布をフーリエ変
換し、アフォーカル光学系のＭＴＦを測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の装置で
は、レンズの中心部の光学性能（ＭＴＦ）は測定できる
が、周辺部の光学性能は測定はできない。
は、レンズの中心部の光学性能（ＭＴＦ）は測定できる
が、周辺部の光学性能は測定はできない。
【０００５】本発明は、上記の事実から考えられたもの
で、アフォーカル光学系において、レンズ中心部と周辺
部の光学性能の測定が短時間でできるレンズの測定装置
及び測定方法を提供することを目的としている。
で、アフォーカル光学系において、レンズ中心部と周辺
部の光学性能の測定が短時間でできるレンズの測定装置
及び測定方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のレンズ測定装置は、光源と、該光源からの
光を平行光束にするコリメータと、該コリメータからの
平行光束を直接受光する位置に被検レンズを保持する試
料台と、該試料台と上記コリメータとの間に設けられ、
コリメータからの光束と平行になる位置とコリメータか
らの光束を所望の方向に折り曲げて射出する位置との間
で回動自在な光路折曲ミラーと、該光路折曲ミラーから
の反射光束を入反射して、被検レンズに任意の入射角で
入射させる入射角設定ミラーと、上記コリメータの平行
光束が被検レンズの中心に入射して被検レンズを透過し
た光束が入射する位置に設けられた中心光束用の結像レ
ンズ及び中心光束用の受光素子と、上記入射角設定ミラ
ーから射出されて被検レンズの周辺部に入射し、被検レ
ンズから射出された光束が入射する位置に設けられた周
辺光束用の結像レンズ及び周辺光束用の受光素子と、を
有することを特徴としている。
めに本発明のレンズ測定装置は、光源と、該光源からの
光を平行光束にするコリメータと、該コリメータからの
平行光束を直接受光する位置に被検レンズを保持する試
料台と、該試料台と上記コリメータとの間に設けられ、
コリメータからの光束と平行になる位置とコリメータか
らの光束を所望の方向に折り曲げて射出する位置との間
で回動自在な光路折曲ミラーと、該光路折曲ミラーから
の反射光束を入反射して、被検レンズに任意の入射角で
入射させる入射角設定ミラーと、上記コリメータの平行
光束が被検レンズの中心に入射して被検レンズを透過し
た光束が入射する位置に設けられた中心光束用の結像レ
ンズ及び中心光束用の受光素子と、上記入射角設定ミラ
ーから射出されて被検レンズの周辺部に入射し、被検レ
ンズから射出された光束が入射する位置に設けられた周
辺光束用の結像レンズ及び周辺光束用の受光素子と、を
有することを特徴としている。
【０００７】また、上記入射角設定ミラーが複数あり、
上記周辺光束用の結像レンズ及び受光素子が、各入射角
設定ミラーに対応して複数設けられている構成や、上記
入射角設定ミラーが被検レンズの光軸に対して対称な位
置にある構成や、上記光路折曲ミラーが、上記コリメー
タからの光束を上記各入射角設定ミラーから結像レンズ
へ進む方向に振り向ける位置を安定して保持できるよう
にした構成とすることができる。
上記周辺光束用の結像レンズ及び受光素子が、各入射角
設定ミラーに対応して複数設けられている構成や、上記
入射角設定ミラーが被検レンズの光軸に対して対称な位
置にある構成や、上記光路折曲ミラーが、上記コリメー
タからの光束を上記各入射角設定ミラーから結像レンズ
へ進む方向に振り向ける位置を安定して保持できるよう
にした構成とすることができる。
【０００８】また、本発明のレンズ測定方法としては、
光源からの光束をコリメータにより平行光束とし、該平
行光束を光軸上に置かれた被検レンズの中心部に透過
し、被検レンズから射出された光束を中心光束用の結像
レンズを透過させて中心光束用の受光素子上に光像を結
像させ、該光像により被検レンズの中心部のレンズ性能
を測定する工程と、上記コリメータからの平行光束を光
路折曲ミラーで折り曲げて入射角設定ミラーに入射さ
せ、入射角設定ミラーで光軸と交差する光束として結像
レンズの周辺部に入射させ、該結像レンズから射出され
た光束を周辺光束用の結像レンズにより周辺光束用の受
光素子上に光像を結像させ、該光像により被検レンズの
周辺部のレンズ性能を測定する工程と、を有することを
特徴としている。
光源からの光束をコリメータにより平行光束とし、該平
行光束を光軸上に置かれた被検レンズの中心部に透過
し、被検レンズから射出された光束を中心光束用の結像
レンズを透過させて中心光束用の受光素子上に光像を結
像させ、該光像により被検レンズの中心部のレンズ性能
を測定する工程と、上記コリメータからの平行光束を光
路折曲ミラーで折り曲げて入射角設定ミラーに入射さ
せ、入射角設定ミラーで光軸と交差する光束として結像
レンズの周辺部に入射させ、該結像レンズから射出され
た光束を周辺光束用の結像レンズにより周辺光束用の受
光素子上に光像を結像させ、該光像により被検レンズの
周辺部のレンズ性能を測定する工程と、を有することを
特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面によ
り説明する。図１、図２は、本発明の測定装置の１実施
例の構成を示す図である。光源１１は、筒体１２に支持
され、この筒体１２には、パターン板１３と、コリメー
タ（レンズ）１４とが一体に組み込まれている。パター
ン板１３には、幅ｄのスリット１３ａが開けられ、この
スリット１３ａがコリメータ１４の前側焦点に重なる。
コリメータ１４は、光源支持台１６に固定され、光源支
持台１６は装置基部１７に固定される。
り説明する。図１、図２は、本発明の測定装置の１実施
例の構成を示す図である。光源１１は、筒体１２に支持
され、この筒体１２には、パターン板１３と、コリメー
タ（レンズ）１４とが一体に組み込まれている。パター
ン板１３には、幅ｄのスリット１３ａが開けられ、この
スリット１３ａがコリメータ１４の前側焦点に重なる。
コリメータ１４は、光源支持台１６に固定され、光源支
持台１６は装置基部１７に固定される。
【００１０】光源支持台１６の右側には、装置基部１７
から立設された試料台１８があり、ここに被検レンズＡ
が取り付けられる。図示の実施例における被検レンズＡ
としては、カメラのファインダレンズ等のアフォーカル
系のレンズが取り付けられている。
から立設された試料台１８があり、ここに被検レンズＡ
が取り付けられる。図示の実施例における被検レンズＡ
としては、カメラのファインダレンズ等のアフォーカル
系のレンズが取り付けられている。
【００１１】試料台１８と光源１１との中間には、装置
基部１７に立設されたミラー支持台１９があり、その上
にはミラー保持ケース２０が取り付けられ、ミラー保持
ケース２０の内部には、中央の光軸上に光路折曲ミラー
２１が、その両側には入射角設定ミラー２２，２３が光
軸Ｘと対称に取り付けられている。
基部１７に立設されたミラー支持台１９があり、その上
にはミラー保持ケース２０が取り付けられ、ミラー保持
ケース２０の内部には、中央の光軸上に光路折曲ミラー
２１が、その両側には入射角設定ミラー２２，２３が光
軸Ｘと対称に取り付けられている。
【００１２】中央の光路折曲ミラー２１は、光軸Ｘと直
交する軸（紙面に対して垂直方向に延びる軸）を中心に
回動自在で、図の２１ａと２１ｂに示す位置でクリック
ストップ構造によって軽く固定され、安定してその位置
を保持できるようにされる。両側の入射角設定ミラー２
２，２３は、設定された角度に固定された状態である。
交する軸（紙面に対して垂直方向に延びる軸）を中心に
回動自在で、図の２１ａと２１ｂに示す位置でクリック
ストップ構造によって軽く固定され、安定してその位置
を保持できるようにされる。両側の入射角設定ミラー２
２，２３は、設定された角度に固定された状態である。
【００１３】光路折曲ミラー２１が符号２１で示す光軸
と平行な位置にあるときは、コリメータ１４からの光束
は、直進して被検レンズＡの中心部に入射する。光路折
曲ミラー２１が回転して２１ａの位置に来ると、コリメ
ータ１４からの光束は図１の上方の入射角設定ミラー２
２に向かって反射され、入射角設定ミラー２２で反射さ
れて被検レンズＡの周辺部から斜めに入射する。光路折
曲ミラー２１が回転して２１ｂの位置に来ると、コリメ
ータ１４からの光束は図１の下方の入射角設定ミラー２
３に向かって進み、入射角設定ミラー２３で反射されて
被検レンズＡの下側の周辺部から斜めに入射する。
と平行な位置にあるときは、コリメータ１４からの光束
は、直進して被検レンズＡの中心部に入射する。光路折
曲ミラー２１が回転して２１ａの位置に来ると、コリメ
ータ１４からの光束は図１の上方の入射角設定ミラー２
２に向かって反射され、入射角設定ミラー２２で反射さ
れて被検レンズＡの周辺部から斜めに入射する。光路折
曲ミラー２１が回転して２１ｂの位置に来ると、コリメ
ータ１４からの光束は図１の下方の入射角設定ミラー２
３に向かって進み、入射角設定ミラー２３で反射されて
被検レンズＡの下側の周辺部から斜めに入射する。
【００１４】被検レンズＡの光源と反対側には、３つの
結像レンズ２４，２５，２６と、それぞれの結像レンズ
に対応している受光素子２７，２８，２９が設けられて
いる。そして、コリメータ１４を出て屈折せずに真っ直
ぐに被検レンズの中心に入射した光束は、被検レンズＡ
を透過して結像レンズ２４に入射し、受光素子２７にス
リット１３ａの光像を結像する。入射角設定ミラー２２
で反射され被検レンズの上側周辺部に入射した光束は、
被検レンズＡを透過して結像レンズ２５に入射し、受光
素子２８上にスリット１３ａの光像を結像する。入射角
設定ミラー２３で反射され被検レンズの下側周辺部に入
射した光束は、被検レンズＡを透過して結像レンズ２６
に入射し、受光素子２９上にスリット１３ａの光像を結
像する。
結像レンズ２４，２５，２６と、それぞれの結像レンズ
に対応している受光素子２７，２８，２９が設けられて
いる。そして、コリメータ１４を出て屈折せずに真っ直
ぐに被検レンズの中心に入射した光束は、被検レンズＡ
を透過して結像レンズ２４に入射し、受光素子２７にス
リット１３ａの光像を結像する。入射角設定ミラー２２
で反射され被検レンズの上側周辺部に入射した光束は、
被検レンズＡを透過して結像レンズ２５に入射し、受光
素子２８上にスリット１３ａの光像を結像する。入射角
設定ミラー２３で反射され被検レンズの下側周辺部に入
射した光束は、被検レンズＡを透過して結像レンズ２６
に入射し、受光素子２９上にスリット１３ａの光像を結
像する。
【００１５】各受光素子２７，２８，２９は、受光素子
コントローラ３１で個別にコントロールされ、それぞれ
の光軸Ｘ，Ｘ′，Ｘ″方向に進退してピント合わせを行
う。また、各受光素子２７，２８，２９には、ＣＣＤラ
インセンサが使用されており、演算回路３２が、光像が
結像した時の各素子の出力を測定しフーリエ変換などの
演算処理を合わせて行うことができる。
コントローラ３１で個別にコントロールされ、それぞれ
の光軸Ｘ，Ｘ′，Ｘ″方向に進退してピント合わせを行
う。また、各受光素子２７，２８，２９には、ＣＣＤラ
インセンサが使用されており、演算回路３２が、光像が
結像した時の各素子の出力を測定しフーリエ変換などの
演算処理を合わせて行うことができる。
【００１６】次に、本発明の装置により被検レンズの中
心部のＭＴＦを測定する方法を説明する。光源１１の光
は、パターン板１３のスリット１３ａを通過し、コリメ
ータ１４で平行光束にされる。
心部のＭＴＦを測定する方法を説明する。光源１１の光
は、パターン板１３のスリット１３ａを通過し、コリメ
ータ１４で平行光束にされる。
【００１７】光路折曲ミラー２１を光軸Ｘと平行な状態
にすると、コリメータ１４から射出された光束は被検レ
ンズＡの中心部に入射し、結像レンズ２４を経て受光素
子２７上にスリット１３ａの光像を結像する。このと
き、受光素子２７を構成するラインセンサがスリットの
光像を横断するようになっている。
にすると、コリメータ１４から射出された光束は被検レ
ンズＡの中心部に入射し、結像レンズ２４を経て受光素
子２７上にスリット１３ａの光像を結像する。このと
き、受光素子２７を構成するラインセンサがスリットの
光像を横断するようになっている。
【００１８】光量を縦軸にとり、スリットの幅方向の長
さを横軸にとってスリット１３ａを表すと、図３（ａ）
のように矩形波となる。ラインセンサは多数の素子を一
列に配置してあり、素子１つの幅δはスリット像の幅Ｄ
より遥かに小さく、スリット像の幅にラインセンサの素
子が多数含まれている。したがって、ラインセンサの各
素子の出力を、縦軸に出力、横軸に素子の並んだ方向を
とって表すと、図３（ｂ）のように裾野の幅がｄ´の階
段状の山となる。制御装置３３が受光素子コントローラ
３１を駆動して受光素子２７を光軸Ｘ方向に移動し、図
３（ｂ）の山が最大となる位置を求める。
さを横軸にとってスリット１３ａを表すと、図３（ａ）
のように矩形波となる。ラインセンサは多数の素子を一
列に配置してあり、素子１つの幅δはスリット像の幅Ｄ
より遥かに小さく、スリット像の幅にラインセンサの素
子が多数含まれている。したがって、ラインセンサの各
素子の出力を、縦軸に出力、横軸に素子の並んだ方向を
とって表すと、図３（ｂ）のように裾野の幅がｄ´の階
段状の山となる。制御装置３３が受光素子コントローラ
３１を駆動して受光素子２７を光軸Ｘ方向に移動し、図
３（ｂ）の山が最大となる位置を求める。
【００１９】最大の位置が見つかったら、受光素子２７
の出力を演算回路３２としての２値化回路で２値化し、
制御装置３３に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの中心部のＭＴＦを求めることができ
る。
の出力を演算回路３２としての２値化回路で２値化し、
制御装置３３に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの中心部のＭＴＦを求めることができ
る。
【００２０】次に、被検レンズＡの周辺部のＭＴＦ測定
の方法について説明する。まず、光路折曲ミラー２１を
図１の２１ａ又は２１ｂの位置に回動する。２１ａの位
置にあれば、コリメータ１４からの平行光束は入射角設
定ミラー２２に入射し、光軸Ｘ′方向に射出され、被検
レンズＡの上側の周辺部に入射し、結像レンズ２５を経
て受光素子２８上にスリット１３ａの光像を結像する。
制御装置３３が受光素子コントローラ３１を駆動して受
光素子２８を光軸Ｘ′方向に移動し、図３（ｂ）の山が
最大となる位置を求める。
の方法について説明する。まず、光路折曲ミラー２１を
図１の２１ａ又は２１ｂの位置に回動する。２１ａの位
置にあれば、コリメータ１４からの平行光束は入射角設
定ミラー２２に入射し、光軸Ｘ′方向に射出され、被検
レンズＡの上側の周辺部に入射し、結像レンズ２５を経
て受光素子２８上にスリット１３ａの光像を結像する。
制御装置３３が受光素子コントローラ３１を駆動して受
光素子２８を光軸Ｘ′方向に移動し、図３（ｂ）の山が
最大となる位置を求める。
【００２１】最大の位置が見つかったら、受光素子２８
の出力を演算回路３２としての２値化回路で２値化し、
制御装置３３に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの周辺部のＭＴＦを求めることができ
る。光路折曲ミラー２１が２１ｂの位置にあれば、コリ
メータ１４からの光束は、入射角設定ミラー２３に達
し、ここで反射されて被検レンズＡの下側の周辺部を通
り、結像レンズ２６により受光素子２９上にスリット１
３ａの光像を結像する。制御装置３３が受光素子コント
ローラ３１を駆動して受光素子２９を光軸Ｘ″方向に移
動し、図３（ｂ）の山が最大となる位置を求める。
の出力を演算回路３２としての２値化回路で２値化し、
制御装置３３に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの周辺部のＭＴＦを求めることができ
る。光路折曲ミラー２１が２１ｂの位置にあれば、コリ
メータ１４からの光束は、入射角設定ミラー２３に達
し、ここで反射されて被検レンズＡの下側の周辺部を通
り、結像レンズ２６により受光素子２９上にスリット１
３ａの光像を結像する。制御装置３３が受光素子コント
ローラ３１を駆動して受光素子２９を光軸Ｘ″方向に移
動し、図３（ｂ）の山が最大となる位置を求める。
【００２２】最大の位置が見つかったら、以下同様にし
て反対側の周辺部のＭＴＦを求めることができる。本発
明の装置によれば、光路折曲ミラー２１が回動し、両側
の入射角設定ミラー２２，２３は固定されており、ま
た、それぞれの光軸Ｘ，Ｘ′，Ｘ″に結像レンズと受光
素子とを配置したので、被検レンズの中心部と周辺部と
の測定の切り替えが簡単、かつ、短時間でできる。
て反対側の周辺部のＭＴＦを求めることができる。本発
明の装置によれば、光路折曲ミラー２１が回動し、両側
の入射角設定ミラー２２，２３は固定されており、ま
た、それぞれの光軸Ｘ，Ｘ′，Ｘ″に結像レンズと受光
素子とを配置したので、被検レンズの中心部と周辺部と
の測定の切り替えが簡単、かつ、短時間でできる。
【００２３】図１の測定装置では、２つの入射角設定ミ
ラー２２，２３は、光軸Ｘに対して対称に配置され、結
像レンズ２５，２６や受光素子２８，２９も対称な配置
となっている。ただし、本発明はこのような対称な配置
に限定されるものではなく、非対称な配置としてもよ
い。
ラー２２，２３は、光軸Ｘに対して対称に配置され、結
像レンズ２５，２６や受光素子２８，２９も対称な配置
となっている。ただし、本発明はこのような対称な配置
に限定されるものではなく、非対称な配置としてもよ
い。
【００２４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のレンズ
の測定装置は、光源と、該光源からの光を平行光束にす
るコリメータと、該コリメータからの平行光束を受光す
るように被検レンズを保持する試料台と、該試料台と上
記コリメータとの間に設けられ、コリメータからの光束
と平行になる位置とコリメータからの光束を所望の方向
に折り曲げて射出する位置との間で回転自在な光路折曲
ミラーと、該光路折曲ミラーからの反射光束を、被検レ
ンズに任意の入射角で入射させる入射角設定ミラーと、
上記コリメータの平行光束が被検レンズの中心に入射し
て被検レンズから射出された光束が入射する位置に設け
られた中心光束用の結像レンズ及び中心光束用の受光素
子と、上記入射角設定ミラーから射出されて被検レンズ
の周辺部に入射し、被検レンズから射出された光束が入
射する位置に設けられた周辺光束用の結像レンズ及び周
辺光束用の受光素子と、を有するので、光路折曲ミラー
を回動するだけで、レンズの中心部や周辺部の性能の測
定ができ、切り替えに時間を要しない。
の測定装置は、光源と、該光源からの光を平行光束にす
るコリメータと、該コリメータからの平行光束を受光す
るように被検レンズを保持する試料台と、該試料台と上
記コリメータとの間に設けられ、コリメータからの光束
と平行になる位置とコリメータからの光束を所望の方向
に折り曲げて射出する位置との間で回転自在な光路折曲
ミラーと、該光路折曲ミラーからの反射光束を、被検レ
ンズに任意の入射角で入射させる入射角設定ミラーと、
上記コリメータの平行光束が被検レンズの中心に入射し
て被検レンズから射出された光束が入射する位置に設け
られた中心光束用の結像レンズ及び中心光束用の受光素
子と、上記入射角設定ミラーから射出されて被検レンズ
の周辺部に入射し、被検レンズから射出された光束が入
射する位置に設けられた周辺光束用の結像レンズ及び周
辺光束用の受光素子と、を有するので、光路折曲ミラー
を回動するだけで、レンズの中心部や周辺部の性能の測
定ができ、切り替えに時間を要しない。
【００２５】上記入射角設定ミラーが複数あり、上記周
辺光束用の結像レンズ及び受光素子が、各入射角設定ミ
ラーに対応して複数設けられている構成とすれば、一つ
の被検レンズに対して多数の箇所の測定を簡単にしかも
速くできるようになる。上記光路折曲ミラーが、上記コ
リメータからの光束を上記各入射角設定ミラーから結像
レンズへ進む方向に振り向ける位置を安定して保持でき
るようにすれば、光路折曲ミラーの回転位置を簡単に決
めることができ、より一層、測定時間を短縮できる。
辺光束用の結像レンズ及び受光素子が、各入射角設定ミ
ラーに対応して複数設けられている構成とすれば、一つ
の被検レンズに対して多数の箇所の測定を簡単にしかも
速くできるようになる。上記光路折曲ミラーが、上記コ
リメータからの光束を上記各入射角設定ミラーから結像
レンズへ進む方向に振り向ける位置を安定して保持でき
るようにすれば、光路折曲ミラーの回転位置を簡単に決
めることができ、より一層、測定時間を短縮できる。
【図１】本発明のレンズ測定装置の実施例の構成を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】本発明のレンズ測定装置の実施例の構成を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】（ａ）はスリットにおける光量を示す線図、
（ｂ）はスリット像における受光素子の出力を示す線図
である。
（ｂ）はスリット像における受光素子の出力を示す線図
である。
【図４】従来のレンズ測定装置の構成を示す図である。
Ａ 被検レンズ １１ 光源 １３ パターン板 １３ａ スリット １４ コリメータ １８ 試料台 ２１ 光路折曲ミラー ２２，２３ 入射角設定ミラー ２４ 中心光束用の結像レンズ ２７ 中心光束用の受光素子 ２５，２６ 周辺光束用の結像レンズ ２８，２９ 周辺光束用の受光素子 ３２ 演算回路 ３３ 制御装置 ３１ 受光素子コントローラ
Claims (5)
- 【請求項１】 光源と、 該光源からの光を平行光束にするコリメータと、 該コリメータからの平行光束を直接受光する位置に被検
レンズを保持する試料台と、 該試料台と上記コリメータとの間に設けられ、コリメー
タからの光束と平行になる位置とコリメータからの光束
を所望の方向に折り曲げて射出する位置との間で回動自
在な光路折曲ミラーと、 該光路折曲ミラーからの反射光束を入反射して、被検レ
ンズに任意の入射角で入射させる入射角設定ミラーと、 上記コリメータの平行光束が被検レンズの中心に入射し
て被検レンズを透過した光束が入射する位置に設けられ
た中心光束用の結像レンズ及び中心光束用の受光素子
と、 上記入射角設定ミラーから射出されて被検レンズの周辺
部に入射し、被検レンズから射出された光束が入射する
位置に設けられた周辺光束用の結像レンズ及び周辺光束
用の受光素子と、 を有することを特徴とするレンズの測定装置。 - 【請求項２】 上記入射角設定ミラーが複数あり、上記
周辺光束用の結像レンズ及び受光素子が、各入射角設定
ミラーに対応して複数設けられていることを特徴とする
請求項１記載のレンズの測定装置。 - 【請求項３】 上記入射角設定ミラーが被検レンズの光
軸に対して対称な位置にあることを特徴とする請求項１
記載のレンズの測定装置。 - 【請求項４】 上記光路折曲ミラーが、上記コリメータ
からの光束を上記各入射角設定ミラーから結像レンズへ
進む方向に振り向ける位置を安定して保持できるように
したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載
のレンズの測定装置。 - 【請求項５】 光源からの光束をコリメータにより平行
光束とし、該平行光束を光軸上に置かれた被検レンズの
中心部に透過し、被検レンズから射出された光束を中心
光束用の結像レンズを透過させて中心光束用の受光素子
上に光像を結像させ、該光像により被検レンズの中心部
のレンズ性能を測定する工程と、 上記コリメータからの平行光束を光路折曲ミラーで折り
曲げて入射角設定ミラーに入射させ、入射角設定ミラー
で光軸と交差する光束として結像レンズの周辺部に入射
させ、該結像レンズから射出された光束を周辺光束用の
結像レンズにより周辺光束用の受光素子上に光像を結像
させ、該光像により被検レンズの周辺部のレンズ性能を
測定する工程と、 を有することを特徴とするレンズの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36625297A JPH11183326A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36625297A JPH11183326A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183326A true JPH11183326A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18486315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36625297A Pending JPH11183326A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183326A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4646014B2 (ja) * | 2001-08-09 | 2011-03-09 | 株式会社ニデック | レンズメータ |
| JP2012058085A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Fujifilm Corp | レンズ検査装置 |
| CN104122077A (zh) * | 2014-07-31 | 2014-10-29 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 无限共轭光路测量光学镜头的调制传递函数的方法及装置 |
| CN106028024A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 全欧光学检测仪器有限公司 | 用于测量光学成像系统的成像性质的装置和方法 |
| CN106370397A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-01 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 凹面镜成像测量长焦镜头调制传递函数的方法及装置 |
| CN107192536A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-22 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七七研究所） | 一种无焦共轭光路mtf测试装置及测试方法 |
| CN113720580A (zh) * | 2020-05-25 | 2021-11-30 | 三星电机株式会社 | 安装结构体和具有安装结构体的检测装置 |
| CN113848041A (zh) * | 2021-09-27 | 2021-12-28 | 歌尔光学科技有限公司 | 光学性能测试系统及测试方法 |
| WO2022167393A1 (de) * | 2021-02-02 | 2022-08-11 | Trioptics Gmbh | Messvorrichtung und verfahren zum vermessen einer modulationstransferfunktion eines afokalen optischen systems |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP36625297A patent/JPH11183326A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4646014B2 (ja) * | 2001-08-09 | 2011-03-09 | 株式会社ニデック | レンズメータ |
| JP2012058085A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Fujifilm Corp | レンズ検査装置 |
| CN104122077A (zh) * | 2014-07-31 | 2014-10-29 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 无限共轭光路测量光学镜头的调制传递函数的方法及装置 |
| CN106028024A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 全欧光学检测仪器有限公司 | 用于测量光学成像系统的成像性质的装置和方法 |
| CN106370397A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-01 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 凹面镜成像测量长焦镜头调制传递函数的方法及装置 |
| CN106370397B (zh) * | 2016-08-29 | 2019-01-25 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 凹面镜成像测量长焦镜头调制传递函数的方法及装置 |
| CN107192536A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-22 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七七研究所） | 一种无焦共轭光路mtf测试装置及测试方法 |
| CN113720580A (zh) * | 2020-05-25 | 2021-11-30 | 三星电机株式会社 | 安装结构体和具有安装结构体的检测装置 |
| WO2022167393A1 (de) * | 2021-02-02 | 2022-08-11 | Trioptics Gmbh | Messvorrichtung und verfahren zum vermessen einer modulationstransferfunktion eines afokalen optischen systems |
| CN113848041A (zh) * | 2021-09-27 | 2021-12-28 | 歌尔光学科技有限公司 | 光学性能测试系统及测试方法 |
| CN113848041B (zh) * | 2021-09-27 | 2024-04-30 | 歌尔光学科技有限公司 | 光学性能测试系统及测试方法 |
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